CN101599340A - 磁致伸缩多层膜直接磁性耦合制备方法 - Google Patents
磁致伸缩多层膜直接磁性耦合制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101599340A CN101599340A CNA2009100293181A CN200910029318A CN101599340A CN 101599340 A CN101599340 A CN 101599340A CN A2009100293181 A CNA2009100293181 A CN A2009100293181A CN 200910029318 A CN200910029318 A CN 200910029318A CN 101599340 A CN101599340 A CN 101599340A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- substrate
- composite bed
- magnetic coupling
- multilayer film
- magneto strictive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 29
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title claims abstract description 17
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 claims abstract description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 7
- 206010040844 Skin exfoliation Diseases 0.000 claims abstract description 5
- 230000035618 desquamation Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims abstract description 3
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 16
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 claims description 8
- 229910003289 NiMn Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910015136 FeMn Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910001329 Terfenol-D Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 24
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 9
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
一种磁致伸缩多层膜直接磁性耦合制备方法,属磁敏感功能材料技术领域。(1)抛光预处理衬底;其衬底为可溶于蒸馏水的可溶性立方结构晶体;(2)利用高真空磁控溅射设备在衬底上依次溅射缓冲层、磁致伸缩复合层、保护层;上述磁致伸缩复合层为压磁材料层和反铁磁材料层交替沉积的人工周期多层膜结构,周期数为50~100,上述压磁材料层厚度需小于其交换耦合长度,反铁磁层厚度需大于其临界厚度,在沉积磁致伸缩复合层时,施加50~500Oe的平面诱导磁场;(3)沉积完成后进行热处理以消除内应力;(4)再将样品浸入到蒸馏水中使多层膜与衬底剥离。本方法可用于设计制备具有近零场磁敏特性的磁致伸缩材料,方法简单、效果好。
Description
所属技术领域
本发明涉及一种磁致伸缩多层膜直接磁性耦合制备方法,属于磁敏感功能材料技术领域。
背景技术
随着微电子技术和纳米科学研究的不断深入,使电子器件及整机向微、精、薄、轻、多功能、高可靠方向发展,由此而孕育产生的微机电系统改变了人们对传统器件和整机的观念。MEMS将信息处理及机械动作集成,大大缩小了原有系统的体积,提高了系统的可靠性。而近几年发展起来的低场高灵敏度的磁致伸缩薄膜材料作为新型机电转换智能薄膜材料,具有输出力大、能量密度高、驱动方法简单等特点,使其在微机械和微系统等工程领域应用中成为首选的功能材料之一。如利用磁致伸缩薄膜材料高的机电耦合系数及高的机电转换效率,可研制微小型化、可调谐的声表面波(SAW)器件;利用高的磁致伸缩应变系数,可研制各类军用MEMS伺服器,如精密定位装置、微型马达、流体控制系统(微泵、微阀等),可应用于燃料注入系统、生物DNA检测等领域。
在采用磁致伸缩薄膜设计器件时,通常在GMF上施加一定的由永磁体产生的偏置磁场,使磁致伸缩薄膜处于预极化状态,避免倍频现象的产生,而使其工作于线性区。但是放置永磁体增加了整个器件的空间占有率,与基于磁致伸缩材料的MEMS等微器件设计思路相悖。
发明内容
本发明的目的在于提供一种在设计器件时,无需放置永磁体,而使磁致伸缩薄膜工作于线性区的磁致伸缩多层膜直接磁性耦合方法。
一种磁致伸缩多层膜直接磁性耦合制备方法,其特征在于包括以下步骤:
(1)、抛光预处理衬底;其中衬底为可溶于蒸馏水的可溶性立方结构晶体;
(2)、利用高真空磁控溅射设备在衬底上依次溅射缓冲层、磁致伸缩复合层、保护层;上述磁致伸缩复合层为压磁材料层和反铁磁材料层交替沉积的人工周期多层膜结构,周期数为50~100,上述压磁材料层厚度需小于其交换耦合长度,反铁磁层厚度需大于其临界厚度,在沉积磁致伸缩复合层时,施加50~500Oe的平面诱导磁场;
(3)、沉积完成后进行热处理以消除内应力;
(4)、再将样品浸入到蒸馏水中使多层膜与衬底剥离。
