CN101474758A - 具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统 - Google Patents
具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101474758A CN101474758A CNA2009100209764A CN200910020976A CN101474758A CN 101474758 A CN101474758 A CN 101474758A CN A2009100209764 A CNA2009100209764 A CN A2009100209764A CN 200910020976 A CN200910020976 A CN 200910020976A CN 101474758 A CN101474758 A CN 101474758A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- guide rail
- slide unit
- motion
- fine motion
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
本发明公开了一种具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统，包括由下而上依次设置的滑座、直线电机的初级、直线电机的次级、宏动滑台和中空的一边开口的致动器变形导轨支承件，滑座与宏动滑台之间还并行设置有宏动滑台运动导轨，致动器变形导轨支承件内设置有致动器变形导轨柔性铰链组件和压电致动器，与致动器变形导轨微动块的一端固接，致动器变形导轨微动块的另一端自致动器变形导轨支承件的开口伸出，并与连接件固定连接，连接件与微动滑台固接。本发明的宏微驱动精密进给系统具有进给精度高、导向精度高、承载能力强、致动器受力状态好的特点。可用于中大规格、多轴联动精密、超精密数控机床，也可用于其他精密数控机械。
Description
技术领域
本发明属于精密数控机床技术领域，涉及一种适用于大尺度、全载荷、三维复杂型面加工的精密、超精密数控机床的进给系统，具体涉及一种具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统。
背景技术
随着科学技术的发展，大尺度、三维复杂轮廓、高精度零件的加工需求越来越多，超精密加工精度已经开始进入纳米级，普通机床加工达不到要求，而必须采用多轴联动、高速、高精度的高性能数控机床来加工。各国竞相研究开发大型精密五轴加工机床、坐标级精密加工机床。
机床进给系统是影响机床整机性能的关键因素之一。驱动、传动、导向对进给系统性能影响很大。提高超精密加工机床进给精度的有效途径之一是采用宏微驱动，由宏驱动实现加工尺寸及轮廓，由微驱动进行尺寸、轮廓的误差补偿，从而达到超精密加工要求。宏微驱动的宏动滑台多采用零传动的直线电机驱动，微动滑台多采用零传动的压电致动器驱动。微动滑台为进给系统的工作滑台，带动安装其上的工件、或刀具部件、或其他运动部件进行运动。宏微驱动进给已经用于车刀、镗刀及砂轮的进给系统，进行二维回转表面加工。
滑台相对滑座的位置姿态有6个自由度，其中一个自由度为沿二者的相对运动方向，是运动功能方向，在该方向导轨副只承受摩擦力，要求二者能够进行宏观相对运动，且要求运动摩擦力尽可能小，以减少导轨副摩擦对进给系统运动平稳性精度的影响；其余5个自由度为运动约束方向，导轨副将承受2个横向力和3个力矩的约束力，约束方向是决定导轨导向精度的关键，要求在运动约束方向滑台相对滑座的2个横向线位移和3个角位移的微观位移尽可能小，以提高导轨导向精度，但约束方向微观位移过小，一般导轨副的摩擦力将增加。
微动滑台是工作滑台，其上将安装工件或其他功能部件，微动滑台的导向精度直接影响宏微驱动精密进给系统的导向精度和运动精度。对小尺度、二维、只在运动方向承受通过致动器中心线的载荷的微动滑台，如微动滑台沿Z轴运动，载荷只有通过致动器中心线沿Z轴方向的力FZ，或除了力FZ外，还有沿Y轴方向的横向力FY，绕X轴的力矩MX的轻微载荷，FZ、FY及MX为ZY平面内的平面载荷。对于小尺度、二维轻微载荷的微动滑台只需利用二维平面(ZY平面)内的柔性铰链机构确定其相对宏动滑台位姿，不需为微动滑台另设导轨。这种宏微驱动进给系统已在精密微型机器人、光刻机、检测仪的微调整、微型刀架等机构进行了应用。
