CN101690416B

CN101690416B - 防静电用具

Info

Publication number: CN101690416B
Application number: CN2008800231136A
Authority: CN
Inventors: 西哲也; 吉川和宏
Original assignee: Sekisui Plastics Co Ltd
Current assignee: Sekisui Kasei Co Ltd
Priority date: 2007-07-27
Filing date: 2008-07-25
Publication date: 2013-02-13
Anticipated expiration: 2028-07-25
Also published as: WO2009017061A1; CN101690416A; JP5164986B2; JPWO2009017061A1

Abstract

本发明涉及一种即使是人体这样的复杂表面形态，也能良好地密合并能有效除去其表面所带电荷的防静电用具。腕带型的防静电用具因长时间固定而有在作业者的手腕上发生因湿热所致的皮炎、因金属过敏所致的皮炎、因压迫所致的不适、勒紧痕迹等问题。其提供能确保与皮肤持续密合的防静电用具，其具备：支承部件、在所述支承部件的至少一面侧形成的导电层、下端具有凸缘部且以所述凸缘部与所述导电层的一面相接的方式贯穿所述支承部件的端子部、覆盖所述凸缘部的整个下面的覆盖层以及在所述覆盖层和所述导电层上层叠的导电性胶粘剂层，该用具与皮肤直接贴附，因导电性胶粘剂所具有的胶粘力而牢固地密合，因此不受因人而异的皮肤状态差异、因健康状态不同的皮肤状态差异等所左右。

Description

防静电用具

技术领域

本发明涉及防静电用具。更详细而言，本发明涉及即使是人体这样的复杂表面形态也能良好地密合并能有效除去其表面所带电荷的防静电用具。本发明的防静电用具在半导体器件、半导体器件搭载电路和信息记录设备等的操作、粉尘的处理、有机溶剂之类的化学物质的处理等作业中，作为用于防止作业人员带上静电的器具是有用的。进而，本发明的防静电用具对于洁净室之类的特别忌讳逸散粉尘的作业环境中的硬盘驱动器或更微细的半导体器件等的操作等作业而言是有用的。

背景技术

众所周知，人体所带的静电会引起各种问题。

例如，在半导体器件领域中，人体所带静电在对LSI、CMOS等半导体器件、硬盘驱动器、硬盘的磁头等信息记录设备放电时，存在器件及设备被破坏的问题。

器件及设备逐渐朝着微细化和精密化发展，进而要求以更低电压来驱动。为此，即使是微小的静电放电程度也会使这些器件和设备遭到破坏，成为误操作原因的可能性增加。

此外，上述半导体器件、硬盘驱动器、磁头等通常是在洁净室那样严格控制外部污染的场所中生产的。对这种洁净室中使用的备品也需要严格的限制。例如，对于成为产品误操作的原因的尘埃，有必要将其从备品的产生降低到极限。此外，即使是在火灾这样的异常状况下，为了防止混入来自燃烧气体的杂质，也有必要从备品上根本杜绝氯之类的产生危害的气体发生的可能性。

除了上述领域以外，在处理由微粉构成的粉尘的领域、大量处理有机溶剂之类的挥发性物质的领域中，还有可能会因静电放电而导致爆炸。

如上所述，在忌讳静电的发生和带电的作业环境中，采用各种方法非常小心地对静电的发生和带电进行管理。例如，含导电纤维的导电性手套、工作服的穿着、对地板面铺满导电性片材等来防止使人体带静电。后者的带电防止方法，必须进行巨额投资。另一方面，由于前者的带电防止方法投资额较少，因此报道了可以在该方法中使用的各种器具。

作为这种器具，在实公平6-46080号公报(专利文献1)和实用新型登记第3078493号公报(专利文献2)中公开了腕带型的防静电用具，在特开2001-210493号公报(专利文献3)和特开2002-170696号公报(专利文献4)中公开了手套型的防静电用具。

实公平6-46080号公报中的腕带型的防静电用具由腕带上具有的导电片、和在导电片上具备的导电性按扣(snap)构成。记载了腕带可以由导电性纤维构成。

特开2001-210493号公报中的手套型防静电用具，具有将用于除去所带静电的导电部配置成接触手掌的方式的结构。

实用新型登记第3078493号公报中的腕带型的防静电用具、特开2002-170696号公报中的手套型防静电用具，由具有伸缩性的导电性纤维的腕带或手套、和在腕带或手套上具备的导电性按扣构成。此外，在实用新型登记第3078493号公报、特开2001-210493号公报、特开2002-170696号公报中记载了具有两个端子的防静电用具。

在上述任意公报中，都是通过将导电性按扣与接地布线连接，来除去作业人员所带的静电。

专利文献1：实公平6-46080号公报

专利文献2：实用新型登记第3078493号公报

专利文献3：特开2001-210493号公报

专利文献4：特开2002-170696号公报

腕带型的防静电用具有编入了导电性纤维的带型和金属带型。在作业中往往有必要将它们缠绕在手腕上进行固定。由于长时间的固定而有在作业者的手腕上发生因湿热所致的皮炎、因金属过敏所致的皮炎、因压迫所致的不适、勒紧痕迹等问题。这种问题可以通过松绑来缓和，但是这样一来手腕和防静电用具的密合性降低，防静电性变得不充分。其结果是，器件和设备因静电而被破坏，存在所谓成品率降低的问题。此外，腕带型的防静电器具还有在作业中带子松弛，因每次重新缠绕而导致作业的中断、因中断导致的成品率降低的问题。

进而，腕带型的防静电用具还有在冬季那样皮肤干燥的情况下，防静电不充分的问题。人们考虑该问题通过在手腕上涂布护手霜来防止干燥而进一步加强勒紧来解决。然而，前者的方法存在霜成分移行至产品中的问题进而在作业人员中不受欢迎，后者的方法则存在发生皮炎或残留压迫痕迹的问题。

