CN101718540A - 用于平板显示面板的涂敷膜厚测量装置和方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于平板显示面板的涂敷膜厚测量装置，具体包括：传感器和移动模块，其中，传感器安装在移动模块上；移动模块可以沿涂敷方向和喷嘴方向移动。在本发明的实施例中，还提供了一种用于平板显示面板的涂敷膜厚测量方法，具体包括以下步骤：在涂敷过程中，传感器随横梁沿涂敷方向做直线运动，同时在垂直于涂敷方向的喷嘴方向做直线运动，记录传感器在涂敷方向、喷嘴方向的位置信息和没有涂层的基板厚度数据信息；在喷嘴和传感器返回到涂敷起始点位置过程中，传感器的完全按照涂敷过程中的轨迹运动，记录在涂敷方向、喷嘴方向的位置信息和有涂层的基板厚度数据信息。
Description
技术领域
本发明涉及平板显示器领域，具体而言，涉及一种用于平板显示面板的涂敷膜厚测量装置和方法。
背景技术
平板显示器例如等离子显示面板制作中的厚膜印刷技术已由最新的涂敷技术所取代，涂膜厚度的均匀度是涂敷工序中主要的监控对象，也是判断等离子显示面板不良品的主要参数。在高效率、全自动化生产线上，须在涂敷设备上实时监控涂敷膜厚的均一性，以实时监控产品质量，尽早发现涂敷过程中的工艺问题，以便及时地调整工艺，提高良品率。
涂敷机用传感器测量膜厚的过程为：先测量没有涂敷湿膜的基板某一条线的表面厚度数据，在涂敷湿膜后，通过传感器再测同一位置的湿膜表面厚度数据，把这两组数据实时地传回设备数据处理系统，系统自动将所得的两组数据相减得到膜厚。
涂敷膜厚分涂敷方向膜厚和喷嘴方向(Nozzle Direction，ND)膜厚，目前在正式量产过程中只实时监控涂敷方向的膜厚均匀度。然而，对涂敷设备ND方向膜厚均匀度的实时监控是非常重要的：ND方向膜厚的调整是在正式量产前完成的，即只有完成了ND方向膜厚均匀度的调整才能够进行量产，否则可能涂敷出来的产品都是不良品。
图1示出了相关技术的传感器测量涂覆膜厚的示意图。如附图1所示，涂敷设备所有的传感器都是固定在横梁上的，不能够沿着横梁在喷嘴方向进行移动，每个传感器随着横梁在涂敷方向上移动的过程，只能对基板上某一条直线的厚度进行测量。以八面取为例，八面取涂敷设备一次涂敷四个面，分两次涂完八个面，为了对每个面的涂敷情况进行监控，按照现有的方法，理论上则至少需要4个传感器(实际上业内一般是用5个传感器)。
涂敷工序控制的关键点是面内膜厚均匀度和面间的膜厚均匀度，而按照上述测量方法，一个传感器只能测两个面的膜厚，为了得到面间的膜厚均匀度，就需对比多个传感器的测量数据算出面间膜厚均匀度。因为每个传感器都有一定的精度，聚焦状态不一样，测量的结果也会有差别，多个传感器测量相当于是以多个测量标准去测量，这样得到的面间膜厚均匀度会有较大的误差，随着面取数的增多，传感器也越多，这种误差也就越大，因此通过多个传感器的测量结果对比得到的ND方向膜厚均匀度是不准确的，而且传感器越多，涂敷设备的数据处理系统和工厂管理系统服务器处理的数据也越多了，处理的速度也越慢，系统数据的维护工作量也越大。
在实现本发明过程中，发明人发现现有技术由于不能对ND方向的膜厚进行实时测量，导致对平板显示面板的生产质量不能进行实时地有效监控，进而影响良品率的提高。
发明内容
本发明旨在提供一种用于平板显示面板的涂敷膜厚测量装置和方法，能够解决现有技术由于不能对ND方向的膜厚进行实时测量，导致对平板显示面板的生产质量不能进行实时地有效监控，进而影响良品率的提高的问题。
在本发明的实施例中，提供了一种用于平板显示面板的涂敷膜厚测量装置，具体包括：传感器和移动模块，其中，传感器安装在移动模块上；移动模块可以沿涂敷方向和喷嘴方向移动。
在本发明的实施例中，还提供了一种用于平板显示面板的涂敷膜厚测量方法，具体包括以下步骤：在涂敷过程中，传感器随横梁沿涂敷方向做直线运动，同时在垂直于涂敷方向的喷嘴方向做直线运动，记录传感器在涂敷方向、喷嘴方向的位置信息和没有涂层的基板厚度数据信息；在喷嘴和传感器返回到涂敷起始点位置过程中，传感器的完全按照涂敷过程中的轨迹运动，记录在涂敷方向、喷嘴方向的位置信息和有涂层的基板厚度数据信息。
上述实施例通过传感器在喷嘴方向和喷嘴涂敷方向同时运动，以同时测量涂敷方向和喷嘴方向的膜厚，在保证面内均匀度精确测量的同时，提高了面间膜厚均匀度的测量精度，可以更有效的监控涂敷膜厚均匀度，进而可以提高良品率，克服了现有技术由于不能对ND方向的膜厚进行实时测量，导致对平板显示面板的生产质量不能进行实时地有效监控，进而影响良品率的提高的问题。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1示出了本发明相关技术的传感器测量涂覆膜厚的示意图；
