CN101624694B - 靶材热处理方法 - Google Patents

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Abstract

一种靶材热处理方法，包括：提供靶材；加热装有细铁砂的铁质容器，所述细铁砂能包覆所述靶材；将所述靶材埋入装有细铁砂的铁质容器中，对所述靶材进行热处理。与现有技术相比，所述靶材热处理方法能够确保靶材均匀受热，实现其组织结构的均匀性，满足溅射要求。

Description

靶材热处理方法
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及靶材热处理方法。
背景技术
金属靶材的制作过程一般包括：熔炼、均匀化处理、塑性变形加工、热处理等步骤，在严格控制靶材纯度的基础上，通过选择不同的塑性变形加工、热处理条件，调整靶材的晶粒取向、晶粒尺寸等，最终满足溅射过程的要求。
特别地，热处理是靶材设计和加工过程中不可或缺的工艺，该工艺往往与塑性变形加工紧密结合，主要为了实现金属材料的再结晶，使得材料的组织均匀。以铝靶材的热处理为例，不同的热处理温度、保温时间、加热方式，可以获得不同的金属材料组织结构。同样，对于钛靶材也适用。
对于大型靶材(例如直径为300mm或300mm以上的靶材)而言，若采用传统工艺(例如将靶材置于热处理炉中)对靶材进行热处理，由于大型靶材的尺寸大，很难保证被处理的靶材均匀受热且温度稳定，使得所述靶材在直径和厚度方向上的组织结构会由于受热不均而导致不一致，这对于靶材溅射来说，具有很大的负面作用，甚至不能符合靶材溅射的要求。
而且，为保证靶材达到性能要求和质量稳定，需要选用升温速度快、保温效果好、室内温度均匀等性能良好的热处理装置，然而，性能良好的热处理装置的价格昂贵，导致生产成本增加。
发明内容
本发明的目的在于提供一种靶材热处理方法，解决现有技术中靶材在热处理工艺中因受热不均而导致组织结构不均匀，且生产成本高的问题。
为解决上述问题，本发明提供一种靶材热处理方法，包括：提供靶材；加热装有细铁砂的铁质容器，所述细铁砂能包覆所述靶材；将所述靶材埋入装有细铁砂的铁质容器中，对所述靶材进行热处理。
可选的，所述靶材为直径是300mm或300mm以上，厚度是30mm～100mm的靶材。
可选的，所述铁质容器为直径是500mm或500mm以上、高度是40mm或40mm以上的铁盆，所述铁盆中装入细铁砂的高度为30mm或30mm以上。
可选的，所述热处理的工艺参数为：加热温度为200℃～600℃，并在此温度下保温0小时～5小时。
可选的，所述靶材热处理方法还包括通过表面温度感测器感测所述靶材的加热温度。
可选的，所述表面温度感测器为热电偶。
可选的，所述靶材热处理方法还包括对所述热处理后的靶材进行冷却。
可选的，所述对所述热处理后的靶材进行冷却包括将所述靶材放入水中进行冷却。
可选的，所述加热铁质容器的装置和热处理的装置为热处理炉。
可选的，所述靶材在热处理之前已进行了塑性变形工艺。
与现有技术相比，上述实施例的靶材热处理方法通过加热铁质容器和细铁砂并将热量传导至靶材，由于靶材的周边是由细铁砂所包覆，使得靶材能均匀受热，确保靶材在组织结构上的均匀性，所述方法还具有以下优点：
将靶材置于已经预热的细铁砂环境中，相比于将靶材直接置于热处理装置中，加热速度快。
已经预热的细铁砂可用于连续加热批量的靶材，使得靶材批量生产的速度显著提高，缩短了靶材产品的制作周期。
将靶材埋入装有细铁砂的铁质容器中，相比于将靶材直接置于热处理装置中，加热的环境空间小，因而加热速度快，且利用保温，使得靶材的温度稳定。
靶材的周边是由细铁砂所包覆，使得靶材能均匀受热，由此可以降低对热处理装置的性能要求，进而降低生产成本。
