CN101314113A - 流体混合装置以及混合流体的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种流体混合装置，其以高生产效率制造混合两种以上的液体或气体等流体(第一流体和第二流体)、高度均匀化的混合流体，小型且温度控制性好。其特征在于，具有：导入第一流体的m个第一流体导入路(11)的群；与第一流体导入路交替排列、导入第二流体的多个第二流体导入路(12)的群；第一流体导入路(11)和第二流体导入路(12)的前端向两个方向分支形成的第一分支路(13)的群；第一分支路(13)的两个前端中的一方的前端与另外的第一分支路(13)的另一方的前端合流形成的第一合流路(14)的群；第n－1合流路(18)的前端向两个方向分支形成的第n分支路(19)；第n分支路的两个前端中的一方的前端与另外的第n分支路(19)的另一方的前端合流形成的第n合流路(20)的群；以及延长位于终端的第n合流路、导出混合流体的混合流体导出路(21)的群。

Description

流体混合装置以及混合流体的制造方法
技术领域
本发明涉及混合两种以上的液体或气体等而形成混合流体的技术领域，尤其涉及以微米量级(マイクロメ一タ一オ一ダ一)迅速混合该混合流体的技术。
背景技术
近年来，在化学合成或化学分析领域中以下技术受到关注，即，在使两个以上的化学物质进行化学反应时，为了缩短反应时间或抑制副反应，使流动化的这些化学物质以细径流动，反复进行合流和分割，在制造均匀化的混合流体后进行化学反应。用于高效率地进行该混合流体的均匀处理的流体混合装置，是将一片数十到数百μm左右的剖面的流路通过细微加工技术而成形在基板上的装置，通称为微混合器或微反应器。
这样的微反应器的结构已经为公众所知，即，连接多个大致Y字形的流路，使Y字上侧的分支部分与其它的流路的Y字下侧的会聚部分连接，将多个该Y字形的流路槽状地形成在平板上，并且适当地层叠该平板(例如，专利文献1)。
根据该众所周知的技术，放入微反应器的两种流体在串联连接的多个Y字形的流路中直线流动时，通过反复合并、分割而进行混合。
作为其它众所周知的示例，还有如下的技术，即，层叠多个设置了通孔的平板，并且在该通孔的排列·形状上下工夫，两种流体在通过该通孔的过程中通过反复合流/分割而进行混合(例如，专利文献2)。
专利文献1：特表平11-511689号公报(参照图2、图10)
专利文献2：特开2002-346353号公报(参照图1、图2)
在专利文献1中所述的微反应器中，混合两种流体的流路是一条，如果要以此对混合流体付与微米量级的均匀性，则需要增加相当数量的串联连接的Y字形的流路的级数。另一方面，如果这样增加串联连接的Y字形的流路的级数，则随着流体流动的压力损失增大，不能避免混合流体的生产效率降低。
在专利文献2所述的微反应器中，如果要付与混合流体微米量级的均匀性，则需要增加相当数量的设置有贯通孔的平板的层叠数量。另一方面，如果这样地增加平板的层叠数，则微反应器的厚度增加，反应器内部的温度控制性降低。在这种情况下，很难控制混合两种流体、随着吸热散热而进行的化学反应。
本发明以解决上述问题为课题，其目的是提供一种流体混合装置以及这样的混合流体的制造方法，该流体混合装置以高生产效率制造高度均匀化的混合流体，小型且具有优异的温度控制性。
发明内容
为了解决上述课题，本发明是一种流体混合装置，混合第一流体和第二流体、形成混合流体，其特征在于，作为机构而具有：导入所述第一流体的m个(m＝2，3，...)第一流体导入路的群；与所述第一流体导入路交替排列、导入所述第二流体的多个第二流体导入路的群；所述第一流体导入路和所述第二流体导入路的前端向两个方向分支形成的第一分支路的群；所述第一分支路的两个前端中的一方的前端与另外的第一分支路的另一方的前端合流形成的第一合流路的群；第n-1合流路(n＝2，3，...)的前端向两个方向分支形成的第n分支路；所述第n分支路的两个前端中的一方的前端与另外的第n分支路的另一方的前端合流形成的第n合流路的群；以及延长位于终端的所述第n合流路、导出所述混合流体的混合流体导出路的群。
