CN101425295B - 磁头滑块的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可以制造出高品质磁头滑块的方法，根据该制造方法可以精确地调整写入元件及读取元件的长度。本发明提供的磁头滑块的制造方法，包括有：在基体上层叠形成具有读取元件及写入元件之磁头的积层形成工序、切出由多个具有所述磁头的磁头滑块相连接而成的长形条块并对飞行面进行研磨从而露出所述读取元件及写入元件的研磨工序、以及，从所述长形条块中切割出一个个磁头滑块的滑块切割工序；其中，所述积层形成工序包括在设有所述读取元件的相同层上形成根据被研磨程度而改变其输出值的读取元件用研磨量检测传感器的环节，同时还包括在设有所述写入元件的相同层上形成根据研磨而改变其输出值的写入元件用研磨量检测传感器的环节，而所述研磨工序则根据所述读取元件用研磨量检测传感器及写入元件用研磨量检测传感器的各个输出值进行研磨。

Description

磁头滑块的制造方法

技术领域

本发明涉及磁头滑块的制造方法，尤其是涉及具备形成有薄膜磁头的磁头滑块的制造方法。

背景技术

近几年，磁盘装置的记录密度方面有着显著的进步，并仍在持续提升。而且，到目前为止主要采用一种称为面内记录的方式，即相对于磁盘水平配置磁性数据。但是，这种面内记录方式存在着磁极相斥，甚至很难实现高密度化等问题。如果使记录介质的压膜达到很薄则可以抑制磁极相斥现象从而能实现高密度化，但仍然无法避免由室温的热能所引起的记录磁化不稳定的热扰动问题。因此，近年来又研究出了一种采用进一步提高存储密度的垂直记录方式的磁盘装置。

这种垂直记录方式，随着线记录密度的提高作用于邻接位之间的反磁场减少，具有维持记录磁化稳定的特性。因此，密度化越高则记录磁化越稳定，从而可以有效利用为了实现超高密度的记录技术。具体地说，所谓垂直记录方式是，对挟设在二层记录媒体之间的软磁性衬里层与单极磁头之间的记录层施加磁场，使得记录层的磁体向着垂直于磁盘面的方向磁化，从而进行信息记录的一种磁记录方式。在这种垂直记录方式中，为了获得较大的记录磁场需要尽可能地缩短垂直磁记录用磁头的主磁极高度(颈高)，然而，如果该高度过短就会产生记录时的写入污点，而过长就会发生残留磁化引起的记录消迹现象。总之，写入元件的高度对记录特性产生较大的影响，因而需要进行高精度的制造。但是，目前为止主要被采用的所述面内记录方式对写入元件磁极高度的精度要求并不严格。而读取元件的高度即使在面内记录方式也被要求具有较高的精度，这与垂直记录方式相同。即在垂直记录方式中，对读取元件及写入元件双方都要求实现高精度的制造。

在此，在专利文献1中揭示了一种使用激光自动照准仪等设备调整夹具的角度后再对读取元件及写入元件双方进行研磨的方法。然而在此方法中，如果已层积在薄片上的读取元件与写入元件的位置发生了偏离，即使调整了磁头的元件形成面与飞行面的角度也不能控制写入元件的偏差，因而存在无法高精度地调整双方元件的问题。

还有，在专利文献2中揭示了研磨后测量读取元件与写入元件的高度并调整下一个长形条研磨面角度的方法。而在此方法中，不能调整实际研磨中的角度，不能精确地设定磁头中的所有元件。

并且，在专利文献2中，当研磨读取元件或写入元件时，还使用一种用于检测这些元件高度的研磨量检测传感器。但是，由于各元件的高度与研磨量检测传感器阻抗的倒数成比例，因而存在长高度范围内的传感器的阻抗变化率小，很难弄清写入元件与读取元件的偏离状况等问题。而且，实际上当阻抗变化率变大时高度已经变得很短，所以此时即使对角度进行调整也不能充分进行调整，从而发生研磨面变成2面的问题。

有鉴于此，本发明提供一种能改善上述现有技术中的缺陷，尤其是可以对写入元件与读取元件的长度进行高精度的调整，从而能制造出高品质的磁头滑块的方法。

专利文献1：日本专利申请特开2006-172691号公报

专利文献2：日本专利申请特开2006-331562号公报

发明内容

下面将以具体实施例说明本发明。首先，提供一种磁头滑块的制造方法，包括有：在基体上层叠形成具有读取元件及写入元件之磁头的积层形成工序、切出由多个具有所述磁头的磁头滑块相连接而成的长形条块并对飞行面进行研磨从而露出所述读取元件及写入元件的研磨工序、以及，从所述长形条块中切割出一个个磁头滑块的滑块切割工序；其中，所述积层形成工序包括在设有所述读取元件的相同层上形成根据被研磨的程度而改变其输出值的读取元件用研磨量检测传感器的环节，并同时在设有所述写入元件的相同层上形成根据研磨而改变其输出值的写入元件用研磨量检测传感器的环节；而所述研磨工序则根据所述读取元件用研磨量检测传感器及写入元件用研磨量检测传感器的各个输出值进行研磨。

而且，尤其在所述积层形成工序中，把所述写入元件用研磨量检测传感器成形为与所述写入元件长度相对应的形状。

根据上述技术特征，首先在基体上层积形成对磁盘进行数据读写操作的所谓读取元件或写入元件的磁头。此时，在读取元件及写入元件的同一层上，分别形成可检测研磨工序中涉及的研磨量的读取元件用研磨量检测传感器与写入元件用研磨量检测传感器。其次，切出含有多个在其基体上层积形成有磁头的磁头滑块的长形条块，并对飞行面进行研磨。此时，检测所述读取元件用研磨量检测传感器及写入元件用研磨量检测传感器的各输出值，并基于这些输出值对长形条块进行研磨，通过这种研磨，当所述读取元件与写入元件之间发生位置偏离时，可以根据偏离的程度对读取元件与写入元件的长度进行调整。即，由于各研磨量检测传感器是在与读取元件或写入元件相同的条件下分别形成的，因此通过参照各研磨量检测传感器的输出值，可以检测出随着各元件的形成条件而变化的读取元件及写入元件的位置偏离情况。特别是，由于把写入元件用研磨量检测传感器形成为与写入元件的长度相对应的形状，因此，该写入元件在成形时对应其长度而发生的与读取元件之间的位置偏差可以反映到写入元件用研磨量检测传感器的形状上，故可以更高精度地检测出位置偏差。并且，通过基于该偏差对飞行面所进行的研磨，可以调整出写入元件及读取元件的合理长度。之后，分别切割出一个个磁头滑块，通过蚀刻等方式形成ABS面，这样就可以制造出磁头滑块。

而且，在上述积层形成工序中，同时成形写入元件及写入元件用研磨量检测传感器的形状。并在该积层形成工序中，通过蚀刻或离子铣削(Ion milling)成形方式形成所述写入元件及写入元件用研磨量检测传感器的形状。

由此，通过同时成形写入元件及写入元件用研磨量检测传感器，可以在大致相同的条件下成形。因此，当所述写入元件的成形采用蚀刻方式的情况下，与此对应，所述写入元件用研磨量检测传感器也通过蚀刻方式成形。结果，对应写入元件的成形状态而产生的读取元件的位置偏差反映到写入元件用研磨量检测传感器中，从而可以更高精度地检测该位置偏差。此外，根据检测出的位置偏差再进行研磨，可以精确地调整出写入元件与读取元件的合理长度。

