CN101629865A - 激光动平衡调整方法及其装置 - Google Patents

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Abstract

本发明激光动平衡调整方法及其装置,利用激光调整回转体工件的动平衡,具体通过振动传感器和位置传感器检测工件不平衡位置,然后激光系统射出激光束,通过振镜系统与平场镜对不平衡位置进行激光切除,本发明通过激光的非接触加工性能对工件进行动平衡调整,由于激光开通及关闭的延时很短,可以实现在高速运转的回转体工件上进行在线的调整,且通过振镜系统与平场镜来改变激光光路的方法,振镜系统的焦距较大,平场镜的速度高,可以实时对回转体工件进行跟踪加工,且平场聚焦镜的焦点是一个平面,在此平面内激光具有极高的能量,适合高速加工。

Description

激光动平衡调整方法及其装置
【技术领域】
本发明涉及一种激光动平衡调整装置及其方法,尤指利用激光的非接触加工性能对回转体工件进行动平衡调整。
【背景技术】
机械运动时,各运动构件由于制造、装配误差,材质不均等原因造成质量分布不均,质心做变速运动将产生大小及方向呈周期性变化的惯性力。由于回转体结构不对称、材质不均匀、制造和安装误差等原因,均会引起偏心(质心偏离形心),由于偏心将导致回转体运转时产生离心惯性力,从而使回转体处于不平衡状态,需在回转体上加减配重,以改善回转体的质量分布,从而保证回转体在运转时由不平衡而引起的振动或振动力减小到允许范围内,现有技术采用平衡仪或平衡机来测量或实验回转体的平衡,在被测工件或被测机构不平衡时,从平衡仪或平衡机上取下该被测工件或被测机构,然后利用辅助设备切除或增加材料或者利用人工如磨沙纸对准工件或机构进行磨擦以切除或增加材料的方法来调节该工件或机构的平衡。
传统意义上的动平衡调节是先测量动平衡参数,然后利用辅助设备切除或增加材料的方法来调节。由于调整部分是接触式加工,所以无法做到实时调节,而且需要多次调节,易受人为操作影响,生产效率低,可靠性及精度都不高;另,由于调整部分是接触式加工,而接触式加工必然对材料产生机械变形,并施加给材料一定的应力,加工变形量大,只能加工普通材料,而不能加工精度较高的材料。
比较先进的激光调节动平衡的思想早在1977年就有人提出来了,具体参见美国第4037076号专利,该专利采用与旋转体同步转动的棱镜改变光路,实现动态的动平衡调节,但由于旋转体与棱镜不在同一轴上,很难实现旋转体与棱镜同步转动(即:旋转体与棱镜相对静止);而且棱镜只能在一个圆周范围内扫描旋转体,不能做到全面调整旋转体的动平衡。
【发明内容】
本发明所欲解决的技术问题在于提供一种可以在线测量并可对回转体的动平衡进行调整、且调整精度高、效率高的激光平衡调整方法及其装置。
本发明所采用的技术方案是提供一种激光动平衡调整方法,该方法利用激光调整回转体工件的动平衡,其特征在于,该方法包括如下步骤:
一动力装置驱动工件作旋转运动;
至少一振动传感器侦测工件因不平衡产生的振动信号并传输给控制系统;
至少一位置传感器记录该振动信号所对应的位置并发出位置信号传输给控制系统;
控制系统根据振动信号和位置信号,分析工件的动平衡特性,并计算出工件需要加工的位置及激光束的能量,同时,将加工的位置信号传输给振镜控制板,激光束的能量信号传输给激光系统;
至少一振镜控制板接收加工的位置信号,根据加工的位置信号同时控制X轴振镜与Y轴振镜的精确转动,实现激光束的两维精确定位在加工位置上;
激光系统发射激光束,激光束射入X轴振镜与Y轴振镜后,传输至聚焦面为平面的平场镜;
平场镜聚焦到工件的表面,激光束的焦点切除加工位置的表面。
本发明所采用的另一技术方案是提供一种激光动平衡调整置,通过激光调整回转体工件的动平衡,其包括:一控制系统、驱动工件作旋转运动的一动力装置;侦测工件因不平衡产生振动信号的至少一振动传感器,并将该振动信号传输给控制系统;记录振动在工件上所对应的位置信号的至少一位置传感器,并将该位置信号传输给控制系统;与控制系统连接的至少一激光系统;还包括:与控制系统连接并与激光系统对应的至少一光路控制系统,该光路控制系统包括振镜系统与聚焦面为平面的平场镜,振镜系统包括接收加工位置信号的振镜控制板、及由该振镜控制板控制的X轴振镜与Y轴振镜,其中,激光系统发射激光束,激光束射入X轴振镜与Y轴振镜后,传输至平场镜;平场镜聚焦到工件的表面,激光束的焦点切除加工位置的表面。
