CN101542186B - 低蒸汽压力的高纯度气体输送方法及输送系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种用于输送汽相流体给期望的最终用途的系统、设备和方法，其中监测所述系统的状况以确定何时水含量或供给容器的表面温度超过给定值，或何时低蒸汽压力流体压力降至给定值之下，以便通过中止来自第一供给容器的蒸汽流和开启来自第二供给容器的蒸汽流而使所述第一供给容器退出使用。

Description

低蒸汽压力的高纯度气体输送方法及输送系统
【技术领域】
本发明通常涉及从输送容器内有效地输送低蒸汽压力的高纯度气体。更具体地说，本发明涉及用于从若干加热的供给容器内高效地输送低蒸汽压力的高纯度气体的方法和设备。
【背景技术】
非空气气体(亦即不是源自空气的气体)通常用于产品的制造，如半导体、LCD、LED和太阳能电池。例如，三氟化氮被用作一种室内清洗气，同时硅烷和氨在化学汽相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)过程可分别用于沉积硅和氮化硅。
半导体、LCD、LED和太阳能电池的制造厂通常要求供给汽相的、高纯度或超高纯度且高流量的非空气气体，同时具备以不连续的气流型态供给汽相气体的能力。在这些气体中低挥发性污染物的存在(即比非空气气体更不易挥发的污染物)是特别不可取的，因为它们可以沉积在产品的基板上并且使产品性能退化，或者以其它方式对产品性能产生不利影响。例如，水，它是一种常见的低挥发性的氨污染物，它可以沉积在LED蓝宝石基板上，从而导致LED的亮度降低以及良率损失。对于此类应用，氨中的汽相水分超过1ppb(十亿分之一)就可能对制造过程不利，由此损害所制造的产品。
新的半导体产品有很大的生产量，因此需要大量的非空气气体。此外，由于半导体工艺工具运作的分批特性，非空气气体的利用模式往往优选不连续的。
许多非空气气体以液体或蒸汽/液体混合物的形式运输及存储。这些气体被称为低蒸汽压力气体并且包括，例如，氨、氯化氢、二氧化碳和二氯硅烷。低蒸汽压力气体通常具有小于约1500磅/平方英寸的蒸汽压力，温 度约为70°F。根据已知的方法，因为低蒸汽压力气体以液体或蒸汽/液体混合物的形式供给，于是需要一种用于加热/煮沸这些气体的装置以使汽相产物可供给到理想的最终用途，例如，半导体、LED、LCD或太阳能电池的制造工艺。这种煮沸一般通过将热供给供给容器的外壁而实现，如美国专利6,025,576或6,614,412所描述的。在这样的系统中，汽相的低蒸汽压力气体从供给容器退出。充足的热量用于煮沸液相的低蒸汽压力气体，同时汽相的低蒸汽压力气体从供给容器退出，由此在理论上保持了供给容器的压力。
美国专利6,025,576描述了一种构造，依靠此构造汽相、低蒸汽压力气体自加热的输送容器退出，所述输送容器使用的是只与输送容器张紧的、非永久性连接的加热器。具有比低蒸汽压力气体较低挥发性的污染物优先保留在液体中，形成低污染物含量的蒸汽。蒸汽自容器退出直到液化气占到汽缸容积的仅10％左右，这使得液化气的接触面低于加热器的平面。
美国专利6,614,009揭露了一种系统构造，依靠此系统构造汽相的、低蒸汽压力气体从大型加热的输送容器(如重箱)退出，所述输送容器包括永久设置的加热器。优选设置这些加热器以便尽量减少在最低预期液位上的直接加热而使纯度最大化。然而，′009专利并没有描述通过让供给容器保持在使用中直到水分含量超过一定数值而使低蒸汽压力气体的利用达到最大化的装置。
美国专利6,581,412描述了一种系统，依靠此系统使汽相的、低蒸汽压力气体自加热的输送容器退出，所述输送容器使用与其相连的加热器。该专利描述了一种用于控制供给容器内液化压缩气体的温度的方法，该方法包括：将温度测量装置设置在所述压缩气体供给容器的壁上，监测所述供给容器的温度并控制加热装置加热所述供给容器内的液化气体。然而，′412专利并没有描述一种识别适当时间的装置以使供给容器退出使用。
