CN101615027A - 生产线设备的控制装置、方法及一种工控机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种生产线设备的控制装置，所述生产线设备包括多个受控器件，所述控制装置位于工控机中，与各个受控器件相连，所述装置包括：接口模块，包括形成序列的多个调度接口；动作执行模块，用于依据预置的动作信息驱动受控器件执行相应动作，所述动作信息具有对应的调度接口；调度模块，用于按照所述调度接口的序列，调用当前工艺对应的动作执行模块的服务，若当前调度接口在该动作执行模块具有对应的动作信息，则触发动作执行模块驱动受控器件执行相应动作；若当前调度接口在所述动作执行模块没有对应的动作信息，则执行调用空服务的操作。本发明可以避免同层调用出现的系统问题，增加生产线设备控制装置的可配置性，使控制更加灵活与安全。
Description
技术领域
本发明涉及设备工艺控制领域，特别是涉及一种生产线设备的控制装置及控制方法，以及一种工控机。
背景技术
生产线设备是现代生活中完成各类产品生产、制造或工艺过程不可缺少的硬件设备，为尽可能降低成本及提高效率，对于生产线设备均配置有相应的控制系统以控制生产线设备的运行。
现有技术中，常用的生产线设备控制装置为工控机。公知的是，工控机(Industrial Personal Computer，IPC)是一种加固的增强型个人计算机，它可以作为一个工业控制器在工业环境中可靠运行。在工控机内部，通常设置有高效工艺控制系统(EPC)和高效用户控制系统(EUC)。其中，EPC系统主要提供对生产线设备各受控器件的直接控制功能，即实现对各单独部件、单独功能的操作，同时提供与EUC系统的接口；EUC系统主要提供对整个生产线过程的调度及人机交互的接口。参考图1所示的现有技术中EPC系统的软件架构示意图，从软件架构上来看，EPC系统可以包括操作层101、功能层102及物理层103的三层架构，其中，物理层103主要用于驱动受控器件进行相关工艺操作，功能层102用于组合部件以完成某项功能，操作层101提供了与EUC交互的接口。
如图1所示，在现有的EPC系统中，操作层101中相应功能模块的接口与功能层102中该模块的对应动作基本上是一一对应的，如装载台LP11在功能层102的动作包括载板装载Up、载板卸载Down，那么在操作层101就相应设置有Up、Down的接口：预热腔LHC12在功能层102的动作包括抽真空Pump、加热处理Heat、充气Vent，则操作层101相应设置有Pump、Heat、Vent的接口；为了保证生产工艺过程中的传输操作的进行，在功能层102中还配置了各个模块的传输动作，如图中装载台LP11、预热腔LHC12、反应腔PC13、冷却腔CUC14都对应设置了IsReadyTransferOut(是否准备传出)、IsReadyTransferIn(是否准备传入)的动作，由于在传输时涉及多个受控器件的交互，在这种情况，则可能出现同层调用一个对象的情况。
例如，当前EUC系统调用操作层的由预热腔LHC12传输到反应腔PC13的服务，操作层101再调用功能层102的预热腔LHC12向反应腔传输PC13的功能。此时，在做传输动作之前，由于需要判断预热腔LHC12能否传出(IsReadyTransferOut)，然后再判断反应腔PC13能否传入(IsReadyTransferIn)，如果都可以才能够进行传输动作，显然，这个操作就涉及到了同层之间的调用。由于软件的设计架构是操作层调用功能层，功能层调用物理层，这种同层调用则会导致生产线设备的控制出现问题。
再者，采用现有技术在硬件设备需要改进或者扩展时，如添加一个模块，就需要完全改变EUC的调度序列，并使功能层所有相关模块都需要重新设计，不利于软件的改进和扩展。
因此，目前需要本领域技术人员迫切解决的一个技术问题就是：如何能够创新地提出一种生产线设备的控制机制，用以避免同层调用出现的系统问题，增加生产线设备控制装置的可配置性，使控制更加灵活与安全。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种生产线设备的控制装置及控制方法，用以避免同层调用出现的系统问题，增加生产线设备控制装置的可配置性，使控制更加灵活与安全。
本发明还提供了一种工控机，用以保证上述装置及方法的实现及应用。
为了解决上述技术问题，本发明实施例公开了一种生产线设备的控制装置，所述生产线设备包括多个受控器件，所述控制装置位于工控机中，与各个受控器件相连，所述装置包括：
接口模块，包括形成序列的多个调度接口；
动作执行模块，用于依据预置的动作信息驱动受控器件执行相应动作，所述动作信息具有对应的调度接口；
调度模块，用于按照所述调度接口的序列，调用当前工艺对应的动作执行模块的服务，若当前调度接口在该动作执行模块具有对应的动作信息，则触发动作执行模块驱动受控器件执行相应动作；若当前调度接口在所述动作执行模块没有对应的动作信息，则执行调用空服务的操作。
优选的，所述接口模块为多个，与所述动作执行模块一一对应，所述多个动作执行模块依据当前生产工艺需求形成调用序列。
优选的，所述控制装置还包括：
维护模块，用于新增动作执行模块，并维护该新增动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系；和/或，删除已有的动作执行模块，并删除该动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系；和/或，修改所述动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系。