此外，上述课题也在特开2001-210493号公报的手套型防静电用具中发生。

进而，使用了伸缩性导电性纤维的腕带或手套型的防静电用具，虽然较少发生上述问题，但却无法充分解决发生皮炎或残留压迫痕迹的问题。

此外，进一步地，尤其是在对静电敏感的半导体器件、硬盘驱动器、磁头等装置进行处理时，希望经常观察到能以带电压非常低的状态维持从而防止装置的破坏。

发明内容

根据本发明，提供一种防静电用具，具备：支承部件、在所述支承部件的至少一面侧形成的导电层、下端具有凸缘部且以所述凸缘部与所述导电层的一面相接的方式贯穿所述支承部件的端子部、覆盖所述凸缘部的整个下面的覆盖层、以及在所述覆盖层和所述导电层上层叠的导电性胶粘剂层。

进而，根据本发明，提供一种防静电用具，具备：支承部件、在所述支承部件的至少一面侧形成且相互分离的两个导电层、下端具有凸缘部且以所述凸缘部与所述两个导电层的一面各自相接的方式贯穿所述支承部件的两个端子部、覆盖所述凸缘部的整个下面的覆盖层、以及在所述覆盖层和所述两个导电层上层叠且相互分离的两个导电性胶粘剂层。

本发明的防静电用具由于与皮肤直接粘帖，且以导电性胶粘剂所具有的胶粘力牢固地密合，因此不受因人而异的皮肤状态差异、因健康状态不同的皮肤状态差异等所左右。此外，本发明的防静电用具少有压迫感，且可以减小对作业人员的皮肤所带来的影响，因此很少会对作业人员带来不适感觉。本发明的防静电用具由于具有导电性胶粘剂层，因此也不会发生金属过敏，而且与皮肤的密合性也良好，因此可以稳定地保持与皮肤的电接触。

因此，如果使用本发明的防静电用具，则不仅可以将没有因系紧带来的闭塞感的开放的作业环境提供给作业人员，还可以在作业过程中维持防静电性。其结果，可以提高成品率和作业性，防止爆炸发生。

进而，当防静电用具为分别具有两个导电层、端子部和导电性胶粘剂层的2端子型用具时，可以在对通常被称为双重式的两个导体间的电阻或电压进行检测的监控系统中使用。即，通过连续监控电路的回路电阻或电压，可以检测由接地线的断线或与接地线的接合不良所致的电路断路或基准值以上的带电，因此可以更加确实可靠地维持作业中的防静电性。

此外，导电性胶粘剂层由导电性高分子含水凝胶形成，因此是通过该含水凝胶进行自身控制以使水分量达到平衡状态，因此可以恰当地消除皮肤的湿热。进而，即使皮肤干燥，含水凝胶仍会维持一定的水分量，因此可以抑制防静电性能因皮肤干燥而降低。如此，通过使用含水凝胶，可以使皮肤表面由闭塞感打开，其结果，即使使用防静电用具较长时间，仍具有难以发生皮肤的湿热和皮炎之类的优点。而且，不受作业环境的影响，具有能获得稳定的防静电效果的优点。

进而，构成防静电用具的导电性高分子含水凝胶，如果其硫、硅、锡和卤素的离子浓度不足规定量，则即使洁净室内发生异常情况时，也不会发生产生腐蚀性气体等对器件和设备、作业人员产生影响的情况，可以防止作业人员带电。此外，本发明的防静电用具很少逸散粉尘，可以适用于洁净室内。

附图说明

图1是实施例1的防静电用具的示意图。

图2是图1中端子部的示意放大图。

图3是实施例2的2端子型防静电用具的示意图。

符号说明

1：支承部件、1a：软质聚乙烯层、1b：聚酯膜、2：导电层、3：端子部、3a：导电性按扣、3b：导电部、4：覆盖层、5：导电性胶粘剂层、6：中间基材、7：非胶粘剂层、8：保护膜、3a1：导电性按扣的凸部、3a2：导电性按扣的凹部、3a3：导电性按扣的凸缘部、3b1：导电部的凸部、3b2：导电部的凸缘部、a：未形成导电层的部分、b：未形成导电性胶粘剂层的部分

具体实施方式

本发明的防静电用具，具备支承部件、在所述支承部件的至少一面侧形成的导电层、下端具有凸缘部且以凸缘部与导电层的一面相接的方式贯穿支承部件的端子部、覆盖凸缘部的整个下面的覆盖层以及在覆盖层和所述导电层上层叠的导电性胶粘剂层。

本发明的防静电用具通过使端子部与接地布线连接，能够借助导电性胶粘剂层和导电层将作业人员所带的静电有效地除去。

进而，防静电用具为分别具有导电层、端子部以及导电性胶粘材料层各两个的2端子型用具时，通过与对带电进行监控的系统连接，可以检测到带电异常，由此可以更加切实可靠地将静电除去。

(支承部件)

支承部件只要是由具有适度强度的材料形成，就没有特别限定，可以是导电性也可以是非导电性。此外，支承部件优选由对皮肤表面的追随性(柔软性)出色的材料形成。进而优选由具有能耐受反复使用的强度的材料形成。此外，进一步优选由为了添加顾客的标识、作业人员名等而容易进行印刷的材料形成。进而，在洁净室内的作业中使用时，优选由不会因与作业人员的衣服、接地布线等的反复接触而产生尘埃、对器件和设备的污染物(污染)的材料构成。

