CN101345202B - 带有辅助进给装置的进给机构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种带有辅助进给装置的进给机构，包括气缸，气缸的活塞杆的前端连接有辅助进给装置，辅助进给机构包括上齿条、齿轮、下齿条，齿轮设于上齿条和下齿条之间并分别与上齿条和下齿条啮合，下齿条的前端为进给执行端。通过气缸及齿轮齿条结合的方式，可以对活塞杆的运动起到缓冲和辅助进给的作用，使进给执行端的运行平稳、稳定性好。主要应用于半导体加工设备的进给机构。
Description
技术领域
本发明涉及一种半导体加工设备，尤其涉及一种半导体加工设备中的进给机构。
背景技术
半导体加工设备中的原材料(晶片)需要由前端装载，晶片是放在晶片盒中一同装载入前端，这就产生了晶片盒的装载与卸载工作，也就是说晶片先放入晶片盒中，然后晶片盒装被载到半导体加工设备的片仓中，再由半导体加工设备的机械手过来逐个取走晶片，进行后续传片及加工工艺工作，做完工艺的晶片再被放回晶片盒，而后晶片盒再被卸载，完成一套流程。这就需要有一种稳定的进给机构，实现晶片盒的装载及卸载工作。
现有技术中，进给机构是由气缸驱动的。
现有技术中的进给机构至少有以下缺点：气缸驱动的稳定性较差，气缸在给气启动瞬间，惯性较大，瞬间对受动元件有一个较大的冲击。
发明内容
本发明的目的是提供一种稳定性好的带有辅助进给装置的进给机构。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
本发明的带有辅助进给装置的进给机构，包括气缸，所述气缸的活塞杆的前端连接有辅助进给装置，所述辅助进给装置的前端为进给执行端。
由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的带有辅助进给装置的进给机构，由于气缸的活塞杆的前端连接有辅助进给装置，可以对活塞杆的运动起到缓冲和辅助进给的作用，使进给执行端的运行平稳、稳定性好。
附图说明
图1为本发明带有辅助进给装置的进给机构的具体实施例的结构示意图。
具体实施方式
本发明的带有辅助进给装置的进给机构，其较佳的具体实施方式如图1所示，包括气缸6，所述气缸6的活塞杆5的前端连接有辅助进给装置，所述辅助进给装置的前端为进给执行端。
所述的辅助进给机构可以为齿轮、齿条机构，具体包括上齿条4、齿轮3、下齿条2，所述齿轮3设于上齿条4和下齿条2之间并分别与上齿条4和下齿条2啮合。所述活塞杆4的前端与上齿条4的后端连接，所述下齿条2的前端为进给执行端。
所述的辅助进给机构也可以为其它的机构，如阻尼油缸等。
所述的进给执行端设有安装孔，所述安装孔内设有定位销1，具体可以将所述安装孔设于所述下齿条2的前端。
所述的定位销1上装有受动元件，受动元件为晶片盒等。
所述的进给执行端设有限位装置，放置其超行程，也可以将限位装置设于进给执行端的行程极限位置。
本发明通过气缸及齿轮齿条结合的方式，可以对活塞杆的运动起到缓冲和辅助进给的作用，使进给执行端的运行平稳、稳定性好。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种带有辅助进给装置的进给机构，包括气缸，其特征在于，所述气缸的活塞杆的前端连接有辅助进给装置，所述辅助进给装置的前端为进给执行端；
所述的进给执行端设有安装孔，所述安装孔内设有定位销；
所述的定位销上装有受动元件；
所述的受动元件为晶片盒；
所述的辅助进给机构包括上齿条、齿轮、下齿条，所述齿轮设于上齿条和下齿条之间并分别与上齿条和下齿条啮合。
2.根据权利要求1所述的带有辅助进给装置的进给机构，其特征在于，所述活塞杆的前端与上齿条的后端连接，所述下齿条的前端为进给执行端。
3.根据权利要求1或2所述的带有辅助进给装置的进给机构，其特征在于，所述的进给执行端设有限位装置。
Priority Applications (1)
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Publications (2)
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Family
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Family Applications (1)
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Non-Patent Citations (2)
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Also Published As
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