CN101305265B

CN101305265B - 位置测量系统

Info

Publication number: CN101305265B
Application number: CN2006800416913A
Authority: CN
Inventors: M·梅斯纳; J·德雷谢
Original assignee: Dr Johannes Heidenhain GmbH
Current assignee: Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date: 2005-11-09
Filing date: 2006-11-02
Publication date: 2010-10-27
Anticipated expiration: 2026-11-02
Also published as: CN101305265A; CN1963380A

Abstract

本发明涉及一种用于对相对于静止对象以多个自由度移动的对象位置进行探测的位置测量系统。该位置测量系统包括至少一个计量用具，其中该计量用具与该对象之一相连接，该位置测量系统还包括多个扫描单元，其中该扫描单元与另一对象相连接，并通过该计量用具的光学扫描来产生位置原始信号。另外还设置有一个复用器单元，其中进行由该扫描单元所产生的位置原始信号至该复用器单元的输入，并按照时间复用工作方式把不同扫描单元的位置原始信号从该复用器单元传输到所属的伺服电子装置，而不必把该位置原始信号事先转换为位置值。

Description

位置测量系统

技术领域

本发明涉及一种位置测量系统，用于对相对于静止对象以多个自由度移动的移动对象进行位置探测。

背景技术

在半导体制造装置中需要精确地确定某些移动对象、诸如程序工作台(Verfahrtisch)的空间位置。对此通常使用位置测量系统，其中该位置测量系统在输出侧提供位置信息。然后通过所探测的位置信息来在该装置中实现计算机控制的过程控制。那么比如在晶片步进机(Wafersteppern)中掩模和晶片的位置必须以全部6个自由度(6DOF)非常精确地测量。当前主要通过多个激光干涉仪来进行这种位置测量。通过激光干涉仪在此以公知的方式和方法来确定移动部件的相对位置或所谓计量框架的相对位置。将来必须面对的是，在不同部分的处理速度同时提高的情况下对位置测量的精度要求也进一步提高。将来在明显较高的速度的情况下必须基于必要的亚纳米精度，而比如到目前为止在约1米/秒的速度下提供了几纳米的精度要求。然而，在这种高精度要求的情况下，激光干涉仪不再能被用作位置测量系统，因为在最佳的空气条件下的环境空气中的折射率波动也会导致在位置测量中几纳米的无法接受的测量值波动。

因此已经推荐有用于这类装置的替代的位置测量系统。那么比如在EP 1019669B1中已经公开了把具有所谓正交光栅的光学位置测量系统用作二维(光栅)计量用具，也即基于光栅的位置测量系统。这类系统几乎不受空气的可能的折射率波动的影响，并从而允许良好可再现的位置测量。

为了在所有自由度中确定移动对象、也即比如程序工作台的位置，从而必须同时探测多个(至少每自由度1个测量值)相互独立的测量参量。在此通常在每个程序工作台上在不同的位置设置位置测量系统的多个扫描单元。

一个单独的扫描单元在此可以分别测量与其他扫描单元相独立的轴，或者也可以组合地测量多个轴。其中该位置测量系统的计量用具被固定到该设备的非移动部分(计量框架)上，在上述这种配置中，扫描单元必须被设置在移动的程序工作台上，并且扫描单元的测量数据必须通过一个拖曳电缆被传输到一个静止的伺服电子装置。同时，为了该设备的动作，需要把移动的质量以及在程序工作台移动时由拖曳电缆所带来的动态力保持得尽可能小。尤其在高动态的以及同时高精确的应用中，在此对尽可能微小的质量以及尽可能微小的元件体积方面提出了非常高的要求。同时在这种应用中由于对高精度位置测量的要求，导致对位置有关的测量数据到通常远离(直至＞10米)程序工作台的一个伺服电子装置的无延迟的并且无干扰的传输而提出了非常高的要求。通过该伺服电子装置，单独的扫描单元数据被运算为在所有自由度中的程序工作台的位置，并提供给过程控制和移动控制。

在该程序工作台上或者直接靠近该程序工作台有用于驱动该程序工作台的电机。由此产生了非常强的电磁场，这可以篡改在长的电线上所传输的尤其模拟的测量信号。在单个扫描单元中坚固的、抗干扰的线路驱动器以及从每个扫描单元到伺服电子装置的充分屏蔽的信号线路再次不利地影响了扫描单元和程序工作台的质量和元件体积。由于设置在程序工作台上的扫描单元，在程序工作台与静止部件之间的拖曳电缆中还需要供电线和信号线，这同样不利地影响了承载质量以及该拖曳电缆的刚性。