作为这种材料，例如可以举出聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)这样的聚酯、聚氯乙烯、聚乙烯(PE)、聚丙乙烯(PP)、尼龙这样的聚酰胺、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物等各种树脂、天然橡胶、异戊二烯橡胶、丁二烯橡胶、硅酮橡胶、苯乙烯-丁二烯橡胶等各种橡胶。进而，支承部件可以由单层构成，也可以由层叠体构成。进而，支承部件可以由发泡体或非发泡体构成，还可以由发泡体和非发泡体的层叠体构成。如果考虑洁净室内的作业，则优选由非发泡体构成。

从强度的观点出发，支承部件优选含有由PET形成的层。进而，从强度和柔软性的观点出发，支承部件更优选是由PET形成的层和由PE或尼龙形成的层的层叠体。在PE和尼龙的柔软性高于PET时，能够容易地在由PET形成的层上胶粘层叠，因此具有容易制造层叠体的优点。

支承部件的厚度若是能确保强度和柔软性在所需范围，则没有特别限定。例如，可以设定在4～600μm的范围，也可以设为10～600μm、50～600μm、50～500μm的范围。此外，为了获得柔软性，可以在上述范围中减小厚度例如为30～150μm。

例如，在支承部件为由PET形成的层和由PE形成的层的层叠体的情况下，当将由PET形成的层的厚度设为1时，从兼具强度和柔软性的观点出发，优选由PE形成的层的厚度为2～4。层叠体的厚度可以在4～600μm的范围进行设定。

进而，优选对支承部件实施防静电处理。通过实施防静电处理，可以防止尘埃吸附在支承部件上，由此可以获得适合在洁净室内使用的防静电用具。对防静电处理没有特别限定，可以应用效果持续的公知处理。

(导电层)

支承部件具有一面和另一面。在支承部件的至少一面设置导电层。根据用途不同，也可以在一面和另一面这两面设置导电层。

在支承部件的至少一面设置的导电层，若是可以借助导电性胶粘剂层将作业人员所带的电荷(静电)除去，则对其材料和构成没有特别限定。这里，所谓导电，是指通过采用数字万用表(爱德万测试公司制R6441A)测定具有2×10^-5Scm^-1以上的导电率。

作为导电层，可以举出由银、镍、钼等金属粒子、这些金属(例如氯化银)的化合物粒子、炭黑、石墨等碳的粒子与粘结树脂形成的层、由上述金属或金属化合物覆盖而得到的树脂膜、银、镍、铝、不锈钢等金属箔、不锈钢纤维之类的金属进行层压而得到的纤维(以下称金属纤维)得到的无纺布或织布等。

由粒子和粘结树脂形成的导电层，可以通过将含有粒子和粘结树脂的导电性糊膏(例如碳墨)涂布在支承部件上并干燥而形成。作为涂布法，可以适当地使用棒涂印刷法、丝网印刷法、苯胺印刷法、凹版印刷法等印刷法，喷涂法，浸渍法等。在采用印刷法时，可以容易地形成所需图案。此外，干燥后的导电层优选厚度在2～35μm的范围，更优选厚度在5～15μm的范围。通过设在该范围，可以得到导电性和对皮肤的追随性进一步得到保证的导电层。

在导电层中使用金属箔时，其厚度可以设为3～35μm。

由金属纤维得到的织布，可以容易地保持其自身的变形性和柔软性，其结果是可以在不对作业人员增加不适感的情况下，使防静电用具与表面为曲面的皮肤接触。

(端子部)

端子部在下端具有凸缘部。该凸缘部具有将端子部固定于支承部件的作用以及连接接地布线的作用。为了发挥前者的作用，凸缘部可以位于导电层侧而贯穿支承部件。

端子部优选具有：具有凸部、与凸部相对应的凹部以及在凸部下端的凸缘部的导电性按扣，和具有与导电性按扣的凹部嵌合经铆接而能够将导电性按扣卡定的凸部以及在凸部下端的凸缘部的导电部。若具有这种结构，则可以更加牢固地将端子部固定在支承部件上。

导电性按扣以及导电部，只要具有导电性，可以由任何材料形成。但从满足强度、耐腐蚀性等所需特性的观点出发，优选使用难腐蚀性金属。具体而言，可以使用SUS304、SUS316、SUS316L等奥氏体系、SUS410等马氏体系、SUS430等铁素体系等不锈钢，它们难以产生灰尘，用于反复进行按扣的穿脱的强度也出色。在这些不锈钢中，SUS316L从反复使用时能够维持耐久性的角度出发最为出色，因而优选。

关于导电性按扣的凸部，为了易于与接地布线连接，优选具有1.5～4.0mm的高度。此外，凹部是与凸部相对应的形状，若是能够通过嵌入以下说明的导电部的凸部而进行卡定，则对其形状没有特别限定。

进而，凸缘部优选其厚度和宽度为能够至少固定导电性按扣的程度。此外，在使用上述这样的金属时，凸缘部的厚度可以减小到0.1～0.4mm左右。通过将厚度设为0.1mm以上，容易确保凸缘部的强度而成型为正确的形状。此外，还可以抑制不耐受铆接时的冲击而发生变形、或者被破坏的危险。此外，通过将凸缘部的厚度设为0.4mm以下，容易成型，并且能够防止与凸缘部相对应的高地平面差在导电性胶粘剂层的表面发生。因此，可以抑制接触不良以及给使用者带来的不适感。

进而，该凸缘部的宽度优选调节成使导电性按扣的底面的宽度达到5～15mm。

接着，关于导电部的凸部，只要是能够通过将其嵌入到导电性按扣的凹部而将两者卡定，就对其高度和形状没有特别限定。此外，导电部的凸缘部的厚度由于与上述导电性按扣凸缘部同样的理由，优选其厚度为0.1～0.4mm。此外，关于凸缘部的宽度，只要能将导电部固定就没有特别限定。从更加牢固地进行固定的观点出发，导电部的凸缘部的宽度优选与导电性按扣的凸缘部的宽度为同等程度或者比其更宽。