而关于中大型精密、超精密加工机床，安装工件或主轴头的微动滑台，一般为大尺度，承受三维空间的全载荷，即有载荷FZ、FY、Fx及MX、MY、MZ，且全载荷为较大的载荷。全载荷为较大的载荷的原因是，虽然微进给运动的行程小，但微动滑台的尺度却可以非常悬殊，如中大型工作滑台长度可达几百毫米至几千毫米，虽然精密、超精密加工的切削载荷不大，但三维空间的切削载荷折算到微动滑台承受的力矩较大。对于上述情况，若微动滑台利用二维平面柔性铰链机构确定其相对宏动滑台位姿，微动滑台无法承受大载荷、全载荷；导向精度无法保证；用于微驱动的致动器受力状况恶劣(因致动器可以承受大的推力，但最好不承受或仅承受轻微的横向力及力矩)，影响致动器的工作性能甚至导致破坏；运动精度也将受影响。因此，解决大尺度、全载荷宏微驱动精密进给系统的导轨问题成为实现进给精度高、导向精度高、承载能力强的宏微驱动进给系统的关键技术，并对精密五轴加工机床、坐标级精密加工机床的研究开发具有十分重的意义。
发明内容
本发明的目的是提供一种具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统，用于进行大尺度、全载荷、三维复杂型面加工的精密、超精密数控机床，具有进给精度高、导向精度高、承载能力强、致动器受力状态好的特点。
本发明所采用的技术方案是，一种具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统，包括由下而上依次设置的滑座、直线电机的初级、直线电机的次级和宏动滑台，滑座与宏动滑台之间还依次设置有宏动滑台运动导轨的定轨和宏动滑台运动导轨的动轨，宏动滑台运动导轨的动轨可沿动滑台运动导轨的定轨移动，滑座的上表面由下而上还依次设置有微动滑台运动导轨的定轨、微动滑台运动导轨的动轨和微动滑台，微动滑台的一侧固定有连接件，宏动滑台的上面固接有中空的一边开口的致动器变形导轨支承件，致器变形导轨支承件的开口朝向连接件，微动致动器变形导轨支承件内设置有致动器变形导轨柔性铰链组件，致动器变形导轨柔性铰链组件的中部设置有压电致动器，压电致动器的一端与致动器变形导轨支承件的内壁固定连接，另一端与致动器变形导轨微动块的一端固接，致动器变形导轨微动块的另一端自致动器变形导轨支承件的开口伸出，并与连接件)固定连接。
一种具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统，包括由下而上依次设置的滑座、直线电机的初级、直线电机的次级和宏动滑台，直线电机的初级的两侧对称设置有微动滑台运动导轨的定轨，微动滑台运动导轨的定轨的上面间隔设置有微动滑台运动导轨的动轨和宏动滑台运动导轨的动轨，微动滑台运动导轨的定轨为微动滑台运动导轨和宏动滑台运动导轨的共用定轨，宏动滑台运动导轨的动轨和微动滑台运动导轨的动轨可分别沿微动滑台运动导轨共用的定轨移动，滑座的上表面并行设置有微动滑台和中空的一边开口的致动器变形导轨支承件，微动滑台的上面固定有连接件，致动器变形导轨支承件的开口朝向连接件，微动致动器变形导轨支承件内设置有致动器变形导轨柔性铰链组件，致动器变形导轨柔性铰链组件的中部设置有压电致动器，压电致动器的一端与致动器变形导轨支承件的内壁固定连接，另一端与致动器变形导轨微动块的一端固接，致动器变形导轨微动块的另一端自致动器变形导轨支承件的开口伸出，并与连接件固定连接。
本发明的特征还在于，
致动器变形导轨柔性铰链组件包括12个并联的柔性铰链。
宏动滑台运动导轨的定轨和宏动滑台运动导轨的动轨采用滚动导轨或静压导轨。
微动滑台运动导轨的定轨和微动滑台运动导轨的动轨采用静压导轨或滚动导轨。
本发明精密进给系统的突出特点是：采用宏微驱动，保证了高的运动精度；采用混联原理导轨，微动滑台可承受大载荷、全载荷；致动器导轨采用跨尺度变形、无摩擦的并联原理变形导轨，既可减小致动器承受横向力和力矩，又可通过变形自动调节提高微动滑台的导向精度，使精密进给系统导向精度高。为大尺度、全载荷、三维复杂型面加工的精密、超精密数控机床提供了一种运动精度高、承受载荷能力强、导向精度高的精密进给系统。