优选的，所述动作执行模块包括工艺执行子模块，所述形成序列的多个调度接口包括：
1)传入前动作的调度接口PreMoveIn
2)传入后动作的调度接口PostMoveIn；
3)准备动作的调度接口PreProcess；
4)主要动作的调度接口Process；
5)后续动作的调度接口PostProcess；
6)传出前动作的调度接口PreMoveOut；
7)传出后动作的调度接口PostMoveOut。
优选的，所述生产线设备为等离子增强化学气相沉积设备，所述工艺执行子模块包括：
装载台LP子模块，用于驱动相应的受控器件执行：载板装载Up、载板卸载Down的动作；所述载板装载Up的动作信息对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述载板卸载Down的动作信息对应传出前动作的调度接口PreMoveOut；
预热腔LHC子模块，用于驱动相应的受控器件执行：传入判断、关闭阀门、抽真空Pump、加热处理Heat、传出判断、充气Vent的动作；所述传入判断的动作信息对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述关闭阀门的动作信息对应传入后动作的调度接口PostMoveIn，所述抽真空Pump的动作信息对应准备动作的调度接口PreProcess，所述加热处理Heat的动作信息对应主要动作的调度接口Process，所述传出判断的动作信息对应传出前动作的调度接口PreMoveOut；所述充气Vent的动作信息对应传出后动作的调度接口PostMoveOut；
反应腔PC子模块，用于驱动相应的受控器件执行：传入判断、反应工艺Process的动作；所述传入判断的动作信息对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述反应工艺Process的动作对应主要动作的调度接口Process；
冷却腔CUC子模块，用于驱动相应的受控器件执行：传入判断、关闭阀门、冷却CoolAdnVent、传出判断、抽真空Pump的动作；所述传入判断的动作信息对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述关闭阀门的动作信息对应传入后动作的调度接口PostMoveIn，所述冷却CoolAdnVent的动作信息对应后续动作的调度接口PostProcess，所述传出判断的动作信息对应传出前动作的调度接口PreMoveOut；所述抽真空Pump的动作信息对应传出后动作的调度接口PostMoveOut；
卸载台UP子模块，用于驱动相应的受控器件执行：载板装载Up、载板卸载Down的动作；所述载板装载Up的动作信息对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述载板卸载Down的动作信息对应传出前动作的调度接口PreMoveOut。
优选的，所述动作执行模块还包括传输执行子模块，用于驱动相应的受控器件执行从第一工艺子模块传送到第二工艺子模块的动作；所述形成序列的多个调度接口包括：
1)传输前准备动作的调度接口Pretransfer；
2)传输动作的调度接口Transfer；
3)传输后动作的调度接口PostTransfer。
以上调度接口在第二工艺子模块的传入前动作的调度接口PreMoveIn，以及，第一工艺子模块的传出后动作的调度接口PostMoveOut之间顺序调用；所述第二工艺子模块的传入前动作的调度接口PreMoveIn在第一工艺子模块的传出前动作的调度接口PreMoveOut之后调用；在完成所述第一工艺子模块的传出后动作的调度接口PostMoveOut的调用后，调用第二工艺子模块的传入后动作的调度接口PostMoveIn。
优选的，所述动作信息包括驱动相应受控器件执行的某个动作信息、或某几个动作形成的动作序列信息。
本发明实施例还公开了一种工控机，所述工控机与生产线设备的多个受控器件相连，所述工控机包括：
接口模块，包括形成序列的多个调度接口；
动作执行模块，用于依据预置的动作信息驱动受控器件执行相应动作，所述动作信息具有对应的调度接口；
调度模块，用于按照所述调度接口的序列，调用当前工艺对应的动作执行模块的服务，若当前调度接口在该动作执行模块具有对应的动作信息，则触发动作执行模块驱动受控器件执行相应动作；若当前调度接口在所述动作执行模块没有对应的动作信息，则执行调用空服务的操作。
优选的，所述接口模块为多个，与所述动作执行模块一一对应，所述多个动作执行模块依据当前生产工艺需求形成调用序列。
优选的，所述工控机还包括：
维护模块，用于新增动作执行模块，并维护该新增动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系；和/或，删除已有的动作执行模块，并删除该动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系；和/或，修改所述动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系。
本发明实施例还公开了一种生产线设备的控制方法，所述生产线设备包括预置的形成序列的多个调度接口，以及，驱动受控器件执行相应动作的信息，所述动作信息具有对应的调度接口；
所述方法包括：
按照所述调度接口的序列，调用当前工艺对应的动作执行模块的服务；