根据该结构，本发明分别存在多条导入第一流体和第二流体的导入路，可在并排设置的多条合流路上同时处理两种流体的混合。并且，并排设置的多条合流路通过分支路进一步在串联方向形成n级结构。并且，流体在每次通过各级上的合流路时分支，分支后的一半流体与在并排方向相邻的同样分支后的一半流体合流，反复该动作。通过这样，即使不增加串联方向的级数也可以提高流体的混合程度，并且，由于串联方向的级数少也可以，因此可降低伴随着流体流动的压力损失。而且，由于形成容易增加并排设置的多条第一流体和第二流体的导入路的构成，因此，容易提高第一流体和第二流体的输入量。
并且，第一流体、第二流体以及这些混合流体流过的流路，容易高密度地形成且可形成在两张或三张的基板上，因此，可缩小占有体积且放大比面积。
根据本发明，可提供一种流体混合装置以及这样的混合流体的制造方法，该流体混合装置以高生产效率制造高度均匀化的混合流体，并且小型且具有优异的温度控制性。
附图说明
图1是本发明的流体混合装置的第一实施方式的分解立体图。
图2是从俯视方向看设置在第一实施方式的流体混合装置中的流路的结构的俯视图。
图3是在第一实施方式的流体混合装置中从俯视方向看(a)第一流路板、(b)第二流路板、(c)配送板的俯视图。
图4是在第一实施方式的流体混合装置中，(a)是图2的局部放大图、(b)是图4(a)的Y方向剖视图、(c)是图4(a)的X方向剖视图。
图5是本发明的流体混合装置的第二实施方式的分解立体图。
图6是从俯视方向看设置在第二实施方式的流体混合装置上的流路的构成的俯视图。
图7是在第二实施方式的流体混合装置中，从俯视方向看(a)第一流路板、(b)第三流路板、(c)第二流路板的俯视图。
图8是在第二实施方式的流体混合装置中，(a)是图6的部分放大图、(b)是图8(a)的Y方向剖视图、(c)是图8(a)的X方向剖视图。
具体实施方式
第一实施方式
参照图1至图4就本发明的第一实施方式进行说明。
如图1的分解立体图所示，第一实施方式的流体混合装置10是将第一流路板30和第二流路板40层叠在配送板50上而构成的。
这样构成的流体混合装置10从配送板50的输入路51、52输入第一流体和第二流体，通过在形成于流路板30、40上的流路31、42(参照图2)中流动，混合这些流体，作为混合流体从配送板50的输出路54输出。
第一流路31是在第一流路板30的一面(图中的下面)上刻设成槽状的结构，第二流路42是在第二流路板40的一面(图中的上面)上刻设成槽状的结构。并且，第一流路板30和第二流路板40通过在刻设了这些流路的单面之间进行面接触，而形成第一流体和第二流体进行流动、两者混合的流路(参照图2)。
并且，在第一流路板30上以包围第一流路31的方式刻设密封槽33，在第二流路板40上以包围第二流路42的方式刻设密封槽43。这样，通过将密封部件25卡入这些密封槽33、43，防止在第一流路31和第二流路42中流动的流体向外部泄漏。
并且，在配送板50上也刻设卡入设置在与第二流路板40之间的密封部件(无图示)的密封槽53、53。刻设该密封槽53、53，分别包围第一流体所通过的第一分割孔57的群、第二流体所通过的第二分割孔58的群、混合流体所通过的第三分割孔59的群。这样，防止第一流体、第二流体以及混合流体在配送板50以及第二流路板40的接触面向外部泄漏，并且也防止相互混合。
并且，在第一流路板30、第二流路板40以及配送板50的周缘设置连接孔35、45、55，用于卡入层叠这些流路板而进行固定的连接部件(省略图示)。还设置定位孔36、46、56，将第一流路31、第二流路42以及分割孔57、58、59按照规定定位(适当参照图2)。
