CN101531333A - 基于mems的传感器自供电电路及其制造工艺 - Google Patents
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Abstract
基于MEMS的传感器自供电电路，依次包括半导体衬底、形成在半导体衬底上的能量收集电路和能量存储电路、介质层，能量收集电路包括有至少三个由一个永磁铁芯电感、两个硅二极管构成的且互相并联的能量收集单元；能量存储电路组成包括由四个硅二极管依次首尾串联构成的整流电路、硅稳压管、至少一个电容器、以及嵌在半导体衬底上的可充电电池，整流电路的输入端与能量收集电路的输出端连接，整流电路的输出端、硅稳压管、电容器、可充电电池互相并联。本发明能够获取外界交变电磁场的能量，为MEMS无线传感器提供了稳定而持久的电源，良好的解决了MEMS无线传感器供电问题，为MEMS无线传感器在电力设备在线监测系统领域的普及应用铺平了道路。
Description
技术领域
本发明涉及一种基于MEMS(Micro Electro Mechanical System)的无限传感器的自供电模块及其制造工艺，属于电子技术领域。
背景技术
电力设备在线监测系统，由各类传感器组成。通过传感器测量设备的电气量和物理量，了解电力系统设备运行状况。当前世界各国正在着力发展智能电网，电气设备智能化是电网智能化的重要组成部分。完善的电力设备在线监测系统可以使封闭的电力设备“透明化”、信息化，进而实现智能化。
传统的电力设备在线监测系统，一般采用RS-485通信，采用有线连接；电源取自外部电源，采用电源线引入。对于内部高电压运行的设备而言，不仅布线困难，且无论何种导线，包括光缆，长期存在于高压设备内部，导线易受到电腐蚀、灰尘的影响，引起降低设备内部绝缘的问题不容忽视。
实现无连接线，首先要解决电源问题。MEMS是微功耗器件，容易实现无线传感技术，是当前技术研究和应用的重点。无线传感器处在密封的电力设备中，由于连续供电的需要，电力设备随时处在高压带电状态，不能按时更换电池，因此传感器的电源不能仅仅靠电池供电。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，克服现有MEMS的传感器供电电池需要更换的缺点，提供一种基于MEMS的传感器自供电电路及其制造工艺，能够给传感器以及无线发射器提供连续的电源。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案如下：基于MEMS的传感器自供电电路，其特征是包括半导体衬底、形成在该半导体衬底上的能量收集电路和能量存储电路，覆盖在该半导体衬底、能量收集电路和能量存储电路上的介质层，穿过介质层的小隧洞，所述能量收集电路包括有至少三个互相并联连接的能量收集单元，每个能量收集单元由一个永磁铁芯电感、与该永磁铁芯电感两端串联的两个硅二极管构成，其中，永磁铁芯电感两端分别与这两个硅二极管的阴极端、阳极端连接，硅二极管中未与永磁铁芯电感连接的阳极端、阴极端分别互相并联，作为能量收集电路的输出端，所述能量收集电路中各元件之间的连线穿过介质层的小隧洞后实现连接；所述能量存储电路组成包括由四个硅二极管依次首尾串联构成的整流电路、硅稳压管、至少一个电容器、以及嵌在半导体衬底上的可充电电池，整流电路的输入端与能量收集电路的输出端连接，所述整流电路的输出端、硅稳压管、电容器、可充电电池互相并联，所述硅稳压管的正极、负极分别与可充电电池的负极、正极连接，所述能量存储电路中各元件之间的连线穿过介质层的小隧洞后实现连接。
为了解决本发明还提供了一种制造权利要求1所述基于MEMS的传感器自供电电路的工艺，其是在以半导体材料为衬底、并覆以介质层的这种层状材料基础上进行加工的，所述介质层上形成有若干小隧洞，其工艺主要包括能量收集电路的制作和能量存储电路的制作，
所述能量收集电路的制作步骤如下：
(1)、在半导体衬底上渗透镀银永磁材料NdFeB薄膜，通过光刻形成至少三个永磁铁心电感；
(2)、在半导体衬底上制作至少六个硅二极管，一个永磁铁心电感对应两个硅二极管；
(3)、在介质层上打通小隧洞，永磁铁心电感的端部引线分别与两个硅二极管的阴极端引线、阳极端引线穿过介质层上的小隧洞并连接，实现永磁铁心电感两端分别与硅二极管的串联，一个永磁铁心电感与两个硅二极管构成了一个能量收集单元；
(4)、能量收集单元的硅二极管中未与永磁铁芯电感连接的阳极端、阴极端分别互相并联，作为能量收集电路的输出端；
所述能量存储电路的制作步骤如下：
(I)、在半导体衬底上形成首尾依次相连的四个硅二极管构成一个整流电路，所述的四个硅二极管之间的连接线穿过介质层上的小隧洞后进行连接；
