CN101187366A - 高效内啮合齿轮泵或马达 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种高效内啮合齿轮泵或马达，包括有一由内齿圈和转子构成的内啮合齿轮副、位于该内啮合齿轮副侧面的压力补偿侧板以及壳体，所述内啮合齿轮副和压力补偿侧板共同容置于该壳体中，该压力补偿侧板在内啮合齿轮副与壳体之间能够自由地沿轴向移动。本发明采用了沿轴向能够自由移动的浮动压力补偿侧板，因此能有效地控制内啮合齿轮副与压力补偿侧板之间齿侧间隙的均匀性且达到理想大小，从而均化密封力、降低压力补偿侧板与内啮合齿轮副之间密封面的接触应力，避免了密封面局部发生咬合破损，有效地控制了内啮合齿轮副沿径向和轴向上的内泄漏。本发明具有内泄漏小、容积效率高的优点，可广泛用于各种低油液粘度、高工作压力的液压系统中。

Description

高效内啮合齿轮泵或马达

技术领域：

本发明涉及旋转式液体变容式机械，尤其涉及一种液压传动系统用高效内啮合齿轮泵或马达。

背景技术：

在液压传动系统中，系统传递的能量与流量和压力的积成正比，传递的力与工作面积和压力的积成正比，因此若压力提高，则对应于相同的传递能量和力来说，流量和工作面积就可以减小。因而对于要求结构高度紧凑、重量极度缩减的液压传动系统而言，高工作压力的优点是显而易见的：小的流量意味着泵、油箱的尺寸和管路的直径可以减小，小的工作面积意味着油缸、油马达的体积可以缩小。在过去的30年中，液压系统的使用工作压力获得了显著的提高：在上世纪60年代至70年代，常规液压系统的使用工作压力在20MPa左右，上世纪90年代某些液压系统的使用工作压力提高到35MPa，预计到2010年高性能的液压系统的使用工作压力有可能提高到45MPa。随着使用工作压力的提高，液压系统中所有的液压元件，如泵、马达、控制阀、油管和接头等的额定工作压力均需相应地提高，而其中最困难的挑战在于泵和马达。所有容积式泵和马达，其内泄漏和工作压力成正比，工作压力越高，内泄漏就越大，容积效率也就越低。对于同一个泵，在20MPa工况下其容积效率假定是90％，而当工作压力提高到45MPa时，其容积效率就可能只有70％，即30％的能量转化为热能被损耗掉而没有传递到有效负载上。这不仅是很大的能源浪费，而且需要大容量的液压冷却器来降低工作油温，以避免过低的油粘度对转动部件的破坏和高温下密封件的失效。总之，要提高容积式泵和马达的额定工作压力，就必须减少其内泄漏，提高容积效率。

与外啮合齿轮泵相比，内啮合齿轮泵具有结构紧凑、重量轻、流量及压力脉动小、噪音低、对介质污染不敏感等优点，因而近年来得到了较快的发展。内啮合齿轮泵的基本结构一般是由壳体和容纳在该壳体中的内啮合齿轮副组成，该内啮合齿轮副包括一个外周具有轮齿的转子(即外齿轮)和一个套装在壳体中并在其内可自由转动的内齿圈，该转子的轴心与内齿圈的轴心之间存在有一定的偏心距。通常情况下，泵的动力输入轴直接驱动转子，然后转子通过啮合带动内齿圈，转子和内齿圈同时以各自的轴心为中心作定轴转动。从理论上来说，一般的齿轮泵都可用作齿轮马达，它们的结构基本上是一致的。齿轮泵是将机械能转换为流体介质的压力能，而齿轮马达是将流体介质的压力能转换为机械能。

在结构上内啮合轮泵可分成不带锲形块和带锲形块的两类。带锲形块内啮合齿轮泵一般具有较高的容积效率，其原因在于锲形块与转子轮齿齿顶之间的接触为面接触，因而形成的密封为面密封，所以高压与低压容积腔之间的泄漏就较少。因此，带锲形块内啮合齿轮泵适用于高压工作条件，即压力大于20MPa的工作场合。然而带锲形块内啮合齿轮泵制造工艺复杂，加工成本很高，并且对所用液体介质的清洁度要求很高，可靠性也较低，因此过高的成本限制了其应用范围，一般仅用于有高压和低噪声要求的液压系统。