这些第一流路板30、第二流路板40以及配送板50的材质可根据流体适当地选择金属、硅、玻璃、塑料材料等。并且，流路31、42的流路宽度、深度等尺寸最好为数十μm到数mm左右，这样的加工可适当地选择蚀刻或机械加工等方法。
本实施方式所示的流体混合装置10如图所示，流路31、42展开成二维平面，因此如图所示，由于采用板状的、比面积大的结构，所以具有温度控制性好的特征。
因此，在将本实施方式所示的流体混合装置10作为化学反应器使用等的情况下，在进行其温度控制时，将整个流体混合装置10设置在恒温槽(无图示)上，或将加热器、珀耳帖元件或热水管套(未图示)等温度调节装置设置在上下的平面上。
以下参照图2继续进行说明。
图2所示的俯视图是从第一实施方式的流体混合装置10的俯视方向观察的流路结构图，是使第一流路31和第二流路42重合的图。并且，图2所示的流路31、42在流体流动的串联方向形成多级(在图中为12级)分支路13、15、17、19以及合流路14、16、18、20的组合，在与该串联方向直交的并列方向形成多列(在图中为4列)第一流体导入路11和第二流体导入路12的组合。
第一流体导入路11(111、112、...11m)是从配送板50(参照图1)的第一分割孔57导入第一流体的路径，在与该第一流体流动方向直交的方向形成有并排设置多个(在图中为四个)的群。
第二流体导入路12是从配送板50(参照图1)的第二分割孔58导入第二流体的路径，与第一流体导入路11交替排列、形成多个(在图中为四个)的群。
在第一分支路13中，第一流体导入路11的前端是朝向第一流体的流动方向向两个方向分支形成的路径，第二流体导入路12的前端是朝向第二流体的流动方向向两个方向分支形成的路径，这些路径交替并列配置、形成群。
第一合流路14是第一分支路13的两个前端中的一方的前端与其它(相邻)的第一分支路13的另一方的前端合流而形成的，第一合流路14交替并列设置多个而形成群。
第二分支路15是第一合流路14的前端朝向流体的流动方向向两个方向分支而形成的，第二分支路15并列设置多个而形成群。
第二合流路16是第二分支路15的两个前端中的一方的前端与其它(相邻)的第二分支路15的另一方的前端合流而形成的，第二合流路16并列设置多个而形成群。
这样，在将第一分支路13的群和第一合流路14的群的组合定义为第一级、将第二分支路15的群和第二合流路16的群的组合定义为第二级的情况下，流路31、42由串联连接的任意的级数(第n级)构成。
在此，第n级上的第n分支路19是第n-1合流路18(n＝2、3...)的前端向两个方向分支而形成的，第n分支路19并列设置多个而形成群。
并且，第n合流路20是第n分支路19的两个前端中的一方的前端与其它(相邻)的第n分支路19的另一方的前端合流形成的路径，第n合流路20交替并列设置多个而形成群。
混合流体导出路21是位于流体的流动方向的终端(最后段)的第n合流路20延长而形成的，是导出第一流体和第二流体在各级中反复多次(n次)合流和分支而形成的混合流体的部位，与配送板50(参照图1)的第三分割孔59连接。
以下参照图3继续进行说明。
图3(a)所示的俯视图是从流体混合装置10(参照图1)的俯视方向看第一流路板30的图，虚线所示的第一流路31和密封槽33刻设在其相反的面上。图3(b)所示的俯视图是从流体混合装置10的俯视方向看第二流路板40的图，实线所示的流路和密封槽43刻设在该面上。
