CN101464599A - 光照射装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可以在力求节电的同时避免部件数量增加，而且相对于密封材的图案独立地对密封材进行光照射的光照射装置。紫外线照射装置(1)的载置台(13)具有载置通过光硬化树脂所形成的线状密封材粘合而成的2片基板所形成的粘合基板(W)的载置面。紫外线照射装置(1)具有按线状排列有可进行光照射并且可单独打开关闭的多个UVLED的照射部(22a～22d)。各照射部(22a～22d)从多个UVLED其中至少一个使与密封材的宽度相符的线状光朝向粘合基板W照射。X轴致动器(19)可以在载置台(13)其中载置粘合基板W的载置面的平行面内使各照射部(22a～22d)沿与UVLED排列方向相交的方向移动。控制部根据密封材的图案对各UVLED进行打开关闭。

Description

光照射装置

技术领域

本发明涉及一种液晶显示屏等所用的2片基板的粘合工序中所使用的光照射装置。

背景技术

这种光照射装置，通过对光硬化性树脂材料所形成的密封材介于其间的2片基板(粘合基板)进行紫外线等光照射，来使得上述密封材硬化粘接处理这2片基板。而且，设法避免对介于2片基板间的液晶等照射紫外线，以防止液晶等特性因紫外线等光照射而变化。例如专利文献1记载的光照射装置，设法在照射紫外线的光源和粘合基板两者间配置遮光掩模(mask)的状态下进行照射，仅对该粘合基板的密封材部分照射紫外线。

【专利文献1】日本特开2006-66585号公报

发明内容

【发明所要解决的问题】

但上述专利文献1中存在为了对粘合基板的整面进行统一照射，需要非常大的电功率，粘合基板的制造成本增加这种问题。尤其是近年来，所制造的粘合基板趋向大型化，电力消耗的增加非常明显。而且，以往采用电弧放电式金属卤化灯等作为光源，所以即便是基板输送时间等非照射时间也必须继续保持点亮状态，电力消耗会进一步增加。

而且，粘合基板内涂布的密封材的图案随粘合基板的种类(所制造的液晶显示器的种类)而有所不同。因此，上述现有的构成中，必须针对每一密封材的图案准备多种遮光挡掩模，部件数量增加，从而成本会有所增加。此外，还存在随着粘合基板的大型化，遮光掩模的挠性变大，因此难以使遮光掩模进行毫无挠曲的安装这种问题。

本发明提供一种可以在力求节电的同时避免部件数量增加，而且相对于密封材的图案独立地对密封材进行光照射的光照射装置。

【解决问题的技术方案】

为了解决上述问题，本发明一实施方式的光照射装置，对介于2片基板之间的光硬化树脂所形成的线状密封材进行光照射，包括：具有载置由所述密封材粘合的所述2片基板所形成的粘合基板的载置面的载置台；其中按线状排列有可进行光照射并且可分别单独打开关闭的多个半导体元件(52)，使与所述密封材的宽度相符的线状光朝向所述粘合基板照射的照射部；在所述载置台其中载置所述粘合基板的载置面的平行面内使所述照射部沿与所述半导体元件的排列方向相交的方向移动的第一驱动部；根据所述密封材料的图案对所述各半导体元件进行打开关闭的控制部。

附图说明

图1是紫外线照射装置的立体图。

图2是紫外线照射装置的剖视图。

图3(a)是示出第一实施方式的照射部的下面的局部剖开图，图3(b)是示出第一实施方式中照射部的光学元件构成的示意性剖视图。

图4(a)、图4(b)是示出第一实施方式的照射部所照射的紫外线的照射区域的示意图。

图5(a)～图5(c)是示出旋转前对于基板的照射步骤的动作说明图。

图6(a)、图6(b)是示出旋转后对于基板的照射步骤的动作说明图。

图7(a)是第二实施方式的照射部的底面图，图7(b)是示出第二实施方式中照射部的光学元件构成的示意性剖视图。

图8(a)、图8(b)是示出第二实施方式的照射部所照射的紫外线的照射区域的示意图。

图9是示出UVLED为2个的情况下第二实施方式的照射部的照度分布的说明图。

图10是示出其他紫外线照射装置的立体图。

图11是示出其他紫外线照射装置的立体图。

图12是示出其他密封材涂布图案的平面图。

图13(a)、图13(b)是示出其他照射部的立体图。

图14是示出其他照射部的立体图。

具体实施方式

(第1实施方式)

