CN101274807A - 防死水处理装置与超纯水制造系统 - Google Patents
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Abstract
一种防死水处理装置，配置于水处理单元上，包括旁流管路、旁流阀和短流管路。旁流管路的一端连接于水处理单元的进水口，旁流管路的另一端连接于水处理单元的出水口。旁流阀配置于旁流管路上。短流管路的一端连接于旁流阀的进水口，短流管路的另一端连接于旁流阀的出水口。
Description
技术领域
本发明涉及一种水处理装置，且特别是涉及一种防死水处理装置。
背景技术
近年来，由于半导体技术不断地蓬勃发展，使得高科技产品得以大步跃进。而在人们追求产品具有轻薄短小等优点的需求之下，各类产品的元件也趋于微型化。如此一来，在半导体类产品中，便必须增加微小元件的集成度。然而，随着元件复杂度与集成度的升高，晶片表面的微小缺陷(minute defects)和微量杂质(trace impurities)将会严重地影响元件的性能。晶片表面的微小缺陷和微量杂质不但会劣化元件的特性和可靠度，甚者还会降低晶片的成品率。因此，在半导体工艺中，用以清洗晶片以移除附着于晶片表面上无用物质的洗净工艺便显得相当重要。
超洁净技术(ultraclean technology)是一种利用超纯水以洗净晶片的技术。若使用原水(raw water)清洗晶片，由于原水内含有各类形式的杂质，杂质容易沉淀于晶片表面上反而造成晶片元件的劣化，因此，使用于晶片洗净步骤的水，需先经过净化而成为超纯水。
目前常用的超纯水制造系统包括前处理系统(pretreatment system)、主处理系统(primary treatment system)、超纯水系统(ultrapure water system)和管路系统(piping system)。其中前处理系统用以过滤颗粒较大的杂质，主处理系统用以移除微粒子并且进行杀菌，而超纯水系统用以提高从主处理系统中送出的水质，并通过泵的动力，使超纯水在管路中持续地循环，以改善并确保超纯水在系统用水端(point of use，POU)的品质。管路系统则用来连接上述各系统，使得超纯水持续在超纯水制造系统中流动循环，以维持超纯水的纯度与品质。
发明内容
因此，本发明提供一种防死水处理装置，此装置可以使超纯水处于活水状态，以维持超纯水的品质。
本发明提供一种超纯水制造系统，此系统可以使超纯水保持流动状态，以维持超纯水的纯度。
本发明提出一种防死水处理装置，其配置于水处理单元上，包括旁流管路、旁流阀和短流管路。旁流管路的一端连接于水处理单元的进水口，旁流管路的另一端连接于水处理单元的出水口。旁流阀配置于旁流管路上。短流管路的一端连接于旁流阀的进水口，短流管路的另一端连接于旁流阀的出水口。
在本发明的实施例中，上述的旁流阀内设置有挡板，挡板具有限流孔洞。
在本发明的实施例中，上述的挡板的形状例如是板状。
在本发明的实施例中，上述的挡板限制超纯水往一方向流动。
在本发明的实施例中，流经限流孔洞的超纯水具有流速，且流速为2m/s。
在本发明的实施例中，上述的水处理单元包括紫外光杀菌装置(ultraviolet sterilizer，UV)、加热装置、精练型树脂单元、超过滤单元(ultrafiltration，UF)或脱气膜单元。
在本发明的实施例中，上述的短流管路包括玻璃管、塑胶硬管或塑胶软管。
本发明提供一种超纯水制造系统，此系统可以使超纯水保持流动状态，以维持超纯水的纯度。
本发明提出一种防死水处理装置，其配置于水处理单元上，包括旁流管路和旁流阀。旁流管路的一端连接于水处理单元的进水口，旁流管路的另一端连接于水处理单元的出水口。旁流阀配置于旁流管路上，旁流阀内设置有挡板，挡板具有限流孔洞。