若当前调度接口在该动作执行模块具有对应的动作信息，则触发动作执行模块驱动受控器件执行相应动作；
若当前调度接口在所述动作执行模块没有对应的动作信息，则执行调用空服务的操作。
与现有技术相比，本发明具有以下优点：
本发明基于生产线设备控制装置的软件设计架构，即操作层调用功能层，功能层调用物理层，消除现有技术中，操作层和功能层之间的横向耦合，通过重新配置操作层和功能层的接口及动作，规范与EUC的调度接口，并避免同层调度的可能。从而增加了生产线设备控制装置的可配置性，使控制更加灵活与安全。
附图说明
图1是现有技术中EPC系统软件架构的示意图；
图2是本发明的一种生产线设备的控制装置实施例的结构图；
图3是一种In-line PECVD设备的结构示意图；
图4是本发明的一种EPC系统软件架构的示意图；
图5是本发明的一种工控机实施例的结构图；
图6是本发明的一种生产线设备的控制方法实施例的流程图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
本发明可用于众多通用或专用的计算系统环境或配置中。例如：个人计算机、服务器计算机、手持设备或便携式设备、平板型设备、多处理器系统、基于微处理器的系统、置顶盒、可编程的消费电子设备、网络PC、小型计算机、大型计算机、包括以上任何系统或设备的分布式计算环境等等。
本发明可以在由计算机执行的计算机可执行指令的一般上下文中描述，例如程序模块。一般地，程序模块包括执行特定任务或实现特定抽象数据类型的例程、程序、对象、组件、数据结构等等。也可以在分布式计算环境中实践本发明，在这些分布式计算环境中，由通过通信网络而被连接的远程处理设备来执行任务。在分布式计算环境中，程序模块可以位于包括存储设备在内的本地和远程计算机存储介质中。
本发明实施例的核心构思之一在于：基于生产线设备控制装置的软件设计架构，即操作层调用功能层，功能层调用物理层，消除现有技术中，操作层和功能层之间的横向耦合，通过重新配置操作层和功能层的接口及动作，规范与EUC的调度接口，并避免同层调度的可能。从而增加了生产线设备控制装置的可配置性，使控制更加灵活与安全。
参考图2，示出了本发明的一种生产线设备的控制装置实施例的结构图，所述生产线设备包括多个受控器件，所述控制装置位于工控机中，与各个受控器件相连，所述控制装置可以包括以下模块：
接口模块201，包括形成序列的多个调度接口；
动作执行模块202，用于依据预置的动作信息驱动受控器件执行相应动作，所述动作信息具有对应的调度接口；
调度模块203，用于按照所述调度接口的序列，调用当前工艺对应的动作执行模块的服务，若当前调度接口在该动作执行模块具有对应的动作信息，则触发动作执行模块驱动受控器件执行相应动作；若当前调度接口在所述动作执行模块没有对应的动作信息，则执行调用空服务的操作。
在具体实现中，所述接口模块可以为多个，分别与动作执行模块一一对应，所述多个动作执行模块依据当前生产工艺需求也形成调用序列。所述动作信息可以包括驱动相应受控器件执行的某个动作信息、或某几个动作形成的动作序列信息。
为使本领域技术人员更好地理解本发明，以下以一种用于制备晶硅太阳能电池的PECVD设备为例来说明本发明实施例。
目前制备晶硅太阳能电池多采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺。而在晶硅太阳能电池制造设备中，PECVD设备多采用在线型镀膜技术(In-line PECVD，在线镀膜型等离子增强化学气相沉积设备)。参考图3所示的In-line PECVD设备的结构示意图，In-line PECVD设备一般包括若干个真空密闭腔室，即图中的预热腔1、反应腔2和冷却腔3，打开抽真空的阀门6，及真空密闭腔室的门阀G1、G2、G3和G4的配合作用，即可保持所述预热腔1、反应腔2和冷却腔3中的真空状态；该设备还包括装片台7和卸片台8、载板回收装置9。这种In-line PECVD设备的工作流程如x1-x9所示的载板搬运方向，主要包括以下步骤：
步骤S1、将硅片4放置于载板5上；
步骤S2、将载板5搬运(通过辊轮或机械手等自动装置)到预热腔1中，在预热腔1进行载板5的预热处理流程，加热载板5和硅片4；将载板5搬运到工艺腔2中，进行沉积工艺。反应完成后将载板5搬运到冷却腔3中进行冷却处理，然后将载板5搬运到卸片台8上，将加工完成的硅片4取走；
步骤S3、载板5通过自动搬运装置9返回装片台7。
由于在生产线设备中，完成某项功能涉及多个受控器件的参与，各个受控器件也可能参与到多项功能实现中，当多个功能的实现涉及相关受控器件的交互时，例如，对于预热腔、反应腔和冷却腔而言，存在传送装置同步、各受控器件间门开关的交互问题，现有技术中，这种交互处理将引起同层调用的问题。
针对这个问题，本发明通过配置接口模块配置各个动作执行模块的调度接口；并重新设置动作执行模块驱动受控器件执行相应动作，并建立相应动作与调度接口的对应关系；使得控制装置的调用可自上而下进行，即操作层调用功能层，功能层调用物理层，从而避免出现同层调用的问题，使各受控器件相互协作，从而提高生产线设备的运行效率。
对于PECVD设备而言，所述接口模块和动作执行模块可置于EPC系统中，调度模块可置于EUC系统中。参考图4所示的应用本发明的EPC系统的软件架构示意图(物理层同图1，略)，对于每个工艺子模块(即装载台LP子模块41、预热腔LHC子模块42、反应腔PC子模块43、冷却腔CUC子模块44、卸载台UP子模块45)而言，其在操作层401的调度接口形成的序列为：