图2示出了根据本发明的一个实施例的用于平板显示面板的涂敷膜厚测量装置示意图；
图3示出了根据本发明的一个实施例的用于平板显示面板的涂敷膜厚测量方法流程图；
图4示出了根据本发明的一个实施例的8面取涂敷膜厚测量示意图。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。
图2示出了根据本发明的一个实施例的用于平板显示面板的涂敷膜厚测量装置示意图，具体包括：传感器和移动模块，其中
传感器安装在移动模块上；
移动模块可以沿涂敷方向和喷嘴方向移动。
上述实施例通过传感器在喷嘴方向和喷嘴涂敷方向同时运动，以同时测量涂敷方向和喷嘴方向的膜厚，在保证面内均匀度精确测量的同时，提高了面间膜厚均匀度的测量精度，可以更有效的监控涂敷膜厚均匀度，进而可以提高良品率，克服了现有技术由于不能对ND方向的膜厚进行实时测量，导致对平板显示面板的生产质量不能进行实时地有效监控，进而影响良品率的提高的问题。
优选地，上述移动模块包括滑块，其中
传感器安装在滑块上，传感器随滑块沿涂敷方向和喷嘴方向运动。
优选地，上述移动模块还包括横梁，其中
滑块安装在用于滑块的导轨的横梁上，滑块可沿横梁做直线运动。
优选地，上述移动模块还包括马达，其中
马达安装在横梁上，并可沿横梁移动。
优选地，上述移动模块还包括连动器，其中
连动器的一端与滑块相连接，其另一端与马达相连接。
优选地，上述传感器、滑块、马达和连动器分别为2个，本实施例减少了传感器的数目，解决了多面取涂敷设备因面取数增多而要相应增多传感器的数量的问题，有效地降低了生产线的成本(一条八面取的生产线共可节省20个传感器左右，总成本可降低几十万)；同时，传感器的减少，可以减少涂敷设备的数据处理系统和工厂管理系统服务器处理的数据，进而较大提高数据处理的效率。
优选地，上述马达为线性马达，用于驱动滑块沿着横梁在喷嘴方向做直线运动。
优选地，上述装置还包括用于处理和存储所述传感器的测量数据的数据处理系统，其与传感器相连接，对传感所测数据进行处理、存储，并上传到工厂管理系统的服务器。
图3示出了根据本发明的一个实施例的用于平板显示面板的涂敷膜厚测量方法流程图，具体包括以下步骤：
S102，在涂敷过程中，传感器随横梁沿涂敷方向做直线运动，同时在垂直于涂敷方向的喷嘴方向做直线运动，记录传感器在涂敷方向、喷嘴方向的位置信息和没有涂层的基板厚度数据信息；
S104，在喷嘴和传感器返回到涂敷起始点位置过程中，传感器的完全按照涂敷过程中的轨迹运动，记录在涂敷方向、喷嘴方向的位置信息和有涂层的基板厚度数据信息。
上述实施例通过传感器在喷嘴方向和喷嘴涂敷方向同时运动，以同时测量涂敷方向和喷嘴方向的膜厚，在保证面内均匀度精确测量的同时，提高了面间膜厚均匀度的测量精度，可以更有效的监控涂敷膜厚均匀度，进而可以提高良品率，克服了现有技术由于不能对ND方向的膜厚进行实时测量，导致对平板显示面板的涂敷膜厚测量显示面板的生产质量不能进行实时地有效监控，进而影响良品率的提高的问题。
优选地，上述方法还包括以下步骤：
把有涂层的基板厚度数据与没有涂层的基板厚度数据相减，得到涂敷方向和喷嘴方向的涂敷层厚度数据；
对喷嘴方向和涂敷方向在各个位置对应的涂敷层厚度数据进行处理，得到以下数据：涂敷方向膜厚和膜厚均匀度、喷嘴方向的膜厚和膜厚均匀度，涂敷方向的膜厚均匀度是面内膜厚均匀度，喷嘴方向的膜厚均匀度是面间膜厚均匀度。
按照上述实施例对涂敷膜厚均匀度进行实时监控，得到涂敷方向膜厚均匀度和喷嘴方向的膜厚均匀度，参考涂敷方向和喷嘴方向的膜厚均匀度，判定涂敷膜厚是否合格，必须是两个方向上的均匀度均满足要求，才为合格品。
图4示出了根据本发明的一个实施例的8面取涂敷膜厚测量示意图，测量过程如下：
1)在涂敷过程中，传感器除在随着横梁4沿着涂敷方向直线运动外，传感器1、2自身在喷嘴方向作直线运动，两个方向的直线运动合成导致传感器的运动轨迹为抛物线(由于两个传感器的运动轨迹各覆盖了四个面，故两个传感器就可以测量八个面的膜厚)，膜厚测量系统不断地记录传感器在喷嘴方向、涂敷方向的位置信息和没有涂层的基板厚度数据信息(传感器1、2在喷嘴3的前方，在涂敷过程中传感器测的是没有涂敷的基板)；
2)在喷嘴和传感器返回到涂敷起始点位置过程中，传感器的完全按照涂敷过程中的轨迹运动，膜厚测量系统不断地记录传感器在喷嘴方向、涂敷方向的位置信息和有涂层的基板厚度数据信息；
3)系统分别把两个传感器所测涂敷前后的厚度数据相减，则可得到两组实际涂敷层厚度数据；