不带锲形块内啮合齿轮泵的转子的轮齿数为N，内齿圈的轮齿数为N+1且同时参加啮合，从而转子与内齿圈之间形成N+1个容积腔。该类啮合称为一齿差啮合，一般来说，现有一齿差内啮合齿轮泵内齿圈的轮齿为圆弧齿形，转子的轮齿为圆弧共轭齿形。理论上讲，相邻容积腔互相由轮齿啮合封闭，容积腔容积各不相同，其大小随齿轮啮合运动而连续变化，但由于轮齿间的啮合接触为线接触，也就是说，各相邻容积腔之间的封闭为线封闭，所以现有不带锲形块内啮合齿轮泵阻止油液从高压容积腔到低压容积腔泄漏的能力比较差，故容积效率比较低。因此，不带锲形块内啮合齿轮泵过去仅应用于低中压工作场合，即工作压力一般不能大于15MPa，不过不带锲形块内啮合齿轮泵的优点在于加工成本较低、适用范围广，所以市场用量较大。

齿轮泵的内泄漏一般包括径向内泄漏和轴向内泄漏，径向内泄漏由齿轮副啮合的齿顶间隙引起的，轴向内泄漏则是由齿轮副与泵体内腔侧面之间的齿侧间隙引起的。由于啮合接触为线接触以及加工精度的限制，内啮合齿轮泵转子轮齿与内齿圈轮齿之间一般存在着微量的齿顶间隙，该微量间隙尽管可能只有0.025毫米，但却会产生足够多的径向内泄漏而直接影响泵在高压工作状况下的容积效率。再者，泵在工作了一段时间后都会发生轮齿磨损，这种磨损将进一步增大转子与内齿圈之间的齿顶间隙，从而增加齿顶处的径向泄漏，进一步降低泵的容积效率，减少泵的工作寿命。除了齿顶密封不严外，所有内啮合齿轮泵在齿侧也都存在从高压容积腔到低压容积腔的轴向内泄漏，其原因在于为了保证齿轮的自由转动和考虑到加工的工艺性，容纳齿轮副的壳体内腔的深度一般要比齿轮厚度大0.05毫米左右，因而装配后在齿轮副与泵体内腔侧面之间就形成了0.05毫米左右的齿侧间隙。然而轴向泄漏量和齿侧间隙量的三次方成正比，这看起来微不足道的间隙就会引起容积腔间的严重泄漏，从而导致齿轮泵容积效率的降低，一般情况下能够保持不产生轴向泄漏的合理的齿侧间隙量为0.01mm左右。

因此克服齿轮副径向及轴向间隙所导致的内泄漏过大问题始终是不带锲形块的内啮合齿轮泵提高容积效率的关键。上述在内啮合齿轮泵中所存在的技术缺陷，在相同结构的内啮合齿轮马达中也同样存在。

之前本申请人在中国专利申请《内啮合齿轮泵或马达》(申请号：200710042035.1)中提出了一种内泄漏小、容积效率高的内啮合齿轮泵或马达(结构示意图见图1)，其转子021具有由圆柱形滚针0211和滚针槽构成的外轮齿，该滚针0211容置于滚针槽内且能够自由转动和沿转子021径向作微量移动，其外侧部与内齿圈022的内轮齿相啮合，同时在内啮合齿轮副02的侧面还设置有能产生侧面变形的柔性侧板03，因而动态地消除了内啮合齿轮副02的齿顶及齿侧间隙，有效地阻止了内啮合齿轮泵或马达沿径向和轴向上的内泄漏，大大提高了其容积效率。