美国专利6,363,728描述了一种控制热输入给存于加热的输送容器内的低蒸汽压力气体的装置。该系统包括一个置于输送容器的热交换器以从液化气体中提供或删除能量，用以监测压力的压力控制器以及用以调整输送给所述容器所含之物的能量的装置。然而，′728专利并没有描述一种识别适 当时间的装置以使供给容器退出使用。
解决本技术领域目前存在的操作挑战的一个典型的、已知的方法是当大部分留在供给容器内的低蒸汽压力气体下降到预先设定值(通常从初始质量的约10％到约20％)时使供给容器退出使用。但是，这种方法未能认识到关键液位(即容器应该退出使用的液位)将随选择的关键参数(容器压力、壁温或水位)而不同。
一个本领域存在的重要问题是没有任何有用的装置用以有效确定低蒸汽压力气体供给容器应该何时退出使用。目前已知的系统冒着供给容器过早或过晚地退出使用的风险。结果，如果所述供给容器过早退出使用，低蒸汽压力气体将被浪费。如果所述供给容器过晚退出使用，则可能发生一些有害影响。例如，污染物含量可能超出容许极限，从而给最终用途造成不良影响，例如，半导体、LED、LCD或太阳能电池的制造过程。这种潜在的不利影响包括，例如，良率损失。
【发明内容】
根据一个实施例，本发明提供一种用于奖汽相流体输送给期望的最终用途的方法和设备，其中监测所述系统的状况以确定何时水含量或供给容器的表面温度超过给定值，或何时低蒸汽压力流体压力降至给定值之下，以便通过中止来自第一供给容器的蒸汽流和开启来自第二供给容器的蒸汽流而使所述第一供给容器退出使用。此现象发生的液位优选靠近由所述加热器的上边缘确定的平面。
在另一个实施例中，本发明提供一种用以从容器输送在压力下的汽相流体的方法，所述方法包括下列步骤：提供至少第一和第二容器，每个容器具有容器壁，所述第一和第二容器内含有一定数量的流体，并且提供至少一个与所述第一容器壁相连的加热器和至少一个与所述第二容器壁相连的加热器。每个容器在投入使用前视需要被加热以达到预定压力。提供至少一个与所述加热器相连的加热控制器，其用以控制传给所述第一和第二容器壁及包含在所述第一和第二容器内的液相流体的热量。提供一个用以监测所述 第一和第二容器内的选自汽相流体压力、容器壁温和汽相流体水含量的一个状况的装置来监测所述第一和第二容器内的选自汽相流体压力、容器壁温和汽相流体水含量的状况，以确定所述第一和第二容器内的关键液位。提供与所述装置相连的第二控制器和至少一个具有开/关位置的阀门。所述阀门把来自所述容器的流体用于最终用途，当所述关键液位到达容器内的预定水平并打开阀门使汽相流体从第二容器流到最终用途时，所述第二控制器激活所述阀门的开/关位置并且激活所述阀门到关闭位置。
在又一个实施例中，本发明提供一种用以有效地输送汽相流体到最终用途的设备和系统。所述设备包括至少一个第一和第二容器，每个容器具有容器壁，且每个容器包含一定数量的液相流体。一个加热器与所述第一和第二容器相连。一个加热控制器与所述加热器相连，所述加热控制器控制传给所述第一和第二容器以及包含在所述第一和第二容器内的液相流体的热量。一个用以监测选自所述第一和第二容器内的汽相流体压力、容器壁温、汽相流体水含量的一个状况的装置与所述汽相流体相连。一个第二控制器与所述装置相连，还有一个具有开/关位置的阀门。所述阀门把来自所述容器的流体用于最终用途，当所述关键液位到达预定水平并打开阀门使汽相流体从第二容器流到最终用途时，所述第二控制器激活所述阀门的开/关位置到关闭位置。
【附图说明】
本领域的一般技术人员将从下述优选实施例的说明和所附图示中了解到其它目的、特征、实施例和益处，其中：
图1a和1b是传统供给容器系统的横截面图，所述传统供给容器系统的加热功能设置在邻近容器外壁的位置。
图2是描绘蒸汽压力随容器内液位相对于加热元件变化的图表。
图3是描绘容器壁温随液位相对于加热元件变化的图表。
图4是描绘汽相水含量随液位相对于加热器变化的图表。
图5是传统的低蒸汽压力流体供给系统的示意图。
图6-8是本发明低蒸汽压力流体供给系统的优选实施例的示意图。
【具体实施例】