上述导电性按扣和导电部优选如下进行配置。首先，导电性按扣的凸缘部，以凸部的下端位于支承部件的表面侧的方式配置，导电部的凸缘部以位于导电层上的方式配置。进而，通过在其凹部中使导电部的凸部贯穿支承部件而嵌入到导电性按扣的凹部中，由此导电性按扣被卡定。其结果，导电性按扣的凸缘部陷入支承部件中，而与支承部件压合。

通过如此来压合，支承部件起到密封圈(packing)的作用而能够将导电性按扣和导电部固定，由此防止水分等从导电性按扣的凸缘部渗透到支承部件中。此外，即使是由于导电部陷入导电性按扣时发生错位而使得导电性按扣或导电部的凸缘部发生上浮，也会由于导电性按扣陷入支承部件中，而能够维持凸缘部与支承部件的接触。因此，可以防止因上浮所导致的水分向支承部件的侵入。

另外，端子部对于一个导电层而言并不限于一个，为了进一步防止带电，可以在任意位置配置两个以上。

(覆盖层)

通过用覆盖层覆盖凸缘部的整个下面，可以更牢固地固定端子部，更有效地防止端子部的腐蚀。该覆盖层的固定方法可以举出例如在覆盖层的单面设置胶粘层并使胶粘层与端子部的凸缘部和导电层接触的方法。

覆盖层优选是由吸水性和含水性小的材料形成的层。作为这种层，可以举出由聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃、PET树脂那样的聚酯、尼龙、聚氨酯、玻璃纸等合成树脂膜形成的层。覆盖层的导电性胶粘剂层侧的面可以通过赋予极性而进行亲水化处理，也可以进行粗面化处理、非透水处理。若是进行亲水化处理或粗面化处理，可以提高覆盖层和导电性胶粘剂层的粘合性。

进而，覆盖层可以通过将含非透水性树脂的溶液涂布在凸缘部上而形成。可以对采用该涂布法而形成的覆盖层赋予所谓高柔软性的特点。

此外，优选使用具有在端子部与接地布线连接时能够耐受对覆盖层所施加的应力的程度的机械强度的材料。作为这种材料，可以举出高密度聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃、PET树脂之类的聚酯等。

覆盖层具有至少覆盖凸缘部的形状即可。此外，为了减小覆盖层引起的端子部和导电性胶粘剂层的非导通部分，优选具有与凸缘部的下面形状相对应的形状。例如，当凸缘部下面为圆形时，覆盖层优选具有圆形。进而，覆盖层的面积优选比凸缘部的面积大150～600％，更优选大200～500％。

进而，覆盖层可以具有用于将其固定于端子部下端的胶粘剂层。作为胶粘剂层，可以举出由丙烯酸系胶粘剂、橡胶系胶粘剂等公知胶粘剂形成的层。

(导电性胶粘剂层)

在覆盖层和导电层上层叠有导电性胶粘剂层。只要导电性胶粘剂层具有导电性且对皮肤表面能够良好密合，则可以采用胶粘带、胶粘封、胶粘凝胶等形成的层。此外，作为导电性胶粘剂层，只要使具有导电性且对皮肤的刺激性小而且具有充分胶粘力的材料形成的层，则没有特别限定。可以适当使用例如使聚丙烯酸钠、聚丙烯酸酯、聚丙烯酰胺等聚丙烯酸衍生物、聚乙烯吡咯烷酮、聚-N-乙烯乙酰胺等聚-N-乙烯乙酰胺衍生物、聚氨酯等聚合骨架体含有水、电解质等而得到的导电性胶粘凝胶等。具体而言，优选使用以下这样的胶粘凝胶(具有胶粘性的导电性高分子含水凝胶)。即，可以使用含有经交联的合成高分子18～30重量％、水12～30重量％、多元醇25～65重量％和电解质0～13重量％的导电性高分子含水凝胶。在凝胶中所含的12～30重量％的水相当于凝胶的饱和吸水量的3～50％。该导电性高分子含水凝胶具有如下性质，即，将凝胶浸渍于20℃的水中10分钟时的胶粘力降低为浸渍前胶粘力的50％以下。

作为构成经交联的合成高分子的聚合性单体，可以举出式：CH₂＝CR¹-CONR²R³[式中，R¹表示氢原子或甲基，R²和R³分别表示氢原子或低级烷基]表示的丙烯酰胺或者甲基丙烯酰胺系化合物、以及式：CH₂＝CR¹-COOR²[R¹和R²分别具有与上述同样的意思]表示的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯系化合物、以及乙烯基吡咯烷酮。

这里，作为R²和R³的低级烷基，可以举出甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基等碳原子数1～6的直链状或支链状的低级烷基。

除此之外，还可以使用(甲基)丙烯酸、乙烯基羧酸、烯丙基胺、乙烯基苯甲酸、乙烯基吡啶、叔丁基丙烯酰胺磺酸、甲基丙烯酰乙酯(メタクリロイルエチル)、三甲基氯化铵或二甲基氨基丙基(甲基)丙烯酰胺、六亚甲基二异氰酸酯这样的多官能异氰酸酯、环氧乙烷、环氧丙烷等环氧烷、聚乙二醇、聚丙二醇等多元醇等的离子性聚合性单体。

