CN101546722B - 充气设备 - Google Patents

Abstract

本发明一种用以将气体导入于用以存放半导体组件或光罩的存放装置的充气设备，充气设备与供气源连接，是由承座、入气端口装置与供气线路组合而成；承座是用以承载存放装置；入气端口装置，设于承座上且与存放装置的入气部分对应的位置；供气线路，尚包含有进气部分，用以与供气源连接；供气部分与该入气端口装置连接；以及分气部分，将来自进气部分的气体导入供气部分，是一个封闭的回路。

Description

充气设备

技术领域

本发明涉及一种充气设备，特别是有关于一种用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中的充气设备。

背景技术

近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术扮演重要的角色，只要是关于图形定义，皆需依赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅晶圆可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒如微粒、粉尘或有机物都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，而被投射的硅晶圆或者其它半导体投射体亦必须保持绝对清静，因此在一般的晶圆制程中，都提供无尘室的环境以避免空气中的颗粒污染。然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘的状态。

因此，现代的半导体制备皆利用抗污染的存放装置进行光罩与半导体组件的保存与运输，以使光罩与半导体组件保持洁净。存放装置是在半导体制程中用于存放光罩或半导体组件，以利光罩与半导体组件在机台之间的搬运与传送，并隔绝光罩与半导体组件与大气的接触，避免光罩或半导体组件被杂质污染而产生变化。因此，在先进的半导体厂中，通常会要求该等存放装置的洁净度要符合机械标准接口(Standard MechanicalInterface；SMIF)，也就是说保持洁净度在Class 1以下。故，在该等存放装置中充入气体便是目前解决的手段之一。因此，以往的技术乃将该等存放装置外接一个充气设备，使气体通过充气设备导入该等存放装置。

然而，以往的充气设备，是采用直线供气的供气线路(如图7所示)，换言之，其充气的路线自供气源至最后一个充气点，是一气到底的状态，因此最接近供气源的充气点，其气压最强，气体流量最大；然而至末端充气点，其气压已因气体流量不足而较前端的充气点的气压为弱。此种充气设备，前端充气点易因气压过强，而导致充入存放装置的气体流量过大，而有损害存放装置中光罩或半导体组件的危险；然而末端充气点，却因气体流量不足，气压过小，而有充气不足甚至无法充气的危险。如此一来，将导致各个存放装置虽置于同一充气设备中，却因气压配置不良，而使存放装置中气体流量不同，而造成无法管理的状况，使制造与管理的成本增加。因此，如何使在同一充气设备中每一存放装置所导入的气体流量相同，是一个重要的议题。

有鉴于此，本发明所提供的充气设备，乃针对现有技术加以改良。

发明内容

为解决现有技术的问题，本发明提供一种具有封闭回路供气线路的充气设备，此充气设备是用以将气体导入于用以存放半导体组件或光罩的存放装置之中，充气设备与供气源连接，是由承座、入气端口装置与供气线路组合而成；承座是用以承载存放装置；入气端口装置，设于承座上且与存放装置的入气部分对应的位置；供气线路，尚包含有进气部分，用以与供气源连接；供气部分与该入气端口装置连接；以及分气部分，将来自进气部分的气体导入供气部分，是一个封闭的回路。

因此，本发明的主要目的，在于提供一种具有封闭回路供气线路的充气设备，其供气线路采封闭回路设计，能保持供气线路内气压稳定。

本发明的再一目的，在于提供一种具有封闭回路供气线路的充气设备，其供气线路采封闭回路设计，不分在供气线路中任何一端，均具有相同气压与气体流量。

本发明的再一目的，在于提供一种具有稳压装置的充气设备，得以调节供气线路内气体的压力与流量，使供气线路中任何一端均具有相同的气压与气体流量。

本发明的再一目的在于提供一种具有第一感应装置的充气设备，得以检测供气线路内的气压与气体流量，并且传送信息至稳压装置，另稳压装置调节气压与气体流量，使充气设备得以自动化控制供气线路内的气压与气体流量。

本发明的再一目的，在于提供一种具有开关装置的充气设备，得以开启或关闭气体进入存放装置。

本发明的再一目的，在于提供一种具有第二感应装置的充气设备，用以检测存放装置是否正确对位，并传送信号至开关装置，开启或关闭气体，使充气设备得以自动化控制气体进入存放装置。