4)膜厚测量系统分别提取传感器在喷嘴方向和涂敷方向在各个位置对应的膜厚数据并进行处理后，可得到以下数据：涂敷方向膜厚和膜厚均匀度以及喷嘴方向的膜厚和膜厚均匀度。
按照本实施例对涂敷膜厚均匀度进行实时监控，判定涂敷膜厚是否合格，须参考两个方向上的膜厚均匀度，必须是两个方向上的均匀度均满足要求，才为合格品。
从以上的描述中，可以看出，本发明上述的实施例实现了如下技术效果：
1)通过传感器在喷嘴方向和喷嘴涂敷方向同时做直线运动，可同时测量涂敷方向和喷嘴方向的膜厚，在保证面内均匀度精确测量的同时，提高了面间膜厚均匀度的测量精度，可以更有效的监控涂敷膜厚均匀度，进而提高良品率。
2)减少了传感器的数目，有效地降低了生产线的成本(一条八面取的生产线共可节省20个传感器左右，总成本可降低几十万)；
3)传感器的减少，可以减少涂敷设备的数据处理系统和工厂管理系统服务器处理的数据，进而较大提高数据处理的效率。
值得注意的是，以上实施例虽然是以等离子显示器进行举例说明，但本发明并不局限于等离子显示器；本发明的涂敷膜厚测量方法和装置还可以应用于其他涂覆薄膜的平板显示器的膜厚测量；进一步地，本发明还可以应用于其他涂膜领域。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种用于平板显示面板的涂敷膜厚测量装置，其特征在于，包括：传感器和移动模块，其中
所述传感器，其安装在所述移动模块上，用于测量等离子显示面板涂敷膜厚；
所述移动模块，其用于沿涂敷方向和喷嘴方向移动。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述移动模块包括滑块，其中
所述传感器安装在所述滑块上。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述移动模块包括横梁，其中
所述滑块安装在用于所述滑块的导轨的所述横梁上。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述移动模块包括马达，其中
所述马达安装在所述横梁上，其用于沿所述横梁移动，
所述横梁的方向为喷嘴方向。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述移动模块包括连动器，其中
所述连动器的一端与所述滑块相连接，其另一端与所述马达相连接。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述传感器、滑块、马达和连动器分别为2个。
7.根据权利要求4至6中任一项所述的装置，其特征在于，所述马达为线性马达。
8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括用于处理和存储所述传感器的测量数据的数据处理系统，其与所述传感器相连接。
9.一种用于平板显示面板的涂敷膜厚测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
在涂敷过程中，传感器随横梁沿涂敷方向做直线运动，同时在垂直于涂敷方向的喷嘴方向做直线运动，记录所述传感器在所述涂敷方向、喷嘴方向的位置信息和没有涂层的基板厚度数据信息；
在所述喷嘴和传感器返回到涂敷起始点位置过程中，所述传感器的完全按照所述涂敷过程中的轨迹运动，记录在所述涂敷方向、喷嘴方向的位置信息和有涂层的基板厚度数据信息。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，还包括以下步骤：
把所述有涂层的基板厚度数据与没有涂层的基板厚度数据相减，得到涂敷方向和喷嘴方向的涂敷层厚度数据；
对所述喷嘴方向和涂敷方向在各个位置对应的涂敷层厚度数据进行处理。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2008102475141A CN101718540B (zh) | 2008-12-30 | 2008-12-30 | 用于平板显示面板的涂敷膜厚测量装置和方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| CN2008102475141A CN101718540B (zh) | 2008-12-30 | 2008-12-30 | 用于平板显示面板的涂敷膜厚测量装置和方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN101718540A true CN101718540A (zh) | 2010-06-02 |