在使用离子性聚合性单体时，为了防止生成凝聚体，优选合用非离子性的单体。作为非离子性的单体，可以举出(甲基)丙烯酸乙二醇酯、(甲基)丙烯酸聚乙二醇酯、(甲基)丙烯酸丙二醇酯、(甲基)丙烯酸聚丙二醇酯、(甲基)丙烯酸丙三醇酯、(甲基)丙烯酸聚丙三醇酯等丙烯酸酯，(甲基)丙烯酰胺、N-甲基(甲基)丙烯酰胺、N-乙基(甲基)丙烯酰胺、N-丁基(甲基)丙烯酰胺、N，N-二甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羟甲基丙烯酰胺、双丙酮丙烯酰胺等N取代(甲基)丙烯酰胺，N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基甲酰胺、N-乙烯基乙酰胺等N-乙烯基酰胺衍生物等。这些单体可以使用一种或者组合多种使用。

作为与聚合性单体一起使用的交联性单体，可以举出N，N’-亚甲基双丙烯酰胺、N，N’-亚甲基双甲基丙烯酰胺、N，N’-二亚乙基双丙烯酰胺、N，N’-亚乙基双甲基丙烯酰胺、1，2-二丙烯酰胺乙二醇、二(三或聚)丙烯酸酯、二(三或聚)甲基丙烯酸酯等。

适于获得上述交联而成的合成高分子的交联性单体的使用比例，因聚合性单体和交联性单体的种类而异，但通常相对于聚合性单体为0.1～3.5重量％，更优选0.15～2.0重量％。

导电性高分子含水凝胶中所含的已交联的合成高分子的组成比例，优选为18～30重量％，更优选18～25重量％。

在已交联的合成高分子的比例少于18重量％时，使用这种合成高分子制作凝胶时，高分子主链在凝胶中所占的比例降低，可能无法获得韧性强度足够的凝胶。为此，有时难以将凝聚体的网眼结构中封入的水分维持在稳定的状态。另一方面，在已交联的合成高分子的比例大于30重量％时，得到凝胶强度大且韧性强度大的凝胶。但是，有时凝聚体的网眼结构会过于致密，有时可以封入网眼中的水分的绝对量会减少。

导电性高分子含水凝胶中所含的水分，相对于凝胶整体为12～30重量％，更优选16～30重量％。在凝胶中的水分含量小于12重量％时，有时无法得到导电性良好的凝胶。在凝胶中的水分含量大于30重量％时，水在网眼中难以稳定存在，容易变得干燥。

对于该导电性高分子含水凝胶而言，相对于凝胶的总重量含有12～30重量％的水时，该水分的量相当于凝胶的饱和吸水量的3～50％即可。

对于凝胶中所含的12～30重量％的水分不足饱和吸水量的3％的凝胶而言，凝胶与水接触时迅速地吸水而溶胀，而且高分子网眼结构松弛，多元醇等中的内容成分有时会洗脱。此时，凝胶的组成发生变化，凝胶的强度和胶粘力有时会降低，再使用次数有时会减少。

此外，对于凝胶中所含的12～30重量％的水分超过饱和吸水量的50％的凝胶而言，凝胶自身的强度高，但是胶粘性差，此时，脆性增加，可能会因拉伸或压缩而导致断裂和破坏。

作为凝胶中所含的多元醇，可以举出山梨糖醇、乙二醇、丙三醇等。这些多元醇优选在凝胶中的含量为25～65重量％，更优选35～60重量％。

凝胶中所含的多元醇的含量小于25重量％时，有时无法得到足够的胶粘力。另一方面，多元醇的含量超过65重量％时，多元醇会在凝胶的表面渗出，有时会导致胶粘力的降低。

凝胶中也可以含有电解质。作为电解质，可以举出锂、钠、钾等碱金属、镁、钙等碱土金属的卤化物、碳酸、硫酸、磷酸等的无机酸盐、有机酸盐、铵盐、以及咪唑鎓系；吡啶鎓系；脂环式胺系；脂肪族胺系；脂肪族鏻系等离子性液体等。由于在洁净室内，硫、硅、锡、卤素的离子会对器件和设备的制造成品率产生较坏影响，因此优选导电性高分子含水凝胶中的硫、硅以及锡元素、卤化物的离子浓度的总计在小于1000ppm的范围而基本上不含有。为了实现上述浓度，优选不使用电解质，或者在使用时从铵盐、有机酸盐、离子性液体等不含硫、硅、锡、卤化物的电解质中选择。电解质优选在凝胶中含量为0～13重量％，更优选0～6重量％。

电解质的含量大于13重量％时，由于与水的含量的关系，有时超过电离限度达到过饱和状态就变得浪费了。

作为上述导电性高分子含水凝胶的制造方法的一例，首先分别计量聚合性单体、交联性单体、多元醇以及电解质，在它们的混合物中加入规定量的水并搅拌，制成均匀的单体配合液。向其中适当加入聚合引发剂，按照常规方法使其发生聚合反应，由此可以得到导电性高分子含水凝胶。

另外，根据需要还可以在导电性高分子含水凝胶中适当添加防腐剂、杀菌剂、稳定化剂、香料、表面活性剂、着色剂等。

导电性胶粘剂层优选电阻率在5×10²～1×10⁶Ωcm的范围，更优选电阻率在1×10⁴～1×10⁶Ωcm的范围。若电阻率在该范围，则可以更加有效地除去所带的静电，可以提供满足IEC(国际电工委员会)标准的防静电用具。

进而，导电性胶粘剂层有效通过按照垂直剥离试验的使用了SUS板对的试验，具有的胶粘力在5～50N的范围，更优选胶粘力在10～35N的范围。此外，导电性胶粘剂层优选具有3～300cm²的面积。由于具有上述范围的胶粘力和面积，因此可以使防静电用具对皮肤的胶粘力大于端子部的接地布线保持力。其结果，可以维持防静电用具的防静电性。此外，由于面积在上述范围，因此可以防止导电性胶粘剂层的破碎以及破烂(可以提高耐久性)，可以反复使用防静电用具。此外，即使考虑因作业人员的汗液所致的胶粘性的降低，也可以确保足够的胶粘性。另外，在考虑贴附到手腕上时，面积的上限优选是300cm²。