附图说明
图1是本发明精密进给系统一种实施例的结构示意图；
图2是图1的A-A剖视图；
图3是本发明精密进给系统另一种实施例的结构示意图；
图4是图3的A-A剖视图；
图5是本发明精密进给系统中致动器变形导轨的结构示意图；
图6是图1所示结构的精密进给系统中混联导轨结合部的原理示意图；
图7是图3所示结构的精密进给系统中混联导轨结合部的原理示意图。
图中，1.滑座，2.直线电机的初级，3.微动滑台运动导轨的定轨，4.微动滑台运动导轨的动轨，5.宏动滑台，6.致动器变形导轨支承件，7.致动器变形导轨柔性铰链组件，8.压电致动器，9.致动器变形导轨微动块，10.连接件，11.微动滑台，12.直线电机的次级，13.宏动滑台运动导轨的定轨，14.宏动滑台运动导轨的动轨，C1.微动滑台运动导轨，C2.宏动滑台运动导轨，C3.致动器变形导轨，7-1.柔性铰链。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
本发明精密进给系统一种实施例的结构，如图1a、1b所示。包括滑座1，滑座1的上表面固定安装有直线电机的初级2，直线电机的初级2的两侧对称设置有微动滑台运动导轨的定轨3，两微动滑台运动导轨的定轨3的上面分别设置有微动滑台运动导轨的动轨4，微动滑台运动导轨的动轨4可沿微动滑台运动导轨的定轨3移动，微动滑台运动导轨的动轨4与微动滑台11固定连接，微动滑台11为倒U形，微动滑台运动导轨的动轨4固接于微动滑台11两侧壁的端面，滑座1的上表面、直线电机的初级2的两侧还对称设置有宏动滑台运动导轨的定轨13，宏动滑台运动导轨的定轨13位于直线电机的初级2与微动滑台运动导轨的动轨4之间，两宏动滑台运动导轨的定轨13的上面分别设置有可沿宏动滑台运动导轨的定轨13移动的宏动滑台运动导轨的动轨14，两宏动滑台运动导轨的动轨14固接于宏动滑台5的下表面，宏动滑台5的下表面、宏动滑台运动导轨的动轨14之间设置有直线电机的次级12，宏动滑台5位于微动滑台11两侧壁之间，并不与该两侧壁相接触，宏动滑台5的上表面固接有中空的沿微动滑台11运动方向一边开口的致动器变形导轨支承件6，致动器变形导轨支承件6处于微动滑台11内，并不与微动滑台11相接触，微动滑台11顶部内侧设置有连接件10，连接件10还与微动滑台11的两侧壁固接，致动器变形导轨支承件6的开口朝向连接件10。
致动器变形导轨支承件6内设置有致动器变形导轨柔性铰链组件7，致动器变形导轨柔性铰链组件7的中心、沿微动滑台11运动方向设置有压电致动器8，压电致动器8的一端与致动器变形导轨支承件6的内壁固接，压电致动器8的另一端与致动器变形导轨微动块9的一端固定连接，致动器变形导轨微动块9的另一端自致动器变形导轨支承件6的开口伸出，并与连接件10固定连接。
本发明精密进给系统另一种实施例的结构，如图2a、2b所示。包括滑座1，滑座1的上表面固接有直线电机的初级传动机构2，直线电机的初级2的两侧对称设置有微动滑台运动导轨的定轨3，该微动滑台运动导轨的定轨3为微动滑台运动导轨和宏动滑台运动导轨的共用定轨，微动滑台运动导轨的定轨3的上面间隔设置有微动滑台运动导轨的动轨4和宏动滑台运动导轨的动轨14，微动滑台运动导轨的动轨4和宏动滑台运动导轨的动轨14沿微动滑台运动导轨的定轨3间隔设置，微动滑台11和宏动滑台5可分别沿微动滑台运动导轨的定轨3移动，微动滑台运动导轨的动轨4固接于微动滑台11的下表面，宏动滑台运动导轨的动轨14固接于宏动滑台5的下表面，宏动滑台5的下表面还固定连接有直线电机的次级12，直线电机的次级12位于两微动滑台运动导轨的定轨3之间，宏动滑台5的顶面平行设置有微动滑台11和中空的沿微动滑台11运动方向一边开口的致动器变形导轨支承件6，微动滑台11的上面靠近致动器变形导轨支承件6的一侧固定有连接件10；致动器变形导轨支承件6内设置有致动器变形导轨柔性铰链组件7，致动器变形导轨柔性铰链组件7的中心、沿微动滑台11运动方向设置有压电致动器8，压电致动器8的一端与致动器变形导轨支承件6的内壁固接，压电致动器8的另一端与致动器变形导轨微动块9的一端固定连接，致动器变形导轨微动块9的另一端自致动器变形导轨支承件6的开口伸出，并与连接件10固定连接。