本发明激光动平衡调整方法及其装置,通过激光的非接触加工性能对工件进行动平衡调整,由于激光开通及关闭的延时很短,可以实现在高速运转的回转体工件上进行在线的调整,且通过振镜系统与平场镜来改变激光光路的方法,振镜系统的焦距较大,平场镜的速度高,可以实时对回转体工件进行跟踪加工,且平场聚焦镜的焦点是一个平面,在此平面内激光具有极高的能量,适合高速加工,本发明的优点如下:
1.生产效率高,在高精度的调整中,由于不需要多次在工件装卸及记录,所以可以大大提高生产效率。
2.可靠性高,由于在线一次性将工件安装并夹紧完成调整,便于自动化,也消除了人为因素造成的失误。
3.精度高,由于在线测量和在线调整,不需要人工干预,很容易做到精确定位调整,并形成闭环调节以获得很高的品质。
4.可加工普通工艺很难加工的工件,而且加工变形小。
【附图说明】
图1为本发明激光动平衡调整装置的工作示意图;
图2为振镜系统与平场镜的工作原理图。
【具体实施方式】
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明。
请参阅图1和图2为本发明激光动平衡调整装置第一实施例的结构示意图,本发明的激光动平衡调整装置100是一种利用激光非接触加工性能调整工件10的动平衡,该工件10为回转体,具体可为轴类工件、盘类工件、曲轴类工件等回转体类工件,例如电机转子、离心扇叶、风轮、飞轮、皮带轮、制动鼓、卧式数控机床、数控机床、偏心轮等,这些回转件工件10的质量分布,使回转件工作时离心力系达到平衡,以消除附加动压力,尽可能减轻有害的机械振动。
本发明的激光动平衡调整装置100包括:装夹工件10的轴11,该轴11通过一联轴器12固定在一动力装置13上,该动力装置13通过第一数据线31与电机装置14连接,以提供动力装置13驱动工件10旋转的能量;轴11由两支撑装置15支撑,该支撑装置15固定在调整装置16,通过调节支撑装置15在调整装置16上相对高度,从而可调节工件10在轴11上的相对位置,即:工件10通过连轴器12固定在动力装置13上,该轴11与联轴器12器连接,动力装置13驱动联轴器12带动轴11转动,该轴11带动工件旋转。
激光动平衡调整装置100还包括:两振动传感器17分别位于支撑装置15上,以便侦测因工件10旋转时动平衡不好引起轴11振动,轴11振动带动支撑装置15振动,振动传感器17位于支撑装置15上可侦测支撑装置15的振动,即:当工件10上各质量的离心力的向量和不等于零,且离心力所引起的力偶矩的向量和也不等于零,工件10将产生振动,振动传感器17侦测工件10因不平衡产生的振动信号并通过第二数据线32传输给控制系统18,该控制系统18实际为计算机。
激光动平衡调整装置100还包括:位于轴11附近且固定在支撑装置15上的位置传感器19,该位置传感器19记录该振动信号所对应的位置并通过第三数据线33发出位置信号传输给控制系统18。
控制系统18接收到振动信号和位置信号后,分析工件10的动平衡特性,同时计算出工件10需要加工的位置及激光束的能量。
激光动平衡调整装置100还包括:一激光系统20,该激光系统20通过第四数据线34与第五数据线35分别与电机装置14及控制系统18连接,且激光系统20接收到控制系统18发出的激光束的能量信号。
该激光系统20包括两个激光头或激光器20,该激光头或激光器所采用的激光为任意波长,且激光器20本身在Q开关作用下也有极快的开关特性,足够在高速情况下实现精确控制,而且可以在小功率情况下得到极高的巨脉冲,提高加工效率。
同时参阅图2,激光动平衡调整装置100还包括:与控制系统18通过第六数据线36连接的两光路控制系统21,该光路控制系统21包括振镜系统22与聚焦面为平面的平场镜23,振镜系统22包括接收加工位置信号的振镜控制板221、及由该振镜控制板221控制的X轴振镜222与Y轴振镜223,其中,平场镜23的聚焦面为平面,这样面扫面工件10的范围更广;X轴振镜222与Y轴振镜223在空间中相互垂直并带有激光反射镜片,控制系统18将加工的位置信号传输给振镜系统22的振镜控制板221,振镜控制板221控制X轴振镜222与Y轴振镜223两维精确定位,使激光束进入振镜系统22后,通过平场镜23聚焦到工件表面,用激光的焦点切除工件不平衡的表面,同时反馈工件的不平衡状况实时指导激光加工,直到达到要求为止,即直到检测到工件10的各质量的离心力的向量和等于零,且离心力所引起的力偶矩的向量和也等于零为止。