此外，导电性胶粘剂层可以包含由PET树脂、聚乙烯、聚丙烯、尼龙、聚氨酯、玻璃纸等制成的无纺布或织布作为中间基材。导电性高分子含水凝胶由于容易破碎因此加工性不高，存在可以反复贴附的强度不足的情况。在这种情况下，通过使用中间基材，可以提高加工性，可以对导电性胶粘剂层赋予可以反复贴附的强度。

(防静电用具的平面形状)

对防静电用具的平面形状没有特别限定，但是可以采用适应贴附部位形状的形状。例如可以举出圆、椭圆、多角形(三角、四角等)、葫芦形、酒壶形、不定型等形状。在平面形状中，在存在角时，角优选是被弄圆的。在这些平面形状中，优选与衣服等接触时难以剥离的椭圆、葫芦形、酒壶形。进而，为了贴附在手腕或脚腕等弯曲面上，优选俯视时在防静电用具的多处具有左右对称的中间变细形状。

(其他)

防静电用具还可以具备用于保护使用前的导电性胶粘剂层的保护膜。对保护膜没有特别限定，可以使用胶粘剂用的公知保护膜。

进而，在将防静电用具贴附到皮肤上时或者剥离时，由于手指与导电性胶粘剂层接触，胶粘剂有时会附着在手指上。附着的胶粘剂会附着于器件或设备上，其结果是可能会使成品率降低。为了抑制这种胶粘剂的附着，优选在导电层的一部分设置非胶粘剂层。非胶粘剂层可以使用没有胶粘性的任何材料形成的层。非胶粘剂层可以具有绝缘性，也可以具有导电性。非胶粘剂层优选位于防静电用具的纵向的单侧或双侧。通过设置非胶粘剂层，可以防止胶粘剂附着在手指上。此外，在将使用后的用具贴附在保管用台纸上时，还具有可以用双手对位，容易贴附的优点。

(2端子型的防静电用具)

2端子型的防静电用具，除了具有导电层、端子部和导电性胶粘剂层分别为两个以外，均可以使用上述的防静电用具的构成。

一组的导电性胶粘剂层和导电层，与另一组的导电性胶粘剂层和导电层相互分离。这种分离若是两组具有电绝缘性，则对其结构没有特别限定。两组的分离可以借助空间来进行，也可以借助绝缘部件来进行。前者具有可以廉价地提供防静电用具的优点，后者具有能够比前者更可靠地确保两组的绝缘性的优点。在借助空间进行分离时，优选以即使导电性胶粘剂层因反复使用而发生变形仍可以保持绝缘性的程度将两组分开。具体而言，优选两组分开为导电性胶粘剂层厚度的两倍以上。此外，两组分开的距离上限是用具的防静电性不受阻碍的程度，例如为导电性胶粘剂层的厚度的300倍以下。将两组分离的空间或绝缘部件的形状可以是直线状也可以是曲线状，还可以是直线和/或曲线的组合。

关于构成两组的端子部的位置，只要是能保持两组的绝缘性，就没有特别限定。如果考虑到与导电性按扣的连接，则优选在尽可能接近的位置设置端子部。例如，可以是在俯视时在用具的纵向和横向并列地设置端子部。

(监控方法)

对使用本发明的防静电用具的带电状态的监控方法没有特别限定，可以使用任何公知方法。例如，可以举出采用具有带电量检测传感器、放大器、运算部、接地部、警报器等元件组成的电路的监控器的方法。例如，可以由带电量检测传感器检测带电量，将检测信号用放大器放大后送到运算部，在运算部中检测到带电异常时由警报器发出警告。此外，带电还可以借助接地部向外部逃逸。

实施例

实施例1

图1(a)～(c)和图2中示出实施例1的防静电用具的示意图。图1(a)是实施例1的防静电用具的俯视示意图，图1(b)是实施例1的防静电用具的后视示意图，图1(c)是实施例1的防静电用具的I-I线的剖视示意图，图2是图1(c)的端子部的放大示意图。此外，在图1(a)～(c)和图2中，参考符号1为支承部件，1a为软质聚乙烯层，1b为聚酯膜，2为导电层，3为端子部，3a为导电性按扣，3b为导电部，4为覆盖层，5为导电性胶粘剂层，6为中间基材，7为非胶粘剂层，8为保护膜，3a1为导电性按扣的凸部，3a2为导电性按扣的凹部，3a3为导电性按扣的凸缘部，3b1为导电部的凸部，3b2为导电部的凸缘部。

如图1(a)和图1(b)所示，防静电用具是角部带有圆弧的形状，具有在纵向上形成有成为捏手部的凸部的葫芦形的平面形状。此外，如图1(c)所示，在捏手部层叠有非胶粘剂层。

图示的防静电用具以以下方式形成。

首先，在厚50μm的聚酯膜1b上，胶粘层压厚度为100μm的软质聚乙烯层1a，由此得到支承部件1。得到的支承部件1具备所需的表面平滑性、强度以及柔软性。此外，支承部件1为难以产生尘埃的结构。

然后，采用丝网印刷法在聚酯膜1b上涂布碳墨并使其干燥，得到厚10μm的导电层2。

进而，将具有由SUS316L形成的凸部3a1、凹部3a2和凸缘部3a3的导电性按扣3a以凸缘部3a3在下的方式设置在支承部件的表面。接着，自导电层2侧开始，使具有由SUS316L形成的凸部3b1和凸缘部3b2的导电部3b以其凸部3b1贯穿支承部件，并且自导电性按扣3a的凸缘部3a3侧使其嵌入导电性按扣3a的凹部3a2中(铆接)，由此将两者卡定(参照图2)。另外，导电性按扣3a的高为3mm、厚为0.3mm，下面具有直径10mm的圆形凸缘部。导电部3b的高为4.2mm，下面具有为直径10mm的圆形且厚度为0.3mm的凸缘部。

