CN101258351A - 具有无污染本体的化学惰性流量控制器 - Google Patents

Abstract

一种流量控制器，包括配有化学惰性流体导管的单一控制器本体，置于导管内的可插入的缩口或孔口具有缩减的横截面，从而限制导管内流体的流量，以允许进行可靠的流量测量。集成电路或控制器可与控制阀耦合，并且也可通过包含由法拉第笼环绕的信号传导件的引线构件与压力传感器耦合，以及与单一控制器本体耦合的化学惰性外壳，单一控制器本体将控制阀和压力传感器封闭。

Description

具有无污染本体的化学惰性流量控制器

相关申请

本申请要求2005年7月8日申请的题为“具有无污染本体的化学惰性流量控制”的第60/697,483号美国临时专利申请的优先权，通过引用将该申请的内容完全合并在此。

技术领域

本发明通常涉及流体流量控制器，尤其涉及化学惰性流体流量控制器组件，其可与传送液态或气态流体的化学腐蚀性流体流路串联连接。

背景技术

在对诸如半导体之类的感光材料进行超纯处理的过程中，易于受到污染，这是制造者面临的重大问题。由于处理感光材料经常涉及到与处理流体的直接接触，因此使处理流体以未经污染的状态、且不含异物地被运送到处理地点，是非常紧要的。已设计有各种制造系统来减小制造处理过程中生成的异物和蒸汽对感光材料的污染。

处理设备通常包括液体传输系统，其将通常是腐蚀性的或危险的处理流体从供料罐载送通过抽吸和调节站，并通过处理设备本身。液体化学传输系统包括导管、管道、监控装置、传感装置、阀、配件和相关装置，以及当长期暴露时易受腐蚀性环境影响的常规采用的金属部件。因此，监控和传感装置通常结合使用替代材料，诸如抗腐蚀性化学物质变质效应的塑料，或与腐蚀性的流体保持隔离。

半传导件制造过程可能需要排放非常精确的流体量，并且一般采用一个或多个为闭合循环反馈关系的监控、阀以及传感装置，以监控和控制这个高灵敏度的过程。这些监控和传感装置也必须设计成消除任何可能引入的污染。为了控制流体传输系统内的流量或压力，传输设备可利用从各监控、阀以及传感装置获取的信息。从各装置获取的信息的精确性可受到系统内的热力变化影响。此外，一个装置的不精确性可与依靠来自这一设备的信息的另一个其它设备的不精确性合成。此外，需要频繁进行独立校准，以保持各个体装置的精确性。然而，对设备进行独立校准已证实是困难和耗时的。

这些监控和传感装置一般通过测量流经缩口区或孔口的压力差，对流体传输系统内的流量或压力进行控制。随着时间的流逝，由于孔总是腐蚀或堵塞而需要更换整个监控和传感设备。也需要增大或减小流体流路内的孔的缩口区，以控制相同或不同流体的流量或压力。

因而，需要无污染的流体控制组件，其可定位为与运载腐蚀性材料的流体流路串联，其中组件能够基于在流体流路中进行的压力差测量，来确定流速，并且其中确定流速不会受到流体流路中热力变化的负面影响，而且其中流量控制组件的压力传感器的校准不需要对阀进行辅助的或独立的校准。但也需要流体控制组件来避免将异物、不需要的离子或蒸汽引入到流路中。还需要流体控制组件配有可拆卸或可更换的孔口，以免更换整个组件，或用于允许对不同流体类型或粘性进行可选择的现场校准。此外，需要减小流体控制组件的尺寸和重量，以保留此类处理系统中弥足珍贵的空间。因而，本发明实施例指向流体控制组件，试图克服现有技术中的这些和某些其它局限。

发明内容

本发明提供了一种流体控制组件，其可与传输腐蚀性流体的流体流路串联耦合，其中流体控制组件可确定压力、流速和温度，并且也控制流体流路内的压力、流量或体积。流速可由在流路内进行的压力差测量决定，并且优选地可由在流体控制组件中的两个压力传感器之间的流体流动导管缩口区或孔口进行的压力差测量确定。