本发明精密进给系统中并联原理变形导轨的结构，如图3所示。包括中空的致动器变形导轨支承件6，致动器变形导轨支承件6内设置有致动器变形导轨微动块9，致动器变形导轨微动块9的上下面和两侧面分别通过多个柔性铰链7-1与致动器变形导轨支承件6的内壁相连接。多个柔性铰链7-1构成致动器变形导轨柔性铰链组件7，柔性铰链7-1为两端呈铰链特性的弹性构件。
适用于直线电机短次级运动的本发明精密进给系统的混联导轨结合部的原理示意图，如图4所示。微动滑台运动导轨的定轨3和微动滑台运动导轨的动轨4构成微动滑台运动导轨C1，宏动滑台运动导轨的定轨13和宏动滑台运动导轨的动轨14组成宏动滑台运动导轨C2，微动滑台运动导轨的定轨3与宏动滑台运动导轨的定轨13分别与滑座1固定连接，微动滑台11与宏动滑台5还通过致动器变形导轨C3连接，微动滑台11设置于致动器变形导轨C3的上方。
适用于直线电机长次级运动的本发明精密进给系统的混联导轨结合部的原理示意图，如图5所示。微动滑台运动导轨与宏动滑台运动导轨共用的微动滑台运动导轨的定轨3与滑座1固定连接，微动滑台运动导轨的动轨4和微动滑台运动导轨的定轨3构成微动滑台运动导轨C1，宏动滑台运动导轨的动轨14和微动滑台运动导轨的定轨3组成宏动滑台运动导轨C2，微动滑台11与宏动滑台5还通过致动器变形导轨C3连接，微动滑台11与致动器变形导轨C3并行设置。
微动滑台运动导轨C1和宏动滑台运动导轨C2可均采用滚动导轨或静压导轨或分别采用滚动导轨和静压导轨。宏动滑台运动导轨的定轨13与微动滑台运动导轨的定轨3可以分别设置，也可以共用。
压电致动器变形导轨C3由致动器变形导轨支承件6、致动器变形导轨柔性铰链组件7及致动器变形导轨微动块9组成。致动器变形导轨柔性铰链组件7包括空间布置的12个柔性铰链，12个柔性铰链是并联关系，压电致动器8的变形导轨本身为并联原理。柔性铰链为两端呈回转铰链特性的弹性构件，依靠弹性变形进行导向，压电致动器8的变形导轨在6个自由度方向变形为跨尺度变形，在压电致动器8驱动进给方向的变形大，满足几十个μm(或更大)的微进给运动行程要求；在其他5个自由度约束方向的变形小(nm级、μrad级)，可以减小压电致动器8承受横向力和力矩；而且该变形导轨可以通过变形调节自动补偿微动滑台11约束方向的位姿偏差，既不增加摩擦，又可保证获得更高的导向精度。
本发明精密进给系统中的宏动滑台运动导轨C2、微动滑台运动导轨C1和压电致动器变形导轨C3构成混联导轨。连接宏动滑台5和滑座1的宏动滑台运动导轨C2与连接微动滑台11和滑座1的微动滑台运动导轨C1为并联关系，压电致动器变形导轨C3与宏动滑台运动导轨C2及微动滑台运动导轨C1为串联关系。由于微动滑台11通过微动滑台运动导轨C1直接与滑座1连接，故微动滑台11具有承受大载荷、全载荷的高承载能力，使得宏动滑台运动导轨C2和压电致动器变形导轨C3在约束方向仅承受很小的载荷。
本发明精密进给系统的宏进给采用零传动直线电机驱动，微进给采用零传动压电致动器8驱动，以实现进给系统高进给精度的目标；进给系统的导轨采用混联原理，宏动滑台5和微动滑台11相对滑座1的导轨采用并联原理，致动器变形导轨C3与宏动滑台5及微动滑台11的导轨为串联原理，宏动滑台5和微动滑台11相对滑座1的导轨采用运动导轨副(如滚动导轨、静压导轨)，该运动导轨副的动轨与静轨之间可进行宏观相对位移，以实现微动滑台11可以承受大载荷、全载荷的高承载能力的目标；致动器变形导轨C3采用进给运动方向变形几十个μm，约束方向变形仅nm级、μrad级的跨尺度变形、无摩擦的并联原理变形导轨，既可实现减小压电致动器8承受的横向力和力矩保护压电致动器8的目标，又可通过变形自动调节提高微动滑台的导向精度，实现精密进给系统导向精度高的目标。
本发明精密进给系统的原理也可以应用于回转运动进给系统，将滑座1、滑台、直线电机和直线运动导轨相应地换为转台座、转台、力矩电机和回转运动导轨，同时，将变形导轨与压电致动器的结构布局形式进行相应地变化，保持原理不变。
Claims (5)