在低蒸汽压力的高纯度气体输送系统的技术领域中，已知技术未能认识到关键液位将取决于最重要的是压力降低、容器壁温升高还是水位升高。在引用的美国专利6,025,576这个例子中，允许液位降至加热器下将造成容器退出使用前压力降低及水位升高。′576专利同样未能认识到关键液位将取决于设备和操作参数，如加热器构造和出气率。
于2006年6月28日提交的共同待决和转让的美国专利申请11/476,042，根据其某些实施例，描述了一种用于将加热器连接到含有低蒸汽压力气体的供给容器的较低部分的装置。该申请叙述了已知的低蒸汽压力气体供给系统可产生“热点”和剧烈的低蒸汽压力气体沸腾，这可导致污染物输送给客户。该申请还一步描述了由于简单的汽相/液相平衡的水分积聚，以及，由于这种基于水分积聚的平衡，部分低蒸汽压力气体必须被丢弃(通常是10％-20％)。所述共同待决和转让的美国专利申请的内容全部纳入此处以作参考，就象成为本申请的一部分一样。
因此，在已知的系统中，供给容器可能过早(即在上述挑战开始之前)或过晚(在供给容器壁温、水位已超过允许界限之后)退出使用。如果所述供给容器过早退出使用，一些可利用的低蒸汽压力气体将被浪费。如果所述供给容器过晚退出使用，其中一个关键参数可能超过允许界限。例如，水位可能变得过高，这将对半导体、LED、LCD或太阳能电池的制造过程产生不利影响，从而导致产品质量差或产品损失。允许水位超过允许界限也将增加供给容器下游氨净化的成本，在那些下游位置氨净化系统被使用。
根据本发明的一个实施例，本发明的系统和仪器认识并利用这些变化以最大限度地提高低蒸汽压力产物的利用，而不会对半导体、LCD、LED或太阳能电池的制造过程造成不利影响。
对于传统的低蒸汽压力气体供给系统而言，很难始终如一地满足半导体、LED、LCD和太阳能电池制造厂的要求。例如，当相当一部分热量施于供给容器壁不与液相低蒸汽压力气体接触的那部分时，传热变得无效。实验的进行用以确定当液位下降导致供给容器壁与液相氨接触的部分下降时传热给液相氨的能力。虽然为说明目的选择氨，但本发明的方法和仪器还在各种气体的处理方面具有显著优势，这些气体包括但并不限于三氯化硼、二氧化碳、氯、二氯硅烷、卤烃、溴化氢、氯化氢、氟化氢、甲基硅烷、氧化亚氮、三氟化氮、三氯硅烷和它们的混合物。如图1所示，汽相氨以恒定的速率通过管道4和13从供给容器内取出。为补充取出的蒸汽和维持供给容器的压力，热通过表面安装的加热器3和12施于供给容器的外部、底部表面。传热给液相氨的能力通过使用压力测量装置6和15监测容器压力而确定。如果传热是无效的，供给容器的压力将下降。
图2显示的是测量的压力和液位(x轴正值表示液位高于加热器，反之亦然)的关系。请注意，当液位高于加热器，供给容器的压力通常是持续不变的(传热有效)。当液位接近加热器，供给容器的压力不是持续不变的(传热无效)。因此，在一些被称为“关键压力液位”的液位，供给容器的压力将不再是可持续的。这一关键压力液位将随系统不同而不同并且取决于许多变数，如出气率、加热器构造、加热器温度及加热器和供给容器壁之间接触的密切度。所述关键压力液位可能低于液位达到加热器水平的那一点，虽然如图2所示，它也可能超出加热器水平。
所述关键液位也将随所基于的系统不同而不同，例如，出气率、加热器构造、加热器温度及加热器和供给容器壁之间接触的密切度。例如，在低出气率时，所述关键压力液位将低于高出气率时的，因为保持供给容器压力必须的加热器面积在低出气率时较小。
当热量的相当一部分施于供给容器壁不与液相低蒸汽压力气体接触的那部分时，供给容器的壁温可能局部高出设计极限。实验的进行用以确定液位对供给容器壁温的影响。结果显示在图3(x轴正值表明液位高于加热器，反之亦然)中。确定的是，当液位降至关键温度液位之下，在供给容器 壁不与液相低蒸汽压力气体接触的那部分，供给容器的壁温开始增加。供给容器的设计使其接近环境温度运作，并且供给容器通常具有一个非常低的最大允许工作温度。一个典型的最大允许工作温度约为125°F。在超出最大允许工作温度的温度下运作是一个安全问题，并可能导致容器故障。如图3所示，当液位降至关键温度液位之下时温度接近这个温度极限。关键温度液位(-0.7英寸，液位低于加热器)不同于关键压力液位(0.35英寸，液位高于加热器)。