接着，在导电部3b的凸缘部3b2下面贴附了直径15mm的聚酯树脂制绝缘带作为覆盖层4。

此外，在导电层2上的一个端部通过贴附厚度100μm的聚酯树脂制绝缘带，由此形成了成为捏手部的非胶粘剂层7(图1(b)和1(c))。

之后，将导电性胶粘剂层(积水化成品工业公司制Technogel，电阻率1×10⁵Ωcm)5以非胶粘剂层7露出的方式贴附在导电层2侧，其中上述导电性胶粘剂层由20重量％的丙烯酸系树脂交联体、18重量％的离子交换水、61.85重量％的丙三醇、0.15重量％的防腐剂形成，是包含尼龙制织布作为中间基材6的导电性高分子含水凝胶制导电性胶粘剂层。

另外，上述导电性高分子含水凝胶中的硫、硅和锡元素与卤化物(卤化物、溴化物)的离子的浓度总计为41.2ppm。该浓度的测定是通过荧光X射线分析法和离子色谱法来进行的。具体而言，按照测定对象，用以下方法来测定。

<硫、硅、锡>

使用荧光X射线分析装置(Rigaku公司制RIX-2100)，以分析直径10mmφ对成为试样的防静电用具的各部件进行阶次(order)分析，由此对上述元素进行定量。此外，当防静电用具具备含有大量水分的导电性胶粘剂层时，将导电性胶粘剂层用聚丙烯膜保护后进行阶次分析。

<卤化物>

用燃烧管式空气法使试样燃烧，用3％过氧化氢水吸收产生的气体。通过离子色谱法对吸收液中的卤化物离子进行测定。

接着，在导电性胶粘剂层5上贴附保护膜8，进而，剪裁成图1(a)和1(b)所示的形状，得到实施例1的防静电用具。所得的防静电用具的导电性胶粘剂层的面积是30cm²(总面积的95％)。

(评价)

(1)得到的防静电用具的自不锈钢板的抗拉强度为35.5N(自皮肤的抗拉强度的测定不均会增大，但作为参考值是13～28N)。此外，至接地布线从导电性按扣脱落为止的抗拉强度是6N。从该结果可知，关于该防静电用具，接地布线会在由皮肤剥下之前脱落。

另外，就抗拉强度而言，是在SUS304不锈钢板上贴附实施例的图1(a)所示的防静电用具的凝胶面，在约10秒后用专门夹具夹入防静电用具的按扣部，用Tensilon(Orientec公司制RTE-210型)以300mm/min的速度在垂直方向进行拉伸时的最大强度。

(2)包括防静电用具在内的人体电阻值的初始值是1.5MΩ，即使在反复穿脱200次之后仍为1.5MΩ。

另外，电阻值如下测定。将防静电用具贴附到手腕上，10秒后将市售的Ground Cord(3M公司制2310)和端子部连接。电阻值是用手指触碰腕带测试仪(3M公司制747)来测定的。穿脱是通过在测定后将防静电用具剥下，五分钟后再次贴附在相同位置而进行的。

(3)对于人体带电压而言，通过直到穿脱次数200次为止的测定，确认了维持在0V。

另外，人体带电压通过JIS L1023中的方法来测定，具体而言，将静电测定器(西西帝(Shishido)静电气公司制DS3)的传感器设置在人体带电测定用荷极板上测定。贴附时间和穿脱的测定条件与上述电阻值的测定同样。

(4)确认了逸散粉尘在未使用或者反复贴附皮肤200次后，0.1μm以上的粒子为5～17个/立方英尺(约28.3升)。

另外，逸散粉尘的测定根据JIS B9921中的方法来测定。具体而言，颗粒计数器(Transtech公司制Model 2100)，双手持试样的两端一分钟(相当于1立方英尺量)，交替每次约50mm向对象移动(反复折曲)，通过从设备吸引口吸引产生的尘埃来测定。

实施例2

图3(a)～(e)中示出实施例2的2端子型的防静电用具的示意图。图3(a)是实施例2的防静电用具的俯视示意图，图3(b)是表示实施例1的防静电用具的导电层的配置的图。图3(b)中斜线部是导电层，在中央附近存在S字形的未形成导电层的部分a。图3(c)表示层叠了覆盖层和非胶粘剂层的状态的图。图3(d)表示层叠了导电性胶粘剂层的状态的图。图3(d)中，存在未形成导电性胶粘剂层的部分b。图3(e)是实施例2中的防静电用具的I-I线的剖视示意图。实施例2的防静电用具的端子部具有图2的放大图所示的结构。此外，图3(a)～(e)中的参照符号所示的部件与图1(a)～(c)中的参考符号所示的部件为相同种类。

如图3(a)～(d)中所示，防静电用具是角部带有适度圆弧的形状，具有在纵向的一方形成了成为捏手部的凸部的酒壶形的平面形状。此外，如图3(c)和(d)所示，捏手部层叠有非胶粘剂层7。

图示的防静电用具如下形成。

首先在厚50μm的聚酯膜1b上，胶粘层压厚度100μm的软质聚乙烯层1a，由此得到支承部件1。得到的支承部件1具备所需的表面平滑性、强度以及柔软性。此外，支承部件1为难以产生尘埃的结构。