还有，在上述积层形成工序中，形成所述写入元件用研磨量检测传感器及所述读取元件用研磨量检测传感器时，对齐所述位于磁头滑块飞行面侧的写入元件用研磨量检测传感器端部与所述读取元件用研磨量检测传感器端部在研磨方向上的相对位置。还有，在积层形成工序中，形成所述写入元件用研磨量检测传感器时，将所述写入元件用研磨量检测传感器端部的成形目标位置对准到所述读取元件用研磨量检测传感器端部在研磨方向上的位置上。还有，在积层形成工序中，形成所述写入元件用研磨量检测传感器时，将所述写入元件用研磨量检测传感器端部的成形目标位置对齐至所述读取元件用研磨量检测传感器端部在研磨方向上的位置上。

据此，通过各传感器的形成可以事先对准写入元件用研磨量检测传感器与读取元件用研磨量检测传感器的相对位置，并使用这些传感器可以更精确地检测出分别形成在同一层上的各元件的位置偏差。从而可以精确地检测出写入元件成形时所发生的与读取元件之间的错位，并根据于此对飞行面进行研磨，从而可以更精确地调整写入元件与读取元件的合理长度。

还有，在积层形成工序中，将所述读取元件用研磨量检测传感器及/或所述写入元件用研磨量检测传感器形成为：具有以规定间隔隔开的相对研磨方向垂直延伸的多个带状部的同时还具有分别连接该多个带状部之各端部的一对连接部的大致呈梯形的形状。而且，在所述积层形成工序中，将所述写入元件用研磨量检测传感器形成为具有所述多个带状部的形状，同时将该多个带状部形成在飞行面侧。

由于至少有一个研磨量检测传感器相对研磨方向具有垂直的带状部，因此当研磨该带状部时，输出值按规定比例变化，而当研磨带状部之间部位时输出值则不发生变化。而且，从输出值的变化可以精确地检测出各元件的位置偏差，并根据检测结果再对飞行面进行研磨，则可以更精确地调整出写入元件及读取元件的合理长度。

还有，通过所述积层形成工序，使得所述读取元件用研磨量检测传感器与所述写入元件用研磨量检测传感器的各自一侧的输出端电连接到所述基体侧上，且使得所述读取元件用研磨量检测传感器与所述写入元件用研磨量检测传感器的各自另一侧的输出端电连接到层积形成时被设在最上层的规定端子部上。而且，通过该积层形成工序，使得所述读取元件用研磨量检测传感器与所述写入用研磨量检测传感器的所述另一侧的输出端分别电连接到为了输入相对于所述磁头的规定信号而设置的端子部及未连接在所述磁头上的端子部上。

由此，各研磨量检测传感器的输出端其一端连接到基体上并接公共端，另一端连接到形成在最上层的端子部上，由于输出端的半部经由基体接公共端，因此可以削减形成在长形条块上的不需要的端子部。进而可以降低制造成本。尤其是，可以把磁头滑块已具有的端子部作为连接研磨量检测传感器之输出端的端子部使用，从而能进一步削减用于传感器检测而新形成的端子部，并降低制造成本。

接着，在上述滑块切割工序中，把未被连接在所述磁头上的端子部切除使得磁头滑块不包含该端子部，其中所述磁头上可连接所述读取元件用研磨量检测传感器或写入元件用研磨量检测传感器的另一侧输出端。还有，在所述滑块切割工序中，切除所述读取元件用研磨量检测传感器及所述写入元件用研磨量检测传感器使得这些元件不包含在磁头滑块上。

据此，由于在磁头滑块上切除了不需要的各研磨量检测传感器及这些传感器进行检测时所使用的端子部，因而可以减轻磁头滑块的重量。

接着，在所述研磨工序中，根据读取元件用研磨量检测传感器及写入元件用研磨量检测传感器的输出值来调整长形条块的研磨角度并进行研磨。尤其是，所述研磨工序包括：研磨所述长形条块的同时检测所述读取元件用研磨量检测传感器及所述写入元件用研磨量检测传感器之输出值的传感器输出值检测环节、根据已检测的输出值设定所述长形条块之研磨角度的研磨角度设定环节、以及，研磨所述长形条块使得所述读取元件及所述写入元件达到规定长度的长度调整研磨环节。

而且，在所述积层形成工序中，形成一对随着所述写入元件被研磨的程度而分别改变其输出值的停止研磨检测传感器，并使各停止研磨检测传感器的各个输出值与所述研磨量一致；在所述研磨工序中，当所述各停止研磨检测传感器的各输出值与预定的基准一致时停止研磨。还有，在积层形成工序中，把所述读取元件用研磨量检测传感器及/或所述写入元件用研磨量检测传感器形成为大致呈梯形的形状，该大致呈梯形的结构包括相对于研磨方向垂直延伸并以规定间隔隔开的多个带状部以及分别连接该多个带状部之各端部的一对连接部。并且，在所述积层形成工序中，分别把所述一对停止研磨检测传感器形成为大致呈梯形的形状，同时使得所述带状部在各停止研磨检测传感器的研磨方向上的位置互相不同。还有，在所述积层形成工序中，将所述写入元件用研磨量检测传感器形成为所述一对停止研磨检测传感器中的任意一个。

由此，在研磨工序中监视着通过积层形成工序而成的一对停止研磨检测传感器在研磨时的输出值，而当各传感器的输出值一致时则停止对长形条块的研磨，以此能更准确地确定应停止研磨的位置。进而可以更高精度地调整写入元件的长度。

再者，提供一种长形条块，该长形条块是对包含磁头的多个磁头滑块相连接的块体进行切割而成的，且所述磁头具有层积在基体上的读取元件及写入元件，其特征在于：在该长形条块中，所述读取元件所在的相同层上形成有根据被研磨的程度而改变其输出值的读取元件用研磨量检测传感器，同时，所述写入元件所在的相同层上形成有根据被研磨的程度而改变其输出值的写入元件用研磨量传感器。而且，在该长形条块中，所述写入元件用研磨量检测传感器的形状是配合所述读取元件的长度而形成的。

而且，在所述长形条块中，位于磁头滑块飞行面上的写入元件用研磨量检测传感器的端部与读取元件用研磨量检测传感器的端部在研磨方向上的相对位置一致。还有，在积层形成工序中，将所述读取元件用研磨量检测传感器及/或所述写入元件用研磨量检测传感器形成为：具有以规定间隔隔开的相对研磨方向垂直延伸的多个带状部的同时还具有分别连接该多个带状部之各端部的一对连接部的大致呈梯形的形状。

而且，所述读取元件用研磨量检测传感器与所述写入元件用研磨量检测传感器的各自一侧的输出端与所述基体侧电连接，所述读取元件用研磨量检测传感器与所述写入元件用研磨量检测传感器的各自另一侧的输出端与设于磁头之最高位层上的规定端子部电连接。并且，所述读取元件用研磨量检测传感器与所述写入元件用研磨量检测传感器的所述另一侧的输出端分别与为了输入对磁头的规定信号而设置的所述端子部及未与磁头连接的端子部电连接。还有，在所述长形条块中，根据所述写入元件被研磨的程度而分别改变其输出值的一对停止研磨检测传感器，各自在规定研磨量范围内的输出值一致。