在一个实施例中，流量控制器包括配有化学惰性流体导管的单一控制器本体，腐蚀性流体流动通过该导管；与导管耦合的可调整的控制阀；与导管耦合的压力传感器或变送器；位于导管内的可插入的缩口部或孔口，其具有缩减的横截面从而限制了导管内的流体流量，以允许进行可靠的流量测量；与控制阀耦合的集成电路或控制器，并且其也可通过引线构件与压力传感器耦合，所述引线构件包含由法拉第笼围绕的信号传导件；以及与将控制阀和压力传感器封闭在内的单一控制器本体相耦合的化学惰性外壳。

在一个实施例中，外壳包括允许气体通过但不允许液体通过的通风孔塞，其提供外壳内部区域的通风，以供与实际的大气压进行参照，同时限制进入外壳内部区域的液体流量。各压力传感器也包括通风管，其向外壳的通风内部区域开启，允许以实际的大气压进行参照。

如本发明实施例所述的流体处理装置可包括由化学惰性材料构成的本体，并且界定出穿过该本体的流道、具有相关控制逻辑的处理器以及与流道成流体连通的至少一个传感器，其中传感器将表示流道中的流体情况的信号进行选择性地传送。将至少一个传感器与处理器电通信地耦合(electricallycommunicatively couples)的引线构件，其将信号从至少一个传感器传输到处理器。引线构件包括追踪层，追踪层包括基本限制至少一个信号传导件的屏蔽传导件，追踪层具有一对相对的表面；以及由传导材料构成的一对屏蔽层，各屏蔽层面向追踪层中的单个相对表面，一对屏蔽层与追踪层的屏蔽传导件电耦合，借此，屏蔽层以及追踪层的屏蔽传导件界定出围绕至少一个信号传导件的法拉第笼，以使至少一个信号传导件与电磁干扰隔离。

根据本发明实施例的流量控制器包括由化学惰性材料构成的本体，并且界定出穿过该本体的流道，流道具有壁面和一对相对端，流道的壁面界定挡止构件，其处于相对端之中，以形成从相对端的第一端延伸到挡止构件的流道的第一部分，和从相对端的另一端延伸到挡止构件的流道的第二部分。插入件界定用于限制流经流道的流体流量的孔口，插入件设置在流道的第一部分，其贴靠住挡止构件。插入件可通过流道的第一端进行选择性地拆卸。流量控制器还包括与流道的第一部分成流体连通的第一压力传感器；与流道的第二部分成流体连通的第二压力传感器；与流道成流体连通，并设置成可操作以对流经流道的流体进行调节的控制阀；以及与第一和第二压力传感器及控制阀通信地耦合的处理器和相关控制逻辑，其中处理器自动操作控制阀，以基于来自第一和第二压力传感器的信号，对流经流道的流体进行调节。

某些实施例的目的和特征通过允许对长期使用而腐蚀或堵塞的孔进行更换，提供了高性价比的方法来延长流量控制组件的使用寿命。

本发明的某些实施例的另一目的和特征是，流体流动导管中采用可更换的孔，允许控制器本体由单一的整体器件构建。

本发明的某些实施例的另一目的和特征是，流体流动导管中的可更换孔允许提供所需的缩口区用于对相应的流体和流速进行差压测量，同时提供与相应流体可相容的材料。

本发明的某些实施例的另一目的和特征是，引线构件包括由法拉第笼围绕的信号传导件，引线构件将处理器以及相关控制逻辑与压力传感器耦合，以抑制信号的电磁干扰(EMI)，并且提供更小、更轻和性价比更高的流量控制组件。