上述专利申请中，柔性侧板03的作用是消除内啮合齿轮副02的齿侧间隙，阻止泵沿轴向上的内泄漏：在泵运转的过程中，柔性侧板03受到液体介质的压力作用，产生朝向内啮合齿轮副02一侧的微量变形，因而缩小了内啮合齿轮副02与柔性侧板03之间的齿侧间隙，从而有效地阻止了泵在高压腔05与低压腔04之间发生的轴向泄漏。柔性侧板03的变形量与流体介质的压力有关，压力大则变形大。但该变形量若过大，则会导致柔性侧板03与内啮合齿轮副02直接接触，破坏应有的润滑油膜，当泵在高压下转动时，会引起柔性侧板03与内啮合齿轮副02在接触的密封面上发生无润滑摩擦而产生过多的热量，造成柔性侧板03和内啮合齿轮副02密封面的咬合并破损，即“烧盘”现象；而该变形量若过小，则齿侧间隙过大，从而不能有效抑制高压下的轴向泄漏。由此可知，柔性侧板03阻止轴向泄漏的作用是通过其本身的变形以改变齿侧间隙来实现的。在上述专利申请中，柔性侧板03是被销钉010贯穿定位并用螺栓013联接紧固于前壳体011和后壳体012之间的，因此其在液体介质的压力下所产生的变形是以中心部位变形量为最大的拱形变形，这样柔性侧板03与内啮合齿轮副02之间的齿侧间隙就是不均匀的，这对本来就很微小的齿侧间隙来说，其控制就变得愈发困难。因此柔性侧板03变形的不均匀就会导致齿侧间隙的不均匀，从而造成或者中心部位齿侧间隙消失而发生密封面的咬合破损、或者周边部位齿侧间隙过大而发生较大的轴向泄漏。

发明内容：

本发明所要解决的技术问题是克服内啮合齿轮泵或马达中固定柔性侧板依靠本身变形难以控制轴向泄漏的缺陷，提供一种能有效控制齿侧间隙、内泄漏小、容积效率高的高效内啮合齿轮泵或马达。

本发明解决其技术问题所采取的技术方案如下：

一种高效内啮合齿轮泵或马达，包括有一由内齿圈和转子构成的内啮合齿轮副、位于该内啮合齿轮副侧面的压力补偿侧板以及壳体，其特征在于：所述内啮合齿轮副和压力补偿侧板共同容置于该壳体中，该压力补偿侧板在内啮合齿轮副与壳体之间能够自由地沿轴向移动。

本发明所述的高效内啮合齿轮泵或马达的压力补偿侧板为具有中心孔的圆盘，其外圆柱面与所述壳体内孔相配置，其中心孔穿置于所述高效内啮合齿轮泵或马达的轴上，该中心孔与该外圆柱面轴线存在有一定的偏心距；在压力补偿侧板的远离内啮合齿轮副一侧的侧面上设置有两弹性密封圈，该两弹性密封圈内侧围封起来的压力补偿侧板的部分开设有分别与所述内啮合齿轮副高、低压容积腔相连通的通孔，在该弹性密封圈外侧还嵌压有挡圈；所述内齿圈具有圆弧共轭齿形的内轮齿，所述转子具有圆弧齿形的外轮齿，该外轮齿由圆柱形滚针和设置于转子体上的滚针槽构成，该滚针的内侧部容置于滚针槽内，其外侧部与内齿圈的内轮齿相啮合，所述滚针能够在滚针槽内自由转动且沿转子径向作微量移动。