再者，提供一种磁头滑块的制造装置，包括在基体上层叠形成含有读取元件及写入元件的磁头的积层形成单元、用于切割由多个具备所述磁头的磁头滑块连接而成的长形条块的长形条块切割单元、对磁头滑块的飞行面进行研磨从而露出该长形条块中的读取元件及写入元件的研磨单元、从所述长形条块中切出单个的磁头滑块的滑块切割单元，其特征在于：通过所述积层形成单元在读取元件所在的同一层上形成根据被研磨的程度而改变其输出值的读取元件用研磨量检测传感器，同时在写入元件所在的同一层上形成根据被研磨的程度而改变其输出值的写入元件用研磨量传感器；当使用所述研磨单元对所述长形条块进行研磨时，还具备用于检测所述读取元件用研磨量检测传感器及所述写入元件用研磨量检测传感器之输出值的传感器输出值检测单元，所研磨单元则根据该传感器输出值检测单元所检测出的输出值对所述长形条块进行研磨。

在所述积层形成单元中，把所述写入元件用研磨量检测传感器形成为对应于所述写入元件长度的形状。

而且，所述磁头滑块的制造装置还具备根据由所述传感器输出值检测单元所检测出的输出值来设定所述长形条块的研磨角度的研磨角度设定单元，并按照该研磨角度设定单元所设定的角度对所述长形条块进行研磨

具有上述结构的长形条块或磁头滑块的制造装置与所述磁头滑块的制造方法一样，可以精确地调整写入元件与读取元件，可以制造出高品质的磁头滑块。

根据具有上述结构及功能的本发明技术内容，在与读取元件及写入元件的相同层上形成读取元件用研磨量检测传感器及写入元件用研磨量检测传感器并检测各个输出值，从而可以检测出对应各元件的形成条件而改变的读取元件与写入元件之间的位置偏差，与现有技术相比，本发明通过以这种位置偏差来调整研磨状况的方式研磨飞行面，可以精确地调整写入元件与读取元件的长度，并能制造出高品质的磁头滑块。

附图说明

图1(a)是磁头层积形成在基体上的状态示图；图1(b)是切出磁头滑块时的状态示图。

图2是磁头积层结构的表示图。

图3是磁头积层结构的表示图。

图4是读取元件之形成层结构与写入元件之形成层结构的表示图。

图5是表示读取元件之形成层结构与写入元件之形成层结构的示图。

图6是表示写入元件之形成层及研磨时形态的示图。

图7是表示写入元件之形成层及研磨时形态的示图。

图8是表示写入元件之形成层及研磨时形态的示图。

图9是表示读取元件之形成层与写入元件之形成层的结构及研磨时形态的示图。

图10是表示读取元件之形成层与写入元件之形成层的结构及研磨时形态的示图。

图11是表示读取元件之形成层与写入元件之形成层的结构及研磨时形态的示图。

图12是表示读取元件用研磨量检测传感器与写入元件用研磨量检测传感器的输出情况的示图。

图13是对长形条块进行研磨时表示各传感器的计测形态的示图。

图14是表示调整长形条块之研磨角度时的状态示图。

图15是表示从长形条块中切出磁头滑块时的状态示图。

图16是说明传感器的厚度与阻抗之间关系的示图。

图17是表示读取元件用研磨量检测传感器与写入元件用研磨量检测传感器的变形例的示图。

图18是表示读取元件用研磨量检测传感器与写入元件用研磨量检测传感器的变形例的示图。

图19是表示磁头滑块的制造工序的流程图。

图20是表示磁头滑块的制造过程及制造装置的概略图。

图21是表示磁头滑块的制造过程及制造装置的概略图。

图22是表示磁头滑块的制造过程及制造装置的概略图。

图23是本发明第2实施例所涉及的停止研磨检测传感器的形状表示图。

图24是表示图23中所示的各停止研磨检测传感器的阻抗值变化示图。

图25(a)是表示本发明第2实施例中的一对停止研磨检测传感器的一个示例图；图25(b)是表示其阻抗值变化的示图。

图26(a)是表示本发明第2实施例中的一对停止研磨检测传感器的一个示例图；图26(b)是表示其阻抗值变化的示图。

图27是图26中示出的一对停止研磨检测传感器的结构放大图及其阻抗值变化的放大图。

图28是图26中示出的一对停止研磨检测传感器的结构放大图及其阻抗值变化的放大图。

图29是图26中示出的一对停止研磨检测传感器的结构放大图及其阻抗值变化的放大图。

具体实施方式

本发明提供的一种磁头滑块的制造方法，尤其是在垂直记录方式的磁头滑块中可以同时精确地调整写入元件与读取元件的制造方法。以下将结合附图进一步说明本发明的实施例。当然，本发明提供的制造方法适用于制造垂直记录方式的磁头滑块，但并不局限于此，此方法也可以适用于制造其他形式的磁头滑块。

第1实施例

下面参照图1至图22详细说明本发明的第1实施例。图1是磁头层积形成在基体上的表示图。图2至图3是磁头部位的积层结构的表示图。图4至图5是读取元件之形成层结构与写入元件之形成层的结构示图。图6至图12是表示读取元件之形成层与写入元件之形成层的结构及研磨时形态的示图。图13是研磨磁头滑块时的计测状态的表示图。图14是表示调整磁头滑块研磨角度时的状态图。图15是表示切出磁头滑块时的状态图。图16是说明传感器的厚度与阻抗之间关系的示图。图17至图18是本发明变形例的示图。图19是表示磁头滑块的制造工序的流程图。图20至22是表示磁头滑块的制造过程及制造装置的概略图。

[制造方法的概括说明]

以下，说明一下磁头滑块的制造方法的及制造装置。首先，如图1(a)所示，通过采用照相平版方法的薄膜形成工序(如图19所示的薄膜加工步骤S1)，在陶瓷材料等的薄片(基体)100上形成多个由薄膜层层积而成的磁头101。例如，如图20(a)所示，在置于薄板T上的薄片100上通过溅射装置201(积层形成单元)对积层材料进行成膜加工。而且，根据需要，可以在已成膜的薄膜上进行抗蚀、曝光、显影等操作，并如图20(b)所示通过蚀刻装置202(积层形成单元)等设施将薄膜层成形为所希望的形状。从而，如图1所示，在薄片100的几乎整个面上形成磁头101。即，如图2或图3所示，在薄片100上形成由读取元件21及写入元件11等部件层积而成的磁头101。另外，在本发明中，就通过积层形成工序(如图19所示的步骤S1)、在可形成读取元件21的层20上形成读取元件用研磨量检测传感器22(如图19所示的读取元件层加工步骤S2)、并在可形成写入元件11的层10上形成写入元件用研磨量检测传感器12(如图19所示的写入元件层加工步骤S3)等环节将在后面详细说明。

接着，如图1(a)所示，把形成有磁头101的薄片100切成由多个磁头滑块连接而成的细长的长形条块110(如图19所示的步骤S4)。例如如图21(a)所示，先用夹具203从上下方夹住多个长形条块110处于连接状态而形成的块体111，再向上下方向拉伸的同时用切割工具204(长形条块切割单元)切割出一个个长形条块110。这样，如图1(b)及图21(b)所示，即可切割出各个长形条块110。另外，如图21(b)中的虚线所表示，之后再将长形条块110切割成一个个磁头滑块120。此时，如上所述，经积层形成工序层积的部位即成了磁头101，薄片100部分则成了滑块。而且，如图21(b)所示，露出有写入元件11及读取元件21的面与磁盘面相对着并成为飞行面S，该面也将成为后续被研磨的研磨面。

其次，通过如图22(a)所示的研磨装置205(研磨单元)对成为磁头滑块120之飞行面S的长形条块110的一面进行研磨加工(研磨工序)。此时，长形条块110由研磨角度设定装置206(研磨角度设定单元)支撑，而该研磨角度设定装置206用于设定相对于研磨装置205的研磨面207的研磨角度。而且，形成在被研磨的长形条块110上的触点(端子部)上连接有研磨量控制装置208(传感器输出值检测单元)，如后续说明，当进行研磨时，对装入长形条块110中的各研磨量检测传感器的输出值进行计测(传感器输出值检测工序，如图19所示的步骤S5)。

而且，该研磨量控制装置208还控制着研磨装置205及研磨角度设定装置206的动作。具体而言，研磨量控制装置208根据由各研磨量检测传感器检测出的输出值，控制研磨角度设定装置206从而设定长形条块110的研磨面角度(研磨角度设定工序，如图19所示的步骤S6)。还有，研磨量控制装置208通过控制研磨装置205进行设定研磨时间等操作，从而使得写入元件11及读取元件达到希望长度，并以此来控制研磨量(长度调整研磨工序，如图19所示的步骤S7)。

之后，如图22(b)所示，利用滑块切割装置209(滑块切割单元)从长形条块110中切出一个个磁头滑块120(滑块切割工序，如图19所示的步骤S8)。而且，在切割的各个磁头滑块120的飞行面S上形成规定形状的ABS(如图19所示的步骤S9)，以及进行洗净等规定处理，以此完成磁头滑块120的制造。

[制造方法的详细说明]

下面，对上述磁头滑块的制造方法进行详细的说明。另外，本发明尤其在把磁头101部分层积在薄片100上的积层形成工序以及其积层结构方面具有特点。而且，在切出长形条块110之后进行的研磨飞行面的研磨工序方面具有特点。因此，以下针对这些工序进行详细说明。

首先，参照图2及图3简单说明制造出的磁头滑块120。该磁头滑块120具有由薄片100而成的滑块部、以及堆积在其前端部(上面)的磁头101。而且，所述磁头101是由读取元件21及写入元件11进行薄膜层积而形成的，其中读取元件21是从磁盘D中读取数据的所谓的GMR元件；写入元件11是通过垂直记录方式对磁盘D进行数据存储的记录磁极。如图3所示，写入元件11与读取元件12露出在与磁盘D的记录面相对的飞行面S上，并如上所述，对于从所涉及的飞行面S到这些元件之间的长度，需要实现读写操作的高精度化，以及进行精确的调整。另外，如图2中的放大图所示，本实施例中写入元件11的长度是指在大致呈Y字状的结构中沿纵向延伸的部分长度，即称作颈高H部分的长度。而且，研磨时，写入元件11的长度H与读取元件21的长度L将同时被调整，但是如上所述，由于写入元件11与读取元件21相互之间的位置偏离的影响，调整出适当的长度较为困难。下面将说明能解决这些问题的制造方法。

首先，在积层形成工序(如图19所示的步骤S1)中，在如形成图4中示出的形成写入元件11及读取元件21的层10、20上分别形成图5中示出的各研磨量检测传感器12、22。具体地说，先在读取元件21的形成层20上层积读取元件21的材料并通过蚀刻或离子铣削加工成形该读取元件21的形状，同时，在同一层20上加工成形所述读取元件用研磨量检测传感器22。另外，读取元件用检测传感器20成形为具有相对于研磨面即飞行面S平行延伸的带状部24及与该带状部14的两端连接的一对连接部23的形状。而且，就该读取元件用研磨量检测传感器22的带状部24来说，由于其与读取元件21一同从研磨面S起沿着箭头A方向被研磨，因此随着研磨量其形状将会变小。因此，通过连接部23检测带状部24的阻抗值R2，就能测出读取元件21部分的研磨量。

还有，与上述说明相同，在写入元件11的形成层10上层积读取元件11的材料并通过蚀刻或铣削加工成形该写入元件11的形状，同时，在同一层10上加工成形所述写入元件用研磨量检测传感器12(如图19所示的步骤S3)。另外，写入元件用检测传感器12则有相对于研磨面即飞行面S平行延伸的带状部14及与该带状部14的两端连接的一对连接部13所形成。而且，就该写入元件用研磨量检测传感器12的带状部14来说，由于其与写入元件11一同从研磨面S起沿着箭头A方向被研磨，因此随着研磨量其形状将会变小。因此，通过连接部13检测带状部14的阻抗值R2，可以测出写入元件11部分的研磨量。

如上所述，在积层形成工序中通过在与写入元件11相同的层上设置写入元件用研磨量检测传感器12，即使因蚀刻等原因而在成形时发生了写入元件11的成形偏差，也能对颈高H进行均匀的调整。例如，图6中示出的是写入元件11的形成层，是表示按照图中实线S-T所示的形状(用斜线表示)蚀刻成形时的状态。此时，将飞行面S研磨到用ABS-T线表示的位置上(参照箭头A)，从而设定出理想的颈高H。因此，把写入元件用研磨量检测传感器12的带状部14(在图6中用斜线表示)定位形成在所述ABS-T线下端，并在该传感器12的阻抗值改变时终止研磨操作，由此就可以轻易地设定出理想的颈高H。另外，所述ABS-T线也是读取元件21达到的理想长度L的位置。

然而，实际上，在写入元件11的蚀刻成形时，如图6中的S-UE线所示会发生蚀刻不足(侧蚀)现象。详细地说，如图7的两点划线S-OE所示，发生过蚀刻现象时(参照斜线部分)，对飞行面S进行研磨直到其达到研磨读取元件21变成适当长度时的最初的研磨目标位置即ABS-T线的位置，这样就可以获得写入元件11的最合理的颈高长度。然而，如上所述，由于在与写入元件11相同的层10上形成写入元件用研磨量检测传感器12，并在进行写入元件11的蚀刻成形时一同成形传感器12的形状，因此带状部14也会被形成为过蚀刻后的形状。这样，带状部14形成为图7中两点划线所示的被缩小了的形状(参照斜线)，而其下端部分位置则位于比ABS-T线更上侧的位置上，即位于ABS-OE线上。进而，与上述说明相同，把飞行面S研磨至带状部14的下端位置处(参照箭头A)，以此，使得所述写入元件11的端部处在ABS-OE线上，即位于比最初的研磨目标位置ABS-T线更上侧的位置上。而且，过蚀刻使得颈高的另一端侧也位于更上方的位置上，因此就结果来说，过蚀刻时的颈高H’与理想高度H几乎一致。

还有，如图8中的虚线S-UE所示，发生侧蚀现象时(参照斜线)，若把飞行面S研磨至最初的研磨目标位置ABS-T线为止时，颈高的长度将会变短。然而，如上所述，由于在相同层10上形成了写入元件用研磨量检测传感器12，并在进行写入元件11的蚀刻成形时一同成形传感器12的形状，因此该传感器12的带状部14也将被过蚀刻。这样，带状部14形成为如图8的虚线所示的宽幅的形状(参照斜线)，而其下端部位则位于更下侧的位置上，即位于ABS-UE上。进而，与上述说明相同，把飞行面S研磨至带状部14的下端位置处(参照箭头A)，以此，使得所述写入元件11的端部处在ABS-OE线上，即位于比最初的研磨目标位置ABS-T线更下侧的位置上。而且，侧蚀使得颈高的另一端侧也位于更下方的位置上，因此就结果来说，侧蚀时的颈高H’与理想高度H几乎一致。

如上所述，在积层形成工序中，通过用蚀刻或铣削等加工在与写入元件11相同的层上同时成形写入元件用研磨量检测传感器12，由此使得成形写入元件11时的形状偏差被反映到传感器12的带状部14形状上。即，根据写入元件11颈高H的一端(位于与前端侧相反位置的底部侧)所发生的位置偏离以及按照成形该写入元件11时可变化的长度来形成写入元件用研磨量检测传感器12的形状。并且，通过在研磨工序中根据上述传感器12的输出值对飞行面进行研磨的环节，总是可以均匀地成形写入元件11的元件高度即颈高H。当然，所述写入元件用研磨量检测传感器12的形状，尤其是带状部14的形状并不限定于图中所示的形状。