1)传入前动作的调度接口PreMoveIn
2)传入后动作的调度接口PostMoveIn；
3)准备动作的调度接口PreProcess；
4)主要动作的调度接口Process；
5)后续动作的调度接口PostProcess；
6)传出前动作的调度接口PreMoveOut；
7)传出后动作的调度接口PostMoveOut。
在具体实现中，可以在操作层401中，为每个工艺执行子模块分别配置上述调度接口，即将接口模块置于动作执行模块中；也可以单独设置上述调度接口，在调用某个动作执行模块时，均从该接口开始调用，再调用相应模块的动作，即将接口模块单独设置。本领域技术人员根据实际情况任意设置即可，本发明对此无需加以限制。
以在每个动作执行模块中均设置有多个调度接口为例，功能层402的设置为：装载台LP子模块41用于驱动相应的受控器件执行：载板装载Up、载板卸载Down的动作；并且，所述载板装载Up的动作信息对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述载板卸载Down的动作信息对应传出前动作的调度接口PreMoveOut；即该LP41的操作层与功能层的对应关系如下表所示：
| 操作层 | 功能层 |
| PreMoveIn | Down |
| PostMoveIn | |
| PreProcess | |
| Process | |
| PostProcess | |
| PreMoveOut | Up |
| PostMoveOut |
在本实施例中，表中为空部分表示相应动作没有对应的接口，在EUC调度时，则直接返回空服务。
当EUC系统调用该LP的服务时，则可以通过以下步骤完成：
第一步，调用操作层的接口PreMoveIn，由于该接口有对应的动作Down，于是PreMoveIn调用LP子模块的Up服务，即由LP子模块驱动相应的受控器件执行UP的操作；
第二步、调用操作层的接口PostMoveIn，由于该接口没有对应的动作，于是PostMoveIn调用空服务；
第三步、调用操作层的接口PreProcess，由于该接口没有对应的动作，于是PreProcess调用空服务；
第四步、调用操作层的接口Process，由于该接口没有对应的动作，于是Process调用空服务；
第五步、调用操作层的接口PostProcess，由于该接口没有对应的动作，于是PostProcess调用空服务；
第六步，调用操作层的接口PreMoveOut，由于该接口有对应的动作Up，于是PreMoveOut调用LP子模块的Up服务，即由LP子模块驱动相应的受控器件执行Up的操作；
第七步、调用操作层的接口PostMoveOut，由于该接口没有对应的动作，于是PostMoveOut调用空服务。
预热腔LHC子模块42用于驱动相应的受控器件执行：传入判断、关闭阀门、抽真空Pump、加热处理Heat、传出判断、充气Vent的动作；所述传入判断的动作信息(如确定LHC内是否有载板等)，对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述关闭阀门的动作信息(控制门阀功能模块FuncDoorValve47)对应传入后动作的调度接口PostMoveIn，所述抽真空Pump的动作信息对应准备动作的调度接口PreProcess，所述加热处理Heat的动作信息对应主要动作的调度接口Process，所述传出判断的动作信息(如确定LHC内是否有载板等)，对应传出前动作的调度接口PreMoveOut；所述充气Vent的动作信息对应传出后动作的调度接口PostMoveOut；即该LHC42的操作层与功能层的对应关系如下表所示：
| 操作层 | 功能层 |
| PreMoveIn | 传入判断 |
| PostMoveIn | 关闭阀门 |
| PreProcess | Pump |
| Process | Heat |
| PostProcess | 传出判断 |
| PreMoveOut | UP |
| PostMoveOut | Vent |
当EUC系统调用该LHC的服务时，则可以通过以下步骤完成：
第一步，调用操作层的接口PreMoveIn，由于该接口有对应的传入判断的动作，于是PreMoveIn调用LHC子模块的传入判断服务，即由LHC子模块驱动相应的受控器件执行传入判断的操作；
第二步、调用操作层的接口PostMoveIn，由于该接口有对应的关闭阀门的动作，于是PostMoveIn调用LHC子模块的关闭阀门服务，即由LHC子模块驱动相应的受控器件执行关闭阀门的操作；
第三步、调用操作层的接口PreProcess，由于该接口有对应的Pump动作，于是PreProcess调用LHC子模块的Pump服务，即由LHC子模块驱动相应的受控器件执行Pump的操作；
第四步、调用操作层的接口Process，由于该接口有对应的动作Heat，于是Process调用LHC子模块的Heat服务，即由LHC子模块驱动相应的受控器件执行Heat的操作；
第五步、调用操作层的接口PostProcess，由于该接口有对应的传出判断的动作，于是PostProcess调用LHC子模块的传出判断服务，即由LHC子模块驱动相应的受控器件执行传出判断的操作；
第六步，调用操作层的接口PreMoveOut，由于该接口有对应的动作Up，于是PreMoveOut调用LHC子模块的Up服务，即由LHC子模块驱动相应的受控器件执行Up的操作；