下面参照附图说明本发明第1实施方式粘合基板制造装置的紫外线照射装置(光照射装置)。

图1所示的紫外线照射装置1包含于在2种基板(上基板、下基板)之间封入液晶来制造有源矩阵(active matrix)型液晶显示屏(粘合基板)的生产线中。粘合基板是通过将构成液晶屏的2片基板由紫外线硬化树脂所形成的密封材粘合来形成的。紫外线照射装置1用于液晶显示屏的制造工序当中对粘合基板(下面称为基板W)内的密封材进行紫外线照射使该密封材硬化的工序。

如图1和图2所示，构成紫外线照射装置1的大致长方体的基部11上竖直设置有形成为矩形框形状的外壁12，同时该外壁12的内侧设置有载置基板W的载置台13。外壁12其上端向内侧弯曲形成有矩形形状的开口部14。而且，上壁12的上端面15固定有横跨开口部14的龙门架16。龙门架16由相向的2边各自的大致中央位置往上相互平行延伸的一对支持脚17、以及连接跨越2个支持脚17之间并将两支持脚17的上端部彼此连接的连接部18形成コ字形状。龙门架16的连接部18沿连接部18设置有靠作为第1驱动部的X轴致动器19在沿该连接部18的方向(下面称为X方向)上移动的多个(本实施例中为4个)X轴基座20。而且，各X轴基座20通过安装部件21设置有在基部11的上表面的平行面内沿与X方向正交的方向(参照图1，下面称为Y方向)延伸的照射部22a～22d。照射部22a～22d可分别移动，同时在Y方向上形成为长于基板W的各边。另外，本实施方式中，X轴致动器19可采用线性电动机，同时各X轴致动器19可使彼此动作范围重叠来移动。而且，为了便于说明，图1和图2中所示的照射部22a～22d和基板W之间比实际要宽。

如图2所示，外壁12的内侧，构成载置台13的载置台移动机构31固定于基部11上。载置台移动机构31竖直设置有形成为柱状的多根轴32，同时该轴32的上端固定有平板状基座33。载置台移动机构31与控制部34连接，并控制基座33在上下方向(下面称为Z方向)上的移动。另外，载置台移动机构31通过圆头螺栓(ボ—ルねじ)机构使轴32和基座33在Z方向上移动，该圆头螺栓机构通过由例如电动机使中空轴旋转来使圆头螺栓直线运动。

基座33的中央通过作为第2驱动部的基板移动机构35设置有上端形成为圆板形状的校准部36。基板移动机构35可在X方向、Y方向、以及Z方向上移动校准部36，同时使该校准部36绕旋转轴L旋转。基板移动机构35与控制部34连接，并控制校准部36在X方向、Y方向、以及Z方向上的移动以及绕旋转轴L的旋转。而且，基板移动机构35的X方向两侧，有多个柱状支持部件37竖直设置于基座33上，同时各支持部件37的上端固定有在Y方向(图2中与纸面正交的方向)上延伸的长方形板状的上浮台38。此外，比位于X方向最外侧位置的2个上浮台38更外侧处，有多个柱状支持部件39竖直设置于基座33上，同时各支持部件39的上端固定有在Y方向上延伸的长方形板状的保持台40。各保持台40中形成有贯通孔41，同时与该贯通孔41同轴(Z轴上)配置有校准摄像器42。载置台13的上表面，即校准部36、各上浮台38、以及各保持台40的上表面，与基部11的上表面平行。而且，基板W载置于校准部36、各上浮台38、以及各保持台40上，同时形成为由校准部36在上述上表面的平行面内旋转。

另外，校准部36和各上浮台38形成有多个吸附孔(未图示)，同时该吸附孔与真空泵(未图示)连接。真空泵与控制部34连接，当从照射部22a～22d照射紫外线时通过吸附基板W防止位移。基于真空的吸附机构，为了使照射时基板W的热膨胀释放，可进行压力调整，同时为了消除吸附力可控制为呈大气开放状态。使基板W在载置台13上移动时，校准部36吸附基板W，同时通过从上浮台38的吸附孔排放空气，在使基板W上浮到上浮台38上的状态下，校准部36使基板W移动。这样，可防止在对基板W进行校准时该基板W与上浮台38和保持台40相接触而遭到损伤。