(II)、将整流电路的输入端引线穿过介质层上的小隧洞与能量收集电路的输出端连接；
(III)、在半导体衬底上形成至少一个电容器，一个硅稳压管；
(IV)、采用光刻技术在半导体衬底上形成凹槽，并嵌入可充电电池；
(V)、将整流电路的输出端、电容器的引线、硅稳压管的正负极引线、可充电电池正负极引线穿过介质层上的小隧洞后进行并联连接，所述硅稳压管的正极、负极分别与可充电电池的负极、正极连接。
本发明的有益效果如下：本自供电电路的能量收集电路能够获取外界交变电磁场的能量，实时的输送给能量存储电路，从而实现了对MEMS无线传感器的稳定持久性供电，不需要更换电池，良好的解决了基于MEMS的无线传感器供电问题，为MEMS无线传感器在电力设备在线监测系统领域的普及应用铺平了道路；本自供电电路采用了MEMS结构并且采用MEMS工艺进行制造，使得该电路趋于微型化，可与MEMS的无线传感器集成在一块半导体衬底上，提高了设备的集成度。
附图说明
图1为本发明基于MEMS的传感器自供电电路的等效原理图。
图2为本发明自供电电路中能量收集电路的等效电原理图。
图3为本发明自供电电路中能量存储电路的等效电原理图。
图4为本发明基于MEMS的传感器自供电电路的侧视图。
图5为本发明基于MEMS的传感器自供电电路的侧视爆炸图。
图6为本发明的能量收集电路掀去介质层后的俯视图。
图7为本发明的能量存储电路掀去介质层后的俯视图。
具体实施方式
下面参照附图并结合实施例对本发明作进一步详细描述。但是本发明不限于所给出的例子。
图1为本发明自供电电路的等效原理图，如图2、图3、图4、图5、图6、图7所示，本发明基于MEMS的传感器自供电电路，其包括半导体衬底1、形成在该半导体衬底上的能量收集电路和能量存储电路，覆盖在该半导体衬底1、能量收集电路和能量存储电路上的介质层2，穿过介质层的小隧洞4，能量收集电路包括有至少三个互相并联连接的能量收集单元，所述能量收集单元(以图2中左侧第一个为例)由一个永磁铁芯电感L1、分别串联于该永磁铁芯电感L1两端的两个硅二极管D1、D2构成，其中，永磁铁芯电感L1两端分别与硅二极管D2的阴极端、硅二极管D1阳极端连接，硅二极管D1、D2、D3、D4、D5、D6的另一端，即未与永磁铁芯电感L1、L2、L3连接的阳极端、阴极端分别互相并联，作为能量收集电路的输出端，能量收集电路中各元件之间的连线穿过介质层2的小隧洞4后实现连接；能量存储电路组成包括由四个硅二极管D7、D8、D9、D10依次首尾串联构成的整流电路、硅稳压管DW、至少一个电容器C1、以及嵌在半导体衬底1上的可充电电池，整流电路的输入端与能量收集电路的输出端连接，整流电路的输出端、硅稳压管DW、电容器C1、可充电电池互相并联，硅稳压管DW的正极、负极分别与可充电电池的负极、正极连接，能量存储电路中各元件之间的连线穿过介质层2的小隧洞4后实现连接。本实施例中，介质层上具有一层导电层3，能量收集电路和能量存储电路的各元件穿过介质层2的小隧洞后在导电层3上进行连接。如果不设置导电层，则利用金属导线直接连接各元器件。导电层可以是铜板，也可以是银板。
本实施例中，充电电池为以金属钠为负极、硫或硫加碳纤维为正级的管状氧化铝固体电解质；半导体衬底为硅基板。
图1、图2、图6中，L2、L3为永磁铁芯电感。
本申请还提供了一种制造基于MEMS的传感器自供电电路的工艺，其是在以半导体材料为衬底1、并覆以介质层2的这种层状材料基础上进行加工的，所述介质层2上形成有若干小隧洞3(见图4、图5)，其工艺主要包括能量收集电路的制作和能量存储电路的制作，
所述能量收集电路的制作步骤如下：
(1)、在半导体衬底上渗透镀银永磁材料NdFeB薄膜，通过光刻形成至少三个永磁铁心电感；
(2)、在半导体衬底上制作至少六个硅二极管，一个永磁铁心电感对应两个硅二极管；
(3)、在介质层上打通小隧洞，永磁铁心电感的端部引线分别与两个硅二极管的阴极端引线、阳极端引线穿过介质层上的小隧洞并连接，实现永磁铁心电感两端分别与硅二极管的串联，一个永磁铁心电感与两个硅二极管构成了一个能量收集单元；
(4)、能量收集单元的硅二极管的另一端，即未与永磁铁芯电感连接的阳极端、阴极端分别互相并联，作为能量收集电路的输出端；
所述能量存储电路的制作步骤如下：
(I)、在半导体衬底上形成首尾依次相连的四个硅二极管构成一个整流电路，所述的四个硅二极管之间的连接线穿过介质层上的小隧洞后进行连接；
(II)、将整流电路的输入端引线穿过介质层上的小隧洞与能量收集电路的输出端连接；
(III)、在半导体衬底上形成至少一个电容器，一个硅稳压管；
(IV)、采用光刻技术在半导体衬底上形成凹槽，并嵌入可充电电池；