第七步、调用操作层的接口PostMoveOut，由于该接口有对应的动作Vent，于是PostMoveOut调用LHC子模块的Vent服务，即由LHC子模块驱动相应的受控器件执行Vent的操作。
反应腔PC子模块43用于驱动相应的受控器件执行：传入判断、反应工艺Process的动作；所述传入判断的动作信息(如确定PC内是否有载板等)，对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述反应工艺Process的动作对应主要动作的调度接口Process；即该PC43的操作层与功能层的对应关系如下表所示：
当EUC系统调用该PC的服务时，则可以通过以下步骤完成：
第一步，调用操作层的接口PreMoveIn，由于该接口有对应的传入判断的动作，于是PreMoveIn调用PC子模块的传入判断服务，即由PC子模块驱动相应的受控器件执行传入判断的操作；
第二步、调用操作层的接口PostMoveIn，由于该接口没有对应的动作，于是PostMoveIn调用空服务；
第三步、调用操作层的接口PreProcess，由于该接口没有对应的动作，于是PreProcess调用空服务；
第四步、调用操作层的接口Process，由于该接口有对应的动作Process，于是Process调用PC子模块的Process服务，即由PC子模块驱动相应的受控器件执行Process的操作；
第五步、调用操作层的接口PostProcess，由于该接口没有对应的动作，于是PostProcess调用空服务；
第六步，调用操作层的接口PreMoveOut，由于该接口没有对应的动作，于是PreMoveOut调用空服务；
第七步、调用操作层的接口PostMoveOut，由于该接口没有对应的动作，于是PostMoveOut调用空服务。
冷却腔CUC子模块44用于驱动相应的受控器件执行：传入判断、关闭阀门、冷却CoolAdnVent、传出判断、抽真空Pump的动作；所述传入判断的动作信息(如确定CUC内是否有载板等)，对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述关闭阀门的动作信息对应传入后动作的调度接口PostMoveIn，所述冷却CoolAdnVent的动作信息对应后续动作的调度接口PostProcess，所述传出判断的动作信息(如确定CUC内是否有载板等)，对应传出前动作的调度接口PreMoveOut；所述抽真空Pump的动作信息对应传出后动作的调度接口PostMoveOut；即该CUC44的操作层与功能层的对应关系如下表所示：
| 操作层 | 功能层 |
| PreMoveIn | 传入判断 |
| PostMoveIn | 关闭阀门 |
| PreProcess | |
| Process | |
| PostProcess | CoolAdnVent |
| PreMoveOut | 传出判断 |
| PostMoveOut | Pump |
当EUC系统调用该CUC的服务时，则可以通过以下步骤完成：
第一步，调用操作层的接口PreMoveIn，由于该接口有对应的传入判断的动作，于是PreMoveIn调用CUC子模块的传入判断服务，即由CUC子模块驱动相应的受控器件执行传入判断的操作；
第二步、调用操作层的接口PostMoveIn，由于该接口有对应的关闭阀门的动作，于是PostMoveIn调用CUC子模块的关闭阀门服务，即由CUC子模块驱动相应的受控器件执行关闭阀门的操作；
第三步、调用操作层的接口PreProcess，由于该接口没有对应的动作，于是PreProcess调用空服务；
第四步、调用操作层的接口Process，由于该接口没有对应的动作，于是Process调用空服务；
第五步、调用操作层的接口PostProcess，由于该接口有对应的动作CoolAdnVent，于是PostProcess调用CUC子模块的传出判断服务，即由CUC子模块驱动相应的受控器件执行CoolAdnVent的操作；
第六步，调用操作层的接口PreMoveOut，由于该接口有对应的传出判断的动作，于是PreMoveOut调用CUC子模块的Up服务，即由CUC子模块驱动相应的受控器件执行传出判断的操作；
第七步、调用操作层的接口PostMoveOut，由于该接口有对应的动作Pump，于是PostMoveOut调用CUC子模块的Pump服务，即由CUC子模块驱动相应的受控器件执行Pump的操作。
卸载台UP子模块45用于驱动相应的受控器件执行：载板装载Up、载板卸载Down的动作；所述载板装载Up的动作信息对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述载板卸载Down的动作信息对应传出前动作的调度接口PreMoveOut；即该UP45的操作层与功能层的对应关系如下表所示：
| 操作层 | 功能层 |
| PreMoveIn | Up |
| PostMoveIn | |
| PreProcess | |
| Process | |
| PostProcess | |
| PreMoveOut | Down |
| PostMoveOut |
当EUC系统调用该UP的服务时，则可以通过以下步骤完成：
第一步，调用操作层的接口PreMoveIn，由于该接口有对应的动作Up，于是PreMoveIn调用UP子模块的传入判断服务，即由UP子模块驱动相应的受控器件执行传入判断的操作；
第二步、调用操作层的接口PostMoveIn，由于该接口没有对应的动作，于是PostMoveIn调用空服务；