1.一种具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统，其特征在于，包括由下而上依次设置的滑座(1)、直线电机的初级(2)、直线电机的次级(12)和宏动滑台(5)，所述的滑座(1)与宏动滑台(5)之间还依次设置有宏动滑台运动导轨的定轨(13)和宏动滑台运动导轨的动轨(14)，宏动滑台运动导轨的动轨(14)可沿动滑台运动导轨的定轨(13)移动，所述的滑座(1)的上表面由下而上还依次设置有微动滑台运动导轨的定轨(3)、微动滑台运动导轨的动轨(4)和微动滑台(11)，微动滑台(11)的一侧固定有连接件(10)，所述的宏动滑台(5)的上面固接有中空的一边开口的致动器变形导轨支承件(6)，致器变形导轨支承件(6)的开口朝向连接件(10)，微动致动器变形导轨支承件(6)内设置有致动器变形导轨柔性铰链组件(7)，所述的致动器变形导轨柔性铰链组件(7)的中部设置有压电致动器(8)，所述的压电致动器(8)的一端与致动器变形导轨支承件(6)的内壁固定连接，另一端与致动器变形导轨微动块(9)的一端固接，致动器变形导轨微动块(9)的另一端自致动器变形导轨支承件(6)的开口伸出，并与连接件(10)固定连接。
2.一种具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统，其特征在于，包括由下而上依次设置的滑座(1)、直线电机的初级(2)、直线电机的次级(12)和宏动滑台(5)，所述的直线电机的初级(2)的两侧对称设置有微动滑台运动导轨的定轨(3)，微动滑台运动导轨的定轨(3)的上面间隔设置有微动滑台运动导轨的动轨(4)和宏动滑台运动导轨的动轨(14)，微动滑台运动导轨的定轨(3)为微动滑台运动导轨和宏动滑台运动导轨的共用定轨，宏动滑台运动导轨的动轨(14)和微动滑台运动导轨的动轨(4)可分别沿微动滑台运动导轨共用的定轨(3)移动，所述的滑座(1)的上表面并行设置有微动滑台(11)和中空的一边开口的致动器变形导轨支承件(6)，微动滑台(11)的上面固定有连接件(10)，所述的致动器变形导轨支承件(6)的开口朝向连接件(10)，微动致动器变形导轨支承件(6)内设置有致动器变形导轨柔性铰链组件(7)，所述的致动器变形导轨柔性铰链组件(7)的中部设置有压电致动器(8)，所述的压电致动器(8)的一端与致动器变形导轨支承件(6)的内壁固定连接，另一端与致动器变形导轨微动块(9)的一端固接，致动器变形导轨微动块(9)的另一端自致动器变形导轨支承件(6)的开口伸出，并与连接件(10)固定连接。
3.根据权利要求1或2所述的精密进给系统，其特征在于，所述的致动器变形导轨柔性铰链组件(7)包括12个并联的柔性铰链(7-1)。
4.根据权利要求1或2所述的精密进给系统，其特征在于，所述的宏动滑台运动导轨的定轨(13)和宏动滑台运动导轨的动轨(14)采用滚动导轨或静压导轨。
5.根据权利要求1或2所述的精密进给系统，其特征在于，所述的微动滑台运动导轨的定轨(3)和微动滑台运动导轨的动轨(4)采用静压导轨或滚动导轨。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009100209764A CN101474758B (zh) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | 具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2009100209764A CN101474758B (zh) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | 具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101474758A true CN101474758A (zh) | 2009-07-08 |
| CN101474758B CN101474758B (zh) | 2010-09-01 |
Family