同样要求由该扫描单元和到该程序工作台的信号传输所带来的损耗功率保持得尽可能小，以使程序工作台或其中的部分的温升最小，因为这直接导致测量错误。

在使用基于光栅的位置测量系统的情况下从而也导致一系列的问题，这些问题必须被解决，以保证足够精确的位置确定。

发明内容

本发明的技术问题在于：提供一种位置测量系统，该位置测量系统包括多个扫描单元以及至少一个基于光栅的计量用具，其中保证了在同时耗费微小的情况下尽可能无错误地进一步处理所产生的扫描单元的扫描信号或位置信号。

该技术问题根据本发明通过下述的一种位置测量系统而得到解决。即，一种用于对相对于静止对象以多个自由度移动的移动对象进行位置探测的位置测量系统，所述位置测量系统包括：

-至少一个计量用具，所述计量用具与该静止对象和移动对象中的一对象相连接，

-多个扫描单元，它们与该静止对象和移动对象中的相应的另一对象相连接，并通过该计量用具的光学扫描来产生位置原始信号，以及

-复用器单元，其中把由该扫描单元产生的位置原始信号输入至该复用器单元，并把不同扫描单元的位置原始信号从该复用器单元以时间复用工作方式传输给置于所述复用器单元之后的伺服电子装置，而不必把该位置原始信号事先转换为位置值。

该复用器单元优选地包括数字化装置，以把输入的位置原始信号转换为可电传输的数字原始信号，其中该数字原始信号可以按照时间复用工作方式传输到该伺服电子装置。

在此，由扫描单元输入给该复用器单元的位置原始信号可以是光学信号，并可以通过光波导来进行该光学信号至该复用器单元的传输，其中在该复用器单元中设置有转换装置，用来把光学信号转换为电信号，其中该电信号然后可以输入给该数字化装置。

由扫描单元输入给该复用器单元的位置原始信号或者还可以是电信号，并可以通过电信号线路来进行该位置原始信号至该复用器单元的传输，其中该电信号可以输入给该数字化装置。

在一个可能的实施方案中，在扫描单元侧设置有数字化装置，以把在光学扫描中所获得的位置原始信号转换为数字原始信号，其中该数字原始信号可以传输给该复用器单元。

在一个优选的变化方案中，该复用器单元可以包括唯一的一个线路驱动器，该线路驱动器可以用于把所有扫描单元的位置原始信号传输到该伺服电子装置。

此外，该复用器单元可以包括有校正装置，以给要传输到该伺服电子装置的位置原始信号补充其他次要信息。

该校正装置在此可以适于产生并处理以下传输给该伺服电子装置的次要信息中的至少一种：

-错误信息

-校正信息

-诊断信息

-状态信息。

该复用器单元还可以包含有一或多个另外的集中功能单元，其中这些功能单元可以由多个扫描单元共同来使用。

在此该复用器单元可以包含有以下集中功能单元中的至少一个：

-供电功能单元

-扫描脉冲功能单元

-脉冲接收功能单元。

另外，该复用器单元可以包含有作为集中功能单元的一个解码单元，这允许对要传输到该伺服电子装置的信息利用容错数据码来进行编码。

另外，该复用器单元可以包含有一个复用级，该复用级对扫描单元的并行输入的位置原始信号进行处理，用以按照时间复用工作方式把不同扫描单元的位置原始信号传输给一个所属的伺服电子装置。

附图说明

本发明的其他优点以及特征参见下文的借助附图的多个实施例进行说明。

其中：

图1示出了一个总系统结构，其由多个位置测量系统和一个所属的伺服电子装置组成；

图2示出了图1的部分图示，其具有多个扫描单元以及图1的一个位置测量系统的复用器单元；

图3高度概括地示出了与从而被扫描的计量用具相结合的一个扫描单元。

具体实施方式

图1高度概括地示出一个总系统的一个实施例结构，该总系统包括四个本发明的位置测量系统100、200、300、400和一个伺服电子装置500，该伺服电子装置包括不同的功能部件505、510-540、550、560、570。该伺服电子装置500被输入了不同位置测量系统100、200、300、400的信号以进一步处理。为了同步等目的，此外还从该伺服电子装置500给不同的位置测量系统100、200、300、400输入了多种信号。