本发明的某些实施例的又一目的和特征涉及提供控制组件外壳的化学保护内部区域，同时在外壳的相同内部区域提供实际的大气压参照。

本发明的某些实施例的又一目的和特征是，一个流量控制组件可提供温度、压力和流量输出。

本发明的某些实施例的又一目的和特征是，流量控制组件可提供在现场对不同流体类型和流体粘性进行选择校准。

本发明的某些实施例还有另一目的和特征包括，提供的流量控制组件可避免将颗粒、不需要的离子或蒸汽引入流路。

在结合附图阅读了详细说明之后，本领域技术人员会进一步理解上述的本发明优点和较优特征。

附图说明

图1是根据本发明实施例的流量控制器的分解立体图；

图2是根据本发明实施例的流量控制器外壳部分的分解立体图；

图2A是图1和图2中所示的流量控制器的电连接件部分的局部立体图；

图3A是沿图1的3A-3A截面的、根据本发明实施例的流量控制器的横剖面图；

图3B是图3A的流量控制器的侧视图；

图3C是沿3C-3C截面的、图3A的流量控制器的横剖面图；

图4是根据本发明实施例的流量控制器的侧视图；

图5A是根据本发明实施例的引线构件的分解图；

图5B是图5A的引线构件的外高分子层的平面图；

图5C是图5A的引线构件的铜层的平面图；

图5D是图5A的引线构件的追踪层的平面图；

图5E是图5A的引线构件的第二铜层的平面图；

图5F是图5A的引线构件的增强层的平面图；以及

图5G是图5A的引线构件的第二外高分子层的平面图。

具体实施方式

现通常参照图1-4，示出了流体流量控制组件10，其用于传送可能为腐蚀性的液态或气态的所需量的流体。流体控制组件10通常包括控制器本体12、外壳14、安装板16、压力入口/出口配件18、压力变送器或传感器20、控制阀22以及集成电路或控制器60。优选地，控制器本体12和外壳14由诸如聚四氟乙烯(PTFE)的化学惰性无污染高分子制造，尽管也可采用具有类似化学惰性性能的其它材料。外壳14和控制器本体12经由延伸通过孔26的紧固件24安装在一起。优选地，已知的适合构造的垫片28位于外壳14和控制器本体12之间，并提供气密封。优选地，控制器本体12和安装板16也通过紧固件25固定在一起。其中描述的一些组件和变化的一般方式在美国专利NO.6,578,435中有详细描述，该专利已转让给本申请的同一受让人，通过引用将其说明书的全部内容合并在此。

现参照图3A，流道30从控制器本体12的近端13延伸到近控制阀入口/出口孔32。流道30也从控制器本体12的远端15延伸到远控制阀入口/出口孔34。如图3A所描述的，流道30没有从远端13延伸到末端15，从而贯穿平面P内的整个控制器本体12。而是，控制器本体塞子35分隔流道30，使得流体的流动经由入口/出口孔32、34而转移。当控制阀22被插入至相应位置时，正如以下将会讨论到的，流道30与入口/出口孔32和34用作流体流路内的流体流道。在一个实施例中，流体流路内的流体控制组件10的定向可被反转而不影响其效能。

如图1和3A所示，圆柱形孔穴36、38和40从控制器本体12的外表面延伸到流道30。本领域技术人员应理解孔穴36、38和40各可从控制器本体12的不同侧壁延伸到控制器本体12。分隔壁37将孔穴36与38隔开预定距离，以及分隔壁39将孔穴38与40隔开预定距离。

在控制器本体12内孔穴36和38与流道30相交处的区域附近，形成有环形唇部42。唇部42环绕并进一步界定出从流道30通向各孔穴38和40的开口。各压力传感器20由间隔环44和外螺纹压紧环46保持在它们各自孔穴的位置内。压力传感器20通过化学惰性o型环密封件47被密封在控制器本体12内。o型环密封件48的定位可产生多余的密封件。密封件47和48可易得到，并且是本领域技术人员已知的构造。