另外，以上是对单独调整写入元件11长度的方法的说明，而且由于把读取元件21研磨至ABS-T线时能达到最合理的状态，因而如上所述当写入元件11的形状发生偏差并与读取元件21之间的相对位置发生偏离时，需要按规定角度设定为研磨时成为长形条块110的研磨面即飞行面S的规定角度，之后进行研磨。下面将对所述研磨角度的设定方法进行说明。

如上所述，在本实施例中，经过积层形成工序尤其在与读取元件21的同一层上设置了读取元件用研磨量检测传感器22。而且，通过比较上述写入元件用研磨量检测传感器21与读取元件用研磨量检测传感器22之间的输出值，可以检测出写入元件11与读取元件21之间的相对位置偏差。

图9是横向并排表示实际层积组成的写入元件11的形成层10及读取元件21的形成层20的示图。如该图所示，形成在写入元件11的形成层10上的写入元件用研磨量检测传感器12具有多个与研磨方向(箭头A方向)大致垂直即相对飞行面S基本平行延伸的带状部14(斜线部分)。而且，这些带状部14的两端连接有与该带状部24相垂直并沿研磨方向延伸的一对连接部13，而传感器本身则略呈梯子形状。这样，通过所述连接部13可以检测出多个带状部14并排连接时的阻抗值。而且，形成在读取元件21的形成层20上的读取元件用研磨量检测传感器22也一样，具有多个与研磨方向大致垂直即相对飞行面S基本平行延伸的带状部24。而且，这些带状部24的两端连接有与该带状部24相垂直并沿研磨方向延伸的一对连接部23，而传感器本身则略呈梯子形状。通过所述连接部23可以检测出多个带状部24并排连接时的阻抗值。

另外，所述大致呈梯形的各传感器12、22具有基本相同的形状。尤其是，对于所形成的各带状部14与24来说，从这些部位分别到飞行面S的距离相同。例如，作为传感器12、22的端部并位于最靠近飞行面S侧的带状部14、24的位置相同。而且，如图9所示，从目前的飞行面S所在位置向着箭头A方向进行研磨，则达到ABS-T线所示的位置时所述写入元件11及读取元件21具有适当的长度。但是，如上所示，由于在成形写入元件11时会发生形状偏差，因此大致呈梯形的各传感器12、22，尤其是其带状部14、24的形状不一定要形成为相同的形状。从而，在用符号a表示的到ABS-T线为止的研磨范围内进行研磨时，所获得的传感器12、22的输出值则用于检测写入元件11与读取元件21的位置偏差。

以下再结合图10及11进行说明。首先，图10表示的是，在写入元件11的形成层10上预计把写入元件11蚀刻成形为如两点划线S-T所示形状，但在实际积层形成工序中该写入元件11经过蚀刻处理而成形为实线S-OE所示形状的状态示图。这样，由于过蚀刻现象所述写入元件用传感器12的带状部14的宽度也将变窄。而同时所述读取元件用检测传感器22的带状部24则成形为目标形状。在这种情况下，如上所述，进行在研磨工序时为了设定写入元件11的颈高H，将研磨操作进行到位于上方的带状部14下端的位置处，即研磨至ABS-OE线为止，这样可以调整出适当的颈高H。然而，这时读取元件21的长度L并未达到理想状态，因此如图14(b)所示，研磨时要倾斜飞行面S，并需要使写入元件11的研磨量与读取元件21的研磨量各不相同。

此时则利用在上述初期研磨阶段(图9中符号所表示的研磨范围)中所获得的各研磨量检测传感器12、22的各输出值。在图12的线图中示出了各传感器12、22的输出值。在该图中，线条G1表示的是由写入元件用研磨量检测传感器12所输出的阻抗值，线条G2表示的是由读取元件用研磨量检测传感器22所输出的阻抗值。另外，线条G3表示的是所述传感器12、22并非为在图9等示图中表示的略呈梯子形状而是形成为如图6所示的一根带状时得阻抗值。

如该图12所示，对各传感器12、22中的带状部14、24部位进行研磨时，阻抗值以二次曲线形式增加变化，因而这时呈现出的是曲线，但是研磨位于各带状部14、24之间而不包含这些带状部14、24的部位时由于没有阻抗值的变化，因而线条G1、G2比较平坦。因此，可以测出图12所示中画图部分的线条变化状况，这与线条G3相比较能更容易地测出写入元件11与读取元件21之间的位置偏差。另外，图11表示的是写入元件11的形成层10经侧蚀处理后的成形状态，这种情况也能获得图12所示的线图。

还有，图13表示的是，从飞行面侧观察所述形成各研磨量检测传感器12、22的长形条块110的结构及研磨时的状态。如上所述，层叠形成在薄片100上的磁头101部位中，在与读取元件21相同的层上形成了读取元件用研磨量检测传感器22，并在与写入元件11相同的层上形成了写入元件用研磨量检测传感器12(参照图13中的虚线)。而且，其上层部位设有由加热器的热量而膨胀使得磁头与磁盘之间的距离更靠近的DFH(动态飞高)元件31。并且在其最上层形成了用于写入元件11的触点41(端子部)、用于读取元件21的触点42(端子部)、用于DFH的触点43(端子部)。这些触点即使在后续操作中被磁头滑块120切断，也能连接在磁头上而被使用。而且，最上层上还设有连接到所述写入元件用研磨量检测传感器12的至少一侧输出端的触点44(端子部)。而所述用于写入元件及读取元件的研磨量检测传感器12、22的另一侧端子部则电连接到薄片100的一侧上并接地，并且还设有接地用触点45(端子部)。所述读取元件用研磨量检测传感器22的一侧输出端则被连接到所述DFH用触点43上。另外，各传感器12、22的一侧输出端也可以连接到其他的触点上。而且，所述各传感器12、22的连接配线则在积层形成工序中层叠形成。

还有，如图14(a)所示，沿着飞行面S的箭头A方向进行研磨的研磨工序中(如图19所示的步骤S5)，使用研磨量控制装置208，从长形条块110中检测出连接到所述传感器12、22上的触点43、44、45的输出值。而且，通过比较各传感器12、22的输出值，可以测出写入元件11与读取元件21的位置偏差。即，在如图10、11的举例表示中，读取元件21通过被研磨至ABS-T线为止时获得适合的长度L，而对于写入元件11来说存在被研磨至ABS-OE或ABS-UE线为止时获得使得长度H的情况。在这种情况下，如图14(b)所示，根据所测出的各元件11、12的位置偏差程度来设定长形条块110相对研磨装置205的倾斜角度即角度θ，从而通过研磨使得写入元件11及读取元件21双方都获得理想的长度(如图19所示的步骤S6)。并以设定的角度继续进行研磨，从而调整出写入元件11及读取元件12的理想长度H、L(如图19所示的步骤S7)。

其后，通过滑块切割工序从长形条块110中切出一个个的磁头滑块120。此时，在图13中示出的虚线处进行切割，从而如图15所示，切除了未连接在磁头101的任意元件上并用符号44、45表示的触点部分。因此从结果来看，通过切割处理所述读取元件用研磨量检测传感器22及写入元件用研磨量检测传感器12也不包含在磁头滑块120中。