在本例子中，在该位置测量系统100、200、300、400侧每个位置测量系统100、200、300、400分别设置有多个扫描单元110-130、210-230、310-340、410-440。一个位置测量系统100、200、300、400的多个扫描单元110-130、210-230、310-340、410-440分别被分配给在一个设备上的一个移动对象150、250、350、450，比如一个程序工作台。一个位置测量系统100、200、300、400的多个扫描单元110-130、210-230、310-340、410-440提供全体的位置信号，其中所述全体的位置信号能够在分析侧为各个移动对象150、250、350、450按照六个自由度高精度地确定其空间位置。为此可以按照要求给每个位置测量系统100、200、300、400分配不同数量的扫描单元110-130、210-230、310-340、410-440。在所示出的例子中，总共设置了四个程序工作台来作为一个设备的移动对象150、250、350、450，其中所属的位置测量系统100、200、300、400包括三个或四个扫描单元110-130、210-230、310-340、410-440。

由不同的位置测量装置100、200、300、400所产生的位置原始信号在该伺服电子装置500侧被分别输入给一个内插电子装置510、520、530、540。所述术语“位置原始信号”应理解为以下的信号：该信号包含有一个位置信息，尽管该位置信息在必要时还必须通过相应的操作而转换为一个具体的位置值。比如这类位置原始信号可以是相位值，其中该相位值根据该计量用具的扫描并借助该扫描单元110-130、210-230、310-340、410-440来直接地产生。真正的位置值根据该相位值然后比如通过利用不同的校正值、诸如信号幅度、信号角度和其它参量来通过运算而获得，其中所述的其它参量部分地由其他扫描单元110-130、210-230、310-340、410-440的测量值来获得。

分配给每个位置测量系统100、200、300、400的内插电子装置510、520、530、540在该伺服电子装置500侧根据该位置原始信号按照已知的方式和方法来计算各扫描单元110-130、210-230、310-340、410-440的位置。为此使用了原理上已公知的、但高计算强度的内插算法和信号校正算法。对于这些算法所需的计算功率还有利的原因是，所产生的位置原始信号转换为位置值并未在该扫描单元110-130、210-230、310-340、410-440中或者在该位置测量系统100、200、300、400中实施，而是根据本发明每个位置测量系统100、200、300、400的位置原始信号以时间复用工作方式传输给该伺服电子装置500。不同内插电子装置510、520、530、540的输出信号再次通过合适的数据总线570最后输入给该设备的一个(未示出)上级控制单元，用以进一步进行处理。该控制单元根据该位置信息最终控制该设备或者在该设备上移动对象150、250、350、450所需的移动过程。

每个位置测量系统100、200、300、400最好设置有一个共用的光源，其中，通过该光源，一个位置测量系统100、200、300、400的所有扫描单元110-130、210-230、310-340、410-440可以脉动工作地时间按照同步方式确定位置。与该光源的脉动工作相关的信息具体参见申请人的EP 1334332B1的内容。

在该伺服电子装置500侧还设置有上级的同步装置505，通过该同步装置来进行不同位置测量系统100、200、300、400的光源的同步。在此所需的同步装置505比如包括一个脉冲发生单元，其中通过该脉冲发生单元可以生成光学同步脉冲，该同步脉冲可以再次通过合适的光波导传输到不同位置测量系统的光源。或者还可以把一个电同步脉冲通过合适的、延迟时间稳定的信号线来传输。

此外在一个有利的实施方案中在该伺服电子装置500侧还设置有校正装置，该校正装置原则上用于把传输到该伺服电子装置500的位置原始信号关于信号错误以已知的方式和方法来进行校正等。在此比如它可以是用于时差测量的校正装置550以及用于波长测量的校正装置560。

比如在最简单的情况下可以规定把2个(或更多)要同步的光源之间的时差来作为用于时差测量的校正装置550的校正值。由此可以以已知的方法在相应的内插电子装置510、520、530、540中利用已知的处理速度来探测一个经过时差校正的位置。

比如在最简单的情况下，可以提供在测量时间点的实际波长、或者以已知的方法与此有关的一个位置、或者一个另外的测量参量作为用于波长测量的校正装置560的校正值。利用所测量的位置与所测量的波长之间已知的关系，把该位置同样以简单的方法来校正一个可能的波长变化。

由一个位置测量系统100、200、300、400的扫描单元110-130、210-230、310-340、410-440根据一个计量用具的光学扫描而产生的位置原始信号根据本发明被分别输入给一个复用器单元160、260、360、460。由该复用器单元把该位置原始信号以时间复用工作方式传输到所属的伺服电子装置500、或者在该伺服电子装置500侧的相应所属的内插电子装置510、520、530、540。在该复用器单元160、260、360、460与该伺服电子装置500之间的通信根据本实施例优选地以数字以及串行方式通过合适的信号传输线来进行，也即电可传输的数字信号以时间复用工作方式被传输到该伺服电子装置500。作为用于对该位置测量系统的数字化位置原始信号进行传输的可能的数字接口比如考虑已知的方法和协议，诸如LVDS(ANSI644-A-2001)或者FPDP(ANSI 17.1-2003)。

此后，在该位置测量系统100、200、300、400侧，最好至少对所产生的位置原始信号进行数字化，以然后如前所述通过该复用器单元160、260、360、460和一个串行接口把该信号传输给该伺服电子装置500。在把该位置原始信号传输到该伺服电子装置500之前，不需要因此把该信号转换为位置值。以这种方式和方法可以保证把完整的、数字化的原始信息传输到该伺服电子装置500以进一步处理，而不需要在该位置测量系统100、200、300、400侧进行复杂的和开销大的计算操作等，其中上述的计算操作在此将造成相应的电路技术开销。

在首先在该复用器单元160、260、360、460中规定进行位置原始信号的数字化的情况下，可以以传输光学信号的形式通过光波导来进行该位置原始信号从该扫描单元110-130、210-230、310-340、410-440至该复用器单元160、260、360、460的传输，如同在所示实施例中的情况。如果此外通过另一光波导来进行用于光学扫描的光脉冲的输入，那么该扫描单元110-130、210-230、310-340、410-440可以构造为纯粹无源的。

在一个第一可选的实施方案中，在此可以已经在该扫描单元中进行在光学扫描中所获得的位置原始信号到电信号的转换，这样使得把位置原始信号以模拟电信号的形式输入给该复用器单元。然后通过合适的电信号线来进行信号的传输。

在一个第二可选的实施方案中，还可以在该位置测量系统侧通过合适的数字化装置已经在该扫描单元中进行位置原始信号的数字化。在这种情况下，可以通过一个合适的接口构造来进行从该扫描单元至该复用器单元的串行信号传输；通过该接口则正好还可以进行该扫描单元的电流供应。

图1的总系统的一个单独的位置测量系统现在借助图2来详细描述所包含的所属的复用器单元160。

由该位置测量系统100的三个扫描单元110、120、130所产生的位置原始信号在此作为光学信号通过光波导111、121、131沿该复用器单元160方向传输。在此通过该转换装置162.1、162.2、162.3首先进行该光学位置原始信号到电位置原始信号的转换。其接着被输入给数字化装置161.1、161.2、161.3，其中该数字化装置根据电模拟位置原始信号来产生数字位置原始信号。不同扫描单元110、120、130的这样处理的数字位置原始信号并行地被输入给一个复用级163，该复用级对不同扫描单元110、120、130的位置原始信号进行处理，以通过一个合适的线路驱动器165按照时间复用工作方式传输给所属的(在图2中未示出)伺服电子装置。

因此根据本发明，把一个加工托架(Verfahrenschlitten)的所有扫描单元110、120、130的数字输出信号输入给共同的复用器单元160，该复用器单元将这些信号集中并以时间复用工作方式地续传到该伺服电子装置。通过这种措施可以避免为该位置测量装置100的每个单独的扫描单元110、120、130设置耗费的驱动器电子装置。

该复用器单元160具有与一个程序工作台的所有扫描单元110、120、130一起使用的线路驱动器165，以使在移动的对象或程序工作台与该伺服电子装置之间通常相互远离。因此仅需要在所述相对长的传输段或相应的信号线171、172上来设计每个位置测量系统100的单个线路驱动器165。

由于所规定的复用工作，还可以大大降低在该程序工作台与该伺服电子装置之间的连接线的数量。由于对电缆的这种可能的节省，从而有利地降低了在程序工作台上拖曳电缆的刚性。

在所示的例子中，该复用器单元160另外还包括不同的(仅仅用图来示意)校正装置166.1、166.2。这能够给在复用工作中要传输给该伺服电子装置的位置原始信号补充另外的次要信息。那么该校正装置166.1、166.2比如可以用于生成并处理信号错误信息(比如偏移电压)、信号校正信息(比如温度、电压波动、关于时间点、时长、扫描脉冲幅度的信息)、信号诊断信息(比如信号有效性、信号错误)、状态信息(比如工作状态、供电电压的有效性、错误状态)等来作为被传输到该伺服电子装置500的次要信息。通过附加地传输这类次要信息，给该内插电子装置510提供附加的参量，其中通过这些参量的运算可以进一步提高所计算的位置的精确度。这类次要信息不但给该内插电子装置510，还给该伺服电子装置500提供信息，其中利用这些信息可以详细地分析该位置测量系统100的工作状态，并且利用这些信息可以在错误情况下对错误原因进行定位。

在本例子中，在该复用级163与该线路驱动器165之间作为一个集中功能单元设置有一个信号编码单元169。其允许把要传输的信息利用容错的数据码来进行编码。这样在该内插电子装置510侧可以识别(比如在使用奇偶校验位的情况下)和/或校正(比如在使用汉明码的情况下)数据传输错误。再次有利的是，由于根据本发明的系统构造，对于多个扫描单元110、120、130一次仅需要一个作为集中功能单元的这种信号编码单元169。

在图2中利用参考符号167最终同样仅表示另一集中功能单元，其中该集中功能单元由该位置测量系统100的多个扫描单元110、120、130来共同使用。

作为可由多个扫描单元110、120、130来使用的另一集中功能单元167，比如可以在该复用器单元160中设置一个能量供给功能单元，其中该能量供给功能单元比如通过一个集中的供电电压的稳压和过滤或者通过生成一个共同的扫描光等来承担该扫描单元110、120、130的能量供给。

作为另一集中功能单元167，还可以在该复用器单元160中设置一个扫描脉冲功能单元和/或一个脉冲接收功能单元。通过该扫描脉冲功能单元比如可以提供一个光学扫描脉冲，该光学扫描脉冲被输入给该位置测量系统100的所有扫描单元110、120、130，以进行脉冲式的位置确定。该脉冲接收功能单元在此可以用于纪录由一个脉冲发生单元在该伺服电子装置中集中生成的脉冲，并由此为各位置测量系统100的扫描单元110、120、130集中生成一个共同的光学扫描脉冲。扫描脉冲的这种集中地生成在此尤其有利的是，由此排除了在单个扫描单元110、120、130的扫描时间点之间由于单独的扫描脉冲而产生的时间偏移。

最后在图3中示出了前述附图的一种位置测量系统的一个扫描单元110，其与从而被扫描的计量用具115相结合。

该扫描单元110和该计量用具115与所示的对象150以及190相连接，其中所述对象比如体现为两个可相互移动的设备部分，其位置可以相互在多个自由度中来确定。该对象150比如可以是前述的程序工作台，该对象190可以是该设备的前述的计量框架。这两个对象150、190在至少一个测量方向x上相互移动地设置，除了在测量方向x上的移动之外，另外在测量面中与之垂直的测量方向y上、以及在与之垂直取向的方向z上也是可以的。通常这两个对象150、190相互的相对移动在全部六个自由度中都是可以的。

与静止的对象190相连接的计量用具115以已知的方式和方法作为一维或二维反射光栅(Auflicht-Gitter)或正交光栅(Kreuzgitter)来构造，并具有由于在x方向以及必要时在y方向上周期设置的多个子区域而不同的反射性。

在本例子中该扫描单元110与移动的对象150相连接。在该图中仅仅示出了该扫描光学装置112，其中该扫描光学元件可以包括不同的光学元件，如透镜、棱镜等；同样仅示出了用于产生位置原始信号的扫描光路。优选地规定了一种干涉光学扫描原理来产生高分辨率的位置信号。

在该扫描单元110中，通过该光波导168来自该复用器单元160的光源的脉冲到达所示的输出耦合光学装置113，通过该光学装置113在该扫描光学装置112的方向上输出一个或多个扫描光路。在探测侧在一个合适的输入耦合光学装置114中设置有扫描光路的一个输入，并接着把光学位置原始信号通过该光波导111传输到该复用器单元160的方向上。如前所述，该扫描单元110构造为纯粹无源的，也即，不仅用于扫描的光源、而且信号探测所需的探测元件都设置在该扫描单元110外部；通过光波导168、111，如同把要探测的光束输入给合适的探测元件一样来进行该光源的光脉冲的输入。