在位于压力传感器20之间的流道30中，插入件50界定有缩口51，以在流体穿过化学惰性缩口51时产生压力下降。插入件50可由PTFE或其它化学惰性高分子材料形成，虽然也可考虑采用其它化学惰性材料，诸如蓝宝石，当接触腐蚀性的流体时，其也是抗损耗的。插入件50也可由与流经流体控制组件10内的导管30和缩口51的相应流体可相容的其它材料构成。在某些实施例中，插入件50是可拆卸的，使得腐蚀的或堵塞的缩口51可被更换，或可采用具有不同尺寸缩口区域的插入件50。为了使插入件50可拆卸，在从端13延伸到两个压力传感器20之间区域的区域内流道30的截面积可略大于从两个压力传感器20之间区域延伸到控制器本体塞子35的流道30的截面积。流道30的两个部分的截面积的差可形成环形唇部52形式的挡止构件，这避免插入件50被插到超过流道30中所需的位置。可插入/可拆卸的插入件50也使控制器本体12能够构成单一的整体部件。在某些实施例中，在分隔壁37的区域中可提供含有多个缩口51的可旋转歧管。可旋转歧管中的缩口51可具有相同或不同的缩口区尺寸。可旋转缩口歧管也使用户易于改变流速和/或更换缩口，在缩口腐蚀或堵塞后。

在控制器本体12内孔穴40与流道30相互连接处的区域中，阀座53形成于流体导管内。尽管图3A示出的配有隔膜54的控制阀22具有锥形组件56用于开启和关闭通过导管30的流量，本领域技术人员应理解用于对流经导管30的流量进行控制的各种不同的机构是易于得到并且是本领域技术人员已知的构造。此外，在开启和关闭位置之间的阀的启动可通过已知的合适构造的若干机械、电气或气动驱动器中的任何一种来实现。

控制器60可以几种形式中的任一形式，包括专用的固态装置或配有相关控制逻辑的处理器，并可包括用于存储由处理器执行的程序的只读存储器(ROM)和用于存储由处理器进行运算采用的操作数(operands)的随机存储器(RAM)。控制器60与电源电耦合，并操作电路系统，用于传感压力，并且对控制阀的启动进行控制，其中流量、压力和/或体积可被控制。在一些实施例中，控制器60被安装在外壳14的内顶部。

控制器60用于将来自两个压力传感器20的压力读数转化成流量的模拟或数字表示，或可选地，转化成下游压力传感器的压力读数。来自上游传感器的原始模拟信号被提供给输入终端，并且同样地，来自下游传感器的原始模拟传感器输出信号被提供给输入终端。控制器60对被上游和下游传感器拾取的即时压力差进行计算，并且执行任何必要的零位调整和刻度调整。控制器60也可接收与流经流道30的流体温度相应的信号，其可由位于压力传感器20内的温度传感器、控制阀22的隔膜54内的温度传感器测量，或由诸如密封在位于分隔壁39内的孔中的单独的温度传感器测量。这样的测量允许对一个流体控制组件10中的温度、压力和流量输出进行可能的测量。此外，这些信息提供了针对不同流体类型和速度进行现场选择校准的选项。

在某些实施例中，引线构件62将低压电磁干扰(EMI)易感信号从各压力传感器20路由到控制器60。引线构件62将由构成挠性法拉第笼(Faraday cage)的多个层构建。在提供了对电磁干扰的必要屏蔽的同时，引线构件62还去除外壳中的屏蔽材料，使流量控制组件10变得更小、更轻、性价比更高。

如图5A-5G所示，引线构件62通常包括外高分子层70、第一屏蔽层72、在74两端都含有基底的追踪层、第二屏蔽层76、增强层78，以及第二外高分子层80。引线构件62的小端120界定有孔122，其收纳在从控制器60延伸的连接针(未示出)上，并与之电连接。在类似的形式中，各连接垫124、126界定了孔128，其收纳在从各压力传感器20延伸的连接针(未示出)上，并与之电连接。较佳地，引线构件62是有充分的挠性和弹性的，使得其能够被轻易折叠在外壳中。通常，屈曲区域中总厚度为0.020是较佳的。在一个实施例中，高分子层70、80是聚酰亚胺。

