CN101086527A - 一种探测入射激光方向的方法及信号探测装置 - Google Patents

一种探测入射激光方向的方法及信号探测装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101086527A
CN101086527A CN 200710069982 CN200710069982A CN101086527A CN 101086527 A CN101086527 A CN 101086527A CN 200710069982 CN200710069982 CN 200710069982 CN 200710069982 A CN200710069982 A CN 200710069982A CN 101086527 A CN101086527 A CN 101086527A
Authority
CN
China
Prior art keywords
centerdot
semi
detector
incident laser
reflecting lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN 200710069982
Other languages
English (en)
Other versions
CN101086527B (zh
Inventor
项震
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang University ZJU
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CN200710069982XA priority Critical patent/CN101086527B/zh
Publication of CN101086527A publication Critical patent/CN101086527A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101086527B publication Critical patent/CN101086527B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

本发明涉及一种探测入射激光方向的方法,以及该方法所用的信号探测装置。一种探测入射激光方向的方法,通过成像透镜(L1)汇聚入射激光,并通过半透半反镜((O1、O2),使入射激光沿z方向和x方向透过可变密度滤光片(F1、F2)在探测器(P1、P2)分别测定2个信号输出S1和S2;再测定透过半透半反镜(O2)后的入射光线在探测器(P3)测定信号输出S3;然后通过公式实现入射激光的角度判断。本发明另外还公开了一种探测入射激光方向的信号探测装置。本发明采用透镜成像的方式,减小了由于大气的影响造成的角度测量误差,同时也解决了现有技术中由于θi过大,造成测量值无法确认的技术缺陷。本发明的方法计算简便,具有识别快的优点。

