CN101446382B - 特殊气体供应和分配设备 - Google Patents

特殊气体供应和分配设备 Download PDF

Info

Publication number
CN101446382B
CN101446382B CN 200710171179 CN200710171179A CN101446382B CN 101446382 B CN101446382 B CN 101446382B CN 200710171179 CN200710171179 CN 200710171179 CN 200710171179 A CN200710171179 A CN 200710171179A CN 101446382 B CN101446382 B CN 101446382B
Authority
CN
China
Prior art keywords
valve
connects
gas
delivery line
pressure transducer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN 200710171179
Other languages
English (en)
Other versions
CN101446382A (zh
Inventor
刘岚峰
卫洁
凌晨华
朱浩然
徐敏燕
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Chuangjie Science & Technology Co Ltd
Original Assignee
Shanghai Chuangjie Science & Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Chuangjie Science & Technology Co Ltd filed Critical Shanghai Chuangjie Science & Technology Co Ltd
Priority to CN 200710171179 priority Critical patent/CN101446382B/zh
Publication of CN101446382A publication Critical patent/CN101446382A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101446382B publication Critical patent/CN101446382B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

一种特殊气体供应和分配设备，涉及高纯度地气体输送领域。特殊气体供应和分配设备，由气体源供应设备(1)、阀门(21～24)、压力传感器(31、32)，前段过滤器(41)、后段过滤器(42)、过流量侦测器(5)、测试端口(6)、气动角阀(7)、真空产生器(8)、气瓶(9)、不死阀(10)组成。本发明采用独特的气体输送结构，确保气体输送时的纯度、洁净度高，安全可靠，采用通过RJ45网络线向PLC传输数字量信号，替代了过去传统控制系统所使用的模拟量信号，具有传输速度快、容量大、集成简便、成本低的优点。