在第一分支路13的群(参照图2)中，第一分支路13A从第一流体导入路11A分支设置在第一流路板30上。并且，在第一流路板30上设置第n-1分支路17A(n＝2、3、...)、与其一方的前端连接的第n-1合流路18A(n＝2、3、...)以及第n分支路19A。并且，与第一流路板30中的第n-1分支路17A的另一方的前端连接的路径是，设置在第二流路板40上的第n-1合流路18B(n＝2、3、...)以及第n分支路19B。
在第一分支路13的群(参照图2)中，从第二流体导入路12B分支的第一分支路13B设置在第二流路板40上。并且，在第二流路板40上设置第n-1分支路17B(n＝2、3、...)、与其一方的前端连接的第n-1合流路18B(n＝2、3、...)以及第n分支路19B。并且，与第二流路板40中的第n-1分支路17B的另一方的前端连接的路径是，设置在第一流路板30上的第n-1合流路18A(n＝2、3、...)以及第n分支路19A。
图3(c)所示的俯视图是从流体混合装置10(参照图1)的俯视方向看配送板50的图，实线所示的分割孔57、58、59在该面上开口，密封槽53也刻设在该面上。
第一流体输入路51通过配送板50的第一分割孔57和第二流路板40的通过孔47B与第一流路板30上的第一流体导入路11A的群连通。并且，一旦从在配送板50的侧面开口的第一流体输入路51的开口端输入第一流体，则该第一流体被导入第一流体导入路11A。
第二流体输入路52通过配送板50的第二分割孔58与第二流路板40上的第二流体导入路12B的群连通。并且，一旦从在配送板50的侧面开口的第二流体输入路52的开口端输入第二流体，则该第二流体被导入第二流体导入路12B。
混合流体输出路54通过配送板50的第三分割孔59与第二流路板40上的混合流体导出路21B的群连通，并且经过通过孔49B与第一流路板30上的混合流体导出路21A的群连通。并且，第一流体和第二流体在流路31、42中流动而形成的混合流体从该混合流体输出路54输出。
这样，使第一流体和第二流体流动、形成混合流体的流路31、42，可层叠至少两张流路板而形成。这些流路31、42在流动的流体的曲率小的状态相互反复合流/分支，因此，流体的压力损失小，容易以大流量进行流动。并且，由于流路在平板面上二元展开，因此，热的授受面积大，具有热的控制性好的特征。
以下参照图4就第一实施方式的流体混合装置的动作进行说明。
图4(a)是包括图2中的第一分割孔57、第二分割孔58的局部放大图。并且，图4(b)是图4(a)中的Y1、Y2方向的剖视图。并且，图4(c)是图4(a)中的X1、X2、X3、X4方向的剖视图。
首先，从第一分割孔57、57导入的第一流体在第一流体导入路11A、11A中向串联方向流动(第一流体输入阶段)。同时，从第二分割孔58导入的第二流体在第二流体导入路12B中向串联方向流动(第二流体输入阶段)。
然后，在第一流体导入路11A、11A中流动的第一流体在第一分支路13A、13A处向两个方向分支流动，同时，在第二流体导入路12B中流动的第二流体在第一分支路13B处向两个方向分支流动(第一分支阶段)。
在该第一分支阶段，如图4(b)的Y1、Y2剖面和图4(c)的X1剖面所示，第一流体和第二流体不相互混合，在第一分支路13A、13B处分支流动。
然后，第一分支路13A中的第一流体向两个方向分支后的流体中的一方，与第二流体导入路12B中的第二流体向两个方向分支后的流体中的另一方合流，在第一合流路14A、14B中向串联方向流动(第一合流阶段)。
在该第一合流阶段，如图4(b)的Y1、Y2剖面和图4(c)的X2剖面所示，在第一分支路13A中流动的第一流体和在第一分支路13B中流动的第二流体保持层流状态地在第一合流路14A、14B处进行合流、成为双层流体。
然后，在上述的第n-1合流阶段(n＝2)合流的各双层流体在第n分支路15A、15B(n＝2)处分别进一步向两个方向分支(第n分支阶段)。
在该第n分支阶段(n＝2)，如图4(b)的Y1、Y2剖面和图4(c)的X3剖面所示，上述的双层流体保持该层状态地在第二分支路15A、15B处分支、流动。