通过上述操作，在本实施例中，在与读取元件11及写入元件12相同的层上分别形成有在研磨工序中用于检测研磨量的读取元件用研磨量检测传感器22及写入元件用飞行量检测传感器12，并参照各传感器的输出值可以测出随着各元件的形成条件而发生变化的读取元件21与写入元件11之间的配置偏差。而且，通过基于检测出的偏差量而设定待研磨的飞行面的倾斜角度并继续进行研磨，可以分别调整出写入元件11及读取元件21两者同时都合理的长度。这种方式尤其适用于写入元件11、读取元件12双方均被要求其长度需高精度调整的垂直记录方式的磁头滑块120的制造中。

还有，尤其是通过巴各研磨量检测传感器12、22的带状部14、24形成为相互之间以一定间隔隔开设置的多个略呈梯形的形状，可以使研磨时的阻抗值变化具有阶段性，并能轻易测出写入元件11与读取元件12的位置偏差。在此，如图16(a)所示，研磨量检测传感器12、22最好具有固定的厚度，但在所有磁头中很难均匀形成。而且，如图16(b)所示所述厚度不固定时，则会出现图16(c)所示的研磨时间的阻抗依赖性发生变化的现象。即使是在这种情况下，通过使用具有垂直于研磨方向的多个带状部14、24的传感器，作为阻抗值的输出值的变化具有如上所述的阶段性。从而可以更准确地测出积层形成时各元件11、12的位置偏差。

当然，所述读取元件用检测传感器22、写入元件用检测传感器12并不局限于上述形状。下面在图17至18中示出了这些传感器12、22的变形实例。另外，在图17、18中只示出了写入元件用研磨量检测传感器12的形状，但是读取元件用研磨量检测传感器22的形状也相同。在图17的各实例中，带状部14的形状各不相同，并用斜线表示了其形状。而且，图17中用虚线ABS-T线表示了能获得读取元件21及写入元件11的理想长度时的位置。

首先，如图17(a)所示的实例中，从作为研磨面的飞行面S到超过ABS-T线为止，相同地形成所述带状部14。在这种情况下，研磨时阻抗值的变化呈如图12所示的线条G3的曲线，虽说精度有所下降，但通过比较输出值可以测出写入元件11与读取元件12的位置偏差。而且，通过根据这种位置偏差量设定研磨角度并继续研磨的操作，可以同时设定出两个元件各自适合的长度。另外，元件长度的调整也可以参照研磨时带状部14的输出值而定。

而且，如图17(b)所示的实例，从飞行面S起隔开一段距离共设置了4根带状部14。并且，ABS-T线附近的带状部14则跨过该ABS-T线而形成。这些情况下，利用飞行面S侧的多根带状部14测出读取元件21与写入元件11的位置偏差，并根据于此设定研磨角度继续进行研磨。而且，根据研磨时的输出值变化利用跨过ABS-T线的带状部14，从而可以设定两个元件都具有合理的长度。

还有，如图18(a)所示的实例，在飞行面S附近设置了2根带状部14，且在ABS-T线附近设置了1根带状部14。据此，首先，通过在作为研磨面的飞行面S一侧配设多个带状部14，可以在研磨开始到研磨早期阶段，即读取元件21与写入元件11较长阶段测出读取元件21与写入元件11的位置偏差，并在研磨初期阶段设定研磨角度。而且，通过继续进行研磨操作，并根据研磨时的输出值变化，以及利用跨过ABS-T线的带状部14，可以设定两个元件都具有合理的长度。如上所述，由于在各元件11、12的长度较长阶段可以调整研磨角度，因此增加了长度调整的自由度，并能更精确地设定所述元件的长度。

还有，如图18(b)所示的实例，只有在下端侧附近设置了3根带状部14。这样，通过仅在下端侧设置多个带状部14，可以在研磨开始到研磨早期阶段测出读取元件21与写入元件11的位置偏差，并可以根据此偏差设定研磨角度。而且，由于带状部14较少，因而测出的阻抗值较高，并能容易地检测出其变化。进而提高了位置偏差的检测精度。另外，设定研磨角度后，控制研磨时间等参数并继续进行研磨，通过这种操作可以设定两个元件具有适当的长度。

当然，所述写入元件用研磨量检测传感器12与读取元件用研磨量检测传感器22的形状并不局限于附图所示的形状，也可以形成为其他的形状。即，可以以任意宽度形成各传感器12、22所具有的带状部14、24，其形成位置或形成数量也不受限制。

第2实施例

下面参照图23至图29详细说明本发明的第2实施例。在本实施例中，基本上采用上述磁头滑块的制造方法，不同的是还包括一个精确调整写入元件11或读取元件21的长度的工序。下面将详细说明在第1实施例的基础上再追加的工序。

首先，进行本实施例的积层形成工序时，在写入元件11的相同层或不同层上形成一对具有与上述写入元件用研磨量检测传感器12相同结构的停止研磨检测传感器。另外，也可以把上述写入元件用研磨量检测传感器12及读取元件用研磨量检测传感器22作为一对停止研磨检测传感器使用，以下将对重新形成一对停止研磨检测传感器的情况进行说明。另外，该一对停止研磨检测传感器也可以形成在任意层上。该一对停止研磨检测传感器可以形成在同一层上，也可以分别形成在不同层上。而且，该一对停止研磨检测传感器与上述写入元件用研磨量检测传感器12等相同，可以将其形成在如图13及图15所示的从长形条块中切除的部位上。

其次，在图23中表示出了停止研磨检测传感器的形状示例。如图23(a)、(b)、(c)所示，所述停止研磨检测传感器基本上与上述写入元件用研磨量检测传感器12相同，包括相对研磨面S平行延伸的带状部31b、32b、33b，以及与该带状部31b、32b、33b的两端相连接并沿着研磨方向(箭头A方向)延伸的一对连接部31a、32a、33a。而且，该带状部31b、32b、33b(阻抗)与写入元件12(图23中未示出)一同从研磨面S起向着研磨方向(箭头A方向)被研磨，因而随着研磨量的增加其形状将变小。进而，使用各传感器31、32、33并通过连接部31a、32a、33a检测带状部31b、32b、33b的阻抗值，可以检测出研磨量。另外，进行阻抗值的检测时，例如，与上述研磨量检测传感器12、22一样，在磁头滑块的各个触点上连接各停止研磨检测传感器的输出端并层叠形成，由此可以在各触点上测出所述阻抗值。

而且，把停止研磨检测传感器31、32、33形成为如图23所示的各种形状时，由各停止研磨检测传感器31、32、33所检测出的阻抗值(输出值)各不相同。并在图24中表示了研磨时各传感器31、32、33的阻抗值变化状态。在该图中，线条31表示的是传感器31的阻抗值，线条32表示的是传感器32的阻抗值，线条33表示的是传感器33的阻抗值。如该图所示，传感器31只具有1根带状部31b，因此，随着研磨的进行其阻抗值以二次函数形式增加。而且，传感器32、33也分别具有多个带状部32b、33b，因此研磨带状部32b、33b时其阻抗值也以二次函数形式增加，而研磨带状部32b、33b之间的部位时其阻抗值不发生变化为常数。另外，对于传感器32与传感器33来说，各自形成的带状部32b、33b的形成位置互不相同，沿着研磨方向A分别交替而成。即，在研磨方向的同一位置上，若有一个传感器上形成有传感器，则另一个传感器上则未形成有带状部。