优选地在扫描侧，每个扫描单元110设置有两个扫描光路，其中这两个扫描光路不仅在测量方向x上、而且在与之垂直定位的方向z上实现了同时的位置探测。相应的干涉光学扫描原理比如在申请人的专利申请DE 102005043569.6中有详细描述。

在本发明的范畴内，除了上述的例子之外，显然还存在若干其它的实施可能。那么比如存在恰好不同的原理来用于产生位置原始信号，其中对于位置原始信号的一部分或者也可以采用非光学扫描原理等。

Claims

1.用于对相对于静止对象(190)以多个自由度移动的移动对象(150；250；350；450)进行位置探测的位置测量系统，所述位置测量系统包括：

-至少一个计量用具(115)，所述计量用具(115)与该静止对象和移动对象中的一对象相连接，

-多个扫描单元(110-130；210-230；310-340；410-440)，它们与该静止对象和移动对象中的相应的另一对象相连接，并通过该计量用具(115)的光学扫描来产生位置原始信号，以及

-复用器单元(160；260；360；460)，其中把由该扫描单元(110-130；210-230；310-340；410-440)产生的位置原始信号输入至该复用器单元(160；260；360；460)，并把不同扫描单元(110-130；210-230；310-340；410-440)的位置原始信号从该复用器单元以时间复用工作方式传输给置于所述复用器单元(160；260；360；460)之后的伺服电子装置(500)，而不必把该位置原始信号事先转换为位置值。

2.根据权利要求1所述的位置测量系统，其中该复用器单元(160)包括有数字化装置(161.1、161.2、161.3)，以把所输入的位置原始信号转换为可电传输的数字原始信号，其中该数字原始信号以时间复用工作方式被传输到该伺服电子装置。

3.根据权利要求2所述的位置测量系统，其中由该扫描单元(110-130)输入给该复用器单元(160)的位置原始信号是光学信号，并且通过光波导(111；121；131)把该位置原始信号传输给该复用器单元(160)，并且在该复用器单元(160)中设置有转换装置(162.1、162.2、162.3)，以把光学信号转换为电信号，其中该电信号然后被输入给该数字化装置(161.1、161.2、161.3)。

4.根据权利要求2所述的位置测量系统，其中由该扫描单元输入给该复用器单元的位置原始信号是电信号，并且其到该复用器单元的传输通过电信号线路来进行，并且该电信号可以输入给该数字化装置。

5.根据权利要求1所述的位置测量系统，其中在该扫描单元(110-130；210-230；310-340；410-440)侧设置有数字化装置，用以把在光学扫描中获得的位置原始信号转换为数字原始信号，该数字原始信号被传输到该复用器单元。

6.根据权利要求1所述的位置测量系统，其中该复用器单元(160；260；360；460)包括单独的线路驱动器单元(165)，该线路驱动器单元用于把所有扫描单元(110-130；210-230；310-340；410-440)的位置原始信号传输给该伺服电子装置(500)。

7.根据权利要求1所述的位置测量系统，其中该复用器单元(160)包括有校正装置(166.1、166.2)，以给要传输到该伺服电子装置的位置原始信号补充另外的次要信息。

8.根据权利要求7所述的位置测量系统，其中该校正装置(166.1、166.2)适于产生并处理被传输给该伺服电子装置的下列次要信息中的至少一种：

-错误信息

-校正信息

-诊断信息

-状态信息。

9.根据权利要求1所述的位置测量系统，其中该复用器单元(160)包含有一或多个集中功能单元(167、169)，这些集中功能单元(167、169)能由多个扫描单元(110-130)来共同使用。

10.根据权利要求9所述的位置测量系统，其中该复用器单元(160)包含有以下集中功能单元(167)中的至少一个：

-能量供给功能单元

-扫描脉冲功能单元

-脉冲接收功能单元。

11.根据权利要求9所述的位置测量系统，其中该复用器单元(160)包含有作为集中功能单元的一个解码单元(169)，该解码单元(169)允许利用一个容错的数据码来对要传输给该伺服电子装置(500)的信息进行编码。

12.根据权利要求1所述的位置测量系统，其中该复用器单元(160)包含有一个复用级(163)，该复用级(163)提供并行输入的该扫描单元(110-130)的位置原始信号，以把不同扫描单元(110-130；210-230；310-340；410-440)的位置原始信号按照时间复用工作方式传输到置于所述复用器单元(160；260；360；460)之后的伺服电子装置(500)。