ID=40835579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2009100209764A Expired - Fee Related CN101474758B (zh) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | 具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101474758B (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102059576A (zh) * | 2010-11-25 | 2011-05-18 | 西安理工大学 | 双轴直线移动微驱动装置 |
| CN102152131A (zh) * | 2011-02-28 | 2011-08-17 | 西安理工大学 | 滚珠丝杠副压电致动器串联宏微驱动及导轨装置 |
| CN102501226A (zh) * | 2011-10-31 | 2012-06-20 | 西安理工大学 | 一种宏微驱动变形导轨精密回转装置 |
| CN103557412A (zh) * | 2013-11-06 | 2014-02-05 | 山东大学 | 双极二维全柔性高精度伺服平台 |
| CN110202472A (zh) * | 2019-05-31 | 2019-09-06 | 西安理工大学 | 闭式静压导轨运动精度的压电调控装置及压电调控方法 |
| CN113579823A (zh) * | 2021-08-13 | 2021-11-02 | 珠海格力电器股份有限公司 | 机床进给系统和数控机床 |
-
2009
- 2009-01-20 CN CN2009100209764A patent/CN101474758B/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9168623B2 (en) | 2010-11-25 | 2015-10-27 | Xi'an University Of Technology | Biaxial linear-motion micro drive apparatus |
| CN102059576B (zh) * | 2010-11-25 | 2012-02-08 | 西安理工大学 | 双轴直线移动微驱动装置 |
| WO2012068927A1 (zh) * | 2010-11-25 | 2012-05-31 | 西安理工大学 | 双轴直线移动微驱动装置 |
| CN102059576A (zh) * | 2010-11-25 | 2011-05-18 | 西安理工大学 | 双轴直线移动微驱动装置 |
| CN102152131A (zh) * | 2011-02-28 | 2011-08-17 | 西安理工大学 | 滚珠丝杠副压电致动器串联宏微驱动及导轨装置 |
| CN102152131B (zh) * | 2011-02-28 | 2012-06-13 | 西安理工大学 | 滚珠丝杠副压电致动器串联宏微驱动及导轨装置 |
| CN102501226B (zh) * | 2011-10-31 | 2014-02-19 | 西安理工大学 | 一种宏微驱动变形导轨精密回转装置 |
| WO2013063880A1 (zh) * | 2011-10-31 | 2013-05-10 | 西安理工大学 | 一种宏微驱动变形导轨精密回转装置 |
| CN102501226A (zh) * | 2011-10-31 | 2012-06-20 | 西安理工大学 | 一种宏微驱动变形导轨精密回转装置 |
| US9199350B2 (en) | 2011-10-31 | 2015-12-01 | Xi'an University Of Technology | Macro-micro actuated distended guide rail precision rotation apparatus |
| CN103557412A (zh) * | 2013-11-06 | 2014-02-05 | 山东大学 | 双极二维全柔性高精度伺服平台 |
| CN103557412B (zh) * | 2013-11-06 | 2015-12-02 | 山东大学 | 双极二维全柔性高精度伺服平台 |