还有，参照图24，各传感器31、32、33的形成使得特定研磨时间即特定研磨量所对应的各传感器31、32、33的阻抗值一致。例如，对于传感器32与传感器33来说，在研磨量P1的位置上所对应阻抗值相同。再者，对于传感器31与传感器33来说，在研磨量P2的位置上所对应阻抗值相同。又，对于传感器31与传感器32来说，在研磨量P3的位置上所对应阻抗值相同。而且，在研磨量P3的位置上所有传感器31、32、33的阻抗值均相同。

如上所述，本实施例中的停止研磨检测传感器31、32、33具有特定研磨量所对应的阻抗值相一致的特性。从而，把具有上述形状的传感器31、32、33中的任意两个传感器形成为在这些传感器的阻抗值一致时所对应的研磨量位置上使所述写入元件12等具有最适当长度的形态，而且，在研磨工序中当一对停止研磨检测传感器的阻抗值一致时停止进行研磨，由此可以精确地调整出写入元件12等的理想长度。下面，举出具体实施例说明一对停止研磨检测传感器。

如图25(a)的实例所示，符号31表示停止研磨检测传感器31，符号32表示停止研磨检测传感器32，这一对停止研磨检测传感器通过积层形成工序所形成。这样，形成具有一对所述停止研磨检测传感器31、32的长形条块，通过研磨工序对其进行研磨，并调整写入元件12等的长度。而且，在图25(b)中表示了进行研磨工序时停止研磨检测传感器31、32的阻抗值变化形态。如该图所示，当研磨各传感器31、32时，在研磨量P11的位置上各传感器31、32的阻抗值一致，因此将此位置作为停止研磨的位置进行检测，并停止研磨。这样可以更准确地调整出元件的长度。

其次，如图26(a)的实例所示，符号32表示停止研磨检测传感器32，符号33表示停止研磨检测传感器33，这一对停止研磨检测传感器通过积层形成工序所形成。另外，用符号33表示的传感器其形状有些不同，但相对于用符号32表示的传感器32，其带状部33b的位置相互交替配置的这一点仍相同。这样，形成具有一对所述停止研磨检测传感器32、33的长形条块，通过研磨工序对其进行研磨，并调整写入元件12等的长度。而且，在图26(b)中表示了进行研磨工序时停止研磨检测传感器32、33的阻抗值变化形态。如该图所示，当研磨各传感器32、33时，在研磨量P12的位置上各传感器32、33的阻抗值一致，因此将此位置作为停止研磨的位置进行检测，并停止研磨。这样可以更准确地调整出元件的长度。

在图27至图29中示出了图26中各图的放大图，下面就对此进行说明。首先，图27表示了蚀刻成形一对停止研磨检测传感器32、33时按照目标形状进行蚀刻的情况。在这种情况下，如图27(a)所示，各传感器32、33的带状部32b、33b的形成位置在研磨方向上互不重叠，形成明显的交替形态。而且，对这样的一对停止研磨检测传感器32、33进行研磨时，如图27(b)所示，在研磨位置P12上可以检测出各传感器32、33的阻抗值约在一个点上相同。并且，在研磨工序中，当检测出阻抗值一致时停止研磨，由此可以更准确地调整元件长度。还有，图28表示了蚀刻成形一对停止研磨检测传感器32、33时相对于目标形状进行了过蚀刻的情况。在这种情况下，如图28(a)所示，各带状部32b、33b的形状小于目标形状，因此在研磨方向上，未设有各个停止研磨检测传感器32、33的带状部32b、33b的部分位置相重叠。而且，即使在研磨位置P12上，两个传感器32、33都不包含其带状部32b、33b(参照虚线)。对这样的一对停止研磨检测传感器32、33进行研磨时，如图28(b)所示，在研磨位置P12的前后也存在各传感器32、33的阻抗值相同的部分。即，两个传感器32、33的阻抗值相同的状态将持续一定时间。此时，则把阻抗值相一致的区间内的中间点作为研磨的停止位置。另外，阻抗值相同区间的中间点，例如，以在已经研磨的各带状部32b、33b部位上计测的阻抗值为基础，可以推测出从阻抗值开始相同的点到所述中间点还需进行多少研磨的程度。根据这种推测，在停止研磨的位置P12的附近检测到其研磨位置接近阻抗值相同区间的中间点，并停止研磨。

再则，图29表示了蚀刻成形一对停止研磨检测传感器32、33时相对于目标形状进行了侧蚀即蚀刻不足的情况。在这种情况下，如图29(a)所示，各带状部32b、33b的形状大于目标形状，因此在研磨方向上，各个停止研磨检测传感器32、33的带状部32b、33b的部分位置相重叠。而且，在研磨位置P12上，两个传感器32、33的带状部32b、33b也互相重叠(参照虚线)。对这样的一对停止研磨检测传感器32、33进行研磨时，如图29(b)所示，即使在研磨位置P12上各传感器32、33的阻抗值也不完全相同。而这种情况下，各阻抗值之差处于预先设定的允许范围内，并把差距最小的点确定为各阻抗值大致相同的位置，从而作为停止研磨的位置进行检测。而且，判断阻抗值大致相同的误差允许范围或最小值，例如，可以以在已经研磨的带状部32b、33b部位上计测的阻抗值作为基础进行推测。根据这种推测，在停止研磨的位置P12的附近检测到各阻抗值之差大致相同的位置时，停止研磨。

如上所述，对于一对停止研磨检测传感器来说，考虑到成形时过蚀刻或侧蚀的影响最好将两者形成在相同层上。而且，在上述说明中，特别是举例说明了对写入元件11进行调整的传感器，当然也可以设置对读取元件21的长度进行调整的传感器。

还有，在上述说明中，举例说明了重新层积形成一对停止研磨检测传感器并将其装入长形条块上的情况，当然也可以把写入元件用研磨量检测传感器12与读取元件用研磨量检测传感器22作为一对停止研磨检测传感器而使用。在这种情况下，在各传感器12、22的下端侧(研磨面侧)形成了为了检测如第1实施例所述的写入元件11及读取元件21的位置偏差而使用研磨时的抗值的带状部。而且，在决定各传感器12、22的上方即在写入元件11或读取元件21长度的停止研磨的位置附近形成了各个带状部，使得在上述停止研磨的位置上各传感器的阻抗值相同。由此，可以削减形成长形条块的传感器数量，实现低成本化。当然，也可以把上述写入元件用研磨量检测传感器12或读取元件用研磨量检测传感器22用做一对停止研磨检测传感器中的任意一个传感器。

产业上的可利用性

本发明提供的制造装置装配磁盘装置上，可制造出相对于磁盘进行读写操作的磁头滑块，从而具有产业上的可利用性。

Claims (26)

1.一种磁头滑块的制造方法，包括在基体上层叠形成具有读取元件及写入元件的磁头的积层形成工序、切出由多个具有所述磁头的磁头滑块相连接而成的长形条块并对飞行面进行研磨从而露出所述读取元件及写入元件的研磨工序、从所述长形条块中切割出一个个磁头滑块的滑块切割工序，其特征在于：

所述积层形成工序包括在设有所述读取元件的相同层上形成根据被研磨的程度而改变其输出值的读取元件用研磨量检测传感器的环节，并同时在设有所述写入元件的相同层上形成根据研磨而改变其输出值的写入元件用研磨量检测传感器的环节；

所述研磨工序基于所述读取元件用研磨量检测传感器及写入元件用研磨量检测传感器的各个输出值进行研磨；

在所述积层形成工序中，把所述写入元件用研磨量检测传感器成形为与所述写入元件不同长度的形状相对应的形状。

2.如权利要求1所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：在所述积层形成工序中，同时成形所述写入元件及所述写入元件用研磨量检测传感器的形状。