下面说明照射部22a。另外，照射部22b～22d与照射部22a同样构成。

如图3(a)所示，照射部22a的框体51形成为长方体，该框体51中有分别作为半导体单元的多个UVLED(紫外线照射二极管)52沿Y方向排列为直线形状。具体来说，如图3(a)、图3(b)所示，框体51包括：形成为长方形板状并且通过安装部件21固定于X轴基座20(参照图1)上的基座板53；固定于基座板53下端的剖面呈コ字状的盖板54；以及闭塞上述基座板53和盖板54的两端(Y方向)的一对罩盖55(图3(a)中仅示出一个)。盖板54(框体51)的下部56形成有在Z方向上贯通的多个呈矩形的照射孔57。而且，各照射孔57沿Y方向(图3(a)中的左右方向)上等间隔形成于盖板54上。盖板54的下部56其上表面固定有在Y方向上延伸的1个电路基板58，同时该电路基板58其中与上述照射孔57相对应的位置安装有各UVLED 52。而且，各UVLED与照射孔57的内侧面之间具有间隙，配置于照射光57内。各UVLED 52与控制部34连接，并分别独立地进行打开关闭。此外，2个相邻的UVLED 52之间、以及照射部22a两端配置的2个UVLED 52和各自的罩盖55之间配置有反射紫外线的反射板59。而盖板54的下部56固定有底面形成有在Y方向上延伸的缝隙的开孔部60。另外，缝隙在X方向上形成为例如0.5mm～1mm左右的宽度，各UVLED 52超过该宽度照射的紫外线在开孔部60的内侧表面反射导向至缝隙。而且，缝隙上方与上述多个UVLED 52相对应的位置配置有在Y方向上延伸的柱面透镜61(光学元件)。

各UVLED 52所照射的紫外线照射区域，通过柱面透镜61仅在X方向上收束而成为大致椭圆形状，同时如图4(a)、图4(b)所示，该椭圆形状的照射光其长轴方向(Y方向)的两端部分由2片反射板59反射而成为长方形状。这样，各UVLED 52的照射区域可反射上述椭圆形状的照射光其长轴方向两端部分而与各自的照射区域重合形成。这样，各照射区域的照度沿长度方向均匀化，同时各照射区域中的照度提高。而且，通过沿Y方向排列多个UVLED 52，上述照射区域沿Y方向相邻配置。因而，各照射部22a～22d照射的紫外线呈直线形状，而且各照射部22a～22d照射的线状紫外线沿Y方向的照度其变动减小。另外，为了便于说明，图4(b)以虚线示出从右面开始第一个、第三个、以及第五个UVLED 52分别照射的紫外线照射区域，而以两点划线示出从右面开始第二个和第四个UVLED 52分别照射的紫外线照射区域。而相邻的照射区域的边界线为了便于图示，以虚线表示。

而且，如图3(a)、图3(b)所示，盖板54的侧部沿Y方向形成有多个管口62，同时各管口62连接有管道63。而框体51内形成为确保除照射孔57和管口62之外相对于外部呈气密状态。各管道63连接有负压源64，可通过该负压源64的动作以吸取基座板53、盖板54、以及罩盖55所包围的空间内的空气。另一方面，可通过让外部空气经过照射孔57和UVLED 52两者间的间隙流入上述框体51内部空间，来使因光照射而发热的UVLED 52冷却。

下面说明对基板W涂布的密封材的紫外线照射。

对密封材进行紫外线照射之前，基板W通过输送叉板(未图示)载置于载置台13上。接下来，利用校准摄像器42以光学方式进行基板W在载置台13上的位置调整。接着，与所输送的基板W的种类相对应移动各照射部22a～22d，对密封材进行紫外线照射。另外，紫外线照射装置1通过根据外部装置输入至控制部34的密封宽度使基板W(上浮台38和保持台40)在Z方向上移动，来照射与该密封宽度大致相同宽度的紫外线。而且，对密封材照射的紫外线光量可由控制部34控制为大致一定。

具体来说，图5(a)所示的基板W内涂布有沿基板W的外周缘形成的外侧密封材71以及与其内侧制造的液晶显示屏的大小相对应形成的多个(图中为15个)内侧密封材72。本实施例中，外侧密封材71的内侧涂布有纵向5列、横向3行分别涂布为同一形状的内侧密封材72。另外，外侧密封材71和内侧密封材72涂布为大致相同宽度。