| CN110202472A (zh) * | 2019-05-31 | 2019-09-06 | 西安理工大学 | 闭式静压导轨运动精度的压电调控装置及压电调控方法 |
| CN113579823A (zh) * | 2021-08-13 | 2021-11-02 | 珠海格力电器股份有限公司 | 机床进给系统和数控机床 |
| CN113579823B (zh) * | 2021-08-13 | 2022-07-15 | 珠海格力电器股份有限公司 | 机床进给系统和数控机床 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101474758B (zh) | 2010-09-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101474758B (zh) | 具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统 | |
| CN102152131B (zh) | 滚珠丝杠副压电致动器串联宏微驱动及导轨装置 | |
| CN101480734B (zh) | 具有热位移约束滚滑回转结合部宏微驱动的复合加工中心 | |
| CN101318292B (zh) | 直线电机驱动的四轴联动数控机床 | |
| CN103557412B (zh) | 双极二维全柔性高精度伺服平台 | |
| US20040086351A1 (en) | Micro-motion machine and micro-element fabricating machine using a 3 degree of freedom parallel mechanism | |
| CN102152133B (zh) | 一种五坐标定位机构 | |
| CN102615514A (zh) | 一种平面两自由度冗余驱动并联机构及采用该机构的机床 | |
| CN103264288A (zh) | 一种具有多独立加工单元的龙门移动式机床 | |
| CN209774584U (zh) | 一种平面三自由度全柔性并联定位平台 | |
| CN100445051C (zh) | 用于自动装配或者对接系统的被动柔顺机构 | |
| CN102794664A (zh) | 基于桥式柔性铰链的高频超精密加工车床刀架驱动平台 | |
| US6150740A (en) | Linear motion carriage system and method with bearings preloaded by inclined linear motor with high attractive force | |
| CN110774015B (zh) | 含过约束少自由度并联模块的混联机床及运动方法 | |
| CN102059576B (zh) | 双轴直线移动微驱动装置 | |
| CN1306248C (zh) | 宏／微驱动的两自由度高加速度高精度的并联定位系统 | |
| CN110116400A (zh) | 一种prs-pru-pur并联机构 | |
| CN201156440Y (zh) | 一种应用于大长度自走式三维工作台 | |
| CN211219637U (zh) | 含过约束少自由度并联模块的混联机床 | |
| CN117074739B (zh) | 一种用于晶圆检测的气浮运动装置 | |
| CN101474749B (zh) | 具有热位移约束结合部的精密进给系统的复合滑座 | |
| CN116329599B (zh) | 一种直线驱动的六轴钻削加工装置及阻力辨识方法 | |
| CN218658089U (zh) | 一种模块式数控机床 | |
| CN213888191U (zh) | 加工中心用主轴箱 | |
| CN213646814U (zh) | 一种用于直驱机床的z轴平衡结构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100901 Termination date: 20160120 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |