CN101728292B

CN101728292B - 晶片检测装置

Info

Publication number: CN101728292B
Application number: CN2008102284799A
Authority: CN
Inventors: 侯宪华
Original assignee: Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co Ltd
Current assignee: Shenyang Core Source Microelectronic Equipment Co., Ltd.
Priority date: 2008-10-31
Filing date: 2008-10-31
Publication date: 2011-06-01
Anticipated expiration: 2028-10-31
Also published as: CN101728292A

Abstract

本发明涉及半导体晶片加工过程中对晶片扫描记录的技术，具体的说是一种晶片检测装置，对被加工晶片片盒内晶片数量及其位置的记录，解决现有技术中存在的对片盒扫描时间长，影响设备产能等问题。该装置设有承片台、接近开关、压力开关、支架、码盘装置、丝杠传动装置，承片台为承片台I、承片台II相对设置于底座上，底座的底部设有丝杠传动装置，丝杠传动装置为配套使用的滚珠丝杠与螺母构成，底座与丝杠传动装置的螺母连接，滚珠丝杠顶部的丝杠座上装有接近开关，接近开关位于承片台I与承片台II之间。采用这种晶片检测方式可减少检测时间，提高产能。

Description

晶片检测装置

技术领域

本发明涉及半导体晶片加工过程中对晶片扫描记录的技术，具体的说是一种晶片检测装置，对被加工晶片片盒内晶片数量及其位置的记录。

背景技术

众所周知，在全自动半导体设备中，需要对成放晶片的片盒进行扫描，以确定在该盒内的晶片数量及其存放位置。这样，负责晶片传送的机械手才能准确将其产送到各个模块对晶片进行加工。

原来的晶片扫描方式为：在片盒的前方和后方分别装有一个发光装置和一个受光装置，片盒装载在一个可升降的装置上。这样，通过电机旋转带动片盒升降机构由上至下运动。当片盒有晶片的情况下，将遮挡放光装置发出的可见光。若没有，则不遮挡。通过以上方式，可知片盒内是否有晶片及晶片数量。

但是，这种对晶片的扫描是在机械手取片以前进行的，机械手必须等到整个片盒全部扫描完成以后才可以取片。这样做会影响整个设备的产能，因为每次更换一盒新的晶片，系统便会对片盒扫描一次。

发明内容

为了解决这个问题，本发明的目的在于提供一种新的晶片检测装置，解决现有技术中存在的对片盒扫描时间长，影响设备产能等问题。

本发明的技术方案是：

一种晶片检测装置，该装置设有承片台、接近开关、压力开关、支架、码盘装置、丝杠传动装置，承片台为承片台I、承片台II相对设置于底座上，底座的底部设有丝杠传动装置，丝杠传动装置为配套使用的丝杠与螺母构成，底座与丝杠传动装置的螺母连接，丝杠顶部的丝杠座上装有接近开关，接近开关位于承片台I与承片台II之间。

所述的晶片检测装置，在丝杠传动装置一侧设置码盘装置，码盘装置上相对设置有限位板、直码盘，丝杠传动装置位于限位板和直码盘之间，直码盘开有槽，丝杠传动装置的螺母上安装与直码盘对应的光电开关。

所述的晶片检测装置，直码盘上开有和片盒内数量相等的槽，这些槽之间的槽间距与标准片盒的槽间距相同。

所述的晶片检测装置，丝杠传动装置安装于支架的底板上，支架底部装有缓冲垫。

所述的晶片检测装置，片盒安装于承片台I和承片台II之上，在承片台II上装有压力开关。

所述的晶片检测装置，电机通过传动轴与丝杠传动装置的丝杠连接。

本发明的有益效果是：

1、采用本发明装置不是在机械手工作之前对晶片整盒扫描，而是在每次机械手取片以前检测该取片位置是否有晶片存在，若有则机械手就会取片。没有则机械手等待，系统会对机械手的下一个取片位置进行检测已确定机械手是否取片。这样，可以减少系统对片盒进行扫描的时间，提高设备产能。

2、本发明所提供的晶片扫描检测装置中，片盒的升降是靠电机连接滚珠丝杠旋转带动的，这种方式可以实现片盒的平稳升降。

3、本发明片盒在下降过程中每走一步后，机械手都要对其位置上是否有晶片进行检测，这样就必须保证片盒每次的行程都等于片盒的槽距。为了满足这一要求，在该装置中装有一个和片盒槽数相等、槽距相同的直码盘，通过对传感器(光电开关)是否被直码盘遮挡，来控制片盒的运动。

4、本发明检测槽内是否有晶片是通过接近开关来实现的，在片盒下部装有一个接近开关，当片盒槽内有晶片时，接近开关就会发出检测信号，通过接近开关对每一个位置进行检测。

5、本发明的实现方式为边检测便进行晶片处理，无需对整个片盒进行扫描。

6、本发明晶片检测装置结构，在装置四角装有缓冲垫，可减少震动，保证片盒平稳运行。

附图说明

图1-图3是本发明的结构示意简图。其中，图1为晶片检测机构外形图；图2为图1中的码盘装置；图3为丝杠传动装置。

图中，1-承片台I；2-接近开关；3-压力开关；4-承片台II；5-支架；6-码盘装置；7-丝杠传动装置；8-电机；9-缓冲垫；10-限位板；11-直码盘；12-螺母；13-丝杠；14-底座；15-丝杠座；16底板。

具体实施方式

如图1-图2所示，本发明晶片检测装置主要包括承片台、接近开关2、压力开关3、支架5、码盘装置6、丝杠传动装置7、电机8、缓冲垫9，承片台为承片台I1、承片台II4相对设置于底座14上，底座14的底部设有丝杠传动装置7，丝杠传动装置7为配套使用的滚珠丝杠13与螺母12构成，底座14与丝杠传动装置7的螺母12连接，滚珠丝杠13顶部的丝杠座15上装有接近开关2，接近开关2位于承片台I1与承片台II4之间，电机8通过传动轴与丝杠传动装置7的滚珠丝杠13连接。丝杠传动装置7可以安装于支架5的底板16上，支架5底部装有缓冲垫9。片盒安装于承片台I1和承片台II4之上，在承片台II4上装有压力开关3。

如图1-图3所示，在丝杠传动装置7一侧可以设置码盘装置6，码盘装置6上相对设置有限位板10、直码盘11，丝杠传动装置7位于限位板10和直码盘11之间，直码盘11开有槽，丝杠传动装置7的螺母12上可以安装与直码盘11对应的光电开关。直码盘11上开有和片盒内数量相等的槽，而这些槽之间的槽间距又与标准片盒的槽间距相同。

工作时，首先将片盒装载到承片台I1、承片台II4上，该承片台I1、承片台II4由左右两块构成，在承片台II4上装有的压力开关3，其作用是检测片盒有无。当系统检测到片盒时，电机8带动滚珠丝杠13旋转使片盒作升降运动。片盒向下行驶一个槽距的位移，接近开关2检测是否有晶片存在。如果检测到晶片，则机械手将晶片取走；如果接近开关2没有检测到晶片，则片盒继续向下行驶一个槽距的位移后，接近开关继续检测。直到片盒向下移动至最下方的一个槽时，就完成了对整盒晶片状况的检测。

本发明装置是由码盘装置6控制片盒每次行驶距离的。如图2所示，限位板10的功能是保证片盒行驶在一定范围之内，不会造成过冲。直码盘11是控制片盒每次行程的部件。由于直码盘11上有和片盒内数量相等的槽，而这些槽之间的槽间距又与标准片盒的槽间距相同，这样便可利用光电开关进行控制片盒运动了。光电开关随片盒同步作升降运动，在每当光电开关没有被遮挡时片盒就会停下来，等接近开关2对当下对应的晶片槽进行检测。

接近开关2有一个检测范围，也就是检测距离。当在其有效检测范围内有物体时，便可检测得到。该系统就是利用了接近开关的这一特性，每一次片盒下行一个槽距后，该槽为正好处在接近开关检侧范围以内，这样便可以实现对晶片的检测了。

为了减少片盒运动过程中出现的晶片震动，在该装置下面装有四个缓冲垫9。这样便可有效吸收震动，使片盒平稳运行。

Claims

1.一种晶片检测装置，其特征在于：该装置设有承片台、接近开关、压力开关、支架、码盘装置、丝杠传动装置，承片台为承片台I、承片台II相对设置于底座上，底座的底部设有丝杠传动装置，丝杠传动装置为配套使用的丝杠与螺母构成，底座与丝杠传动装置的螺母连接，丝杠顶部的丝杠座上装有接近开关，接近开关位于承片台I与承片台II之间；在该装置中装有一个和片盒槽数相等、槽距相同的直码盘，通过对传感器是否被直码盘遮挡，来控制片盒的运动。

2.按照权利要求1所述的晶片检测装置，其特征在于：在丝杠传动装置一侧设置码盘装置，码盘装置上相对设置有限位板、直码盘，丝杠传动装置位于限位板和直码盘之间，直码盘开有槽，丝杠传动装置的螺母上安装与直码盘对应的光电开关。

3.按照权利要求2所述的晶片检测装置，其特征在于：直码盘上开有和片盒内数量相等的槽，这些槽之间的槽间距与标准片盒的槽间距相同。

4.按照权利要求1所述的晶片检测装置，其特征在于：丝杠传动装置安装于支架的底板上，支架底部装有缓冲垫。

5.按照权利要求1所述的晶片检测装置，其特征在于：片盒安装于承片台I和承片台II之上，在承片台II上装有压力开关。

6.按照权利要求1所述的晶片检测装置，其特征在于：电机通过传动轴与丝杠传动装置的丝杠连接。