(V)、将整流电路的输出端、电容器的引线、硅稳压管的正负极引线、可充电电池正负极引线穿过介质层上的小隧洞后进行并联连接，所述硅稳压管的正极、负极分别与可充电电池的负极、正极连接。
如图4、图5所示，本例中的介质层2上还覆盖有的导电层3，能量收集电路和能量存储电路的各元件穿过介质层2的小隧洞4后在导电层3上进行连接，该导电层可以是铜板，也可以是银板；半导体衬底1为硅基板。
除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形式的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围。
Claims (10)
1、基于MEMS的传感器自供电电路，其特征是包括半导体衬底、形成在该半导体衬底上的能量收集电路和能量存储电路，覆盖在该半导体衬底、能量收集电路和能量存储电路上的介质层，穿过介质层的小隧洞，所述能量收集电路包括有至少三个互相并联连接的能量收集单元，每个能量收集单元由一个永磁铁芯电感、与该永磁铁芯电感两端串联的两个硅二极管构成，其中，永磁铁芯电感两端分别与这两个硅二极管的阴极端、阳极端连接，硅二极管中未与永磁铁芯电感连接的阳极端、阴极端分别互相并联，作为能量收集电路的输出端，所述能量收集电路中各元件之间的连线穿过介质层的小隧洞后实现连接；所述能量存储电路组成包括由四个硅二极管依次首尾串联构成的整流电路、硅稳压管、至少一个电容器、以及嵌在半导体衬底上的可充电电池，整流电路的输入端与能量收集电路的输出端连接，所述整流电路的输出端、硅稳压管、电容器、可充电电池互相并联，所述硅稳压管的正极、负极分别与可充电电池的负极、正极连接，所述能量存储电路中各元件之间的连线穿过介质层的小隧洞后实现连接。
2、根据权利要求1所述的基于MEMS的传感器自供电电路，其特征是还具有一块覆盖于介质层上的导电层，所述能量收集电路和能量存储电路的各元件穿过介质层的小隧洞后在导电层上进行连接。
3、根据权利要求1所述的基于MEMS的传感器自供电电路，其特征是所述的导电层为铜板或银板中的一种。
4、根据权利要求1所述的基于MEMS的传感器自供电电路，其特征是所述的充电电池为以金属钠为负极、硫或硫加碳纤维为正级的管状氧化铝固体电解质。
5、根据权利要求1所述的基于MEMS的传感器自供电电路，其特征是所述的半导体衬底为硅基板。
6、一种制造权利要求1所述基于MEMS的传感器自供电电路的工艺，其是在以半导体材料为衬底、并覆以介质层的这种层状材料基础上进行加工的，所述介质层上形成有若干小隧洞，其工艺主要包括能量收集电路的制作和能量存储电路的制作，
所述能量收集电路的制作步骤如下：
(1)、在半导体衬底上渗透镀银永磁材料NdFeB薄膜，通过光刻形成至少三个永磁铁心电感；
(2)、在半导体衬底上制作至少六个硅二极管，一个永磁铁心电感对应两个硅二极管；
(3)、在介质层上打通小隧洞，永磁铁心电感的端部引线分别与两个硅二极管的阴极端引线、阳极端引线穿过介质层上的小隧洞并连接，实现永磁铁心电感两端分别与硅二极管的串联，一个永磁铁心电感与两个硅二极管构成了一个能量收集单元；
(4)、能量收集单元的硅二极管中未与永磁铁芯电感连接的阳极端、阴极端分别互相并联，作为能量收集电路的输出端；
所述能量存储电路的制作步骤如下：
(I)、在半导体衬底上形成首尾依次相连的四个硅二极管构成一个整流电路，所述的四个硅二极管之间的连接线穿过介质层上的小隧洞后进行连接；
(II)、将整流电路的输入端引线穿过介质层上的小隧洞与能量收集电路的输出端连接；
(III)、在半导体衬底上形成至少一个电容器，一个硅稳压管；
(IV)、采用光刻技术在半导体衬底上形成凹槽，并嵌入可充电电池；
(V)、将整流电路的输出端、电容器的引线、硅稳压管的正负极引线、可充电电池正负极引线穿过介质层上的小隧洞后进行并联连接，所述硅稳压管的正极、负极分别与可充电电池的负极、正极连接。
7、根据权利要求6所述的制造基于MEMS的传感器自供电电路的工艺，其特征是介质层上覆盖有的导电层，所述能量收集电路和能量存储电路的各元件穿过介质层的小隧洞后在导电层上进行连接。
8、根据权利要求6所述的制造基于MEMS的传感器自供电电路的工艺，其特征是，所述的导电层为铜板或银板中的一种。
9、根据权利要求6所述的制造基于MEMS的传感器自供电电路的工艺，其特征是，所述的充电电池为以金属钠为负极、硫或硫加碳纤维为正级的管状氧化铝固体电解质。
10、根据权利要求6所述的制造基于MEMS的传感器自供电电路的工艺，其特征是，所述半导体衬底为硅基板。
