CN101462256B - 应用纳米胶体射流抛光元件表面的方法 - Google Patents
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN2009100712768A CN101462256B (zh) | 2009-01-15 | 2009-01-15 | 应用纳米胶体射流抛光元件表面的方法 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101462256A CN101462256A (zh) | 2009-06-24 |
CN101462256B true CN101462256B (zh) | 2010-12-01 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2009100712768A Expired - Fee Related CN101462256B (zh) | 2009-01-15 | 2009-01-15 | 应用纳米胶体射流抛光元件表面的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101462256B (zh) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DK2377649T3 (en) * | 2010-04-15 | 2015-10-19 | Kompoferm Gmbh | Particle blasting medium and the blasting process |
CN103286694B (zh) * | 2012-03-03 | 2015-08-26 | 兰州理工大学 | 紫外光诱导纳米颗粒胶体射流进行超光滑表面加工的方法 |
CN102990523A (zh) * | 2012-12-13 | 2013-03-27 | 孙树峰 | 基于工具导向的磨粒流喷涌式抛光装置 |
CN103395006A (zh) * | 2013-08-20 | 2013-11-20 | 哈尔滨工业大学 | 低压后混合式微细磨料射流精确供料装置及方法 |
CN103395007B (zh) * | 2013-08-20 | 2015-07-08 | 哈尔滨工业大学 | 复合能场作用下磨料射流加工装置 |
CN103483914A (zh) * | 2013-09-09 | 2014-01-01 | 天津科技大学 | 稳定态的钛白粉胶体及其制备方法 |
CN105127905A (zh) * | 2015-08-20 | 2015-12-09 | 东莞市逸昊金属材料科技有限公司 | 一种非晶合金切割装置及应用该装置的切割方法 |
CN105583524B (zh) * | 2015-12-18 | 2017-08-04 | 江苏大学 | 一种精密的激光抛光装置及其方法 |
CN107164797A (zh) * | 2017-04-11 | 2017-09-15 | 浙江洋铭工贸有限公司 | 一种压铸铝采暖散热片的电泳工艺 |
CN108818321B (zh) * | 2018-07-03 | 2019-05-24 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种自清洗式纳米胶体射流抛光装置 |
CN111421472A (zh) * | 2020-03-04 | 2020-07-17 | 兰州理工大学 | 光电协同催化耦合胶体射流加工超光滑表面的方法 |
CN111283556A (zh) * | 2020-03-22 | 2020-06-16 | 浙江宇达新材料有限公司 | 一种金属材料表面处理工艺 |
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2009
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Publication number | Publication date |
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CN101462256A (zh) | 2009-06-24 |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Assignee: Shunda Semiconductor Development Co., Ltd., Jiangsu Assignor: Harbin Institute of Technology Contract record no.: 2011320010038 Denomination of invention: Method for polishing element surface using nano colloid jet flow Granted publication date: 20101201 License type: Exclusive License Open date: 20090624 Record date: 20110420 |
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