屏蔽层72、76通常包括在绝缘高分子基板132上的金属材料薄层130，优选地为铜。追踪层74通常包括高分子基板133，其配有金属材料的外条134，以限制一个或多个信号传导件136。当屏蔽层72、76接合于追踪层74的相对表面138、140上时，外条134电传导地连接于各屏蔽层72、76的金属材料层130，从而使以法拉第笼围绕在信号传导件136外。

增强层78通常包括高分子材料层，其与其它层相比，略厚而较无弹性，从而为引线构件62增添强度和硬度。可应用外高分子层70、80以形成引线构件62的外表面，达到防护和耐用的作用。

当控制器本体12和外壳14被密封将控制阀22、压力传感器20、控制器60和挠性电路板62封闭时，如图3A和图4所示，形成了免遭恶劣的外部环境影响的内部环境。为了向内部区域提供电连接，外壳14含有被孔密封件85密封的孔82，其允许电连接件84通过电连接件孔86。电连接件密封件88插入电连接件孔86并围绕电连接件84，以通过避免外部流体进入来保持密封的环境。孔密封件85也可包含通风孔90，多孔的塑料孔塞92插入在该通风孔90中。孔塞92允许气体通过，使得外壳14的内部区域可通风，以供与实际的大气压进行参照，同时限制液体流入外壳14的内部区域。这样的多孔塑料材料可以是市售的Porex公司的商品。压力传感器20也含有通风管93，其开启至外壳14的通风的内部区域中，以供与实际的大气压进行参照。

在一些实施例中，压力传感器20、控制阀22、集成电路或控制器60，以及其它必要或必需的电子器件是采用环氧树脂灌封料灌注而成。可选地，这样的组件可以被镶件成型为单一整体的化学惰性无污染材料。在这个实施例中，仍然可以通过延伸到外部大气的通风管93而允许压力传感器20通风，以供与实际的大气压进行参照。

尽管业已示出和描述了本发明中相关的某些较佳实施例和其它重要的实施例的具体细节，考虑到其合理的等同物，并不应将本发明限制为这些细节。

权利要求书(按照条约第19条的修改)

1.一种流体处理装置，包括：

本体，由化学惰性材料构成并且界定出穿过该本体的流道；

配有相关控制逻辑的处理器；

与所述流道成流体连通的至少一个传感器，其中所述传感器将表示所述流道中的流体情况的信号选择性地进行传送；以及

引线构件，其将所述处理器与所述至少一个传感器电通信地耦合以将所述信号从所述至少一个传感器传输到所述处理器，所述引线构件包括：

包含屏蔽传导件的基本为平面的追踪层，所述屏蔽传导件基本限制至少一个狭长形的信号传导件，所述追踪层具有一对相对的表面；以及

由传导材料构成的一对基本为平面的屏蔽层，各所述屏蔽层面向所述追踪层中的单个所述相对表面，所述的一对屏蔽层与所述追踪层的所述屏蔽传导件电耦合，借此，所述屏蔽层以及所述追踪层的所述屏蔽传导件界定出围绕基本上整个所述至少一个信号传导件的法拉第笼，以使所述至少一个信号传导件与电磁干扰隔离。

2.如权利要求1所述的流体处理装置，其中各所述屏蔽层具有外表面，以及其中所述引线构件进一步包括一对绝缘层，各所述绝缘层面向并基本覆盖所述屏蔽层的单个所述外表面。

3.如权利要求2所述的流体处理装置，其中所述绝缘层由高分子材料制成。

4.如权利要求1所述的流体处理装置，其中所述引线构件进一步包括增强层。

5.如权利要求1所述的流体处理装置，其中所述装置进一步包括与所述流道成流体连通的第二传感器，其中所述第二传感器将表示所述流道中的流体情况的信号选择性地进行传送，以及其中所述第二传感器通过所述引线构件与所述处理器电通信地耦合。

6.如权利要求5所述的流体处理装置，其中所述装置进一步包括控制阀，其与所述流道成流体连通，并设置成可操作以对流经所述流道的流体流量进行调节，其中所述第一和第二传感器是压力传感器，其将表示所述流道的分隔部分中的流体压力的信号进行传送，并且其中所述处理器和相关控制逻辑自动操作所述控制阀，以基于来自所述第一和第二传感器的所述信号对流经所述流道的流体进行调节。

7.一种流量控制器包括：

本体，由化学惰性材料构成并且界定出穿过该本体的流道，所述流道具有壁面和一对相对端，所述流道的所述壁面界定有挡止构件，所述挡止构件处于所述相对端之中，以形成从所述相对端的第一端延伸到所述挡止构件的所述流道的第一部分，和从所述相对端的另一端延伸到所述挡止构件的所述流道的第二部分；

插入件，其界定出延伸通过所述插入件、用于限制流经所述流道的流体流量的孔口，所述插入件设置于所述流道的所述第一部分，其贴靠住所述挡止构件并可通过所述流道的所述第一端进行选择性地拆卸；

第一压力传感器，其与所述流道的所述第一部分成流体连通；

第二压力传感器，其与所述流道的所述第二部分成流体连通；

控制阀，其与所述流道成流体连通，并设置成可操作以对流经所述流道的流体进行调节；以及

与所述第一和第二压力传感器以及所述控制阀通信地耦合的处理器和相关控制逻辑，其中所述处理器自动操作所述控制阀，以基于来自所述第一和第二压力传感器的信号，对流经所述流道的流体进行调节。

8.如权利要求7所述的流量控制器，其中所述流道的所述第一部分具有第一横截面面积，以及所述流道的所述第二部分具有第二横截面面积。

9.如权利要求7所述的流量控制器，其中所述挡止构件是所述流道内的环形唇部。

10.如权利要求7所述的流量控制器，其中所述插入件基本是化学惰性高分子材料。

11.如权利要求10所述的流量控制器，其中所述化学惰性高分子材料是聚四氟乙烯(PTFE)。

12.如权利要求7所述的流量控制器，其中所述插入件基本是蓝宝石。

13.如权利要求7所述的流量控制器，其中所述处理器和所述第一或第二压力传感器中的至少一个与引线构件电耦合，所述引线构件包括：

包含屏蔽传导件的追踪层，所述屏蔽传导件基本限制至少一个信号传导件，所述追踪层具有一对相对的表面；以及

由传导材料构成的一对屏蔽层，各所述屏蔽层面向所述追踪层中的单个所述相对表面，所述的一对屏蔽层与所述追踪层的所述屏蔽传导件电耦合，借此，所述屏蔽层以及所述追踪层的所述屏蔽传导件界定出围绕所述至少一个信号传导件的法拉第笼，以使所述至少一个信号传导件与电磁干扰隔离。

14.一种流量控制器包括：

本体，由化学惰性材料形成并且界定出穿过该本体的流道；

具有相关控制逻辑的处理器；

一对与所述流道成流体连通的压力传感器，其中各传感器将表示所述流道中的流体情况的信号选择性地进行传送；以及

将所述处理器和所述一对压力传感器电通信地耦合的引线构件，所述引线构件包括：

包含屏蔽传导件的基本为平面的追踪层，所述屏蔽传导件基本限制多个信号传导件，所述追踪层具有一对相对的表面；以及

由传导材料构成的一对屏蔽层，各所述屏蔽层面向所述追踪层中的单个所述相对表面，所述的一对屏蔽层与所述追踪层的所述屏蔽传导件电耦合，其中，所述屏蔽层以及所述追踪层的所述屏蔽传导件界定出围绕基本上整个所述信号传导件的法拉第笼，以将所述信号传导件与电磁干扰隔离。

15.如权利要求14所述的流量控制器，其中各所述屏蔽层具有一个外表面，以及其中所述引线构件进一步包括一对绝缘层，各所述绝缘层面向并基本覆盖所述屏蔽层的单个所述外表面。

