CN101358333A - 溅镀基材固持装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种溅镀基材固持装置，其用于在溅镀过程中对基材进行固持，所述基材具有一溅镀表面及一与所述溅镀表面相邻的侧面，所述溅镀基材固持装置包括一个用于承载所述基材的基板；多个夹持单元，其环绕所述基材分布在基板上，以分别从所述基材的侧面抵持住该基材；多个固持单元，其分别连接于所述基板及所述多个夹持单元，以将所述多个夹持单元固定在基板上。所述溅镀基材固持装置通过设置多个夹持单元以分别从所述基材的侧面抵持住该基材，从而可于溅镀过程中对所述基材起固持作用，并可避免基材的溅镀表面在溅镀时被遮盖住，进而可使所述基材获得较佳的溅镀效果。

Description

溅镀基材固持装置
技术领域
本发明涉及一种固持装置，尤其涉及一种用于溅镀过程中对基材进行固持的固持装置。
背景技术
溅镀是利用等离子体产生的离子去撞击阴极靶材，将靶材内的原子撞出而沉积在基材表面上堆积成镀膜。由于溅镀可以同时达成较佳的沉积效率、精确的成份控制、以及较低的制造成本，因此在工业上被广泛应用。溅镀的研究可参阅T Ushiki等人在1998年IEEE系统、国际可靠性物理会议(Reliability Physics Symposium Proceedings，1998.36th Annual.1998 IEEE International)上发表的论文Reduction of Plasma-Induced Gate OxideDamage Using Low-Energy Large-Mass Ion Bombardment in Gate-Metal SputteringDeposition。
如图1所示，在对基材10进行溅镀时，通常需要采用一固持装置1对该基材10进行固持。现有的固持装置1通常包括一个套环12及多个螺栓13，通过在基板11及套环12上分别开设多个与所述螺栓13相配合的螺孔(未标示)，并利用所述螺栓13穿过该螺孔以连接所述套环12及所述基板11、可使所述套环12施加一压力于所述基材10的溅镀表面10a，从而达到将所述基材10固定于所述基板11的目的。然而，利用所述套环12固定所述基材10时，由于套环12从所述基材10的溅镀表面10a上施加一压力，所以该套环12该基材10的溅镀表面10a必然相互抵触，这将导致所述基材10的溅镀表面10a在进行镀膜时，其边缘部分100a由于被所述套环12遮盖而未能被溅镀到，从而影响到所述基材10的整体溅镀效果。
有鉴于此，提供一种可使基材的溅镀表面获得较佳溅镀效果的固持装置实为必要。
发明内容
下面将以实施例说明一种溅镀基材固持装置，其可使基材的溅镀表面获得较佳溅镀效果。
一种溅镀基材固持装置，用于在溅镀过程中对基材进行固持，所述基材具有一溅镀表面及一与所述溅镀表面相邻的侧面，所述溅镀基材固持装置包括一个用于承载所述基材的基板；多个夹持单元，其环绕所述基材分布在基板上，以分别从所述基材的侧面抵持住该基材；多个固持单元，其分别连接于所述基板及所述多个夹持单元，以将所述多个夹持单元固定在基板上。
相对于现有技术，所述溅镀基材固持装置通过设置多个夹持单元以分别从所述基材的侧面抵持住该基材，从而可于溅镀过程中对所述基材起固持作用，并可避免基材的溅镀表面在溅镀时被遮盖住，进而可使所述基材获得较佳的溅镀效果。
附图说明
图1A是采用现有的固持装置对基材进行固持的俯视示意图。
图1B是图1A所示的现有的固持装置的剖面示意图。
图2A是采用本发明第一实施例提供的溅镀基材固持装置对基材进行固持时的俯视示意图。
图2B是图2A所示的溅镀基材固持装置对基材进行固持时的剖面示意图。
图3是本发明第一实施例提供的溅镀基材固持装置的抵片的结构示意图。
图4A是采用本发明第二实施例提供的溅镀基材固持装置对基材进行固持时的俯视示意图。
图4B是图4A所示的溅镀基材固持装置对基材进行固持时的剖面示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明实施例作进一步的详细说明。
请参阅图2，本发明第一实施例提供的一种溅镀基材固持装置20，其用于在溅镀过程中对基材200进行固持。该基材200具有一溅镀表面200a及一与所述溅镀表面200a相邻的侧面200b。所述溅镀基材固持装置20包括一个基板21、多个夹持单元22及多个固持单元23。
所述基板21用于承载所述基材200，其上表面21a上设置有多个基准孔，如螺纹通孔210，优选地，该基材200可为一圆柱形结构，其侧面200b为该圆柱形结构的外圆周面。当然，该基材200也可为其它结构，如长方体结构等。
请一并参阅图2及图3，所述多个夹持单元22环绕所述基材200分布在所述基板21上，并分别从所述基材200的外圆周面200b抵持住该基材200。具体地，如图3所示，所述夹持单元22可为一抵片，该抵片22为一个“L”形结构，其包括一基部221及一延伸部222，该延伸部222由该基部221一端延伸出来并垂直于该基部221，且该基部221设置有一个与所述基准孔210相配合的定位孔，如螺纹通孔220。