第三步、调用操作层的接口PreProcess，由于该接口没有对应的动作，于是PreProcess调用空服务；
第四步、调用操作层的接口Process，由于该接口没有对应的动作，于是Process调用空服务；
第五步、调用操作层的接口PostProcess，由于该接口没有对应的动作，于是PostProcess调用空服务；
第六步，调用操作层的接口PreMoveOut，由于该接口有对应的动作Down，于是PreMoveOut调用UP子模块的Down服务，即由UP子模块驱动相应的受控器件执行Down的操作；
第七步、调用操作层的接口PostMoveOut，由于该接口没有对应的动作，于是PostMoveOut调用空服务。
为保证在工艺子模块之间的传送，本发明还创造性地提出采用一个单独的传输执行子模块46，即该模块用于驱动相应的受控器件执行从第一工艺子模块传送到第二工艺子模块的动作，为避免受控器件交互可能出现的错误情形，对于该模块，还可以进一步设置调度接口为：
1)传输前准备动作的调度接口Pretransfer；
2)传输动作的调度接口Transfer；
3)传输后动作的调度接口PostTransfer。
当驱动相应的受控器件执行从第一工艺子模块传送到第二工艺子模块的动作时，可与上述工艺子模块的调度接口采用如下方式调度：
在第二工艺子模块的传入前动作的调度接口PreMoveIn，以及，第一工艺子模块的传出后动作的调度接口PostMoveOut之间顺序调用；所述第二工艺子模块的传入前动作的调度接口PreMoveIn在第一工艺子模块的传出前动作的调度接口PreMoveOut调用；在完成所述第一工艺子模块的传出后动作的调度接口PostMoveOut的调用后，调用第二工艺子模块的传入后动作的调度接口PostMoveIn。
即假设A和C是相邻的两个工艺子模块，B是位于它们之间的传输执行子模块，则在传输时的接口调度次序为：
1)A：PreMoveOut
2)C：PreMoveIn
3)B：PreTransfer
4)B：Transfer
5)B：PostTransfer
6)A：PostMoveOut
7)C：PostMoveIn
例如，当EUC系统调用LHC子模块、LHC向PC子模块的传输执行子模块及PC子模块时，可以通过以下步骤实现：
第1步，EUC系统调用操作层LHC的PreMoveIn，PreMoveIn调用LHC的传入判断服务；
第2步，EUC系统调用操作层LHC的PostMoveIn，PreMoveIn调用LHC的关闭阀门的服务；
第3步，EUC系统调用操作层LHC的PreProcess，PreProcess调用LHC的Pump服务；
第4步，EUC系统调用操作层LHC的Process，Process调用LHC的Heat服务；
第5步，EUC系统调用操作层LHC的PostProcess，PostProcess调用LHC的空服务；
第6步，EUC系统调用操作层LHC的PreMoveOut，PreMoveOut调用LHC的传出判断的服务；
第7步，EUC系统调用操作层PC的PreMoveIn，PreMoveIn调用PC的传入判断的服务；
第8步，EUC系统调用操作层LHC到PC之间传输对象的PreTransfer；
第9步，EUC系统调用操作层LHC到PC之间传输对象的Transfer；
第10步，EUC系统调用操作层LHC到PC之间传输对象的PostTransfer；
第11步，EUC系统调用操作层LHC的PostMoveOut，PostMoveOut调用LHC的Vent服务；
第12步，EUC系统调用操作层PC的PostMoveIn，PostMoveIn调用PC的空服务；
第13步，EUC系统调用操作层PC的PreProcess，PreProcess调用PC的空服务；
第14步，EUC系统调用操作层PC的Process，Process调用PC的Process服务；
第15步，EUC系统调用操作层PC的PostProcess，PostProcess调用PC的空服务；
第16步，EUC系统调用操作层PC的PreMoveOut，PreMoveOut调用PC的空服务；
第17步，EUC系统调用操作层PC的PostMoveOut，PostMoveOut调用PC的空服务。
当然，上述配置及调度方式仅仅用作示例，在具体实现中，可以根据实际需求任意配置接口、动作及其二者的对应关系，本发明对此无需加以限制。
作为另一实施例，在本实施例中，还可以包括维护模块，用于新增动作执行模块，并维护该新增动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系；和/或，删除已有的动作执行模块，并删除该动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系；和/或，修改所述动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系。
在具体实现中，技术人员可以根据实际需求任意配置动作执行模块及接口，例如，在上述预热腔子模块中增加吹片的动作，并与接口PostProcess建立对应关系；或者，改变PC子模块中工艺Process和接口Process的先对应关系、本发明对此无需加以限制。本发明正是通过这种可配置性设计，从而方便动作执行模块的增删及模块内部控制次序的调整，从而有效提高了控制的灵活性和有效性。
例如，为了提高工作效率，将PC腔室的工作分为两个PC1和PC2，则当前工艺子模块相关部分的调度顺序被更改为：LHC传输到PC1→PC1做工艺→PC1传输到PC2→PC2做工艺→CUC；在这种情况下，则可以新增一个PC子模块，维护该PC2的操作层与功能层的对应关系如下表所示：