本发明的再一目的，在于提供一种具有流量调节器的充气设备，用以调节导入存放装置的气体的流量，藉此得以保护存放装置内的对象免于受到爆冲气体的伤害。

附图说明

图1，是本发明充气设备的示意图；

图2，是本发明充气设备增设稳压装置、第一感应装置的示意图；

图3，是本发明充气设备增设开关装置的示意图；

图4，是本发明充气设备增设感应装置的示意图；

图5，是本发明充气设备中开关装置增设流量调节器的示意图；

图6，是本发明充气设备中供气线路的分气部分包含两个以上互相连通的回路的示意图；

图7，是关于供气线路的现有技术的示意图。

【主要组件符号说明】

充气设备1

承座11

入气端口装置12

供气线路13

进气部分131

供气部分132

分气部分133

开关装置14

流量调节器141

第二感应装置15

稳压装置18

第一感应装置19

供气源2

存放装置3

入气部分31

具体实施方式

由于本发明是揭露一种具有封闭回路供气线路的充气设备，其中所利用到的一些关于光罩、半导体组件、存放装置或充气装置的详细制造或处理过程，是利用现有技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。而且下述内文中的图式，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本发明特征有关的示意图。

请先参阅图1，是本发明充气设备的示意图。充气设备1与供气源2连接，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置3中，存放装置3具有至少一个入气部分31，气体经由入气部分31进入存放装置3中。

充气设备1包含有至少一个承座11、至少一个入气端口装置12以及供气线路13。承座11，是用以承载存放装置3；入气端口装置12，设于承座11上且位于与存放装置3入气部分31相对应的位置，气体是通过入气端口装置12通过入气部分31后进入存放装置3。而本充气设备重要技术特征在于此供气线路13，供气线路13包含有一个进气部分131，用以与供气源2连接；包含至少一个供气部分132分别与入气端口装置12连接；以及包含有分气部分133，将来自进气部分131的气体导入该供气部分132。最大的特征在于分气部分133成为一条封闭的回路，在此回路中的气压均保持相同，因此每一供气部分132进入入气端口装置12的气体气压均为相同，不会因为远离进器部分131而产生气压不足的现象，因此可以保持导入每一存放装置3的气压均相同。

气体在该封闭式回路的供气路线13中，气压虽会保持相同，然而若随着开启的供气部分132数量增加，导入存放装置3的整体气体流量亦会增加，则此时将造成供气线路13内气压流量整体减低，接着再进入存放装置3的气压跟着减少，因此，本发明可再设置一个稳压装置18(如图2所示)，设置于供气线路13的进气部分131，用以调节该供气线路13内气体的压力与流量，充气设备1的供气线路13平时保持一定的流量，但是随着导入存放装置3的气体流量的增加或减少，该稳压装置18可以随之调整在供气线路13内的气体流量，保持整个供气线路13的气压的稳定，进而保持导入存放装置3的气体具有稳定的气压。同时，可再增设一个第一感应装置19，设于供气线路13的进气部分131中，用以感测供气线路13内气体的压力与流量。第一感应装置19与稳压装置18可以利用电性连接的方式，将第一感应装置19所感测的气压与流量的结果传输至稳压装置18，使稳压装置18得以调节在供气线路13内气体的压力与流量，以保持供气线路13中气体流量与压力的稳定。

接着本发明充气设备可再设置一个开关装置14，与供气线路13的供气部分132连接，用以开启或关闭气体进入存放装置3，如图3所示。此种开关装置14可以是电磁阀。当存放装置3放置于充气设备1的承座11上，且其入气部分31与入气端口装置12正确对位时，该开关装置14即开启，则于供气部分132的气体即通过入气端口装置12进入存放装置3中。

如欲使该充气设备1更加自动化，则可再于该充气设备1中增设第二感应装置15，如图4所示。第二感应装置15可设在承座11上，设置目的在于感应存放装置3的入气部分31与充气设备1的入气端口装置12是否正确对位，当入气部分31与入气端口装置12的放置位置正确时，第二感应装置15可以传送信号至开关装置14，并使该开关装置14开启，此时，于供气部分132的气体即可通过入气端口装置12进入存放装置3中。

又，为了防止进入存放装置3的气体在开关装置14开启的瞬间爆冲，可再增设一个防止爆冲的流量调节器141，如图5所示，用以在开关装置14开启时，调节导入存放装置3的气体的流量。

接着，本发明改良的重点在于供气线路13的分气部分133是封闭的回路，如此一来可以保持在回路中每处气压的稳定，分气部分133可以设计为一个回路，或甚至包含两个以上互相连通的回路，如图6所示，端视使用的需要。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用以限定本发明的申请专利权利；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及实施，因此其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在下述的申请专利范围中。