工作时,本激光动平衡按照下述方法进行,该方法包括如下步骤:
首先根据激光器20与光路控制系统21的高度,调整好工件10在支撑装置15上的相对高度;接着开启电机装置14,使动力装置13驱动工件10作旋转运动;此时振动传感器17侦测工件因动平衡不好产生的振动信号并传输给控制系统18;同时位置传感器19记录该振动信号所对应的位置并发出位置信号传输给控制系统18;控制系统18根据振动信号和位置信号,分析工件10的动平衡特性,并计算出工件10需要加工的位置及激光束的能量,同时,将加工的位置信号传输给振镜控制板221,激光束的能量信号传输给激光系统20;接着振镜控制板221接收加工的位置信号,根据加工的位置信号同时控制X轴振镜222与Y轴振镜22的精确转动,实现激光束的两维精确定位在加工位置上;激光系统20发射激光束,激光束射入X轴振镜222与Y轴振镜223后,传输至聚焦面为平面的平场镜23;平场镜23聚焦到工件10的表面,激光束的焦点切除加工位置的表面。
本发明中在激光器20上使用高功率脉冲激光的效果比较好,这样会短时间内蒸发材料,不致材料发生热变形;且如果需要切除材料比较多,本发明最好选用焦点比较垂直于工件10表面的聚焦镜23,使聚焦镜23的射出角小于5度,这样在打深后不会造成加工点周围质量不均匀。
本发明也可精确调节偏心量的成都
本发明激光动平衡调整方法及其装置,通过激光的非接触加工性能对工件进行动平衡调整,由于激光开通及关闭的延时很短,可以实现在高速运转的回转体工件上进行在线的调整,且通过振镜系统与平场镜来改变激光光路的方法,振镜系统的焦距较大,平场镜的速度高,可以实时对回转体工件进行跟踪加工,且平场聚焦镜的焦点是一个平面,在此平面内激光具有极高的能量,适合高速加工,本发明的优点如下:
5.生产效率高,在高精度的调整中,由于不需要多次在工件装卸及记录,所以可以大大提高生产效率。
6.可靠性高,由于在线一次性将工件安装并夹紧完成调整,便于自动化,也消除了人为因素造成的失误。
7.精度高,由于在线测量和在线调整,不需要人工干预,很容易做到精确定位调整,并形成闭环调节以获得很高的品质。
8.可加工普通工艺很难加工的工件,而且加工变形小。

Claims (10)

1.一种激光动平衡调整方法,该方法利用激光调整回转体工件的动平衡,其特征在于,该方法包括如下步骤:
一动力装置驱动工件作旋转运动;
至少一振动传感器侦测工件因不平衡产生的振动信号并传输给控制系统;
至少一位置传感器记录该振动信号所对应的位置并发出位置信号传输给控制系统;
控制系统根据振动信号和位置信号,分析工件的动平衡特性,并计算出工件需要加工的位置及激光束的能量,同时,将加工的位置信号传输给振镜控制板,激光束的能量信号传输给激光系统;
至少一振镜控制板接收加工的位置信号,根据加工的位置信号同时控制X轴振镜与Y轴振镜的精确转动,实现激光束的两维精确定位在加工位置上;
激光系统发射激光束,激光束射入X轴振镜与Y轴振镜后,传输至聚焦面为平面的平场镜;
平场镜聚焦到工件的表面,激光束的焦点切除加工位置的表面。
2.如权利要求1所述的激光动平衡调整方法,其特征在于:所述平场镜的焦点垂直于加工工件位置的表面。
3.如权利要求1所述的激光动平衡调整方法,其特征在于:所述振镜控制板、X轴振镜及Y轴振镜组成振镜系统,且X轴振镜与Y轴振镜在空间内相互垂直。
4.如权利要求1所述的激光动平衡调整方法,其特征在于:工件通过一连轴器固定在动力装置上,且工件固定一轴上,该轴与联轴器连接,动力装置驱动联轴器带动轴转动,该轴带动工件旋转。
5.如权利要求4所述的激光动平衡调整方法,其特征在于:所述轴由至少一支撑装置支撑,振动传感器固定在支撑装置上,当工件转动其动平衡不好,引起轴振动,轴振动支撑装置振动,并由振动传感器记录该振动信号。
6.一种激光动平衡调整装置,通过激光调整回转体工件的动平衡,其特征在于,其包括:
一控制系统;
驱动工件作旋转运动的一动力装置;
侦测工件因不平衡产生振动信号的至少一振动传感器,并将该振动信号传输给控制系统;
记录振动在工件上所对应的位置信号的至少一位置传感器,并将该位置信号传输给控制系统;