用表面温度感测器感测靶材的实际升温效果，以适时对加热温度或保温时间作出调整，因此确保了热处理工艺的稳定性。
附图说明
图1为本发明实施例的靶材热处理方法的流程示意图；
图2至图4为本发明实施例靶材热处理方法的实施示意图。
具体实施方式
本发明实施例的靶材热处理方法利用装有细铁砂的铁质容器作为中间加热物，间接对靶材进行热处理，使埋入细铁砂的靶材均匀受热。
本发明实施例的靶材热处理方法如图1所示，包括：
步骤S11，提供靶材；
步骤S12，加热装有细铁砂的铁质容器，所述细铁砂能包覆所述靶材；
步骤S13，将所述靶材埋入装有细铁砂的铁质容器中，对所述靶材进行热处理。
下面结合附图对上述图1中所示的热处理方法进行详细说明。
首先执行步骤S11，提供靶材10，如图2所示。在本实施例中，所述靶材10可以是铝或铝合金，也可以是其他金属或合金，例如，钛或钛合金。在本实施例中，所述靶材为直径是300mm或300mm以上的大型靶材。
另外，在执行步骤S11之前，靶材10已进行了塑性变形工艺。所述塑性变形工艺，可以通过例如锻压机、空气锤或压延机等塑性加工设备来进行，如此就可以精确地控制靶材的塑性变形，制作出符合塑性变形工艺要求的靶材，实现降低靶材晶粒尺寸大小、细化晶粒和降低靶材表面粗糙度的目的。经过塑性变形工艺后的靶材的厚度为30mm～100mm。
接着执行步骤S12，加热装有细铁砂的铁质容器，所述细铁砂能包覆所述靶材。请参考图3，本实施例中，步骤S12具体包括：准备直径是500mm或500mm以上、高度是40mm或40mm以上的铁盆11；装入能包覆所述靶材的细铁砂12，如装入30mm或30mm以上高度的细铁砂；设置热处理炉20的加热温度，如200℃～600℃；将装有细铁砂12的铁盆11放入热处理炉20中进行加热，热处理炉20具有腔室，铁盆11可以放置在能均匀受热的区域，例如放置在热处理炉20的腔室所形成空间的几何中心区域。
接着执行步骤S13，将所述靶材10埋入装有细铁砂12的铁质容器(即铁盆)11中，对所述靶材10进行热处理。请参考图4，在本实施例中，步骤S13具体包括：
当装有细铁砂12的铁盆11加热至设置的温度后，将靶材10埋入装有细铁砂12的铁盆11中，具体是将靶材10以一定的深度埋入细铁砂12中，使得靶材10的周边都能被细铁砂12所包覆，靶材10可以放置在能均匀受热的区域，例如放置在铁盆11的容置空间的中心区域。
接着，将装有靶材10和细铁砂12的铁盆11放入热处理炉20中，铁盆11可以放置在能均匀受热的区域，例如放置在热处理炉20的腔室所形成空间的几何中心区域。
然后，设置热处理的工艺参数，通过操作热处理炉对腔室中装有靶材10和细铁砂12的铁盆11进行加热，对靶材10进行热处理。利用铁盆11和细铁砂12良好的导热性能，将其作为中间加热物，通过加热铁盆11和细铁砂12并由其进行导热，间接对靶材10加热，进行热处理。
在本实施例中，铁盆和细铁砂是热的良导体，具有耐高温、良好的导热性能和热稳定性的特点，利用这些特点，就可以将铁盆11和细铁砂12放置于加热源(如本实施例的热处理炉20)与被加热物(如本实施例的靶材10)之间，作为高温的间接加热材料。
由于靶材10的周边是由细铁砂12所包覆，故通过加热铁盆11和细铁砂12并将热量传导至靶材10，可以使得靶材10能均匀受热，确保靶材在组织结构上的均匀性。本实施例中，细铁砂12已经预先加热至设置的温度，并且铁盆11使得细铁砂12紧密地包覆靶材10，因此，由细铁砂12所包覆的靶材10可以迅速地升温。