16.如权利要求15所述的流量控制器，其中所述绝缘层由高分子材料制成。

17.如权利要求14所述的流量控制器，其中所述引线构件进一步包括增强层。

18.如权利要求14所述的流量控制器，其中所述装置进一步包括控制阀，其与所述流道成流体连通，并设置成可操作以对流经所述流道的流体进行调节，并且其中所述处理器与相关控制逻辑自动操作所述控制阀，以基于来自所述压力传感器的所述信号，对流经所述流道的流体进行调节。

19.如权利要求14所述的流量控制器，其中所述流道具有壁面和一对相对端，所述流道的所述壁面界定有挡止构件，所述挡止构件处于所述流道之中，以形成从所述相对端的第一端延伸到所述挡止构件的所述流道的第一部分，和从所述相对端的另一端延伸到所述挡止构件的所述流道的第二部分；以及其中所述流量控制器进一步包括插入件，其界定用于限制流经所述流道的流体流量的孔口，所述插入件设置于所述流道的所述第一部分，其贴靠住所述挡止构件，并且所述插入件可通过所述流道的所述第一端进行选择性地拆卸。

20.如权利要求19所述的流量控制器，其中所述挡止构件是所述流道内的环形唇部。

Claims (20)

1. 一种流体处理装置，包括：

本体，由化学惰性材料构成并且界定出穿过该本体的流道；

配有相关控制逻辑的处理器；

与所述流道成流体连通的至少一个传感器，其中所述传感器将表示所述流道中的流体情况的信号选择性地进行传送；以及

引线构件，其将所述处理器与所述至少一个传感器电通信地耦合以将所述信号从所述至少一个传感器传输到所述处理器，所述引线构件包括：

包含屏蔽传导件的追踪层，所述屏蔽传导件基本限制至少一个信号传

导件，所述追踪层具有一对相对的表面；以及

由传导材料构成的一对屏蔽层，各所述屏蔽层面向所述追踪层中的单个所述相对表面，所述的一对屏蔽层与所述追踪层的所述屏蔽传导件电耦合，借此，所述屏蔽层以及所述追踪层的所述屏蔽传导件界定出围绕所述至少一个信号传导件的法拉第笼，以使所述至少一个信号传导件与电磁干扰隔离。

2. 如权利要求1所述的流体处理装置，其中各所述屏蔽层具有外表面，以及其中所述引线构件进一步包括一对绝缘层，各所述绝缘层面向并基本覆盖所述屏蔽层的单个所述外表面。

3. 如权利要求2所述的流体处理装置，其中所述绝缘层由高分子材料制成。

4. 如权利要求1所述的流体处理装置，其中所述引线构件进一步包括增强层。

5. 如权利要求1所述的流体处理装置，其中所述装置进一步包括与所述流道成流体连通的第二传感器，其中所述第二传感器将表示所述流道中的流体情况的信号选择性地进行传送，以及其中所述第二传感器通过所述引线构件与所述处理器电通信地耦合。

6. 如权利要求5所述的流体处理装置，其中所述装置进一步包括控制阀，其与所述流道成流体连通，并设置成可操作以对流经所述流道的流体流量进行调节，其中所述第一和第二传感器是压力传感器，其将表示所述流道的分隔部分中的流体压力的信号进行传送，并且其中所述处理器和相关控制逻辑自动操作所述控制阀，以基于来自所述第一和第二传感器的所述信号对流经所述流道的流体进行调节。

7. 一种流量控制器包括：

本体，由化学惰性材料构成并且界定出穿过该本体的流道，所述流道具有壁面和一对相对端，所述流道的所述壁面界定有挡止构件，所述挡止构件处于所述相对端之中，以形成从所述相对端的第一端延伸到所述挡止构件的所述流道的第一部分，和从所述相对端的另一端延伸到所述挡止构件的所述流道的第二部分；

插入件，其界定用于限制流经所述流道的流体流量的孔口，所述插入件设置于所述流道的所述第一部分，其贴靠住所述挡止构件并可通过所述流道的所述第一端进行选择性地拆卸；

第一压力传感器，其与所述流道的所述第一部分成流体连通；

第二压力传感器，其与所述流道的所述第二部分成流体连通；

控制阀，其与所述流道成流体连通，并设置成可操作以对流经所述流道的流体进行调节；以及

与所述第一和第二压力传感器以及所述控制阀通信地耦合的处理器和相关控制逻辑，其中所述处理器自动操作所述控制阀，以基于来自所述第一和第二压力传感器的信号，对流经所述流道的流体进行调节。