首先，通过照射部22a、22d沿Y方向对外侧密封材71的上边部和下边部照射紫外线。接下来，通过照射部22b、22c分别照射从上开始的第2列内侧密封材72的上边部和从下开始的第2列内侧密封材72的下边部。此时，可照射与外侧和内侧密封材71、72的宽度相同的紫外线，因而不会对内侧密封材72内侧所滴下的液晶照射紫外线。接着，如图5(b)所示使各照射部22a～22d朝向基板W的中央移动，照射与先前照射的外侧密封材71或内侧密封材72相邻的内侧密封材72。也就是说，通过照射部22a、22d分别照射从上开始的第1列内侧密封材72的上边部和从下开始的第1列内侧密封材72的下边部，同时通过照射部22b、22c分别照射从上开始的第2列内侧密封材72的下边部和从下开始的第2列内侧密封材72的上边部。接下来，如图5(c)所示，使各照射部22a～22d朝向基板W的中央移动，照射与先前照射的外侧密封材71或内侧密封材72相邻的内侧密封材72。也就是说，通过照射部22a、22d分别照射从上开始的第1列内侧密封材72的下边部和从下开始的第1列内侧密封材72的上边部，同时通过照射部22b、22c分别照射从上开始的第3列内侧密封材72的上边部和下边部。

接下来，通过校准部36使基板W旋转90度。接着，如图6(a)所示，通过照射部22a、22d对外侧密封材71中与已经照射的部分相正交的部分，即外侧密封材71的其他2边进行紫外线照射。接下来，通过照射部22b、22c分别照射基板W旋转的状态下从上开始的第1列内侧密封材72的下边部和从下开始的第1列内侧密封材72的上边部。此时，对外侧和内侧密封材71、72中在基板W旋转之前(图5(a)所示的状态)照射紫外线的被照射部和在基板W旋转之后(图6(a)所示的状态)照射紫外线的被照射部两者的相交部73进行紫外线照射的UVLED 52关闭。也就是说，对外侧密封材71的顶点部分、内侧密封材72的顶点部分、以及外侧密封材71中与内侧密封材72的各边延长线相交的部分进行紫外线照射的UVLED 52关闭。接下来，如图6(b)所示，使各照射部22a～22d朝向基板W的中央移动，对先前照射的外侧密封材71或内侧密封材72相邻的内侧密封材72进行照射。此时，同样对上一次照射部分和本次照射部分的相交部73进行紫外线照射的UVLED 52关闭。因而，紫外线照射装置1沿基板W上涂布的外侧和内侧密封材71、72只照射与该外侧和内侧密封材71、72相对应宽度的光，因而与对基板整面进行统一照射的情况相比，可以实现节电而不需要较大电功率。

第一实施方式的紫外线照射装置1具有以下优点：

(1)紫外线照射装置1包括载置基板W的载置台13和可进行紫外线照射的多个(例如4个)照射部22a～22d。各照射部22a～22d中有可单独进行打开关闭的多个UVLED52按线状排列，各UVLED 52照射与外侧和内侧密封材71、72宽度大致相同宽度的线状光。此外，紫外线照射装置1包括使照射部22a～22d在X方向上移动的X轴致动器19和分别对各UVLED 52进行打开关闭的控制部34。因而，可以沿基板W上涂布的外侧和内侧密封材71、72只照射与该外侧和内侧密封材71、72相对应宽度的光。因而，与对基板整面进行统一照射的情况相比，可以实现节电而不需要较大电功率。而且，不会对内侧密封材72内侧所滴下的液晶照射紫外线，因而可以象以往那样不用遮光掩模便完成，防止紫外线照射装置1成本增大。此外，使用UVLED 52作为照射紫外线的光源，因而可延长光源的使用寿命。而且，与以往那样使用电弧放电式金属卤化灯的情况有所不同，可对基板W(密封材71、72)的非照射时间进行熄灯，因而可实现更为节电的同时还延长使用寿命。

(2)可通过校准部36使基板W旋转90度。因此，在对外侧和内侧密封材71、72各自的相向两边进行照射之后，可通过使基板W旋转90度，并照射与经过紫外线照射的部分相正交的部分(各密封材71、72剩下的两边)，来粘接基板W。因此，与使各照射部22a～22d在X轴方向上移动，与外侧和内侧密封材71、72的图案相对应对半导体元件(LED)进行打开关闭控制的情况，即不使基板W旋转的情况相比，可缩短基板W的粘接处理所花费的时间。