在本发明的实施例中，上述的挡板的形状例如是板状。
在本发明的实施例中，上述的挡板限制超纯水往一方向流动。
在本发明的实施例中，流经限流孔洞的超纯水具有流速，且流速为2m/s。
在本发明的实施例中，上述的水处理单元包括紫外光杀菌装置、加热装置、精练型树脂单元、超过滤单元或脱气膜单元。
本发明又提出一种超纯水制造系统，超纯水制造系统包括多个泵、多个水处理单元、多条管路和多个防死水处理装置。泵提供动力以使超纯水流动。管路连接泵与水处理单元。防死水处理装置配置于水处理单元上，其中，防死水处理装置还包括旁流管路、旁流阀和短流管路。旁流管路的一端连接于水处理单元的进水口，旁流管路的另一端连接于水处理单元的出水口。旁流阀配置于旁流管路上。短流管路的一端连接于旁流阀的进水口，短流管路的另一端连接于旁流阀的出水口。
在本发明的实施例中，上述的旁流阀内设置有挡板，挡板具有限流孔洞。
在本发明的实施例中，上述的挡板的形状例如是板状。
在本发明的实施例中，上述的挡板限制超纯水往一方向流动。
在本发明的实施例中，流经限流孔洞的超纯水具有流速，且流速为2m/s。
在本发明的实施例中，上述的水处理单元包括紫外光杀菌装置、加热装置、精练型树脂单元、超过滤单元或脱气膜单元。
在本发明的实施例中，上述的短流管路包括玻璃管、塑胶硬管或塑胶软管。
由于本发明的防死水处理装置可以使得超纯水一直保持在流动的状态，因此，超纯水的水质不易劣化而能维持其纯度。
为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举优选实施例，并结合附图，作详细说明如下。
附图说明
图1A所示为本发明优选实施例的防死水处理装置结构示意图。
图1B所示为本发明优选实施例的旁流阀内部的档板示意图。
图2A所示为本发明优选实施例的超纯水制造系统结构示意图。
图2B所示为本发明优选实施例的旁流阀内部的档板示意图。
简单符号说明
100、210：防死水处理装置
102、206：水处理单元
104、224：旁流管路
106、226：旁流阀
108、228：短流管路
110、230：挡板
112、232：限流孔洞
114、116：阀
200：超纯水制造系统
202：超纯水储存槽
204：泵
208：管路
212：系统用水端
214：紫外光杀菌装置
216：加热装置
218：精练型树脂单元
220：超过滤单元
222：脱气膜单元
具体实施方式
图1A所示为本发明优选实施例的防死水处理装置结构示意图。图1B所示为本发明优选实施例的旁流阀内部的档板示意图。
请参照图1A，防死水处理装置100装设于水处理单元102上。水处理单元102例如是紫外光杀菌装置、加热装置、精练型树脂单元、超过滤单元、脱气膜单元或其他具灭菌与过滤功能的设备。
防死水处理装置100包括旁流管路104和旁流阀106。旁流管路104的两端分别与水处理单元102的进水口和出水口相连接。旁流管路104配置有旁流阀106，旁流阀106用来控制超纯水于旁流管路104内的流量。旁流管路104与旁流阀106的设置，是为了确保超纯水在任何状况下，都能保持流动状态，以维持超纯水的品质。另外，旁流阀106中配置有挡板110，挡板110可以用来限制超纯水往一固定方向流动。挡板110的形状例如是板状。如图1B所示，挡板110例如设置有一个限流孔洞112。流经限流孔洞112的超纯水的流速例如是2m/s。限流孔洞112设置的目的在于使得旁流管路104可以保持导通的状态。若旁流阀106的挡板110关闭且无法作动，超纯水仍能流经限流孔洞112，而使其保持活水的状态。