然后，采用丝网印刷法在聚酯膜1b上涂布碳墨并使其干燥，得到厚10μm的相互分离的两个导电层2。两个导电层的间距是5mm。

进而，具有由SUS316L形成的凸部3a1、凹部3a2和边缘部3a3的导电性按扣3a，以边缘部3a3在下的方式在支承部件的表面，分别在两个导电层2上各设置一个。接着，自导电层2侧开始，使具有由SUS316L形成的凸部3b1和凸缘部3b2的导电部3b以其凸部3b1贯穿支承部件，并且自导电性按扣3a的凸缘部3a3侧使其嵌入导电性按扣3a的凹部3a2中(铆接)，由此将两者卡定(参照图2)。另外，导电性按扣3a的高为3mm、厚为0.3mm，下面具有直径10mm的圆形凸缘部。导电部3b的高为4.2mm，下面具有为直径10mm的圆形且厚度为0.3mm的凸缘部。

接着，在导电部3b的凸缘部3b2下面以覆盖凸缘部3b2和未形成导电层的部分整体的方式，贴附了宽15mm的聚酯树脂制绝缘带作为覆盖层4。

此外，在作为捏手部的导电层2上的部分贴附厚度100μm的聚酯树脂制绝缘带，形成了非胶粘剂层7(图3(c)和3(d))。

之后，将导电性胶粘剂层(积水化成品工业公司制Technogel，电阻率1×10⁴Ωcm)5以非胶粘剂层7露出、在覆盖层4的中央部分离的方式粘帖在两个导电层2的每层上，且每个导电层2上各贴附一层，其中上述导电性胶粘剂层由20重量％的丙烯酸系树脂交联体、18重量％的离子交换水、61.85重量％的丙三醇、0.15重量％的防腐剂形成，是包含尼龙制织布作为中间基材6的导电性高分子含水凝胶制导电性胶粘剂层。

另外，上述导电性高分子含水凝胶中的硫、硅和锡元素与卤化物(卤化物、溴化物)的离子的浓度总计为6.8ppm。该浓度的测定与实施例1同样，按照荧光X射线分析法和离子色谱法来进行。

接着，在导电性胶粘剂层5上贴附保护膜8，进而剪裁成如图3(a)和3(b)所示的形状，得到实施例1的防静电用具。所得的防静电用具的导电性胶粘剂层的面积是36cm²(总面积的93％)。

(评价)

(1)对于得到的防静电用具而言，其自一个端子的不锈钢板的抗拉强度为37.5N(自皮肤的抗拉强度的测定不均会增大，但作为参考值是13～28N)。此外，至接地布线从导电性按扣脱落为止的抗拉强度是6N。从该结果可知，就该防静电用具而言，接地布线会在由皮肤剥下之前脱落。

另外，抗拉强度与实施例1同样地测定。

(2)包括防静电用具在内的人体电阻值的初始值是1.3MΩ，即使在反复穿脱200次之后仍为1.3MΩ。

另外，电阻值与实施例1同样地测定。

(3)对于人体带电压而言，通过直到穿脱次数200次为止的测定，确认了维持在0V。另外，人体带电压与实施例1同样地测定。

(4)确认了逸散粉尘在未使用或者反复贴附皮肤200次后，0.1μm以上的粒子为5～18个/立方英尺(约28.3m³)。

另外，逸散粉尘与实施例1同样地测定。

Claims

1.一种防静电用具，其中，具备：

支承部件、

在所述支承部件的至少一面侧形成的导电层、

下端具有凸缘部且以所述凸缘部与所述导电层的一面相接的方式贯穿所述支承部件的端子部、

覆盖所述凸缘部的整个下面的覆盖层、以及

在所述覆盖层和所述导电层上层叠的导电性胶粘剂层，

其中，所述导电性胶粘剂层的电阻率在5×10²～1×10⁶Ωcm的范围。

2.一种防静电用具，其中，具备：

支承部件、

在所述支承部件的至少一面侧形成且相互分离的两个导电层、

下端具有凸缘部且以所述凸缘部与所述两个导电层的每个的一面分别相接的方式贯穿所述支承部件的两个端子部、

覆盖所述凸缘部的整个下面的覆盖层、以及

在所述覆盖层和所述两个导电层上层叠且相互分离的两个导电性胶粘剂层，

3.根据权利要求1所述的防静电用具，其中，所述导电性胶粘剂层是由导电性高分子含水凝胶形成的层。

4.根据权利要求1所述的防静电用具，其中，所述导电性胶粘剂层的表面积为3～300cm²。

5.根据权利要求1所述的防静电用具，其中，所述导电性胶粘剂层是由基本上不含硫、硅和锡元素与卤化物的离子且它们的浓度小于1000ppm的导电性高分子含水凝胶形成的层。

6.根据权利要求1所述的防静电用具，其中，所述防静电用具根据JIS B9921的测定法得到的0.1μm以上的尘埃的量为100个/立方英尺以内。

7.根据权利要求1所述的防静电用具，其中，所述端子部由导电性按扣和导电部构成，所述导电性按扣具有凸部、与凸部相对应的凹部以及在凸部下端的凸缘部，所述导电部具有与所述导电性按扣的凹部嵌合且通过铆接而能将导电性按扣卡定的凸部以及在凸部下端的凸缘部。

8.根据权利要求1所述的防静电用具，其中，所述防静电用具是用于防止作业人员在对半导体器件、半导体器件搭载电路、信息记录设备、粉尘及化学物质进行处理作业时带上静电的用具。

9.根据权利要求1所述的防静电用具，其中，所述支承部件由选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、尼龙、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、天然橡胶、异戊二烯橡胶、丁二烯橡胶、硅酮橡胶、苯乙烯-丁二烯橡胶中的材料形成，具有对粘附面的追随性。

10.根据权利要求2所述的防静电用具，其中，所述两个导电层分开的距离为导电性胶粘剂层厚度的2倍以上。