然后，该向两个方向分支后的流体中的一方与其它的向两个方向分支后的流体中的另一方合流，在第n合流路16A、16B(n＝2)中向串联方向流动(第n合流阶段)。
在该第n合流阶段(n＝2)，如图4(b)的Y1、Y2剖面和图4(c)的X4剖面所示，在第二分支路15A中流动的双层流体和在第二分支路15B中流动的双层流体保持该层流状态地在第二合流路16A、16B中进行合流、成为四层流体。
然后，通过进一步重复多个(n＝3，4...)阶段上述的第n分支阶段和第n合流阶段，第一流体和第二流体分别成为稀薄交替层叠的多层流体而进行混合。这样，通过使分支和合流反复交替进行n次，流体的多层化成为2的n次方。
最后，将在上述的第n合流阶段中的最后阶段得到的流体作为混合流体从导出路21(参照图2)导出(混合流体导出阶段)。这样，通过混合第一流体和第二流体，不增加伴随着流体的流动的压力损失，就可在短时间内得到以微米量级均匀化的混合流体。
第二实施方式
以下参照图5至图8就本发明的第二实施方式进行说明。另外，在构成第二实施方式的流体混合装置10的部件中，与在第一实施方式中说明的部件的结构和作用相同的部件，在图中使用相同的符号，并援用已进行的说明、省略具体说明。
如图5的分解立体图所示，第二实施方式的流体混合装置10在配送板50上层叠第一流路板30、第二流路板40以及第三流路板60而构成。
这样形成的流体混合装置10从配送板50的输入路51、52输入第一流体和第二流体，通过使其在形成于流路板30、40、60上的流路31、42、63(适当参照图6)中流动，将其进行混合，作为混合流体从配送板50的输出路54输出。
图6所示的俯视图表示从第二实施方式的流体混合装置10(参照图5)的俯视方向观察到的流路的结构，第一流路31、第二流路42以及第三流路63重合。
另外，图6所示的流路31、42、63的具体说明与已参照图2进行的说明相同，因此援用该说明、省略记载。
以下参照图7继续进行说明。
图7(a)所示的俯视图是从流体混合装置10(参照图5)的俯视方向看第一流路板30的图，虚线所示的第一流路31和密封槽33刻设在其相反面上。图7(b)所示的俯视图是从流体混合装置10(参照图5)的俯视方向看第三流路板60的图，实线所示的流路是贯通孔，密封槽61、62刻设在两面上。图7(c)所示的俯视图是从流体混合装置10(参照图5)的俯视方向看第二流路板40的图，实线所示的第二流路42以及密封槽43刻设在该面上。
第一分支路13的群(参照图6)中的第一分支路13A，以从设置在第三流路板60上的第一流体导入路11B分支的方式设置在第一流路板30上。并且，第n-1分支路17A(n＝2，3，...)以及与其一方的前端连接的第n分支路19A设置在第一流路板30上。并且，与第一流路板30上的第n-1分支路17A(n＝2，3，...)的另一方的前端连接的流路成为设置在第二流路板40上的第n分支路19C。并且，第n-1分支路17A、第n-1分支路17C以及第n分支路19A通过设置在第三流路板60上的第n-1合流路18B连接。
第一分支路13的群(参照图6)中的从第二流体导入路12B分支的第一分支路13C，设置在第二流路板40上。并且，第n-1分支路17C(n＝2，3，...)以及与其一方的前端连接的第n分支路19C设置在第二流路板40上。并且，与第二流路板40上的第n-1分支路17C的另一方的前端连接的流路，成为设置在第一流路板30上的第n分支路19A。并且，第n-1分支路17A、第n-1分支路17C以及第n分支路19A通过设置在第三流路板60上的第n-1合流路18B连接。