实践表明，晶粒尺寸及其取向对靶材的性能有很大的影响，主要表现在：(1)随着晶粒尺寸的增加，薄膜沉积速率区域降低；(2)在合适的晶粒尺寸范围内，靶材使用时的等离子体阻抗较低，薄膜沉积速率稿和薄膜均匀性好；(3)在合适的晶粒尺寸范围内，晶粒取向越均匀越好；(4)当靶材晶粒尺寸超过合适的晶粒尺寸范围时，为提高靶材的性能，必须严格控制靶材的晶粒取向。因此，靶材的晶粒尺寸和晶粒取向需要通过热处理工艺加以调整和控制，保证靶材在组织结构上的均匀性。
在本实施例中，所述热处理的工艺参数具体为：加热温度为200℃～600℃，并在此温度下保温0小时～5小时。加热温度过低，靶材中晶粒再结晶不充分；加热温度过高，靶材中晶粒容易长大，尺寸会超范围；保温时间过短，靶材中晶粒受热不够，再结晶不充分；保温时间过长，靶材中晶粒容易长大，尺寸会超范围。在实际应用中，可以在进行热处理之前预先设定上述各参数的具体数值，其中，所述加热温度和保温时间可以按照一定的对应关系进行设定，例如200℃*5小时，400℃*2.5小时，或600℃*0小时等。
另外，在本实施例中，为确保加热温度的稳定性，本实施例还配置有用于感测靶材温度的表面温度感测器(未标示)，所述表面温度感测器可以是热电偶，可以在靶材的边缘打孔，用来插热电偶以感测靶材的实际升温效果，当热电偶感测到靶材温度发生突变或超过规定范围时，能够即时予以显示当前温度数值甚至同时产生报警信息，以供适时对加热温度或保温时间作出调整，确保热处理工艺的稳定性。其中，所述调整可以具体包括例如调整(提高或降低)所述加热炉的加热温度、调整(延长或缩短)保温时间或调整靶材在细铁砂中的埋入位置等。
后续，在热处理之后，还可以包括对热处理后的靶材10进行冷却的步骤。所述冷却的步骤可以是将所述靶材放入水中进行冷却的水冷方式，但并不以此为限，也可以是风冷、空冷等方式。由于所述冷却工艺及其后续步骤与现有技术并无差异，为本领域技术人员所熟知，故在此不再赘述。
下面结合一个实例对本发明作进一步的介绍。
(1)提供经塑性变形工艺后的铝靶材。所述经过塑性变形工艺的铝靶材的直径为300mm，厚度为30mm，其具有较佳晶粒大小的组织结构。
(2)准备直径是500mm、高度是40mm的铁盆，装入30mm高度的细铁砂。
(3)设置热处理炉的加热温度为400℃，将装有细铁砂的铁盆放入热处理炉中进行加热，热处理炉具有腔室，铁盆放置在热处理炉的腔室所形成空间的几何中心区域。
(4)当装有细铁砂的铁盆加热至400℃后，将铝靶材埋入装有细铁砂的铁盆中，铝靶材放置在铁盆的容置空间的中心区域，并使铝靶材完全没入细铁砂中。
(5)，将装有靶材和细铁砂的铁盆放入热处理炉中，铁盆放置在热处理炉的腔室所形成空间的几何中心区域。
(6)，设置热处理的加热温度为400℃、保温时间为2.5小时，通过操作热处理炉，加热腔室中装有靶材和细铁砂的铁盆并由其进行导热，间接对靶材加热，进行热处理。
透过上述各步骤，最终获得符合溅射要求的大型靶材。
上述实施例的靶材热处理方法将铁质容器及装在其中的细铁砂作为中间加热物，间接对靶材进行热处理，使埋入细铁砂的靶材均匀受热，与现有技术相比，具有以下优点：
靶材的周边是由细铁砂所包覆，故通过加热铁质容器和细铁砂并将热量传导至靶材，使得靶材能均匀受热，确保靶材在组织结构上的均匀性。
细铁砂已经预先加热至设置的温度，使得细铁砂所包覆的靶材可以迅速地升温，即将靶材置于已经预热的细铁砂环境中，相比于将靶材直接置于热处理装置中，加热速度快。
已经预热的细铁砂可用于连续加热批量的靶材，使得靶材批量生产的速度显著提高，缩短了靶材产品的制作周期。
将靶材埋入装有细铁砂的铁质容器中，相比于将靶材直接置于热处理装置中，加热的环境空间小，因而加热速度快，且利用保温，使得靶材的温度稳定。
通过加热铁质容器和细铁砂并将热量传导至靶材，由于靶材的周边是由细铁砂所包覆，使得靶材能均匀受热，因此只需选用尺寸合适、价格较低的普通热处理装置就可以进行高效率的热处理工艺，即降低了对热处理装置的性能要求，进而降低了生产成本。