与具有固定柔性侧板的内啮合齿轮泵或马达相比，本发明采用了沿内啮合齿轮泵或马达轴向可移动的浮动压力补偿侧板，其在液体介质的压力下会沿泵或马达的轴向平行移动，而不产生拱形变形，因此其与内啮合齿轮副之间的齿侧间隙是均匀的。当压力补偿侧板设有弹性密封圈的一侧的液压分离力大于其相邻内啮合齿轮副的一侧的液压分离力时，液体介质的压力就会对压力补偿侧板产生朝向内啮合齿轮副的净推力，即密封力。该密封力一方面与泵或马达的工作压力即液体介质的压力成正比，另一方面又与弹性密封圈的尺寸大小有关，弹性密封圈越大，则设有弹性密封圈一侧的液压分离力越大，即密封力就越大。而该密封力越大，压力补偿侧板与内啮合齿轮副之间的齿侧间隙就越小，反之反然，因此该齿侧间隙的大小取决于液体介质压力的大小和弹性密封圈尺寸的大小。因而只须调整弹性密封圈的尺寸和液体介质的压力大小就可控制齿侧间隙的大小，所以只要使压力补偿侧板嵌有弹性密封圈的一侧的液压分离力超出其相邻内啮合齿轮副的一侧的液压分离力的范围保持在10％至20％，这种情况下的密封力就能保证内啮合齿轮副与压力补偿侧板之间的齿侧间隙在贴紧的同时存在有厚度仅为0.01毫米左右的油膜，该油膜在泵或马达旋转时可带走热量，避免内啮合齿轮副与压力补偿侧板之间发生咬合破损，即“烧盘”现象。因此，浮动压力补偿侧板可有效地控制内啮合齿轮副与压力补偿侧板之间齿侧间隙的均匀性且达到理想的大小，从而均分由液体介质压力形成的密封力，减低压力补偿侧板与内啮合齿轮副之间密封表面的接触应力，有效地阻止泵或马达的轴向内泄漏。另外，本发明所述高效内啮合齿轮泵或马达还采取了浮动的滚针作为内啮合齿轮副中转子的轮齿，从而动态地消除了内啮合齿轮副的齿顶间隙，有效地阻止了径向内泄漏，同时将轮齿的啮合接触转化为滚动接触，减少了磨损。总之，本发明所述的高效内啮合齿轮泵或马达有效地控制了沿径向和轴向上的内泄漏，大大提高了容积效率，具有内泄漏小、容积效率高和使用寿命长的优点。

附图说明：

图1为现有内啮合齿轮泵的结构示意图。

图2为本发明的结构剖视图。

图3为图2的A-A剖视图。

图4为压力补偿侧板相邻内啮合齿轮副一侧的方向视图。

图5为图4的后视图。

图6为图5的局部剖视图。

图7为本发明另一实施例的压力补偿侧板示意图。

图8为图7的局部剖视图。

具体实施方式：

现结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。

请参阅图2本发明的结构剖视图，图示高效内啮合齿轮泵包括有壳体1、内啮合齿轮副2、压力补偿侧板3、前盖4和轴5。所述内啮合齿轮副2以及位于该内啮合齿轮副2侧面的压力补偿侧板3共同容置于壳体1的内孔中，并且均穿置于轴5上，该压力补偿侧板3在内啮合齿轮副2与壳体1之间能够自由地沿轴5的轴向移动；所述前盖4合置且固定于壳体1的内孔口处，并且将内啮合齿轮副2和压力补偿侧板3密封于由内孔形成的壳体1的内腔中，该前盖4具有与内啮合齿轮副2的低压容积腔24(见图3)相通的进油孔6，根据所述内啮合齿轮泵不同的结构设计，该进油孔6也可以设置于壳体1上而与本实施例不同；所述壳体1具有与内啮合齿轮副2的高压容积腔23(见图3)相通的出油孔7；所述轴5为高效内啮合齿轮泵的动力输入轴，其架设于壳体1和前盖4的轴孔上。

再请结合参阅图3。所述内啮合齿轮副2由一转子21和一内齿圈22构成。所述转子21具有圆弧齿形的外轮齿，该外轮齿由圆柱形滚针211和滚针槽212构成，该滚针槽212均匀地设置于转子体213的圆周上，其凹形的槽面为内圆弧形且与滚针211的外圆柱面相吻合，该滚针211的内侧部容置于滚针槽212之内，并且其能够在该滚针槽212内绕自身轴线作自由转动，滚针槽212对滚针211的外圆柱面所形成的包容角小于180°，因此滚针211还能够沿转子21的径向作微量移动；所述转子21穿置于轴5上且通过键与轴5连接，从而实现轴5带动转子21进行旋转。所述内齿圈22容纳于壳体1的内孔中，其外圆周与内孔的内壁形成间隙配合(滑动配合)，从而内齿圈22能够在壳体1内自由地进行定轴转动；该内齿圈22的内环面具有圆弧共轭齿形的内轮齿且与转子21的圆弧齿形的外轮齿，即滚针211相啮合。内齿圈22内轮齿的齿数比转子21外轮齿的齿数多一个，这意味着本实施例为一不带锲形块的内啮合齿轮泵，即一齿差内啮合齿轮泵，同时这也就决定了转子21的轴心与内齿圈22的轴心之间必然地存在有一定的偏心距e。当轴5带动内啮合齿轮副2依照图示方向(见图3中箭头所示)旋转时，转子21和内齿圈22相互作轮齿啮合运动同时以各自中心作定轴转动，在啮合运动过程中，由于容积腔随之发生的体积变化，在转子21与内齿圈22的轮齿之间形成了体积正在逐渐增大的低压容积腔24和体积正在逐渐缩小的高压容积腔23，该低压容积腔24与前盖4的进油孔6相连通，该高压容积腔23与壳体1的出油孔7相连通。