当热量的相当一部分施于供给容器壁不与液相低蒸汽压力气体接触的那部分时，汽相的低挥发性污染物含量基本超过平均值。因为他们不容易蒸发，当汽相低蒸汽压力气体退出供给容器时，低挥发性污染物优先以液相状态保留。因此，正如上文所述，气液相中的低挥发性污染物的含量随时间推移而增大。
由这一现象引起的低挥发性污染物含量被称为污染物平均值。实验的进行用以确定在液位下降导致与液相氨接触的供给容器部分下降时自供给容器退出的氨蒸汽中观测到的低挥发性污染物含量。在这些实验中，低挥发性污染物是水。相关结果显示在图4中。请注意，当液位下降时观测到的水含量反映预计的平均含量，直到达到关键水液位。在那个关键水液位，水含量基本超过预测的平衡值。对于这些实验，当液位约降至基本相当于加热器水平的位置时关键水液位就会出现。
如上所述，过去已知的系统未能认识到关键液位将取决于最重要的是压力降低、容器壁温升高还是水位升高。允许液位降至加热器之下将导致在容器退出使用前压力降低和水位升高。先前的系统还未能认识到关键液位将取决于设备和操作参数，如加热器构造和出气率。根据一个优选实施侧，本发明认识并利用这些变化以最大限度地提高低蒸汽压力产物的利用而不会对半导体、LCD、LED或太阳能电池的制造过程造成不利影响。
此外，目前已知的方法和系统未能描述一种通过保持供给容器在使用中直到水分含量、壁温或压力超过一定数值从而最大限度地提高低蒸汽压力气体的利用的装置，也未能进一步提供进一种确定适当的时间以使供给 容器退出使用的装置。
当水含量或供给容器表面温度超过给定值时，或当低蒸汽压力流体压力降至给定值之下时，通过中止来自第一供给容器的蒸汽流和开启来自第二供给容器的蒸汽流使供给容器退出使用。此现象发生的液位靠近由加热器的上边缘确定的平面。
根据一个实施例，本发明提供一种最大限度地提高低蒸汽压力气体的利用而又不会将供给容器压力降低、供给容器过热或高水位产物输送给半导体、LCD、LED或太阳能电池制造厂的装置。供给容器过热是一个关于安全操作的问题。压力降低和高水位是一个关于半导体、LCD、LED或太阳能电池产量的问题。
图5描述的是传统的低蒸汽压力流体供给的构造。一般而言，该系统的目的在于将包含在供给容器内的液相或两相低蒸汽压力流体输送给半导体、LED、LCD或太阳能电池的制造设备，并将其转换成汽相低蒸汽压力流体。包含例如汽相和液相氨的供给容器20和30平行安装以便当一个容器耗尽时，其它容器可投入使用而不会中断对半导体、LED、LCD或太阳能电池制造厂的供给。汽相氨通过管道21或31从任何一个使用中的容器退出。然后汽相氨被转移到气体操控板40，该气体操控板在汽相氨通过管道41输送给半导体、LED、LCD或太阳能电池制造设备之前控制氨的压力和温度。
当汽相氨从供给容器20或30退出时，通过使用一个或多个加热器系统22和32及一个封闭循环加热器控制装置来保持供给容器压力。通常，压力传感器23或33监测供给容器压力并把信号发送给可编程逻辑控制器24或34，在可编程逻辑控制器处信号与设定值对比。基于这些数值之间的差异，对从加热器系统22或32输送给供给容器20或30的能量进行调整。这有利于氨的蒸发以维持所需的供给容器压力。
尽管许多加热器类型可以采用，但是一个普遍的加热器类型是一种硅橡胶毯式加热器。这种硅橡胶毯式加热器可以各种不同的方式贴在容器上。一个典型的硅橡胶加热器可从华特隆电气制造公司(St.Louis，MO)获得。 优选安装加热器以便其热量均匀分布到容器的底部，从而容器上的加热器不会上升到过高的温度。根据本发明的一个实施例，采用了一种用以中止来自容器的流体的方法。如果容器上的加热器上升到过高的温度，相当一部分氨将被浪费掉。加热器通常覆盖容器圆周的约5％到约50％，优选覆盖容器圆周的约10％到约40％且最好是容器圆周的约20％到约35％。硅橡胶加热器通常运行于约100到约500°F的温度范围，优选约120到约300°F的温度范围且最好是约130到约200°F的温度范围。这样一种加热构造优选与许多供给容器类型一起使用。例如，可以使用一种水平安装的Y型气缸，其最初包含大约500磅的氨。