与控制系统连接的至少一激光系统;及
与控制系统连接并与激光系统对应的至少一光路控制系统,该光路控制系统包括振镜系统与聚焦面为平面的平场镜,振镜系统包括接收加工位置信号的振镜控制板、及由该振镜控制板控制的X轴振镜与Y轴振镜;其中,
激光系统发射激光束,激光束射入X轴振镜与Y轴振镜后,传输至平场镜;平场镜聚焦到工件的表面,激光束的焦点切除加工位置的表面。
7.如权利要求6所述的激光动平衡调整方法,其特征在于:所述平场镜的焦点垂直于加工工件位置的表面。
8.如权利要求6所述的激光动平衡调整方法,其特征在于:所述平场镜的射出角小于5度。
9.如权利要求6所述的激光动平衡调整装置,其特征在于:工件通过一连轴器固定在动力装置上,且工件固定一轴上,该轴与联轴器连接,动力装置驱动联轴器带动轴转动,该轴带动工件旋转。
10.如权利要求9所述的激光动平衡调整装置,其特征在于:所述轴由至少一支撑装置支撑,振动传感器固定在支撑装置上,当工件转动其动平衡不好,引起轴振动,轴振动引起支撑装置振动,并由振动传感器记录该振动信号。
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Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102200484A (zh) * 2011-01-21 2011-09-28 深圳恒光机电有限公司 一种校准风扇动态平衡的方法及装置
CN103335782A (zh) * 2013-06-13 2013-10-02 苏州市丹纺纺织研发有限公司 一种织机轴位偏移监测系统
CN103824762A (zh) * 2013-12-12 2014-05-28 苏州德龙激光股份有限公司 激光退火装置
CN104493363A (zh) * 2015-01-28 2015-04-08 北京万恒镭特机电设备有限公司 激光去重装置及其方法
CN105108345A (zh) * 2015-09-21 2015-12-02 北京航天控制仪器研究所 一种激光精密去重系统及方法
CN105222959A (zh) * 2015-09-21 2016-01-06 天津职业技术师范大学 一种盘类工件加工中的不平衡量在线监控及去重方法
CN105738034A (zh) * 2014-12-12 2016-07-06 天津海鸥表业集团有限公司 激光校正摆轮重心偏移的平衡测量方法及测量切削装置
CN107702855A (zh) * 2017-11-08 2018-02-16 肇庆皈智能科技有限公司 一种基于动平衡参数计算激光的系统及其方法
CN108080786A (zh) * 2017-10-30 2018-05-29 北京航天控制仪器研究所 一种回转体动平衡校正装置
CN108161256A (zh) * 2017-10-30 2018-06-15 北京航天控制仪器研究所 回转体动平衡校正方法
CN109186861A (zh) * 2018-11-13 2019-01-11 哈尔滨朗格科技开发有限公司 用于车轮动平衡机上的车轮动不平衡点相位跟踪装置
CN110261035A (zh) * 2019-06-05 2019-09-20 江苏金喷灌排设备有限公司 多级自吸泵叶轮在线平衡装置
CN110411662A (zh) * 2019-08-09 2019-11-05 深圳市东维丰电子科技股份有限公司 扇叶平衡检测修正一体式设备
CN112012941A (zh) * 2019-05-31 2020-12-01 北京四海祥云流体科技有限公司 一种分子泵在线调试系统及调试方法
CN113231734A (zh) * 2021-04-23 2021-08-10 大族激光科技产业集团股份有限公司 激光光路校准方法、装置、存储介质和激光切割机
CN113814587A (zh) * 2021-11-22 2021-12-21 惠博新型材料有限公司 激光平衡调整装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2032893A1 (de) * 1970-07-02 1972-01-05 Hofmann Maschf Geb Verfahren und Vorrichtung zum Auswuchten von Rotoren