再请结合参阅图2、图4和图5，图示压力补偿侧板3设置于内啮合齿轮副2的侧面，位于该内啮合齿轮副2与壳体1内孔壁之间，该压力补偿侧板3和内啮合齿轮副2一起容置于壳体1的内孔中，并且浮动地穿置于轴5上，即其能够在液体介质的压力下自由地沿内啮合齿轮泵或马达的轴向作微量平行移动。该压力补偿侧板3为具有中心孔31的圆盘，其外圆柱面32与所述壳体1的内孔相配置形成间隙配合(滑动配合)，该中心孔31穿置于轴5上且其轴线与外圆柱面32的轴线存在有一定的偏心距e。在图示本实施例中，该压力补偿侧板3由薄钢板制成，数量为一片，本发明可根据不同的泵体结构设置不同数量的压力补偿侧板3以达到减少轴向泄漏的目的。再请结合参阅图2、图5和图6，所述压力补偿侧板3的一侧面紧贴着内啮合齿轮副2的侧面，其另一侧面紧贴着壳体1的内孔壁。在压力补偿侧板3紧贴壳体1内孔壁的侧面上，即远离内啮合齿轮副2一侧的侧面上设置有一弹性密封圈35，该弹性密封圈35内侧围封起来的压力补偿侧板3的部分开设有通孔33，该通孔33为高压通孔，其与内啮合齿轮副2的高压容积腔23和出油孔7相连通。在压力补偿侧板3的远离内啮合齿轮副一侧，即上述设有密封圈35的侧面上还可设置另一弹性密封圈35，该弹性密封圈35内侧围封起来的压力补偿侧板3的部分开设有通孔34，该通孔34为低压通孔，其与内啮合齿轮副2的低压容积腔24和进油孔6相连通。在进油孔6也设置于壳体1上的高效内啮合齿轮泵中，这种同时在压力补偿侧板3上开设高压通孔33和低压通孔34以及设置两弹性密封圈35的结构是必要的，因为来自进油孔6的液体介质必须通过低压通孔34进入低压容积腔24，而高压容积腔23内的液体介质也必须通过高压通孔33才能排出出油孔7。而对于除了进油孔6设置于壳体1上以外的各种高效内啮合齿轮泵来说，也可以不设置低压通孔34，但是至少设置高压通孔33是必需的。所述弹性密封圈35呈闭环状，一般使用工程橡胶制成，因为它除了弹性还有一定的硬度，可防止弹性密封圈35在高压下被挤入压力补偿侧板3和壳体1内孔壁之间的微小间隙中；该两弹性密封圈35用以保证液体介质的高压通路和低压通路的密封性以及在安装后压力补偿侧板3对内啮合齿轮副2有一定的压紧力。在本实施例中，两弹性密封圈35分别镶嵌于两通孔33和34的孔口周边。

图7和图8表示了本发明的另一实施例，该实施例的结构与图2所示实施例基本相同，区别只在于压力补偿侧板3。请参阅图7和图8，图示高效内啮合齿轮泵的压力补偿侧板3远离内啮合齿轮副2一侧的侧面上设置有两弹性密封圈35以及分别与内啮合齿轮副2高压容积腔23和低压容积腔24相连通的通孔33和34，两弹性密封圈35分别镶嵌于两通孔33和34的孔口周边。在该弹性密封圈35外侧还嵌压有挡圈36，该挡圈36位于弹性密封圈35的外周边，用于压紧弹性密封圈35和密封高、低压通路，其一般使用工程塑料，如聚四氟乙烯制造。