Description

特殊气体供应和分配设备
技术领域
本发明涉及高纯度地气体输送领域，具体为特殊气体供应和分配设备。
背景技术
特殊气体的供应和分配系统，目前广泛应用于半导体等高新技术领域。为整个制程有序进行提供了坚实的基础，其相配套的全自动监控系统有安全，可靠等众多优点，受到各资深专家的广泛肯定及推崇。操作上由电脑运算取代繁琐的重复人力劳动，取得了显著的经济效益。
日前，随着国内大面积的发展半导体等高技术产业，厂务端对于特殊气体的供应及分配系统的需求也越来越大，对于系统的可靠性要求也越来越高。目前国内尚未有哪家企业能满足客户的需求，而对于国外大公司(液空，BOC，等)的产品，国内用户则需付出高昂的成本来购买，随着用户的投资理念不断的提高，对于成本也越来越看重，也希望国内能研发出可靠性高，且相对成本较低的来取代进口产品。
发明内容
为克服现有技术的缺陷，提供一种可靠性、安全性、洁净度以及气体的纯度、品质都很高的设备，本发明公开了一种特殊气体供应和分配设备。
本发明通过如下技术方案达到发明目的：
一种特殊气体供应和分配设备，由气体源供应设备、阀门、压力传感器，前段过滤器、后段过滤器、过流量侦测器，测试端口，气动角阀、真空产生器、气瓶、不死阀组成，气体源供应设备通过输送管路接阀门，其间的输送管路上接压力传感器；阀门通过输送管路接阀门和阀门，其间的输送管路上接前段过滤器和过流量侦测器；阀门接测试端口；阀门接气动角阀，其间的输送管路上接阀门和压力传感器；气动角阀接后段过滤器；阀门接真空产生器；阀门接气瓶，其间的输送管路上接不死阀。
所述的特殊气体供应和分配设备，其特征在于：压力传感器、过流量侦测器、测试端口的信号通过RJ45网络线向PLC传输数字量信号，并由PLC控制整个系统。
本发明采用独特的气体输送结构，采用不死阀，这样当换气瓶时仍有少量气体从管路中吹向外界，不使外界气体混入管路之中；采用前后两段的两级过滤提高了气体纯度：采用真空发生器保证气体输送的畅通。
尤其是，整套系统中，采用通过RJ45网络线向PLC传输数字量信号，替代了过去传统控制系统所使用的模拟量信号。数字量信号同传统的模拟量信号相比具有：1.传输速度快，如有必要，侦测器数字量信号可转换为光信号，通过光缆传送。2.系统容量大大提高：每个气体侦测器的数字通讯量为小于10BITE，而网络的通讯容量可以最大达到100M。因此从理论上讲，该网络系统的容量可为无限。3.系统集成便捷：使用TCP/IP集成系统，可根据实际需求灵活地任意加减气体侦测器。4.降低用户成本：使用标准的PoE HUB以替代昂贵的传统的模拟量输入输出模块，能使整个系统的造价降低25～35％。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例进一步说明本发明：
如图1所示，一种特殊气体供应和分配设备，由气体源供应设备1、阀门21～24、压力传感器31、32，前段过滤器41、后段过滤器42、过流量侦测器5、测试端口6、气动角阀7、真空产生器8、气瓶9、不死阀10组成，气体源供应设备1通过输送管路接阀门21，其间的输送管路上接压力传感器31；阀门21通过输送管路接阀门22和阀门23，其间的输送管路上接前段过滤器41和过流量侦测器5；阀门22接测试端口6；阀门23接气动角阀7，其间的输送管路上接阀门24和压力传感器32；气动角阀7接后段过滤器42；阀门24接真空产生器8；阀门21接气瓶9，其间的输送管路上接不死阀10。
所述的特殊气体供应和分配设备，其特征在于，压力传感器31、32、过流量侦测器5，测试端口6的信号通过RJ45网络线向PLC传输数字量信号，并由PLC控制整个系统。
本发明采用独特的气体输送结构，采用不死阀，这样当换气瓶时仍有少量气体从管路中吹向外界，不使外界气体混入管路之中；采用前后两段的两级过滤提高了气体纯度：采用真空发生器保证气体输送的畅通。
尤其是，整套系统中，采用通过RJ45网络线向PLC传输数字量信号，替代了过去传统控制系统所使用的模拟量信号。数字量信号同传统的模拟量信号相比具有：1.传输速度快，如有必要，侦测器数字量信号可转换为光信号，通过光缆传送。2.系统容量大大提高：每个气体侦测器的数字通讯量为小于10BITE，而网络的通讯容量可以最大达到100M。因此从理论上讲，该网络系统的容量可为无限。3.系统集成便捷：使用TCP/IP集成系统，可根据实际需求灵活地任意加减气体侦测器。4.降低用户成本：使用标准的PoE HUB以替代昂贵的传统的模拟量输入输出模块，能使整个系统的造价降低25～35％。
主要技术指标：
1.系统接受信号响应时间：<10s
2.系统输出信号响应时间：<10s
3.误报警率：<1次/1000工作小时
4.系统通讯故障率：<3％/5000工作小时。

Claims (2)

1.一种特殊气体供应和分配设备，由气体源供应设备(1)、第一阀门至第四阀门(21、22、23、24)、第一压力传感器（31）、第二压力传感器(32)，前段过滤器(41)、后段过滤器(42)、过流量侦测器(5)，测试端口(6)，气动角阀(7)、真空产生器(8)、气瓶(9)、不死阀(10)组成，气体源供应设备(1)通过输送管路接第一阀门(21)，其间的输送管路上接第一压力传感器(31)；第一阀门(21)通过输送管路接第二阀门(22)和第三阀门(23)，其间的输送管路上接前段过滤器(41)和过流量侦测器(5)；第二阀门(22)接测试端口(6)；第三阀门(23)接气动角阀(7)，其间的输送管路上接第四阀门(24)和第二压力传感器(32)；气动角阀(7)接后段过滤器(42)；第四阀门(24)接真空产生器(8)；第一阀门(21)接气瓶(9)，其间的输送管路上接不死阀(10)，这样当换气瓶时仍有少量气体从管路中吹向外界，不使外界气体混入管路之中。
2.如权利要求1所述的特殊气体供应和分配设备，其特征在于：
第一压力传感器（31）、第二压力传感器(32)、过流量侦测器(5)、测试端口(6)的信号通过RJ45网络线向PLC传输数字量信号，并由PLC控制整个系统。
CN 200710171179 2007-11-28 2007-11-28 特殊气体供应和分配设备 Expired - Fee Related CN101446382B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200710171179 CN101446382B (zh) 2007-11-28 2007-11-28 特殊气体供应和分配设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200710171179 CN101446382B (zh) 2007-11-28 2007-11-28 特殊气体供应和分配设备