用表面温度感测器感测靶材的实际升温效果，以适时对加热温度或保温时间作出调整，因此确保了热处理工艺的稳定性。
综上所述，应用上述实施例的靶材热处理方法，可以获得符合性能要求和质量稳定的靶材；特别是对于大型靶材而言，在普通热处理装置中就可以完成高性能要求的靶材的热处理。
虽然本发明已以较佳实施例披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (9)

1.一种靶材热处理方法，其特征在于，包括：
提供靶材；
加热装有细铁砂的铁质容器，所述细铁砂能包覆所述靶材；
将所述靶材埋入装有细铁砂的铁质容器中，对所述靶材进行热处理，所述热处理的工艺参数为：加热温度为200℃～600℃，并在此温度下保温0小时～5小时。
2.根据权利要求1所述的靶材热处理方法，其特征在于，所述靶材为直径是300mm或300mm以上，厚度是30mm～100mm的靶材。
3.根据权利要求2所述的靶材热处理方法，其特征在于，所述铁质容器为直径是500mm或500mm以上、高度是40mm或40mm以上的铁盆，所述铁盆中装入细铁砂的高度为30mm或30mm以上。
4.根据权利要求1所述的靶材热处理方法，其特征在于，还包括通过表面温度感测器感测所述靶材的加热温度。
5.根据权利要求4所述的靶材热处理方法，其特征在于，所述表面温度感测器为热电偶。
6.根据权利要求1所述的靶材热处理方法，其特征在于，还包括对所述热处理后的靶材进行冷却。
7.根据权利要求6所述的靶材热处理方法，其特征在于，所述对所述热处理后的靶材进行冷却包括将所述靶材放入水中进行冷却。
8.根据权利要求1所述的靶材热处理方法，其特征在于，所述加热铁质容器的装置和热处理的装置为热处理炉。
9.根据权利要求1所述的靶材热处理方法，其特征在于，所述靶材在热处理之前已进行了塑性变形工艺。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102409147B (zh) * 2011-11-14 2013-12-11 余姚康富特电子材料有限公司 靶材热处理方法
CN103451586B (zh) * 2012-06-01 2015-12-09 宁波江丰电子材料股份有限公司 钴靶材热处理方法
CN106702120B (zh) * 2015-07-13 2018-08-28 宁波江丰电子材料股份有限公司 靶材热处理方法
CN106222366A (zh) * 2016-08-26 2016-12-14 常熟中德重机有限公司 一种高硬度起重机卷筒的表面处理工艺
CN106317996B (zh) * 2016-08-26 2019-10-22 常熟中德重机有限公司 一种平行折线多层绕绳卷筒的表面处理工艺
CN106702125B (zh) * 2017-01-23 2018-06-01 江苏扬光机械制造有限公司 一种金属弯头的热处理方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1928129A (zh) * 2006-09-29 2007-03-14 宁波江丰电子材料有限公司 一种制备溅射靶材料的方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1928129A (zh) * 2006-09-29 2007-03-14 宁波江丰电子材料有限公司 一种制备溅射靶材料的方法

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