(3)在基板W旋转之后，在使对前一次照射部分和本次照射部分两者的相交部73进行紫外线照射的UVLED 52关闭的状态下进行照射。因此，不会因紫外线的重复照射而造成外侧和内侧密封材71、72变差，可在短时间内粘接基板W。

(4)各照射部22a～22d包括柱面透镜61，其使各UVLED 52所照射的紫外线按沿Y方向具有长轴的椭圆形聚光。此外，各照射部22a～22d包括分别配置于2个相邻的UVLED 52之间、以及照射部22a的两端配置的2个UVLED 52和各自的罩盖55之间，反射紫外线的多个反射板59。因而，通过柱面透镜61按椭圆形聚光的紫外线，由相对应的2个反射板59反射其长轴方向的两端部分。因而，各UVLED 52照射的紫外线形成为长方形状的照射区域。这样，可通过使各UVLED 52的照射光其长轴方向的两端部分经过反射与各自的照射区域重合，来使得沿各照射区域的长度方向的照度均匀化，同时提高照度。而且，通过反射板59反射照射光的长轴方向两端部分，光不容易漏至相邻的UVLED52的照射区域。此外，可以通过使各UVLED 52打开关闭来高精度控制照射部22a～22d的照射范围。因而，避免对相交部73重复照射紫外线，可以充分防止外侧和内侧密封材71、72变差。

(5)照射部22a～22d包括形成为长方体的框体51和对该框体51内部提供负压的负压源64。而且，构成框体51的盖板54的下部56形成在Z方向上贯通的多个矩形照射孔57，并将各UVLED 52配置于照射孔57内以便与照射孔57的内侧面之间具有间隙。通过对框体51内提供负压，外部空气通过照射孔57和UVLED 52两者间的间隙流入至框体51内，因而可以利用外部空气冷却因紫外线照射而发热的UVLED 52。

(6)从照射部22a～22d照射紫外线时，由校准部36和上浮台38吸附基板W，因而可防止基板W位移。

(7)使基板W在载置台13上移动时，校准部36吸附基板W，同时从上浮台38的吸附孔排出空气。因而，可以在使基板W上浮到上浮台38上的状态下由校准部36移动基板W。因此，可防止基板W与上浮台38和保持台40接触而遭到损伤。

(8)照射部22a～22d对与照射部22a～22d相平行的外侧和内侧密封材71、72进行紫外线照射时，先于内侧密封材72对外侧密封材71进行紫外线照射。因此，可通过固定基板W的外周缘来防止粘合的基板彼此间错开。

(第二实施方式)

下面参照附图说明本发明第二实施方式。第二实施方式与上述第一实施方式主要不同之处在于各照射部中的光学元件的构成。因此，为了便于说明，对与第一实施方式相同的部分标注同一标号，来省略其说明。另外，各照射部22a～22d为同样构成，因而为了便于说明，仅说明照射部22a，对其他照射部22b～22d的说明从略。

如图7(a)、图7(b)所示，第二实施方式的照射部22a包括长方体形状的框体81。框体81形成为长方形板状，并且包括：通过安装部件21固定于X轴基座20(参照图1)上的基座板82；形成为长方形板状的一对侧板83；以及上述基座板82和侧板83的两端(Y方向)设置的一对罩盖84(图7(a)中仅示出一个)。各侧板83固定于基座板82下端的X方向两端。而且，一对侧板83之间有多个照射单元91沿Y方向排列。

具体来说，各照射单元91具有：一对侧板83之间配置固定的电路基板92；以及该电路基板92底面(反Z方向一侧的面)沿Y方向安装的多个(第二实施方式中为8个)UVLED(紫外线照射二极管)93。另外，第二实施方式中，电路基板92在热传导率优异的铝板上介有高热传导性绝缘层形成有导体电路。由此，电路基板92上安装的UVLED 93其发热可通过铝板高效率散热。

电路基板92底面沿Y方向排列的各UVLED 93，排列为邻接的UVLED 93所照射的光在Y方向上重叠。另外，各UVLED 93与控制部34(参照图2)连接，可分别独立地打开关闭。