所述固持单元23可为螺栓，且该螺栓包括一个螺柱23a及一个螺母23b。
本实施例中，所述多个抵片22的数目为四个，当然也可以为两个、三个或其它大于两个的数目，且该四个抵片22环绕所述基材200的外圆周面200b均匀分布在所述基板200上，并进一步分别通过其延伸部222抵触住所述外圆周面200b。相对应地，所述多个固持单元23的数目也可为四个，且该四个固持单元23分别与所述基板21的多个基准孔210中的其中四个、及所述四个抵片22的四个定位孔220相配合，以分别将所述四个抵片22固定在所述基板21上。
工作时，所述螺栓23的螺柱23a从所述抵片22的一侧依次穿过所述抵片22的螺纹通孔220及所述基板21的螺纹通孔210，并进一步从所述抵片22相对的另一侧旋入所述螺栓23的螺母23b，从而可借由该螺栓23将所述抵片22固定于所述基板21上，并达成使所述抵片22的延伸部222从所述基材200的外圆周面200b抵持住所述基材200的目的。可以理解的是，在本实施例中，当所述基板21的厚度较大时，所述基板21上的基准孔210也可设置为螺纹盲孔，相对应地，所述固持单元23可设置为螺钉(图未示)，通过将该螺钉依次旋入所述抵片22的螺纹通孔220及所述基板21的螺纹通孔210，可将所述抵片22固定于所述基板21上，并可同样达到使所述抵片22从所述基材200的外圆周面200b抵持住该基材200的目的。
另外，由于铁氟龙材料具有较佳的弹性，所以，优选地，可于所述抵片22与所述基板21及所述基材200的接触面上涂覆上一层铁氟龙膜层22a，如图3所示，所述螺栓23或螺钉紧锁时，通过该铁氟龙膜层22a可缓冲所述抵片22对所述基板21的压力；同时，由于铁氟龙材料还具备较佳的滑动性，所以通过该铁氟龙膜层22a还可减少所述多个抵片22与所述基材200的外圆周面200b之间的摩擦，故该铁氟龙膜层22a可在所述抵片22对所述基材200进行抵持时，对该基材200起一定的保护作用。
本发明第二实施例提供的一种溅镀基材固持装置30，与本发明第一实施例提供的溅镀基材固持装置20相比，其不同之处在于：所述基板21的上表面21a与所述基材200的溅镀表面200a大小一致，所述固持单元23为螺钉，所述基准孔210为开设于所述基板21的侧面21b上的螺纹盲孔。
工作时，所述螺钉23从所述抵片22的一侧依次旋入该抵片22的螺纹通孔220及所述基板21的螺纹盲孔210，从而可将所述抵片22固定于所述基板21上，并达成使所述抵片22的基部221从所述基材200的外圆周面200b抵持住该基材200的目的。
本发明第一实施例及第二实施例分别提供的溅镀基材固持装置20、40，其通过设置多个夹持单元22以分别从所述基材200的侧面200b抵持住该基材200，从而可于溅镀过程中对该基材200起固持作用，并可避免该基材200的溅镀表面200a在溅镀时被遮盖住，进而可使该基材200获得较佳的溅镀效果。
可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种对应的改变与变形，如变更弹性元件的种类，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种溅镀基材固持装置，用于在溅镀过程中对基材进行固持，所述基材具有一溅镀表面及一与所述溅镀表面相邻的侧面，所述溅镀基材固持装置包括：
一个基板，用于承载所述基材；
多个夹持单元，其环绕所述基材分布在基板上，以分别从所述基材的侧面抵持住该基材；
多个固持单元，其分别连接于所述基板及所述多个夹持单元，以将所述多个夹持单元固定在基板上。
2.如权利要求1所述的溅镀基材固持装置，其特征在于，所述多个夹持单元分别包括一个铁氟龙膜层，所述铁氟龙膜层与所述基材的侧面相接触。
3.如权利要求1所述的溅镀基材固持装置，其特征在于，所述多个夹持单元为多个抵片，所述抵片包括一基部及一从所述基部一端延伸出来的延伸部，且所述延伸部垂直于所述基部。
4.如权利要求3所述的溅镀基材固持装置，其特征在于，所述基板上开设有多个基准孔，所述抵片的基部开设有与所述基准孔相配合的定位孔，所述固持单元可穿过所述基准孔及所述定位孔以将所述抵片固定在所述基板上。
5.如权利要求4所述的溅镀基材固持装置，其特征在于，所述基准孔为螺纹通孔或螺纹盲孔。
6.如权利要求4所述的溅镀基材固持装置，其特征在于，所述定位孔为螺纹通孔。
7.如权利要求4所述的溅镀基材固持装置，其特征在于，所述基准孔开设于所述基板的上表面，所述抵片的延伸部从所述基材的侧面抵持住该基材。
8.如权利要求4所述的溅镀基材固持装置，其特征在于，所述基准孔开设于所述基板的侧面，所述抵片的基部从所述基材的侧面抵持住该基材。
9.如权利要求1所述的溅镀基材固持装置，其特征在于，所述固持单元为螺钉或螺栓。
10.如权利要求1所述的溅镀基材固持装置，其特征在于，所述基材为圆柱形结构。
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