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| CN (1) | CN101531333B (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102013737A (zh) * | 2010-10-12 | 2011-04-13 | 浙江大学 | 无线充电传感器节点 |
| CN102423258A (zh) * | 2011-09-20 | 2012-04-25 | 上海交通大学 | 基于mems技术的无线传输可植入对称结构压力传感器 |
| CN103176038A (zh) * | 2013-01-31 | 2013-06-26 | 东南大学 | 一种微波收发机中的自供电微机械传感器及模块 |
| CN103683912A (zh) * | 2013-11-26 | 2014-03-26 | 浙江大学 | 用于无线传感器的机床主轴热发电供能电路及控制方法 |
| CN107846083A (zh) * | 2017-12-05 | 2018-03-27 | 广东电网有限责任公司江门供电局 | 无线供能于mems电场传感器的系统、方法及相应电场传感器 |
| CN110316884A (zh) * | 2019-07-02 | 2019-10-11 | 江苏科技大学 | 带能量回收的swro与mcdi耦合海水淡化装置系统 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2540694Y (zh) * | 2002-04-26 | 2003-03-19 | 常州市天创智能化技术有限公司 | 感应电源装置 |
| CN2704150Y (zh) * | 2003-12-09 | 2005-06-08 | 武汉大学 | 高压线路感应取能装置 |
| CN200973131Y (zh) * | 2006-10-26 | 2007-11-07 | 梁明 | 电磁感应式通信电源装置 |
| CN101247096A (zh) * | 2008-03-18 | 2008-08-20 | 杭州电子科技大学 | 一种压电能量采集装置 |
| CN201219065Y (zh) * | 2008-05-23 | 2009-04-08 | 北京浩霆光电技术有限责任公司 | 有源电子式光电电流互感器高压侧供能装置 |
| CN101383530A (zh) * | 2008-06-25 | 2009-03-11 | 邹伟明 | 一种可长期自体感生发电供电的结构能电池 |
| CN201376890Y (zh) * | 2009-04-14 | 2010-01-06 | 曹嘉一 | 基于mems的传感器自供电电路 |
-
2009
- 2009-04-14 CN CN2009100294894A patent/CN101531333B/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102013737A (zh) * | 2010-10-12 | 2011-04-13 | 浙江大学 | 无线充电传感器节点 |
| CN102013737B (zh) * | 2010-10-12 | 2013-12-11 | 浙江大学 | 无线充电传感器节点 |
| CN102423258A (zh) * | 2011-09-20 | 2012-04-25 | 上海交通大学 | 基于mems技术的无线传输可植入对称结构压力传感器 |
| CN102423258B (zh) * | 2011-09-20 | 2013-12-25 | 上海交通大学 | 基于mems技术的无线传输可植入对称结构压力传感器 |
| CN103176038A (zh) * | 2013-01-31 | 2013-06-26 | 东南大学 | 一种微波收发机中的自供电微机械传感器及模块 |
| CN103176038B (zh) * | 2013-01-31 | 2015-07-15 | 东南大学 | 一种微波收发机中的自供电微机械传感器及模块 |
| CN103683912A (zh) * | 2013-11-26 | 2014-03-26 | 浙江大学 | 用于无线传感器的机床主轴热发电供能电路及控制方法 |
| CN103683912B (zh) * | 2013-11-26 | 2015-12-09 | 浙江大学 | 用于无线传感器的机床主轴热发电供能电路及控制方法 |
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