请继续参照图1A，在实施例中，防死水处理装置100还可以包括一条短流管路108。短流管路108配置于旁流管路104上。短流管路108的一端连接于旁流阀106的进水口处，而短流管路108的另一端则连接于旁流阀106的出水口处。短流管路108可以是玻璃管、塑胶硬管、塑胶软管或者是可以避免细菌或微粒粘着的其他材料的管路。短流管路108上例如设置有阀114、116。阀114、116用以控制短流管路108中是否可以流动超纯水。短流管路108可以使得旁流管路104保持导通的状态，即便旁流阀110关闭且无法作动，在旁流管路104内流动的超纯水，仍可流经短流管路108并绕过旁流阀110，而使其仍保持在活水的状态。
防死水处理装置100以旁流管104与水处理单元102连接。因此，旁流管104可以使得超纯水经常保持在流动的状态。另外，若是旁流阀106关闭且无法作动，超纯水可以流经短流管路108或档板110上的限流孔洞112，使其仍维持在活水状态，超纯水的品质因而受到保障。
图2A所示为本发明优选实施例的超纯水制造系统结构示意图。图2B所示为本发明优选实施例的旁流阀内部的档板示意图。请参照图2A，超纯水制造系统200包括一个超纯水储存槽202、多个泵204、多个水处理单元206、多条管路208、多个防死水处理装置210和一个系统用水端212。超纯水储存槽202用来储存超纯水。泵204用来提供动力使得超纯水可以在超纯水制造系统200中流动。水处理单元206可以例如是紫外光杀菌装置214、加热装置216、精练型树脂单元218、超过滤单元220、脱气膜单元222或其他可以提高超纯水纯度的处理单元。超纯水流经水处理单元206之后，可以去除其中的微粒子、有机物和细菌等杂质，并使得超纯水的纯度更臻理想。经由水处理单元206过滤处理过的超纯水，会被送至系统用水端212，以供半导体清洗工艺之用。管路208用来连结超纯水储存槽202、泵204、水处理单元206和系统用水端212。
请继续参照图2A，防死水处理装置210例如配置在各个水处理单元206上，包括旁流管路224、旁流阀226和短流管路228。旁流管路224的一端连接于水处理单元206的进水口，旁流管路224的另一端则连接于水处理单元206的出水口。旁流管路224与旁流阀226的设置，是为了确保超纯水在任何状况之下，都能在超纯水制造系统200中保持流动，使超纯水处于活水的状态，以维持超纯水的品质。若是水处理单元206或因堵塞、或因其他因素使得超纯水无法通过，此时超纯水即可通过旁流管路224而绕行至下一个水处理单元206。
此外，请参照图2B，旁流阀226中具有挡板230，挡板230可以用来限制超纯水往一固定方向流动。挡板230的形状例如是板状。挡板230具有限流孔洞232。流经限流孔洞232的超纯水的流速例如是2m/s。限流孔洞232设置的目的在于使得旁流管路224可以保持导通的状态。若是旁流阀226的挡板230关闭且无法作动，超纯水仍能流经限流孔洞232，而使其保持活水的状态。
短流管路228配置于旁流管路224上。短流管路228的一端连接于旁流阀226的进水口处，而短流管路228的另一端则连接于旁流阀226的出水口处。短流管路228可以是玻璃管、塑胶硬管、塑胶软管或者是可以避免细菌或微粒粘着的其他材料的管路。短流管路228可以使得旁流管路224保持导通的状态，即便旁流阀226关闭且无法作动，在旁流管路224内流动的超纯水，仍可流经短流管路228并绕过旁流阀226，而使其仍保持在活水的状态。
防死水处理装置210连接于水处理单元206的进水口和出水口，用以确保超纯水制造系统200内的超纯水可以保持流动并且维持超纯水的品质。
综上所述，本发明的防死水处理装置，以旁流管路连接于水处理单元，因此，在任何状况下，超纯水仍可以在超纯水制造系统内维持流动的状态。
另一方面，若是防死水处理装置的旁流阀关闭且无法作动，超纯水仍可流过挡板上的限流孔洞和短流管路，而维持活水的状态。
虽然本发明已以优选实施例揭示如上，然而其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与修改，因此本发明的保护范围以所附权利要求所界定的为准。