而且，各UVLED 93的下侧配置有其中球面处于下侧的半球透镜94。各UVLED 93下侧配置的半球透镜94的下侧，沿Y方向配置有覆盖各半球透镜94整体的棒状柱面透镜95。另外，第二实施方式中，柱面透镜95与从轴方向观察呈大致半圆形状的单凸柱面透镜所构成的第一实施方式的柱面透镜61有所不同，由从轴方向观察呈大致椭圆形状的双凸柱面透镜构成。上述各半球透镜94和柱面透镜95由电路基板92底面设置的一对保持部96保持。

具体来说，一对保持部96配置于电路基板92底面在Y方向上排列的各UVLED 93的两侧。两个保持部96固定夹持各半球透镜94以便处于UVLED 93正下方位置，同时夹持固定柱面透镜95。由两保持部96夹持固定的柱面透镜95通过多个卡爪97卡住，防止其脱落。

而且，各半球透镜94抑制UVLED 93所照射的光扩散。另外，2个邻接的UVLED 93所照射的光，在通过相应的各半球透镜94抑制光扩散之后也在Y方向上重合。也就是说，各UVLED 93所照射的光在透过各半球透镜94后也扩散。

另一方面，各半球透镜94下侧配置的柱面透镜95使各半球透镜94的出射光仅在X方向上收束按椭圆形状聚光。因而，第二实施方式中可利用各半球透镜94和柱面透镜95构成光学元件。

如图8(a)、图8(b)所示，各UVLED 93所出射的光可通过入射到配置于正下方位置的各半球透镜94，来抑制其扩散。而且，各半球透镜94出射的光，入射到柱面透镜95，仅在X方向上收束按椭圆形状聚光。因而，各UVLED 93所照射的紫外线照射区域T成为沿Y方向具有长轴的大致椭圆形状。于是，如上所述，各照射区域T的长轴方向端部Te与邻接的照射区域T的端部Te重合，可从照射部22a照射线状光。另外，为了便于说明，图8(a)、图8(b)中以虚线示出从右开始的第一个、第三个、以及第五个UVLED 93照射的紫外线照射区域，而以双点划线示出从右开始的第二个以及第四个UVLED 93照射的紫外线照射区域。

具体来说，如图9所示，邻接的UVLED 93的照射区域T其长轴方向端部Te彼此重合。其结果是可从照射部22a照射线状光。另外，图9为示出2个UVLED 93所发出光的照度分布的模拟结果，以点分布的疏密示出光照度(照度越高分布越密)。这样，通过各UVLED 52的照射区域T的长轴方向端部Te彼此重合，来使线状光沿Y方向的照度均匀。而且，对于基板W上涂布的密封材的紫外线照射，与上述第一实施方式同样进行。

第二实施方式，除了上述第一实施方式的(1)～(3)、(5)～(8)优点以外，还具有下面的优点：

(9)形成为通过各半球透镜94和柱面透镜95将各UVLED 93所照射的光照射基板W。因此，UVLED 93所照射的光照射到其他部件(例如侧板83)上的情形减少，可有效入射至柱面透镜95。

另外，上述各实施方式也可变更为以下方式。

·上述各实施方式中，龙门架16固定于外壁12，而且使各照射部22a～22d分别在X方向上移动，但不限于此，也可以将各照射部固定于龙门架上，同时使龙门架沿Y方向移动。举例来说，也可以如图10所示在外壁101的上端面102沿Y方向设置导轨103，沿两导轨103使设置有照射部104a、104b的龙门架105a、105b移动。另外，照射部104a、104b与照射部22a同样构成。

·上述各实施方式中，载置台13上载置的基板W由校准部36旋转，但不限于此，也可以使照射部旋转。具体来说，如图11所示将龙门架111设置为在外壁112的上端面113上沿X方向的一对导轨114上在Y方向上移动。而且，龙门架111的连接部115大致中央部位形成突出部116，并对该突出部116设置的电动机等驱动部设置为可旋转照射部117。这样的构成中，可通过龙门架111和具有驱动部的突出部116构成可使照射部117旋转的“第二驱动部”。另外，照射部117与照射部22a同样构成。

