CN101717995A - 多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺及装置 - Google Patents

多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺及装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101717995A
CN101717995A CN200910226157A CN200910226157A CN101717995A CN 101717995 A CN101717995 A CN 101717995A CN 200910226157 A CN200910226157 A CN 200910226157A CN 200910226157 A CN200910226157 A CN 200910226157A CN 101717995 A CN101717995 A CN 101717995A
Authority
CN
China
Prior art keywords
reducing furnace
furnace
blow
reduction furnace
out treatment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN200910226157A
Other languages
English (en)
Inventor
唐前正
张新
赵新征
卢涛
彭卡
李品贤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LESHAN LEDIAN TIANWEI SILICAS CO Ltd
Original Assignee
LESHAN LEDIAN TIANWEI SILICAS CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by LESHAN LEDIAN TIANWEI SILICAS CO Ltd filed Critical LESHAN LEDIAN TIANWEI SILICAS CO Ltd
Priority to CN200910226157A priority Critical patent/CN101717995A/zh
Publication of CN101717995A publication Critical patent/CN101717995A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Furnace Details (AREA)

Abstract

本发明公开了一种可缩短还原炉启、停炉用时的多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺及装置。本发明的多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺，系对启、停炉阶段的还原炉进行抽真空处理，直至炉内绝对压力≤0.05MPa。本发明的多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置包括抽真空装置，抽真空装置通过连接管道与还原炉的尾气出口连接，还原炉的尾气出口与所述连接管道之间设置有排气阀，所述抽真空装置的极限真空度≤0.06MPa。本发明以抽真空的方式代替氮气置换的方式对处于启、停炉阶段的还原炉进行处理，将炉内的氧含量、水含量控制到安全生产的许可范围，既缩短了处理时间，提高了工作效率，同时也提高了安全性。

Description

多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺及装置
技术领域
本发明涉及一种多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺及装置。
背景技术
还原炉中的生产过程是多晶硅生产中的核心技术，还原炉启动和停炉是这一生产过程中重要的阶段。尤其在启动阶段，对炉中氧含量、水含量要求严格。炉内氧含量、水含量若超标会给还原炉中的生产过程带来极大的安全风险，还原炉启动和停炉时，必须对炉内空气的氧含量、水含量施以严格控制。
目前，国内还原炉启动和停炉时，通常采用以微正压的氮气置换炉中空气的方式来控制炉内空气的氧含量、水含量，一般要用氮气吹扫3～4小时才能使炉内空气的氧、水含量满足生产要求，所用的时间比较长，且吹扫置换过程中氮气用量较大，成本较高，更需警惕的是，这样的置换方式容易在炉体内留下死角，导致置换不彻底，造成生产上的危险。
发明内容
为了克服现有多晶硅生产还原炉启、停炉用时较长的不足，本发明所要解决的技术问题是提供一种可缩短还原炉启、停炉用时的多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺及装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺，对启、停炉阶段的还原炉进行抽真空处理，直至炉内绝对压力≤0.05MPa。
多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置，包括抽真空装置，抽真空装置通过连接管道与还原炉的尾气出口连接，还原炉的尾气出口与所述连接管道之间设置有排气阀，所述抽真空装置的极限真空度≥0.06MPa。
用至少两台分别在其接口设置阀门的抽真空装置并联后再通过连接管道与还原炉的尾气出口连接。
所述还原炉有至少两台，各台还原炉并联设置。
所述还原炉上连接有压力表。
本发明的有益效果是：本发明以抽真空的方式代替氮气置换的方式对处于启、停炉阶段的还原炉进行处理，将炉内的氧含量、水含量控制到安全生产的许可范围，既缩短了处理时间，提高了工作效率，同时也提高了安全性。
附图说明
图1是本发明多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置的示意图。
图中标记为，1-抽真空装置一，2-阀门，3-排气阀，4-还原炉，5-连接管道，6-压力表。
图中虚线所示为连接管道。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
参照图1，本发明的多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺，对启停炉阶段的还原炉4进行抽真空处理，直至炉内绝对压力≤0.05MPa。
如图1所示，多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置，包括抽真空装置1，抽真空装置1通过连接管道5与还原炉4的尾气出口连接，还原炉4的尾气出口与所述连接管道5之间设置有排气阀3，所述抽真空装置1的极限真空度≥0.06MPa。
为保证炉内生产安全，抽真空装置的真空度参数小于满足安全要求时的炉内真空度。
本发明以抽真空的方式代替氮气置换的方式对处于启、停炉阶段的还原炉进行处理，将炉内的氧含量、水含量控制到安全生产的许可范围，可将还原炉的启、停炉处理时间由目前的3～4小时缩短到半小时，大大提高了工作效率，同时也提高了安全性。
为保证生产连续性，用至少两台分别在其输出端设置阀门2的抽真空装置1并联后再通过连接管道5与还原炉4的尾气出口连接。并联的各抽真空装置1可以同时或单独工作。
所述还原炉4上连接有压力表6，以检测炉内压力。一般来说，一旦还原炉4内的压力降到0.05MPa以下，即可停止抽真空。当然，对于同一规格的还原炉4，多次操作后，也可根据抽真空装置1的运行时间来判断还原炉4内的压力是否降到0.05MPa以下。
如果所述还原炉4不止一台而是有两台及以上时，上述的装置亦可工作，同时对连接的还原炉进行抽空操作，只须将各还原炉4并联设置。可以根据工艺需要通过开关排气阀3对一台或多台还原炉4进行抽空操作。
实施例：
如图1所示，利用两台水喷射真空成套机组1在启、停炉时对系列还原炉4进行抽真空处理。两台真空成套机组1出口端均设有阀门2，多台还原炉4并联设置，每一还原炉4的尾气出口设置有排气阀3，并用连接管道5连接到真空成套机组1的出口端。上述装置可同时处理多台还原炉4，也可逐一对单台还原炉4进行处理。由水喷射真空泵、耐腐泵、水箱、缓冲罐、阀门等部件组装成的水喷射真空成套机组1，因炉内气体部分为腐蚀性气体，所用设备和管道材料采用增强聚丙烯塑料等耐腐蚀材料制成，真空成套机组1的工艺参数：极限真空度≥0.06MPa以上，最大抽气量380～500m3/h，保证处理后还原炉内真空度≤0.05MPa。