3.如权利要求2所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：在所述积层形成工序中，通过蚀刻成形或离子铣削成形的方式成形所述写入元件及所述写入元件用研磨量检测传感器的形状。

4.如权利要求1至3中任意一项所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：在所述积层形成工序中，形成所述写入元件用研磨量检测传感器及所述读取元件用研磨量检测传感器时，对齐位于磁头滑块飞行面侧的写入元件用研磨量检测传感器端部与所述读取元件用研磨量检测传感器端部在研磨方向上的相对位置。

5.如权利要求4所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：在所述积层形成工序中，形成所述写入元件用研磨量检测传感器时，将所述写入元件用研磨量检测传感器端部的成形目标位置对齐至所述读取元件用研磨量检测传感器端部在研磨方向上的位置上。

6.如权利要求5所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：在所述积层形成工序中，形成所述写入元件用研磨量检测传感器时，把所述写入元件用研磨量检测传感器的成形目标形状形成为与所述读取元件用研磨量检测传感器的形状相同的形状。

7.如权利要求1所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：在所述积层形成工序中，把所述读取元件用研磨量检测传感器及/或所述写入元件用研磨量检测传感器形成为呈梯形的形状，该呈梯形的结构包括相对于研磨方向垂直延伸并以规定间隔隔开的多个带状部以及分别连接该多个带状部之各端部的一对连接部。

8.如权利要求7所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：在所述积层形成工序中，将该多个带状部形成在飞行面侧。

9.如权利要求1所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：通过所述积层形成工序，把所述读取元件用研磨量检测传感器与所述写入元件用研磨量检测传感器的各自一侧的输出端电连接到所述基体侧上，把所述读取元件用研磨量检测传感器与所述写入元件用研磨量检测传感器的各自另一侧的输出端电连接到积层形成时被设在最上层的规定端子部上。

10.如权利要求9所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：通过所述积层形成工序，使得所述读取元件用研磨量检测传感器与所述写入用研磨量检测传感器的所述另一侧的输出端分别电连接到为了输入对所述磁头的规定信号而设置的端子部及未连接在所述磁头上的端子部上。

11.如权利要求10所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：在所述滑块切割工序中，把未连接在所述磁头上的端子部切除使得其不包含在磁头滑块中，其中所述磁头上可连接所述读取元件用研磨量检测传感器或写入元件用研磨量检测传感器的所述另一侧输出端。

12.如权利要求1所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：在所述滑块切割工序中，切除所述读取元件用研磨量检测传感器及所述写入元件用研磨量检测传感器使得这些元件不包含在磁头滑块中。

13.如权利要求1所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：在所述研磨工序中，基于所述读取元件用研磨量检测传感器及所述写入元件用研磨量检测传感器的输出值调整所述长形条块的研磨角度并进行研磨。

14.如权利要求13所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：所述研磨工序还包括：研磨所述长形条块的同时检测所述读取元件用研磨量检测传感器及所述写入元件用研磨量检测传感器之输出值的传感器输出值检测环节、根据已检测的输出值设定所述长形条块之研磨角度的研磨角度设定环节、以及，研磨所述长形条块使得所述读取元件及所述写入元件达到规定长度的长度调整研磨环节。

15.如权利要求1所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：在所述积层形成工序中形成一对随着所述写入元件的被研磨程度而分别改变其输出值的停止研磨检测传感器，使得各停止研磨检测传感器的各个输出值与所述研磨量一致；在所述研磨工序中，当所述各停止研磨检测传感器的各输出值与预定的基准一致时停止研磨。

16.如权利要求15所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：在所述积层形成工序中，把所述一对停止研磨检测传感器中的至少一个传感器形成为呈梯形的形状，该呈梯形的结构包括相对于研磨方向垂直延伸并以规定间隔隔开的多个带状部以及分别连接该多个带状部之各端部的一对连接部。

17.如权利要求16所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：在所述积层形成工序中，分别将所述一对停止研磨检测传感器形成为所述呈梯形的形状，同时使得所述带状部在各停止研磨检测传感器的研磨方向上的位置互相不同。

18.如权利要求15至17中任意一项所述的磁头滑块的制造方法，其特征在于：在所述积层形成工序中，把所述写入元件用研磨量检测传感器形成为所述一对停止研磨检测传感器中的任意一个。

19.一种形成磁头滑块的长形条块，是对包含磁头的多个磁头滑块相连接的块体进行切割而成，且所述磁头具有层积在基体上的读取元件及写入元件，其特征在于：

在该长形条块中，所述读取元件所在的相同层上形成有根据被研磨的程度而改变其输出值的读取元件用研磨量检测传感器，同时，所述写入元件所在的相同层上形成有根据被研磨的程度而改变其输出值的写入元件用研磨量传感器；所述写入元件用研磨量检测传感器的形状是配合所述写入元件不同长度的形状而形成的。

20.如权利要求19所述的长形条块，其特征在于：位于磁头滑块飞行面上的所述写入元件用研磨量检测传感器的端部与所述读取元件用研磨量检测传感器的端部在研磨方向上的相对位置一致。

21.如权利要求19所述的长形条块，其特征在于：所述读取元件用研磨量检测传感器及/或所述写入元件用研磨量检测传感器具有呈梯形的形状，而该呈梯形的结构包括相对于研磨方向垂直延伸并以规定间隔隔开的多个带状部以及分别连接该多个带状部之各端部的一对连接部。

22.如权利要求19至21中任意一项所述的长形条块，其特征在于：所述读取元件用研磨量检测传感器及所述写入元件用研磨量检测传感器的各自一侧的输出端与所述基体侧电连接，所述读取元件用研磨量检测传感器与所述写入元件用研磨量检测传感器的各自另一侧的输出端与设于磁头之最高位层上的规定端子部电连接。

23.如权利要求22所述的长形条块，其特征在于：所述读取元件用研磨量检测传感器及所述写入元件用研磨量检测传感器的所述另一侧的输出端分别电连接于为了输入对磁头的规定信号而设置的所述端子部及未与磁头连接的所述端子部上。

24.如权利要求19所述的长形条块，其特征在于：根据所述写入元件被研磨的程度而分别改变其输出值的一对停止研磨检测传感器在规定研磨量范围内的各输出值一致。

25.一种磁头滑块的制造装置，包括在基体上层叠形成含有读取元件及写入元件的磁头的积层形成单元、用于切割由多个具备所述磁头的磁头滑块连接而成的长形条块的长形条块切割单元、对磁头滑块的飞行面进行研磨从而露出该长形条块中的读取元件及写入元件的研磨单元、从所述长形条块中切出单个的磁头滑块的滑块切割单元，其特征在于：

通过所述积层形成单元在读取元件所在的同一层上形成根据被研磨的程度而改变其输出值的读取元件用研磨量检测传感器，同时在写入元件所在的同一层上形成根据被研磨的程度而改变其输出值的写入元件用研磨量传感器；

当使用所述研磨单元对所述长形条块进行研磨时，还具备用于检测所述读取元件用研磨量检测传感器及所述写入元件用研磨量检测传感器之输出值的传感器输出值检测单元；

所研磨单元则根据该传感器输出值检测单元所检测出的输出值对所述长形条块进行研磨；

在所述积层形成单元中，所述写入元件用研磨量检测传感器被形成为与所述写入元件不同长度的形状相对应的形状。

26.如权利要求25所述的磁头滑块的制造装置，其特征在于：该装置还具备根据由所述传感器输出值检测单元所检测出的输出值来设定所述长形条块的研磨角度的研磨角度设定单元，并按照该研磨角度设定单元所设定的角度对所述长形条块进行研磨。

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