氨从供给容器20或30中退出，直到质量保持下降到初始含量的约10％到约30％。当达到这个含量时，供给容器退出使用，并且被称为后跟的剩余液体被丢弃。后跟在具有比氨更低的蒸汽压力的污染物中富集化，例如水。
本发明的优选实施例在图6、7和8中加以描述。正如前面所述，根据本发明的实施例，本系统和设备确定供给容器20或30应该退出使用的时刻。更具体地说，图6描述了一种根据压力确定供给容器20或30应该退出使用的时刻的装置。每个供给容器20和30的出口处的压力分别通过压力传感器23和33来监测。该压力通常保持在从约50到约250磅/平方英寸的范围内，优选从约100到约200磅/平方英寸的范围内，且最好是从约120到约180磅/平方英寸的范围内。当供给容器20或30的液体含量降至不能保持预期压力的水平并且降至一些预定值之下时，控制器64将通过关闭阀门25或阀门35促使来自使用中的供给容器的蒸汽流停止，关闭阀门25还是阀门35取决于在使用的是哪个供给容器。压力转换通常发生在压力下降了从约1到约100磅/平方英寸的一个数值时，优选在压力下降了从约5到约50磅/平方英寸的一个数值时，且最好是在压力下降了从约5到约20磅/平方英寸的一个数值时。然后通过打开阀门25或35开启来自不在使用中的供给容器的流体。
图7描述的是本发明的又一个实施例，由此提供一种根据供给容 器壁温确定供给容器20或30应该退出使用的时刻的装置。容器壁温分别通过使用温度元件74，76来监测。该温度通常在约0°到约125°F的范围内，优选在约30°到约125°F的范围内，且最好是在约60°到约125°F的范围内。当供给容器的液体含量降至表面温度接近设定值范围的水平时，通常是从约70°到约125°F，优选从约100°至约125°F的范围内，且最好是从约115°到约125°F的范围内，控制器78将通过关闭阀门25或阀门35促使来自使用中的供给容器的蒸汽流停止，关闭阀门25还是阀门35取决于在使用的是哪个供给容器。然后通过打开阀门25或35开启来自不在使用中的供给容器的流体。
图8描述的是一种根据水含量确定供给容器20或30应该退出使用的时刻的装置。每个供给容器20和30的出口处的水含量通过湿度分析器80来监测。水含量通常是在约0.001到约10ppm的范围内，优选在约0.01到约5ppm的范围内，且最好是在约0.1到约2ppm的范围内。当供给容器20或30的液体含量降至水含量增加超过由气/液平衡预测的数值的水平时，控制器90将通过关闭阀门25或阀门35促使来自使用中的供给容器的蒸汽流停止，关闭阀门25还是阀门35取决于在使用的是哪个供给容器。然后通过打开阀门25或35开启来自不在使用中的供给容器的流体。
所提及的控制装置可适用于任何大小的容器，如T型气缸、Y型气缸(吨集装箱)或ISO集装箱、管道拖车或罐车，所述容器包含有任何期望的液体或两相低蒸汽压力气体，如氨，由此产生汽相的低蒸汽压力气体流。例如，吨集装箱通常呈水平设置并由4130X合金钢制成且可包含，例如，最大容量510磅的氨。容器可以是预填和自足的，或者可以装满气体输送系统领域的一般技术人员所容易理解的来源。
许多加热器类型可用于传热给较大的容器。最常见的是电阻加热器，包括毯式加热器、加热炉、电缆和线圈、带式加热器和电热丝。加热器优选安装在容器的较低部分且加热器控制器优选控制传给低蒸汽压力气体的热量以保持蒸汽输出。其它可能有用的热水器类型包括，例如，浴室加热器、感应加热器、包含传热介质(例如，硅油)的热交换器等。
离开第二容器的汽相低蒸汽压力非空气气体可通过，如吸附、过滤或蒸馏方式进一步净化，从而进一步提高纯度度。可进一步预想的是气流可能会被送到除雾器以去除任何由于剧烈沸腾从供给容器转入的液相低蒸汽压力气体液滴。这些液滴将由除雾器收集，并可能通过适当的输送工具返回到供给容器，例如，通过重力。
尽管已对本发明的具体实施例作了详细说明，但对本领域的一般技术人员而言各种变型、修改和替换将是显而易见的，并且这些等同物未离开且意图包含在本发明的权利要求范围之内。