Claims (5)

1.多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺，其特征是：对启、停炉阶段的还原炉(4)进行抽真空处理，直至炉内绝对气压≤0.05MPa。
2.多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置，包括抽真空装置(1)，其特征是：抽真空装置(1)通过连接管道(5)与还原炉(4)的尾气出口连接，还原炉(4)的尾气出口与所述连接管道(5)之间设置有排气阀(3)，所述抽真空装置(1)的极限真空度≥0.06MPa。
3.如权利要求2所述的多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置，其特征是：用至少两台分别在其接口设置阀门(2)的抽真空装置(1)并联后再通过连接管道(5)与还原炉(4)的尾气出口连接。
4.如权利要求2或3所述的多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置，其特征是：所述还原炉(4)有至少两台，各台还原炉(4)并联设置。
5.如权利要求2或3所述的多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置，其特征是：所述还原炉(4)上连接有压力表(6)。
CN200910226157A 2009-11-16 2009-11-16 多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺及装置 Pending CN101717995A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200910226157A CN101717995A (zh) 2009-11-16 2009-11-16 多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺及装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200910226157A CN101717995A (zh) 2009-11-16 2009-11-16 多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺及装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101717995A true CN101717995A (zh) 2010-06-02

Family

ID=42432631

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200910226157A Pending CN101717995A (zh) 2009-11-16 2009-11-16 多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺及装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101717995A (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102259861A (zh) * 2011-06-09 2011-11-30 重庆大全新能源有限公司 一种多晶硅还原炉启动方法及系统
CN102608913A (zh) * 2011-01-19 2012-07-25 内蒙古盾安光伏科技有限公司 多晶硅生产还原炉停炉控制系统及其方法
CN102985364A (zh) * 2010-06-16 2013-03-20 信越化学工业株式会社 钟罩清洁化方法、多晶硅的制造方法以及钟罩用干燥装置
CN110879579A (zh) * 2019-11-11 2020-03-13 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 基于多晶硅生产装置dcs系统的还原炉顺序控制方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102985364A (zh) * 2010-06-16 2013-03-20 信越化学工业株式会社 钟罩清洁化方法、多晶硅的制造方法以及钟罩用干燥装置
CN102985364B (zh) * 2010-06-16 2015-05-20 信越化学工业株式会社 钟罩清洁化方法、多晶硅的制造方法以及钟罩用干燥装置
US9126242B2 (en) 2010-06-16 2015-09-08 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Method for cleaning bell jar, method for producing polycrystalline silicon, and apparatus for drying bell jar
CN102608913A (zh) * 2011-01-19 2012-07-25 内蒙古盾安光伏科技有限公司 多晶硅生产还原炉停炉控制系统及其方法
CN102259861A (zh) * 2011-06-09 2011-11-30 重庆大全新能源有限公司 一种多晶硅还原炉启动方法及系统
CN110879579A (zh) * 2019-11-11 2020-03-13 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 基于多晶硅生产装置dcs系统的还原炉顺序控制方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101717995A (zh) 多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺及装置
CN105552001B (zh) 一种真空系统
CN101476022A (zh) Rh干式真空精炼装置
CN202865257U (zh) 一种双台位机械抽真空rh钢水精炼装置
CN111304409A (zh) Rh真空精炼系统及其使用方法
CN201580991U (zh) 多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置
CN211371929U (zh) 一种蒸汽真空泵的输入蒸汽压力调节装置
CN111779977A (zh) 一种气源系统及其控制方法
CN210994256U (zh) 一种石油反应处理装置
CN101343092A (zh) 热力除氧节能方法和热力除氧器节能技术改造装置
CN212514027U (zh) 压力试验工装
CN211311383U (zh) 一种溶剂再生塔在线排渣系统
CN107549864B (zh) 一种膨胀烟丝二氧化碳回收装置和方法
CN203798152U (zh) 钟罩炉抽负压系统
CN210915325U (zh) 一种制氮机
CN209415046U (zh) 一种自动供酸装置
CN211896248U (zh) 一种用于mbr污水处理系统的气源性抽真空装置
CN207877734U (zh) 一种便于接种的菌种选育用种子罐
CN218994835U (zh) 一种常压反应釜的在线自动取样装置
CN216044260U (zh) 一种缩短vd炉抽真空时间的装置
CN218095448U (zh) 一种进气系统
CN218093342U (zh) 一种高效节能真空装置
CN111196625A (zh) 一种用于mbr污水处理系统的气源性抽真空装置
CN208237285U (zh) 管线空气吹扫的封堵转接头
CN210897311U (zh) 一种层压机用抽真空装置及光伏组件用层压机

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20100602