US4037076A (en) * 1975-12-18 1977-07-19 Teledyne Industries, Inc. Apparatus for balancing rotating bodies
CN2873397Y (zh) * 2005-10-10 2007-02-28 青岛弘国工贸有限公司 水松纸激光在线切割设备

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102200484A (zh) * 2011-01-21 2011-09-28 深圳恒光机电有限公司 一种校准风扇动态平衡的方法及装置
CN103335782B (zh) * 2013-06-13 2016-08-10 苏州市丹纺纺织研发有限公司 一种织机轴位偏移监测系统
CN103335782A (zh) * 2013-06-13 2013-10-02 苏州市丹纺纺织研发有限公司 一种织机轴位偏移监测系统
CN103824762A (zh) * 2013-12-12 2014-05-28 苏州德龙激光股份有限公司 激光退火装置
CN105738034B (zh) * 2014-12-12 2018-05-22 天津海鸥表业集团有限公司 激光校正摆轮重心偏移的平衡测量方法及测量切削装置
CN105738034A (zh) * 2014-12-12 2016-07-06 天津海鸥表业集团有限公司 激光校正摆轮重心偏移的平衡测量方法及测量切削装置
CN104493363A (zh) * 2015-01-28 2015-04-08 北京万恒镭特机电设备有限公司 激光去重装置及其方法
CN105222959A (zh) * 2015-09-21 2016-01-06 天津职业技术师范大学 一种盘类工件加工中的不平衡量在线监控及去重方法
CN105108345A (zh) * 2015-09-21 2015-12-02 北京航天控制仪器研究所 一种激光精密去重系统及方法
CN105222959B (zh) * 2015-09-21 2017-08-11 天津职业技术师范大学 一种盘类工件加工中的不平衡量在线监控及去重方法
CN108080786A (zh) * 2017-10-30 2018-05-29 北京航天控制仪器研究所 一种回转体动平衡校正装置
CN108161256A (zh) * 2017-10-30 2018-06-15 北京航天控制仪器研究所 回转体动平衡校正方法
CN107702855A (zh) * 2017-11-08 2018-02-16 肇庆皈智能科技有限公司 一种基于动平衡参数计算激光的系统及其方法
CN109186861A (zh) * 2018-11-13 2019-01-11 哈尔滨朗格科技开发有限公司 用于车轮动平衡机上的车轮动不平衡点相位跟踪装置
CN109186861B (zh) * 2018-11-13 2023-09-12 哈尔滨朗格科技开发有限公司 用于车轮动平衡机上的车轮动不平衡点相位跟踪装置
CN112012941A (zh) * 2019-05-31 2020-12-01 北京四海祥云流体科技有限公司 一种分子泵在线调试系统及调试方法
CN110261035A (zh) * 2019-06-05 2019-09-20 江苏金喷灌排设备有限公司 多级自吸泵叶轮在线平衡装置
CN110411662A (zh) * 2019-08-09 2019-11-05 深圳市东维丰电子科技股份有限公司 扇叶平衡检测修正一体式设备
CN113231734A (zh) * 2021-04-23 2021-08-10 大族激光科技产业集团股份有限公司 激光光路校准方法、装置、存储介质和激光切割机
CN113231734B (zh) * 2021-04-23 2024-06-04 大族激光科技产业集团股份有限公司 激光光路校准方法、装置、存储介质和激光切割机
CN113814587A (zh) * 2021-11-22 2021-12-21 惠博新型材料有限公司 激光平衡调整装置

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