Claims (8)

1.一种用以从容器输送在压力下的汽相流体的方法，所述方法包括下列步骤：
提供至少第一和第二容器，所述第一和第二容器内含有流体，每个容器具有容器壁；
提供与所述第一容器相连的具有打开/关闭位置的第一阀门、以及与所述第二容器相连的具有开/关位置的第二阀门；提供与所述第一和第二容器的每一个相连的加热器；
加热所述第一和第二容器以在所述第一和第二容器内达到预定压力；
提供与所述加热器相连的控制器；
从所述第一容器取出一定数量的汽相流体并将其引导到最终用途；
通过与相应的容器关联的传感器来监测所述第一和第二容器内的至少一个状况，所述状况选自由汽相流体压力、容器壁温、汽相流体的低蒸汽压力的污染物含量和它们的组合组成的组，以通过确定是所述壁温还是所述汽相流体的低蒸汽压力的污染物含量超过给定值、或者所述汽相流体压力降到给定值之下来从所述状况确定所述第一和第二容器内的关键液位，所述关键液位是在所述容器内的最小允许液位；
提供与所述传感器相连的控制器；
当达到所述第一容器的关键液位时，将所述第一阀门激活到关闭位置，所述第一阀门减小从所述第一容器到所述最终用途的汽相流体的流量以使所述第一容器退出使用；以及
将所述第二阀门激活到打开位置，以便开启从所述第二容器到所述最终用途的汽相流体的流量以使所述第二容器投入使用。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述汽相流体是非空气气体，其选自由氨、三氯化硼、二氧化碳、氯、二氯硅烷、卤烃、溴化氢、氯化氢、氟化氢、甲基硅烷、氧化亚氮、三氟化氮、三氯硅烷和它们的混合物组成的组。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述低蒸汽压力的污染物是水。
4.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一和第二容器是以选自由304不锈钢、316不锈钢、哈氏合金、碳钢和它们的混合物组成的组的材料制成。
5.根据权利要求1所述的方法，其中所述加热器是电阻加热器，其选自由硅毯式加热器、带式加热器、加热炉、加热带和它们的组合组成的组。
6.一种用以输送汽相流体的系统，所述系统包括：
至少第一和第二容器，每个容器具有容器壁，每个容器包含一定数量的液相流体；
与所述第一和第二容器相连的加热器；
与所述加热器相连的控制器，所述控制器控制传给所述第一和第二容器的热量以及传给包含在所述第一和第二容器内的液相流体的热量；
与所述第一容器相连的具有打开/关闭位置的第一阀门，其用于将汽相流体的流量从所述第一容器引导到最终用途；以及与所述第二容器相连的具有打开/关闭位置的第二阀门，其用于将汽相流体的流量从所述第二容器引导到所述最终用途；
与相应的容器关联的用以监测至少一个状况的传感器，所述状况选自由所述第一和第二容器内的汽相流体压力、容器壁温、汽相流体的低蒸汽压力的污染物含量和它们的组合组成的组；和
与所述传感器相连的控制器，其用于通过确定是所述壁温还是所述汽相流体的低蒸汽压力的污染物含量超过给定值、或者所述汽相流体压力降到给定值之下来从所述状况确定所述第一和第二容器内的关键液位，所述关键液位是在所述容器内的最小允许液位；并且其用于当达到所述第一容器的关键液位时将所述第一阀门激活到关闭位置，所述第一阀门减小从所述第一容器到所述最终用途的汽相流体的流量以使所述第一容器退出使用；并且其用于将所述第二阀门激活到打开位置，以便开启从所述第二容器到所述最终用途的汽相流体的流量以使所述第二容器投入使用。
7.根据权利要求6所述的系统，其中所述第一和第二容器是以选自由304不锈钢、316不锈钢、哈氏合金、碳钢和它们的混合物组成的组的材料制成。
8.根据权利要求6所述的系统，其中所述第一和第二容器选自由ISO集装箱、吨集装箱和桶集装箱组成的组。
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