Claims (18)

1.一种充气设备，与一供气源连接，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，其中该存放装置具有至少一入气部分，该充气设备包含：

至少一承座，用以承载该存放装置；

至少一入气端口装置，设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置；以及

一供气线路，其特征在于该供气路线包含有：

一进气部分，用以与该供气源连接；

至少一供气部分与该入气端口装置连接；以及

一分气部分，将来自该进气部分的气体导入该供气部分，其中该分气部分是一封闭的回路。

2.根据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，另包含一稳压装置，设于该供气线路的进气部分，用以调节该供气线路内气体的压力与流量。

3.根据权利要求2所述的充气设备，其特征在于，另包含一第一感应装置，设于该供气线路的进气部分，用以感测该供气线路内气体的压力与流量。

4.根据权利要求3所述的充气设备，其特征在于，该第一感应装置将感测结果传输至该稳压装置，使该稳压装置得以调节该供气线路内气体的压力与流量。

5.根据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，另包含一开关装置，与该供气线路的供气部分连接，用以开启或关闭气体进入该存放装置。

6.根据权利要求5所述的充气设备，其特征在于，该开关装置为一电磁阀。

7.根据权利要求5所述的充气设备，其特征在于，当该存放装置的入气部分与该充气设备的入气端口装置正确对位，该开关装置即开启，气体即进入该存放装置中。

8.根据权利要求5所述的充气设备，其特征在于，另包含一第二感应装置，设于该承座上，用以感应该存放装置的入气部分与该充气设备的入气端口装置是否正确对位。

9.根据权利要求8所述的充气设备，其特征在于，当该存放装置的入气部分与该充气设备的入气端口装置正确对位时，该第二感应装置即传送信号至该开关装置，使该开关装置开启，气体即进入该存放装置中。

10.根据权利要求5所述的充气设备，其特征在于，该开关装置另包含一流量调节器，用以调节导入该存放装置的气体的流量。

11.根据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，该分气部分包含两个以上互相连通的回路。

12.一种充气设备，与一供气源连接，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，其中该存放装置具有至少一入气部分，该充气设备包含：

至少一承座，用以承载该存放装置；

至少一入气端口装置，设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置；

一供气线路，其特征在于该供气路线包含有：

一进气部分，用以与该供气源连接；

至少一供气部分与该入气端口装置连接；以及

一分气部分，将来自该进气部分的气体导入该供气部分，其中该分气部分是一封闭的回路；

一开关装置，与该供气线路的供气部分连接，用以开启或关闭气体进入该存放装置；以及

一第二感应装置，设于该承座上，用以感应该存放装置的入气部分与该充气设备的入气端口装置是否正确对位；

其中，当该存放装置的入气部分与该充气设备的入气端口装置正确对位时，该第二感应装置即传送信号至该开关装置，使该开关装置开启，气体即进入该存放装置中。

13.根据权利要求12所述的充气设备，另包含一稳压装置，设于该供气线路的进气部分，用以调节该供气线路内气体的压力与流量。

14.根据权利要求13所述的充气设备，另包含一第一感应装置，设于该供气线路的进气部分，用以感测该供气线路内气体的压力与流量。

15.根据权利要求14所述的充气设备，其特征在于，该第一感应装置将感测结果传输至该稳压装置，使该稳压装置得以调节该供气线路内气体的压力与流量。

16.根据权利要求12所述的充气设备，其特征在于，该开关装置为一电磁阀。

17.根据权利要求12所述的充气设备，其特征在于，该开关装置另包含一流量调节器，用以调节导入该存放装置的气体的流量。

18.一种充气设备，与一供气源连接，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，其中该存放装置具有至少一入气部分，该充气设备包含：

至少一承座，用以承载该存放装置；

至少一入气端口装置，设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置；

一供气线路，其特征在于该供气路线包含有：

一进气部分，用以与该供气源连接；

至少一供气部分与该入气端口装置连接；以及

一分气部分，将来自该进气部分的气体导入该供气部分，其中该分气部分是一封闭的回路；

一稳压装置，设于该供气线路的进气部分，用以调节该供气线路内气体的压力与流量；以及

一第一感应装置，设于该供气线路的进气部分，用以感测该供气线路内气体的压力与流量；

其中，该第一感应装置将感测结果传输至该稳压装置，使该稳压装置得以调节该供气线路内气体的压力与流量。

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