以下结合附图简述本发明的工作原理。所述高效内啮合齿轮泵的轴5沿顺时针方向旋转(见图3)，并带动转子21和内齿圈22各自作定轴转动且作相互的轮齿啮合运动，转子21与内齿圈22的轮齿之间形成了低压容积腔24和高压容积腔23。在所述高效内啮合齿轮泵运转的过程中，液体介质由进油孔6不断被吸入泵内(见图2)，经过体积正在逐渐增大的低压容积腔24，当转子21继续转动时，该低压容积腔24由于体积的变化而转化为高压容积腔23，该高压容积腔23内的液体介质从而变成为高压介质，然后通过压力补偿侧板3的高压通孔33由出油孔7排出泵外。在泵运转的过程中，当压力补偿侧板3设有弹性密封圈35的一侧的液压分离力大于其相邻内啮合齿轮副2的一侧的液压分离力时，液体介质的压力就会对压力补偿侧板3产生朝向内啮合齿轮副2的净推力，即密封力，该压力补偿侧板3就会沿高效内啮合齿轮泵的轴向向内啮合齿轮副2作微量平行移动，因而缩小了内啮合齿轮副2与压力补偿侧板3之间的齿侧间隙，从而有效地阻止了所述高效内啮合齿轮泵在低压容积腔24与高压容积腔23之间发生的轴向泄漏。由于密封力与弹性密封圈35的尺寸和泵的工作压力成正比，因此只要将弹性密封圈35的尺寸和液体介质的压力大小调整得当，就可控制好密封力，具体地说，就是使压力补偿侧板3设有弹性密封圈35一侧的液压分离力超出其相邻内啮合齿轮副2的另一侧的10％至20％，从而使齿侧间隙达到0.01毫米的理想状态，这样的齿侧间隙能保证内啮合齿轮副2与压力补偿侧板3之间在贴紧的同时存在有厚度仅为0.01毫米左右的油膜，该油膜在高效内啮合齿轮泵旋转时可带走热量。因此，浮动的压力补偿侧板3能够有效地控制齿侧间隙达到理想的大小，同时由于压力补偿侧板3是以平移的方式来调节齿侧间隙的大小，因此该齿侧间隙是均匀分布的，因而均化了密封力，大大降低了压力补偿侧板与内啮合齿轮副之间密封表面的接触应力，避免了内啮合齿轮副2与压力补偿侧板3之间密封面局部发生咬合破损，即“烧盘”的现象。总之，轴向浮动的压力补偿侧板3提高了控制齿侧间隙的水平，使之能更容易地达到合理的数值，从而有效地限制了轴向内泄漏。

另一方面在高效内啮合齿轮泵旋转过程中，转子21轮齿的滚针211由于离心力和液体介质压力的共同作用会向外微量脱离滚针槽212而紧紧地挤压在内齿圈22的轮齿表面和滚针槽212的槽口沿上，从而动态地消除了内啮合齿轮副2的齿顶间隙，有效地阻止了所述高效内啮合齿轮泵的径向内泄漏。

综上所述，本发明所述的高效内啮合齿轮泵有效地控制了沿径向和轴向上的内泄漏，大大提高了容积效率，具有内泄漏小、容积效率高和使用寿命长的优点。

如前所述，齿轮马达与齿轮泵的结构基本相同，只是使用方式和所起作用不同，这已是众所周知的公知技术，因此本说明书上文所述有关高效内啮合齿轮泵的内容也同样都适用于高效内啮合齿轮马达，也就是说，本发明申请以相同的技术方案及其技术特征、权利要求范围和说明内容同时涉及高效内啮合齿轮泵和高效内啮合齿轮马达。