| 操作层 | 功能层 |
| PreMoveIn | 传入判断 |
| PostMoveIn | |
| PreProcess | |
| Process | Process |
| PostProcess | |
| PreMoveOut | |
| PostMoveOut |
然后，EUC采用上述示例的方式进行按照工艺子模块的调度序列，以及相应接口的调度序列进行调用即可，在此对于调用过程不再赘述。
参考图5，示出了本发明的一种工控机的结构图，所述工控机与生产线设备的多个受控器件相连，具体可以包括以下模块：
接口模块501，包括形成序列的多个调度接口；
动作执行模块502，用于依据预置的动作信息驱动受控器件执行相应动作，所述动作信息具有对应的调度接口；
调度模块503，用于按照所述调度接口的序列，调用当前工艺对应的动作执行模块的服务，若当前调度接口在该动作执行模块具有对应的动作信息，则触发动作执行模块驱动受控器件执行相应动作；若当前调度接口在所述动作执行模块没有对应的动作信息，则执行调用空服务的操作；
维护模块504，用于新增动作执行模块，并维护该新增动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系；和/或，删除已有的动作执行模块，并删除该动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系；和/或，修改所述动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系。
在具体实现中，所述接口模块可以为多个，并分别与所述动作执行模块一一对应，所述多个动作执行模块依据当前生产工艺需求形成调用序列。所述动作信息包括驱动相应受控器件执行的某个动作信息、或某几个动作形成的动作序列信息。
需要说明的是，本发明的工控机可以为任一种生产线设备的主控计算机，本发明对此不作限制。
由于图5所示的实施例的特征在本说明书前述实施例的相关部分已有说明，在此不再赘述，本领域技术人员相应参考理解即可。
参考图6，示出了本发明还提供了一种生产线设备的控制方法实施例的流程图，其中，所述生产线设备包括预置的形成序列的多个调度接口，以及，驱动受控器件执行相应动作的信息，所述动作信息具有对应的调度接口；
本实施例具体可以包括以下步骤：
步骤601、按照所述调度接口的序列，调用当前工艺对应的动作执行模块的服务；
步骤602、判断当前调度接口在该动作执行模块是否具有对应的动作信息，若是，则执行步骤603；否则，执行步骤604；
步骤603、触发动作执行模块驱动受控器件执行相应动作；
步骤604、执行调用空服务的操作。
需要说明的是，对于前述的各步骤流程，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
以上对本发明所提供的一种生产线设备的控制装置、工控机及应用这种控制装置的生产线设备控制方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (11)
1、一种生产线设备的控制装置，所述生产线设备包括多个受控器件，其特征在于，所述控制装置位于工控机中，与各个受控器件相连，所述装置包括：
接口模块，包括形成序列的多个调度接口；
动作执行模块，用于依据预置的动作信息驱动受控器件执行相应动作，所述动作信息具有对应的调度接口；
调度模块，用于按照所述调度接口的序列，调用当前工艺对应的动作执行模块的服务，若当前调度接口在该动作执行模块具有对应的动作信息，则触发动作执行模块驱动受控器件执行相应动作；若当前调度接口在所述动作执行模块没有对应的动作信息，则执行调用空服务的操作。
2、如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述接口模块为多个，与所述动作执行模块一一对应，所述多个动作执行模块依据当前生产工艺需求形成调用序列。
3、如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述控制装置还包括：
维护模块，用于新增动作执行模块，并维护该新增动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系；和/或，删除已有的动作执行模块，并删除该动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系；和/或，修改所述动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系。
4、如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述动作执行模块包括工艺执行子模块，所述形成序列的多个调度接口包括：
1)传入前动作的调度接口PreMoveIn
2)传入后动作的调度接口PostMoveIn；
3)准备动作的调度接口PreProcess；
4)主要动作的调度接口Process；
5)后续动作的调度接口PostProcess；
6)传出前动作的调度接口PreMoveOut；
7)传出后动作的调度接口PostMoveOut。
5、如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述生产线设备为等离子增强化学气相沉积设备，所述工艺执行子模块包括：