·上述各实施方式中，使载置台13在Z方向上移动，但不限于此，也可以通过在Z方向上移动各照射部22a～22d，来调节所照射的紫外线的宽度。

·上述各实施方式中，如图5所示，各内侧密封材料72按同一形状涂布，但不限于此，也可如图12所示在外侧密封材121内侧将形状有所不同的内侧密封材122、123涂布于同一基板W内。这种情况下，较好是如例如图13(a)、图13(b)所示由棒状基座部件126上沿Y方向排列的多个分体部125构成照射部124。各分体部125以小于基板W其中一边的长度形成，并包括排列为线状的多个UVLED。而且，将各分体部125以可在基部11的上表面的平行面内旋转的方式安装于基座部件126上。由此，可通过在照射例如各内侧密封材123的左边部和右边部之后使分体部125旋转，来集中照射该内侧密封材123的若干上边部和下边部。因此，可实现涂布大小不同的多个图案的基板W其粘接处理的高效。

而且，也可以如图14所示设置为所具有的多个第二UVLED排列为线状的直角部131(第二照射部)与照射部22d(第一照射部)相正交。另外，各照射部22d和直角部131与上述各实施方式中的照射部22a同样构成。由此，照射例如与照射部22d平行的内侧密封材123的左边部时，可通过直角部131同时照射内侧密封材123的上边部和下边部。因此，可实现涂布大小不同的多个图案的基板W其粘接处理的高效。

·上述各实施方式中，使对相交部73进行紫外线照射的UVLED 52、93在基板W相对旋转之后关闭，但不限于此，也可以使该UVLED 52、93在相对旋转之前关闭。

·上述第一实施方式中，在2个相邻的UVLED 52之间配置反射板5，但不限于此，也可以不配置反射板59。举例来说，各UVLED 52的照射光其长轴方向两端部分也可以相邻UVLED 52的照射区域重合。这样便可以抑制沿椭圆长轴方向的照度不均，从而抑制照射部22a～22d所照射的线状紫外线沿Y方向的照度不均。因而，可使外侧和内侧密封材71、72均匀的硬化，可以防止外侧和内侧密封材71、72部分变差。而且，上述第二实施方式中，也可以设法如第一实施方式那样在2个相邻UVLED 93之间配置反射板。

·上述各实施方式中，也可以改变外侧和内侧密封材71、72的照射顺序。举例来说，也可以在对与照射部22a～22d平行的外侧密封材71的2边进行紫外线照射，使基板W旋转90度，对外侧密封材71中与已经照射的部分相正交的部分(外侧密封材71余下的2边)进行紫外线照射之后，再照射各内侧密封材72。也就是说，也可以在使外侧密封材71硬化之后照射各内侧密封材72。此外，也可以以其他顺序照射外侧和内侧密封材71、72。

·上述各实施方式中，设法通过以从上浮台38排出空气并且由校准部36吸附基板W的状态下使该校准部36旋转来使基板W旋转，但不限于此，只要可以使基板W旋转的话，载置台13也可以任意构成。

·上述第一实施方式中，照射部22a～22d包括形成为长方体形状的框体51和对该框体51内提供负压的负压源64，但不限于此，也可以形成为不对框体51内提供负压的构成。而且，上述第二实施方式中，也可以构成为对框体81内提供负压。

·上述第二实施方式中，将各照射单元91设置于框体81内，但不限于此，也可以设法将例如各照射单元91直接固定于X轴基座20。

·上述第一实施方式中，使用单凸柱面透镜作为柱面透镜61，但不限于此，也可使用双凸柱面透镜。而且，上述第二实施方式中也可使用单凸柱面透镜作为柱面透镜95。

·上述第一实施方式中，由柱面透镜61构成光学元件，但不限于此，也可以由半球透镜和柱面透镜61构成光学元件。同样，上述第二实施方式中也可以仅由柱面透镜95构成光学元件。

·上述各实施方式中，使用柱面透镜61、95作为使UVLED 52所照射的紫外线按椭圆形状收束的光学元件，但不限于此，也可使用例如棒状透镜。而且，也可以将抛物线形状的反光镜配置于照射部22a～22d，将紫外线的照射角度接近于无限远光源的平行光线来改善聚光效率。

·上述各实施方式中，对基板W的外周缘涂布外侧密封材71，但不限于此，也可在基板W内仅形成内侧密封材72。

·上述各实施方式中，使基板W绕旋转轴L旋转来对外侧和内侧密封材71、72进行紫外线照射，但不限于此。也可以设法不使基板W旋转，在X轴方向上移动各照射部22a～22d，同时与外侧和内侧密封材71、72的图案相对应控制半导体元件(LED)的打开关闭来进行照射。