设置在第二流路板40上的通过孔47C使第三流路板60上的第一流体导入路11B的群和配送板50(参照图5)的第一分割孔57连通。并且，通过孔48C使第三流路板60上的第二流体导入路12B的群和配送板50(参照图5)的第二分割孔58连通。并且，通过孔49C使第三流路板60上的混合流体导出路21的群和配送板50(参照图5)的第三分割孔59连通。
这样，使第一流体和第二流体流动而形成混合流体的流路31、42、63，层叠三张流路板而构成。
以下参照图8就第二实施方式的流体混合装置的动作进行说明。
图8(a)是包括图6中的第一分割孔57、第二分割孔58的局部放大图。并且，图8(b)是图8(a)中的Y1、Y2方向的剖视图。另外，图8(c)是图8(a)中的X1、X2、X3、X4方向的剖视图。
首先，从第一分割孔57、57导入的第一流体在第一流体导入路11B、11B中向串联方向流动(第一流体输入阶段)。同时，从第二分割孔58导入的第二流体在第二流体导入路12B中向串联方向流动(第二流体输入阶段)。
然后，在第一流体导入路11B、11B中流动的第一流体在第一分支路13A、13A处向两个方向分支流动，同时，在第二流体导入路12B中流动的第二流体在第一分支路13C处向两个方向分支流动(第一分支阶段)。
在该第一分支阶段，如图8(b)的Y1、Y2剖面和图8(c)的X1剖面所示，第一流体和第二流体不相互混合，在第一分支路13A、13C处分支流动。
然后，第一分支路13A中的第一流体向两个方向分支后的流体中的一方，与第一分支路13C中的第二流体向两个方向分支后的流体中的另一方合流，在第一合流路14B中向串联方向流动(第一合流阶段)。
在该第一合流阶段，如图8(b)的Y1、Y2剖面和图8(c)的X2剖面所示，在第一分支路13A中流动的第一流体和在第一分支路13C中流动的第二流体在第一合流路14B的末端发生正面碰撞而进行合流，因此，在该第一合流路14B处形成伴随着旋转流的旋转流体。
然后，在上述的第n-1合流阶段(n＝2)进行合流的各旋转流体在第n分支路15A、15C(n＝2)进一步向两个方向分支(第n分支阶段)。
在该第n分支阶段(n＝2)，如图8(b)的Y1、Y2剖面和图8(c)的X3剖面所示，上述的旋转流体保持伴随着该旋转流的状态、在第二分支路15A、15C处分支、流动。
然后，该向两个方向分支后的流体中的一方与其它的向两个方向分支后的流体中的另一方合流，在第n合流路16B(n＝2)处向串联方向流动(第n合流阶段)。
在该第n合流阶段(n＝2)，如图8(b)的Y1、Y2剖面和图8(c)的X4剖面所示，在第二分支路15A中流动的旋转流体和在第二分支路15C中流动的旋转流体在第二合流路16B的末端发生正面碰撞、进行合流，因此，在该第二合流路16B中形成更复杂的旋转流体。
然后，通过进一步重复多个阶段(n＝3，4...)上述的第n分支阶段和第n合流阶段，第一流体和第二流体成为分别稀薄地交替层叠的旋转流体而进行混合。
最后，将在上述的第n合流阶段中的最后阶段得到的流体作为混合流体从导出路21(参照图6)导出(混合流体导出阶段)。这样，在第二实施方式中，通过对第一流体和第二流体以反复进行合流、旋转、分割的方式进行混合，可得到与第一实施方式相比更加细分的均匀的混合流体。
上述的实施方式是用于说明本发明的一例，本发明并不局限于上述的实施方式，可在发明宗旨的范围内形成各种变形。例如，上述的流体混合装置10是设置配送板50而构成的，但该配送板50不是必须的构成要素，也可以采用分别向第一流路31和第二流路42直接输送第一流体和第二流体的结构或向第三流路63直接输送第一流体和第二流体的构成。并且，在实施方式中，利用密封材料密封层叠的流路板，利用连接部件进行固定，但也可以不用密封部件而利用粘结、接合等方法密封、固定流路板。
而且，在本实施方式中，流路31、42、63通过对板材进行刻设或穿孔而形成，但也可以采用利用管状的管线而形成的结构。