Claims (19)
1. 一种防死水处理装置，配置于水处理单元上，包括：
旁流管路，该旁流管路的一端连接于该水处理单元的进水口，该旁流管路的另一端连接于该水处理单元的出水口；
旁流阀，配置于该旁流管路上；和
短流管路，该短流管路的一端连接于该旁流阀的进水口，该短流管路的另一端连接于该旁流阀的出水口。
2. 如权利要求1所述的防死水处理装置，其中该旁流阀内设置有挡板，该挡板具有限流孔洞。
3. 如权利要求2所述的防死水处理装置，其中该挡板的形状包括板状。
4. 如权利要求2所述的防死水处理装置，其中该挡板限制超纯水往一方向流动。
5. 如权利要求2所述的防死水处理装置，其中流经该限流孔洞的超纯水具有流速，且该流速为2m/s。
6. 如权利要求1所述的防死水处理装置，其中该水处理单元包括紫外光杀菌装置、加热装置、精练型树脂单元、超过滤单元或脱气膜单元。
7. 如权利要求1所述的防死水处理装置，其中该短流管路包括玻璃管、塑胶硬管或塑胶软管。
8. 一种防死水处理装置，配置于水处理单元上，包括：
旁流管路，该旁流管路的一端连接于该水处理单元的进水口，该旁流管路的另一端连接于该水处理单元的出水口；和
旁流阀，配置于该旁流管路上，其中该旁流阀内设置有挡板，该挡板具有限流孔洞。
9. 如权利要求8所述的防死水处理装置，其中该挡板的形状包括板状。
10. 如权利要求8所述的防死水处理装置，其中该挡板限制超纯水往一方向流动。
11. 如权利要求8所述的防死水处理装置，其中流经该限流孔洞的超纯水具有流速，且该流速为2m/s。
12. 如权利要求8所述的防死水处理装置，其中该水处理单元包括紫外光杀菌装置、加热装置、精练型树脂单元、超过滤单元或脱气膜单元。
13. 一种超纯水制造系统，包括：
多个泵，该些泵提供动力以使超纯水流动；
多个水处理单元；
多条管路，该些管路连接该些泵与该些水处理单元；和
多个防死水处理装置，配置于该些水处理单元上，其中，每一该些防死水处理装置还包括：
旁流管路，该旁流管路的一端连接于每一该些水处理单元的进水口，该旁流管路的另一端连接于每一该些水处理单元的出水口；
旁流阀，配置于该旁流管路上；和
短流管路，该短流管路的一端连接于该旁流阀的进水口，该短流管路的另一端连接于该旁流阀的出水口。
14. 如权利要求13所述的超纯水制造系统，其中该旁流阀内设置有挡板，该挡板具有限流孔洞。
15. 如权利要求14所述的超纯水制造系统，其中该挡板的形状包括板状。
16. 如权利要求14所述的超纯水制造系统，其中该挡板限制超纯水往一方向流动。
17. 如权利要求14所述的超纯水制造系统，其中流经该限流孔洞的超纯水具有流速，且该流速为2m/s。
18. 如权利要求13所述的超纯水制造系统，其中该些水处理单元包括紫外光杀菌装置、加热装置、精练型树脂单元、超过滤单元或脱气膜单元。
19. 如权利要求14所述的超纯水制造系统，其中该短流管路包括玻璃管、塑胶硬管或塑胶软管。
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| CN104291466A (zh) * | 2014-09-27 | 2015-01-21 | 姚健军 | 水处理设备 |
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| CN107061303A (zh) * | 2016-02-10 | 2017-08-18 | E.G.O.电气设备制造股份有限公司 | 泵、具有泵的家用器具以及用于操作这样的家用器具的方法 |
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