| CN101718540B CN101718540B (zh) | 2012-04-25 |
Family
ID=42433147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2008102475141A Expired - Fee Related CN101718540B (zh) | 2008-12-30 | 2008-12-30 | 用于平板显示面板的涂敷膜厚测量装置和方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101718540B (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105115432A (zh) * | 2015-09-01 | 2015-12-02 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种涂布膜厚的检测系统及方法 |
| CN105241413A (zh) * | 2015-09-22 | 2016-01-13 | 苏州工业园区职业技术学院 | 一种多角度膜厚检测装置 |
| WO2017049841A1 (zh) * | 2015-09-21 | 2017-03-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 膜厚控制系统、膜厚控制方法、蒸镀装置和蒸镀方法 |
| CN106990566A (zh) * | 2017-05-03 | 2017-07-28 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 段差测量方法及装置以及液晶显示基板制造方法 |
| CN116182953A (zh) * | 2023-03-06 | 2023-05-30 | 中稀材(广东)技术有限公司 | 一种用于平板喷涂工艺在线检测智能系统及其使用方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2655174Y (zh) * | 2003-09-27 | 2004-11-10 | 浙江大学蓝星新材料技术有限公司 | 浮法玻璃厚度在线检测装置 |
| CN2802440Y (zh) * | 2005-06-23 | 2006-08-02 | 深圳市比克电池有限公司 | 厚度测量装置 |
-
2008
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105115432A (zh) * | 2015-09-01 | 2015-12-02 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种涂布膜厚的检测系统及方法 |
| WO2017049841A1 (zh) * | 2015-09-21 | 2017-03-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 膜厚控制系统、膜厚控制方法、蒸镀装置和蒸镀方法 |
| CN105241413A (zh) * | 2015-09-22 | 2016-01-13 | 苏州工业园区职业技术学院 | 一种多角度膜厚检测装置 |
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| CN116182953A (zh) * | 2023-03-06 | 2023-05-30 | 中稀材(广东)技术有限公司 | 一种用于平板喷涂工艺在线检测智能系统及其使用方法 |
| CN116182953B (zh) * | 2023-03-06 | 2024-01-05 | 中稀材(广东)技术有限公司 | 一种用于平板喷涂工艺在线检测智能系统及其使用方法 |
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|---|---|
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| C10 | Entry into substantive examination | ||
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