·上述各实施方式中，设法对外侧和内侧密封材71、72照射紫外线，但不限于此，只要密封材硬化的话，也可以设法进行紫外线以外的光照射。

Claims (10)

1.一种光照射装置，其对介于2片基板之间的光硬化树脂所形成的线状密封材(71，72)进行光照射，其特征在于，包括：

载置台(13)，具有载置由所述密封材粘合的所述2片基板所形成的粘合基板(W)的载置面；

照射部(22a～22d)，其中按线状排列有可进行光照射并且可分别独立地打开关闭的多个半导体元件(52)，使与所述密封材的宽度相符的线状光朝向所述粘合基板照射；

第一驱动部(19)，在与所述载置台的载置所述粘合基板的载置面平行的面内使所述照射部沿与所述半导体元件的排列方向相交的方向移动；

控制部(34)，根据所述密封材的图案对所述各半导体元件进行打开关闭。

2.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，设置有第二驱动部(35)，所述第二驱动部(35)使所述照射部和所述粘合基板中的某一个在与所述载置台的载置所述粘合基板的载置面平行的面内旋转。

3.如权利要求2所述的光照射装置，其特征在于，所述控制部在所述粘合基板和所述照射部相对旋转之前的所述密封材的被照射部与相对旋转之后的所述密封材的被照射部相交的相交部位(73)的位置，将所述相对旋转之前对所述相交部位进行光照射的半导体元件和所述相对旋转之后对所述相交部位进行光照射的半导体元件中的某一个关闭。

4.如权利要求1～3中任一项所述的光照射装置，其特征在于，包括光学元件(61)，所述光学元件(61)使所述各半导体元件所照射的光聚光为沿所述半导体元件的排列方向具有长轴的椭圆形，

所述多个半导体元件排列为由2个相邻的半导体元件照射而聚光为所述椭圆形的光在长轴方向上至少部分重合。

5.如权利要求4所述的光照射装置，其特征在于，进一步包括配置于所述2个相邻半导体元件之间、反射所述光的反射板(59)。

6.如权利要求4所述的光照射装置，其特征在于，所述光学元件包含：

半球透镜(94)，抑制所述半导体元件所照射的光产生扩散；以及

柱面透镜(95)，使所述半球透镜的出射光聚光为沿所述半导体元件的排列方向具有长轴的椭圆形。

7.如权利要求1～3中任一项所述的光照射装置，其特征在于，所述照射部(22a)包括：

框体(51)，形成有分别容纳所述多个半导体元件的多个照射孔(57)；

在所述框体内提供负压的负压源(64)；以及

光学元件(61)，设置于所述框体上且位于所述各照射孔的下方，使所述多个半导体元件所照射的光聚光为沿该半导体元件的排列方向具有长轴的椭圆形，

在所述各照射孔内，与该照射孔的内侧面之间具有间隙地设置有相对应的所述半导体元件。

8.如权利要求1～3中任一项所述的光照射装置，其特征在于，所述照射部包括：

棒状的基座部件(126)；以及

多个分体部(125)，以可在与所述载置台的载置所述粘合基板的载置面平行的面内旋转的方式设置于所述基座部件上，

所述各分体部按小于所述粘合基板的各边的长度形成，且在所述各分体部上，所述多个半导体元件的一部分排列成所述线状。

9.如权利要求1～3中任一项所述的光照射装置，其特征在于，所述照射部包括：

所述多个半导体元件按线状排列的第一照射部(22d)；以及

设置为在与所述载置台的载置所述粘合基板的载置面平行的面内与所述第一照射部正交的第二照射部(131)，

在所述第二照射部中，可进行光照射并且可分别独立地打开关闭的多个第二半导体元件呈线状排列，所述第二照射部使与所述密封材的宽度相符的线状光朝向所述粘合基板照射。

10.如权利要求1～3中任一项所述的光照射装置，其特征在于，所述密封材由设置于所述粘合基板的外周缘的外侧密封材(71)和介于所述外层密封材内侧的内侧密封材(72)所构成，

所述控制部驱动所述照射部以便先于所述内侧密封材对所述外侧密封材进行光照射。

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