8. 如权利要求7所述的流量控制器，其中所述流道的所述第一部分具有第一横截面面积，以及所述流道的所述第二部分具有第二横截面面积。

9. 如权利要求7所述的流量控制器，其中所述挡止构件是所述流道内的环形唇部。

10. 如权利要求7所述的流量控制器，其中所述插入件基本是化学惰性高分子材料。

11. 如权利要求10所述的流量控制器，其中所述化学惰性高分子材料是聚四氟乙烯(PTFE)。

12. 如权利要求7所述的流量控制器，其中所述插入件基本是蓝宝石。

13. 如权利要求7所述的流量控制器，其中所述处理器和所述第一或第二压力传感器中的至少一个与引线构件电耦合，所述引线构件包括：

包含屏蔽传导件的追踪层，所述屏蔽传导件基本限制至少一个信号传导件，所述追踪层具有一对相对的表面；以及

由传导材料构成的一对屏蔽层，各所述屏蔽层面向所述追踪层中的单个所述相对表面，所述的一对屏蔽层与所述追踪层的所述屏蔽传导件电耦合，借此，所述屏蔽层以及所述追踪层的所述屏蔽传导件界定出围绕所述至少一个信号传导件的法拉第笼，以使所述至少一个信号传导件与电磁干扰隔离。

14. 一种流量控制器包括：

本体，由化学惰性材料形成并且界定出穿过该本体的流道；

具有相关控制逻辑的处理器；

一对与所述流道成流体连通的压力传感器，其中各传感器将表示所述流道中的流体情况的信号选择性地进行传送；以及

将所述处理器和所述一对压力传感器电通信地耦合的引线构件，所述引线构件包括：

包含屏蔽传导件的追踪层，所述屏蔽传导件基本限制至少一个信号传导件，所述追踪层具有一对相对的表面；以及

由传导材料构成的一对屏蔽层，各所述屏蔽层面向所述追踪层中的单个所述相对表面，所述的一对屏蔽层与所述追踪层的所述屏蔽传导件电耦合，借此，所述屏蔽层以及所述追踪层的所述屏蔽传导件界定出围绕所述至少一个信号传导件的法拉第笼，以将所述至少一个信号传导件与电磁干扰隔离。

15. 如权利要求14所述的流量控制器，其中各所述屏蔽层具有一个外表面，以及其中所述引线构件进一步包括一对绝缘层，各所述绝缘层面向并基本覆盖所述屏蔽层的单个所述外表面。

16. 如权利要求15所述的流量控制器，其中所述绝缘层由高分子材料制成。

17. 如权利要求14所述的流量控制器，其中所述引线构件进一步包括增强层。

18. 如权利要求14所述的流量控制器，其中所述装置进一步包括控制阀，其与所述流道成流体连通，并设置成可操作以对流经所述流道的流体进行调节，并且其中所述处理器与相关控制逻辑自动操作所述控制阀，以基于来自所述压力传感器的所述信号，对流经所述流道的流体进行调节。

19. 如权利要求14所述的流量控制器，其中所述流道具有壁面和一对相对端，所述流道的所述壁面界定有挡止构件，所述挡止构件处于所述流道之中，以形成从所述相对端的第一端延伸到所述挡止构件的所述流道的第一部分，和从所述相对端的另一端延伸到所述挡止构件的所述流道的第二部分；以及其中所述流量控制器进一步包括插入件，其界定用于限制流经所述流道的流体流量的孔口，所述插入件设置于所述流道的所述第一部分，其贴靠住所述挡止构件，并且所述插入件可通过所述流道的所述第一端进行选择性地拆卸。

20. 如权利要求19所述的流量控制器，其中所述挡止构件是所述流道内的环形唇部。

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