上述可溶性立方结构晶体可以为NaCl、KCl等。
上述压磁材料层可为TbFe2,或Terfenol-D,或Terfecohan等。
上述反铁磁材料层可为FeMn、或IrMn、或NiMn等。
上述人工周期多层膜,压磁层厚度过小,或者反铁磁层厚度过大都会降低多层膜的磁致伸缩性能,所以分别选取上限值和下限值为宜。
上述人工周期多层膜的周期数应大于50以保证多层膜具有一定的刚性。
本发明采用压磁层/反铁磁层人工周期的多层膜结构,由于压磁磁矩与反铁磁磁矩的界面发生交换耦合,反铁磁磁矩对压磁磁矩产生钉扎作用而获得交换偏置场,达到现有的通过使用永磁体来获得偏置场的目的,即利用直接磁性耦合的方法使磁致伸缩薄膜材料工作于线性区。
本发明提供一种磁致伸缩多层膜直接磁性耦合的制备方法,可以用于设计制备具有近零场磁敏特性的磁致伸缩材料,由于衬底与多层膜相剥离,磁致伸缩材料在较小的磁场下可以获得更大的伸缩系数,从而使基于磁致伸缩材料的MEMS等微器件的设计制造更简便,提高系统的紧凑性和可控性。比如按这种方法制备的多层膜作为微机械变形镜驱动器,具有在较小磁场下变形大、响应速度快、折射率容易控制等特点。
附图说明
图1为TbDyFe/NiMn磁致伸缩多层膜沉积在NaCl衬底上的滞廻曲线。
图2为TbDyFe/IrMn磁致伸缩多层膜沉积在NaCl衬底上的滞廻曲线。
具体实施方式
下面通过实例进一步描述本发明。
实施例1、TbDyFe/NiMn磁致伸缩多层膜
利用高真空磁控溅射设备在NaCl单晶表面依次沉积Ta(4nm)/[Tb0.3Dy0.7Fe2(15nm)/Ni40Mn60(26nm)]80/Ta(9nm)。上述磁致伸缩多层膜的生长条件:本底真空优于1×10-4Pa;溅射用高纯氩气气压:0.2Pa;溅射功率200W;样品支架旋转速率:15rpm;生长温度:室温;生长速率:0.08-0.15nm/s。在沉积时,施加200Oe平面诱导磁场,方向平行于膜面方向。沉积完成后进行热处理以消除内应力,再将样品浸入到蒸馏水中使多层膜与NaCl衬底剥离。如图3所示,多层膜的磁致伸缩滞廻曲线将沿着磁场方向偏离原点,线性段明显向零场靠近,使薄膜工作于线性区。
实施例2、TbDyFe/IrMn磁致伸缩多层膜
利用高真空磁控溅射设备在NaCl单晶表面依次沉积Ta(4nm)/[Tb0.3Dy0.7Fe2(14nm)/Ir20Mn80(13nm)]80/Ta(10nm)。上述磁致伸缩多层膜的生长条件:本底真空优于1×10-4Pa;溅射用高纯氩气气压:0.2Pa;溅射功率200W;样品支架旋转速率:15rpm;生长温度:室温;生长速率:0.08-0.15nm/s。在沉积时,施加200Oe平面诱导磁场,方向平行于膜面方向。沉积完成后进行热处理以消除内应力,再将样品浸入到蒸馏水中使多层膜与NaCl衬底剥离。如图4所示,多层膜的磁致伸缩滞廻曲线将沿着磁场方向偏离原点,线性段明显向零场靠近,使薄膜工作于线性区。
Claims (4)
1、一种磁致伸缩多层膜直接磁性耦合制备方法,其特征在于包括以下步骤:
(1)、抛光预处理衬底,其中衬底为可溶于蒸馏水的可溶性立方结构晶体;
(2)、利用高真空磁控溅射设备在衬底上依次溅射缓冲层、磁致伸缩复合层、保护层;上述磁致伸缩复合层为压磁材料层和反铁磁材料层交替沉积的人工周期多层膜结构,周期数为50~100,上述压磁材料层厚度小于其交换耦合长度,反铁磁层厚度大于其临界厚度,在沉积磁致伸缩复合层时,施加50~500Oe的平面诱导磁场;
(3)、沉积完成后进行热处理以消除内应力;
(4)、再将样品浸入到蒸馏水中使多层膜与衬底剥离。
2、根据权利要求1所述的磁致伸缩多层膜直接磁性耦合制备方法,其特征在于:所述可溶性立方结构晶体为NaCl、KCl。
3、根据权利要求1所述的磁致伸缩多层膜直接磁性耦合制备方法,其特征在于:第(2)步所述压磁材料层为TbFe2,或Terfenol-D,或Terfecohan。
4、根据权利要求1所述的磁致伸缩多层膜直接磁性耦合制备方法,其特征在于:第(2)步所述反铁磁材料层为FeMn、或IrMn、或NiMn。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNA2009100293181A CN101599340A (zh) | 2009-04-08 | 2009-04-08 | 磁致伸缩多层膜直接磁性耦合制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNA2009100293181A CN101599340A (zh) | 2009-04-08 | 2009-04-08 | 磁致伸缩多层膜直接磁性耦合制备方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101599340A true CN101599340A (zh) | 2009-12-09 |
Family
ID=41420739
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNA2009100293181A Pending CN101599340A (zh) | 2009-04-08 | 2009-04-08 | 磁致伸缩多层膜直接磁性耦合制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101599340A (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104900799A (zh) * | 2014-03-04 | 2015-09-09 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 交换偏置场可调控的结构单元、其制备方法及调控方法 |
CN110299446A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-10-01 | 华中科技大学 | 基于声体波激励的电控磁子阀结构 |