总之，本发明所述高效内啮合齿轮泵或马达具有内泄漏小、容积效率高和使用寿命长的优点，而对于马达来讲，高的容积效率表明马达会有好的低速性能，在低速下(100转/分以下)不易产生不稳定的“间歇式”爬动现象。本发明不仅适用于低中压液压系统中，而且还可应用于有低噪音要求的高压液压系统中，尤其可广泛用于各种低油液粘度、高工作压力的液压系统中。

Claims (10)

1.一种高效内啮合齿轮泵，包括有一由内齿圈和转子构成的内啮合齿轮副、位于该内啮合齿轮副侧面的压力补偿侧板以及壳体，其特征在于：所述内啮合齿轮副和压力补偿侧板共同容置于该壳体中，该压力补偿侧板在内啮合齿轮副与壳体之间能够自由地沿轴向移动。

2.根据权利要求1所述的高效内啮合齿轮泵，其特征在于：所述压力补偿侧板为具有中心孔的圆盘，其外圆柱面与所述壳体内孔相配置，其中心孔穿置于所述高效内啮合齿轮泵的轴上，该中心孔与该外圆柱面轴线存在有一定的偏心距；在压力补偿侧板的远离内啮合齿轮副一侧的侧面上设置有一弹性密封圈，该弹性密封圈内侧围封起来的压力补偿侧板的部分开设有与所述内啮合齿轮副高压容积腔相连通的通孔。

3.根据权利要求2所述的高效内啮合齿轮泵，其特征在于：在压力补偿侧板的远离内啮合齿轮副一侧的侧面上还设置有另一弹性密封圈，该弹性密封圈内侧围封起来的压力补偿侧板的部分开设有与所述内啮合齿轮副低压容积腔相连通的通孔。

4.根据权利要求2或3所述的高效内啮合齿轮泵，其特征在于：在所述弹性密封圈外侧还嵌压有挡圈。

5.根据权利要求1、2或3所述的高效内啮合齿轮泵，其特征在于：所述内齿圈具有圆弧共轭齿形的内轮齿，所述转子具有圆弧齿形的外轮齿，该外轮齿由圆柱形滚针和设置于转子体上的滚针槽构成，该滚针的内侧部容置于滚针槽内，其外侧部与内齿圈的内轮齿相啮合，所述滚针能够在滚针槽内自由转动且沿转子径向作微量移动。

6.一种高效内啮合齿轮马达，包括有一由内齿圈和转子构成的内啮合齿轮副、位于该内啮合齿轮副侧面的压力补偿侧板以及壳体，其特征在于：所述内啮合齿轮副和压力补偿侧板共同容置于该壳体中，该压力补偿侧板在内啮合齿轮副与壳体之间能够自由地沿轴向移动。

7.根据权利要求6所述的高效内啮合齿轮马达，其特征在于：所述压力补偿侧板为具有中心孔的圆盘，其外圆柱面与所述壳体内孔相配置，其中心孔穿置于所述高效内啮合齿轮马达的轴上，该中心孔与该外圆柱面轴线存在有一定的偏心距；在压力补偿侧板的远离内啮合齿轮副一侧的侧面上设置有一弹性密封圈，该弹性密封圈内侧围封起来的压力补偿侧板的部分开设有与所述内啮合齿轮副高压容积腔相连通的通孔。

8.根据权利要求7所述的高效内啮合齿轮泵，其特征在于：在压力补偿侧板的远离内啮合齿轮副一侧的侧面上还设置有另一弹性密封圈，该弹性密封圈内侧围封起来的压力补偿侧板的部分开设有与所述内啮合齿轮副低压容积腔相连通的通孔。

9.根据权利要求7或8所述的高效内啮合齿轮泵，其特征在于：在所述弹性密封圈外侧还嵌压有挡圈。

10.根据权利要求6、7或8所述的高效内啮合齿轮泵，其特征在于：所述内齿圈具有圆弧共轭齿形的内轮齿，所述转子具有圆弧齿形的外轮齿，该外轮齿由圆柱形滚针和设置于转子体上的滚针槽构成，该滚针的内侧部容置于滚针槽内，其外侧部与内齿圈的内轮齿相啮合，所述滚针能够在滚针槽内自由转动且沿转子径向作微量移动。

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