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101446382A CN101446382A (zh) 2009-06-03
CN101446382B true CN101446382B (zh) 2013-06-19

Family

ID=40742182

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 200710171179 Expired - Fee Related CN101446382B (zh) 2007-11-28 2007-11-28 特殊气体供应和分配设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101446382B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101943322B (zh) * 2010-05-07 2013-01-30 湖南江南银箭新能源装备有限公司 集束式压缩天然气气瓶组集成管路系统
CN103574289A (zh) * 2012-08-02 2014-02-12 上海晶玺电子科技有限公司 危险气体安全输送系统
CN113096513B (zh) * 2021-03-16 2022-12-23 中国电子系统工程第二建设有限公司 一种特气化学品模拟仿真系统平台装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1109131A (zh) * 1994-10-17 1995-09-27 林润泉 用于变压式排气道的变压部件
US5677480A (en) * 1995-02-24 1997-10-14 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Method and system for assessing the operating condition of a pressure regulator in a corrosive gas distribution system
CN2516718Y (zh) * 2001-07-23 2002-10-16 北京兰天达汽车清洁燃料技术有限公司 车载压缩天然气充气供气装置
WO2006038098A2 (en) * 2004-10-07 2006-04-13 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Gas supply system and gas supply method
CN101006303A (zh) * 2004-08-12 2007-07-25 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 储气系统及其使用方法以及安装有该储气系统的车辆
CN101008595A (zh) * 2007-01-25 2007-08-01 上海交通大学 液氦过滤器特性试验装置
CN101059203A (zh) * 2007-05-30 2007-10-24 李富国 汽车用cng加气站的供气方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1109131A (zh) * 1994-10-17 1995-09-27 林润泉 用于变压式排气道的变压部件
US5677480A (en) * 1995-02-24 1997-10-14 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Method and system for assessing the operating condition of a pressure regulator in a corrosive gas distribution system
CN2516718Y (zh) * 2001-07-23 2002-10-16 北京兰天达汽车清洁燃料技术有限公司 车载压缩天然气充气供气装置
CN101006303A (zh) * 2004-08-12 2007-07-25 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 储气系统及其使用方法以及安装有该储气系统的车辆
WO2006038098A2 (en) * 2004-10-07 2006-04-13 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Gas supply system and gas supply method
CN101008595A (zh) * 2007-01-25 2007-08-01 上海交通大学 液氦过滤器特性试验装置
CN101059203A (zh) * 2007-05-30 2007-10-24 李富国 汽车用cng加气站的供气方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN101446382A (zh) 2009-06-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101446382B (zh) 特殊气体供应和分配设备
CN101093056A (zh) 特气柜
US11686646B2 (en) Pressure-adjustable auxiliary control system for high-pressure gas sealing detection
CN201357057Y (zh) 一种多元混合气体制备装置
CN203629611U (zh) 一种sf6负荷开关中sf6气体在线监控仪器
CN204664860U (zh) 一种集中氮气供给系统
CN204227032U (zh) 一种天然气压缩机组
CN203895552U (zh) 一种燃料电池电源的现场检测维护系统
CN214369312U (zh) 一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱
CN110220657A (zh) 一种新型喷雾剂测漏系统
CN203037423U (zh) 一种正压容器气密性检测装置
CN206656839U (zh) 一种可检测病房设备带管道漏气的监测系统
CN204788857U (zh) 一种高纯金属有机化合物钢瓶烘干检漏装置
CN210979362U (zh) 一种用于特殊气体供应的长管拖车供应系统
CN204046402U (zh) 一种级联式多电平高压变频器功率单元的监控系统
CN210514303U (zh) 一种智能双保险无载气的油中溶解气体在线监测装置
CN210317718U (zh) 一种移动式真空泵真空度测试系统
CN201903431U (zh) 具有能源使用监测和环境探测能力的密封试验仪
CN203090852U (zh) 高纯度混合气体配制系统
CN203012101U (zh) 用于常规变电站真空断路器的无线检测系统
CN207406465U (zh) 一种将空气压缩机作为空氮互备压缩机备机的供氮系统
CN206710613U (zh) 一种核辐射排放在线监测装置
CN206656999U (zh) 组件式气体传感标定装置
CN219346239U (zh) 一种负压联动报警装置
CN217540386U (zh) 一种超净高纯化学品充装系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20130619

Termination date: 20131128