CN110358959A (zh) * | 2018-04-09 | 2019-10-22 | 有研稀土新材料股份有限公司 | 一种磁致伸缩薄膜复合材料及其制备方法 |
CN114659540A (zh) * | 2022-03-29 | 2022-06-24 | 电子科技大学 | 基于磁偏置结构的高灵敏度声表面波矢量磁场传感系统 |
-
2009
- 2009-04-08 CN CNA2009100293181A patent/CN101599340A/zh active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104900799A (zh) * | 2014-03-04 | 2015-09-09 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 交换偏置场可调控的结构单元、其制备方法及调控方法 |
CN110358959A (zh) * | 2018-04-09 | 2019-10-22 | 有研稀土新材料股份有限公司 | 一种磁致伸缩薄膜复合材料及其制备方法 |
CN110299446A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-10-01 | 华中科技大学 | 基于声体波激励的电控磁子阀结构 |
CN110299446B (zh) * | 2019-06-24 | 2021-03-26 | 华中科技大学 | 基于声体波激励的电控磁子阀结构 |
CN114659540A (zh) * | 2022-03-29 | 2022-06-24 | 电子科技大学 | 基于磁偏置结构的高灵敏度声表面波矢量磁场传感系统 |
CN114659540B (zh) * | 2022-03-29 | 2024-02-06 | 电子科技大学 | 基于磁偏置结构的高灵敏度声表面波矢量磁场传感系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101368663B (zh) | 用于改变表面纹理和摩擦力水平的活性材料基物体 | |
Zhao et al. | Smart adhesives via magnetic actuation | |
Quandt et al. | Giant magnetostrictive spring magnet type multilayers | |
Melzer et al. | A review on stretchable magnetic field sensorics | |
CN108376839A (zh) | 一种基于液态金属微流控的超材料及其制备方法 | |
CN101599340A (zh) | 磁致伸缩多层膜直接磁性耦合制备方法 | |
CN111416546B (zh) | 一种磁场驱动双稳态结构及其制作方法 | |
CN109256351A (zh) | 微型芯片的批量转移装置以及转移方法 | |
CN111235538B (zh) | 形状记忆合金诱导可调控挠曲电效应的复合材料制备方法 | |
CN104900799A (zh) | 交换偏置场可调控的结构单元、其制备方法及调控方法 | |
Dong et al. | Analytical solutions for the transverse deflection of a piezoelectric circular axisymmetric unimorph actuator | |
CN108559954A (zh) | 一种负热膨胀锆钛酸铅薄膜的制备方法 | |
CN1755962A (zh) | 具有磁电效应的镍/压电陶瓷层状复合材料及其制备方法 | |
Honda et al. | Fabrication of actuators using magnetostrictive thin films | |
EP1486583A4 (en) | METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR OR INSULATING / METALLIC LAMINAR COMPOSITE BEAM | |
Nguyen et al. | A novel polymeric micropump based on a multilayered ionic polymer-metal composite | |
Cui et al. | Modeling and numerical analysis of a circular piezoelectric actuator for valveless micropumps | |
CN110703167B (zh) | 一种获得Fe3GeTe2的磁致伸缩系数的方法 | |
KR101210497B1 (ko) | 자기변형 현상을 이용한 초소형 이동체 | |
CN203112490U (zh) | Terfenol-D薄片驱动的磁致伸缩式复合悬臂梁 | |
Huang et al. | Preparation and physical properties of stretchable FeRh films with periodic wrinkle structure | |
CN111293217A (zh) | 一种基于应力增强铁磁/重金属薄膜体系中电荷流-自旋流有效转换效率的方法 | |
CN113671425B (zh) | 一种耐高温的柔性磁电传感器及其制备方法 | |
CN104949694A (zh) | 一种磁扭型磁电传感器 | |
Quandt et al. | Giant magnetostrictive multilayers for thin film actuators |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Open date: 20091209 |