装载台LP子模块，用于驱动相应的受控器件执行：载板装载Up、载板卸载Down的动作；所述载板装载Up的动作信息对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述载板卸载Down的动作信息对应传出前动作的调度接口PreMoveOut；
预热腔LHC子模块，用于驱动相应的受控器件执行：传入判断、关闭阀门、抽真空Pump、加热处理Heat、传出判断、充气Vent的动作；所述传入判断的动作信息对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述关闭阀门的动作信息对应传入后动作的调度接口PostMoveIn，所述抽真空Pump的动作信息对应准备动作的调度接口PreProcess，所述加热处理Heat的动作信息对应主要动作的调度接口Process，所述传出判断的动作信息对应传出前动作的调度接口PreMoveOut；所述充气Vent的动作信息对应传出后动作的调度接口PostMoveOut；
反应腔PC子模块，用于驱动相应的受控器件执行：传入判断、反应工艺Process的动作；所述传入判断的动作信息对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述反应工艺Process的动作对应主要动作的调度接口Process；
冷却腔CUC子模块，用于驱动相应的受控器件执行：传入判断、关闭阀门、冷却CoolAdnVent、传出判断、抽真空Pump的动作；所述传入判断的动作信息对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述关闭阀门的动作信息对应传入后动作的调度接口PostMoveIn，所述冷却CoolAdnVent的动作信息对应后续动作的调度接口PostProcess，所述传出判断的动作信息对应传出前动作的调度接口PreMoveOut；所述抽真空Pump的动作信息对应传出后动作的调度接口PostMoveOut；
卸载台UP子模块，用于驱动相应的受控器件执行：载板装载Up、载板卸载Down的动作；所述载板装载Up的动作信息对应传入前动作的调度接口PreMoveIn，所述载板卸载Down的动作信息对应传出前动作的调度接口PreMoveOut。
6、如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述动作执行模块还包括传输执行子模块，用于驱动相应的受控器件执行从第一工艺子模块传送到第二工艺子模块的动作；所述形成序列的多个调度接口包括：
1)传输前准备动作的调度接口Pretransfer；
2)传输动作的调度接口Transfer；
3)传输后动作的调度接口PostTransfer。
以上调度接口在第二工艺子模块的传入前动作的调度接口PreMoveIn，以及，第一工艺子模块的传出后动作的调度接口PostMoveOut之间顺序调用；所述第二工艺子模块的传入前动作的调度接口PreMoveIn在第一工艺子模块的传出前动作的调度接口PreMoveOut之后调用；在完成所述第一工艺子模块的传出后动作的调度接口PostMoveOut的调用后，调用第二工艺子模块的传入后动作的调度接口PostMoveIn。
7、如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述动作信息包括驱动相应受控器件执行的某个动作信息、或某几个动作形成的动作序列信息。
8、一种工控机，其特征在于，所述工控机与生产线设备的多个受控器件相连，所述工控机包括：
接口模块，包括形成序列的多个调度接口；
动作执行模块，用于依据预置的动作信息驱动受控器件执行相应动作，所述动作信息具有对应的调度接口；
调度模块，用于按照所述调度接口的序列，调用当前工艺对应的动作执行模块的服务，若当前调度接口在该动作执行模块具有对应的动作信息，则触发动作执行模块驱动受控器件执行相应动作；若当前调度接口在所述动作执行模块没有对应的动作信息，则执行调用空服务的操作。
9、如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述接口模块为多个，与所述动作执行模块一一对应，所述多个动作执行模块依据当前生产工艺需求形成调用序列。
10、如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述工控机还包括：
维护模块，用于新增动作执行模块，并维护该新增动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系；和/或，删除已有的动作执行模块，并删除该动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系；和/或，修改所述动作执行模块中相应动作信息与调度接口的对应关系。
11、一种生产线设备的控制方法，其特征在于，所述生产线设备包括预置的形成序列的多个调度接口，以及，驱动受控器件执行相应动作的信息，所述动作信息具有对应的调度接口；
所述方法包括：
按照所述调度接口的序列，调用当前工艺对应的动作执行模块的服务；
若当前调度接口在该动作执行模块具有对应的动作信息，则触发动作执行模块驱动受控器件执行相应动作；
若当前调度接口在所述动作执行模块没有对应的动作信息，则执行调用空服务的操作。
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