并且，在混合流体的制造方法中，所制造的混合流体的成分不局限于两种，通过将事先以规定的比例混合了多种成分的流体作为第一流体和第二流体输入，可制造混合了三种以上成分的混合流体。

Claims (5)

1.一种流体混合装置，混合第一流体和第二流体、形成混合流体，其特征在于，具有：
导入所述第一流体的m个(m＝2，3，...)第一流体导入路的群；
与所述第一流体导入路交替排列、导入所述第二流体的多个第二流体导入路的群；
所述第一流体导入路和所述第二流体导入路的前端向两个方向分支形成的第一分支路的群；
所述第一分支路的两个前端中的一方的前端与另外的第一分支路的另一方的前端合流形成的第一合流路的群；
第n-1合流路(n＝2，3，...)的前端向两个方向分支形成的第n分支路；
所述第n分支路的两个前端中的一方的前端与另外的第n分支路的另一方的前端合流形成的第n合流路的群；以及
延长位于终端的所述第n合流路、导出所述混合流体的混合流体导出路的群。
2.如权利要求1所述的流体混合装置，其特征在于，具有第一流路板和第二流路板，所述第一流路板设置有所述第一分支路的群中的从所述第一流体导入路分支的第一分支路，
所述第二流路板设置有所述第一分支路的群中的从所述第二流体导入路分支的第一分支路，
第n-1分支路(n＝2，3，...)、与其一方的前端连接的第n-1合流路(n＝2，3，...)以及第n分支路，设置在所述第一流路板或所述第二流路板上，
与第n-1分支路(n＝2，3，...)的另一方的前端连接的第n-1合流路(n＝2，3，...)以及第n分支路，设置在所述第一流路板和所述第二流路板中的与设置有该第n-1分支路的流路板不同的流路板上。
3.如权利要求1所述的流体混合装置，其特征在于，具有第一流路板和第二流路板，
所述第一流路板设置有所述第一分支路的群中的从所述第一流体导入路分支的第一分支路，
所述第二流路板设置有所述第一分支路的群中的从所述第二流体导入路分支的第一分支路，
第n-1分支路(n＝2，3，...)以及与其一方的前端连接的第n分支路设置在所述第一流路板或所述第二流路板上，
与第n-1分支路(n＝2，3，...)的另一方的前端连接的第n分支路设置在所述第一流路板和所述第二流路板中的与设置有该第n-1分支路的流路板不同的流路板上，
具有设置连接所述第n分支路和第n-1分支路的n-1合流路的第三流路板。
4.如权利要求2或3所述的流体混合装置，其特征在于，具有配送板，该配送板具有与所述第一流体导入路的群连通、输入所述第一流体的第一流体输入路、
与所述第二流体导入路的群连通、输入所述第二流体的第二流体输入路以及
与所述混合流体导出路的群连通、输出所述混合流体的混合流体输出路，
在所述配送板上层叠所述第一流路板和第二流路板而构成。
5.一种混合流体的制造方法，混合第一流体和第二流体、形成混合流体，其特征在于，具有：
向m个(m＝2，3，...)第一流体导入路的群导入所述第一流体的第一流体输入阶段；
向与所述第一流体导入路交替排列的多个第二流体导入路的群导入所述第二流体的第二流体输入阶段；
在所述第一流体导入路中流动的所述第一流体和在所述第二流体导入路中流动的所述第二流体分别向两个方向分支的第一分支阶段；
所述第一流体向两个方向分支后的流体中的一方，与所述第二流体向两个方向分支后的流体中的另一方合流的第一合流阶段；
在第n-1合流阶段(n＝2，3，...)合流的各流体进一步向两个方向分支的第n分支阶段；
在所述第n分支阶段向两个方向分支的流体中的一方，与其它的向两个方向分支后的流体中的另一方合流的第n合流阶段；
将在所述第n合流阶段中的最后阶段得到的流体作为所述混合流体导出的混合流体导出阶段。
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