Description

一种探测入射激光方向的方法及信号探测装置
                          技术领域
本发明涉及一种探测入射激光方向的方法,以及该方法所用的信号探测装置。
                          背景技术
现有探测入射激光方向的技术(如美国专利US5604695)利用通光模板+阵列传感器的方法(如图1、图2所示),以一维的方向激光传输方向为例,图中当激光10入射后,当入射角度θi变化时,落在组器件阵列8和7上的能量比例就会发生变化,如当θi=0时,组器件阵列8和7上的能量相等,当θi沿图中顺时针方向增大时,组器件阵列7更多部分被阴影挡住,而组器件阵列8受到光照的面积增加,在光束能量分布均匀的情况下,两者的能量比例和绝对光强度无关,只和激光入射方向相关。
推广到二维的入射角度测量,可以用图3示意的形式。图3中的A+C的信号和B+D的信号之比可以用作Y方向的入射角度测量,A+B和C+D的信号比可以用作X方向的入射角度判断。
但在实际应用中,上述的方案有两个较大问题:
1、此方法的应用前提是入射光束的分布均匀,但是如果激光进行远距离的传输后,由于大气的影响,会造成局部的明暗的快速变化,导致到达传感器表面的光强即使在θi=0的条件下,不同光敏单元上的能量是不同的,即造成角度测量误差。
2、此方法的探测的激光的入射角收到限制,如图2所示,如果θi过大,使得: tg ( θ i ) > W 2 / h ; 此时原有的能量比例的对应关系被破坏。
                          发明内容
为了解决上述的技术问题,本发明的一个目的是提供一种新的入射激光方向的探测方法,该方法采用透镜成像的方式,解决了上述的技术问题。
本发明的另外一个目的是提供上述的方法中专用的信号探测装置。
为了实现第一个目的,本发明采用了以下的技术方案:
一种探测入射激光方向的方法,其由通过成像透镜汇聚入射激光,并通过半透半反镜(O1、O2)反射,沿z方向和x方向分别汇聚在可变密度滤光片(F1、F2)上,光线透过可变密度滤光片(F1、F2)后,落在探测器(P1、P2)上,分别测定对应的2个信号输出S1和S2;再测定透过半透半反镜(O2)后的入射光线在探测器(P3)上的引起的信号输出S3;然后通过以下公式可以求出T(X)和T(Z)的取值,而T(X)和T(Z)的值和位置坐标X、Z是线性关系,可以得到X、Z坐标的取值,并计算得到对应的空间入射角度:
S1=S·R1·T(Z)·M1
S2=S·T1·R2·T(X)·M2
S3=S·T1·T2·M3
E 13 = S 1 / S 3 = S · R 1 · T ( Z ) · M 1 S · T 1 · T 2 · M 3 = R 1 · T ( Z ) · M 1 T 1 · T 2 · M 3
E 23 = S 2 / S 3 = S · T 1 · R 2 · T ( X ) · M 2 S · T 1 · T 2 · M 3 = T 1 · R 2 · T ( X ) · M 2 T 1 · T 2 · M 3
T ( Z ) = E 13 · T 1 · T 2 · M 3 R 1 · M 1
T ( X ) = E 13 · T 1 · T 2 · M 3 T 1 · R 2 · M 2
其中:半透半反镜(O1)的透过率为T1,反射率为R1;半透半反镜(O2)的透过率为T2,反射率为R2;入射信号的大小为S,三个探测器(P1、P2、P3)的灵敏度分别为M1、M2和M3;可变密度滤光片(F1、F2)的透过率为透过位置的函数,沿x和z方向的滤光片的透过率分别为x和z方向上位置的函数T(X)和T(Z);E13和E23表征了输出信号S1、S2分别和输出信号S3相比的结果。
上述的方法中E13和E23数值的大小和输入信号S的大小无关,而由T(X)和T(Y)决定,T(X)和T(Y)取决于光线汇聚点落在可变密度滤光片上的位置,在可变密度滤光片和镜头的相对位置固定的情况下,光线汇聚点的位置是由入射角度决定,由此可以实现入射激光的角度判断。上述的x方向和z方向可以任意选择,不限于垂直的状态。
为了实现上述的第二个目的,本发明采用了以下的技术方案:
一种探测入射激光方向的信号探测装置,包括至少2片依入射光线方向依次设置的半透半反镜(O1、O2)和至少1片用于汇聚入射激光的成像透镜(L1),2片半透半反镜(O1、O2)分别将入射光反射;在沿z方向和沿x方向分别设有透过率分别沿z方向和沿x方向变化的可变密度滤光片(F1、F2),可变密度滤光片(F1、F2)后部设有探测器(P1、P2),并在半透半反镜(O2)的透射光方向上设有探测器(P3)。
上述的成像透镜(L1)设置在入射光的方向,使入射光线进入半透半反镜前即开始汇聚,但是这种方案由于成像位置到成像透镜的距离短,因此不利于后续半透半反镜的布局。
作为优选,上述的成像透镜(L1)设置在半透半反镜(O1)的透射光方向上,并在半透半反镜(O1)的反射光方向上设有成像透镜(L2)。作为另优选,在探测器(P1、P2、P3)的入射光方向分别设有成像透镜(L1)。上述的2种方案中使成像透镜分布在反射光或透过半透半反镜后的入射光方向上,大大放宽了半透半反镜的位置限制,有利于零件的设置。
作为优选,上述的成像透镜为凸透镜。
作为优选,上述的紧贴探测器(P1、P2、P3)的可变密度滤光片(F1、F2)放置在成像透镜的焦点或附近。
作为优选,上述的探测器(P1、P2、P3)选用响应波长包括0.8微米到1.6微米范围的高速光电探测器。最优选的探测器(P1、P2、P3)为高速InGaAs探测器。
作为优选,上述的可变密度滤光片(F1、F2)为中性渐变密度片。
作为优选,上述的装置包括激光波长探测系统,波长探测系统包括在半透半反镜(O2)的透射光方向上设置的半反半透镜(O3),半反半透镜(O3)反射光方向设有探测器(P4)。
作为优选,上述的波长探测系统的探测器(P4)选用在0.8微米到1.6微米范围内,响应特性和探测器(P1、P2、P3)有明显差异的光电探测器。最优选的探测器(P4)选用Si探测器。
作为优选,上述的波长探测系统的探测器(P4)选用对波长为1.2~1.6微米的激光反应光谱的探测器。
为了实现绝对方向的测量,该装置还可以设有姿态感知系统,对探头的倾斜进行修正。
本发明采用透镜成像的方式,减小了由于大气的影响造成的角度测量误差,同时也解决了现有技术中由于θi过大,造成测量值无法确认的技术缺陷。本发明的方法计算简便,可测量的角度范围大,具有识别快的优点。本发明的信号探测装置则具有结构简单、实施成本低的特点。因此,本发明在探测激光光源的入射方向的领域具有广泛的用途。
                          附图说明
图1为现有技术中一维激光探测装置的结构示意图。
图2为图1中局部放大结构示意图;图1、图2中的附图标记6为通光窗口,附图标记4为不透明部分,附图标记8和附图标记7分别为组器件阵列,附图标记2为荫罩、附图标记12为(AR)镀膜玻璃窗口、附图标记14为中性密度过滤器,附图标记10为入射的激光光束。
图3为现有技术中二维的入射角度测量时的结构示意图。
图4为本发明实施例1的信号探测装置的结构示意图。
图5为本发明实施例2的信号探测装置的结构示意图。
图6为本发明实施例3的信号探测装置的结构示意图。
图7为本发明入射激光方向判断的原理简图。
图8为本发明入射激光波长判断的原理简图。
图9、图10为本发明入射激光波长判断的曲线图。
                        具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式做一个详细的说明。
实施例1
如图4所示的探测入射激光方向的信号探测装置,该装置包括2片依入射光线方向依次设置的半透半反镜O1、O2和1片设置在入射光线前方的凸透镜L1,凸透镜L1用于汇聚入射激光,2片半透半反镜O1、O2的设置可以将其反射的光分别沿z方向和沿x方向反射。在透过半透半反镜O2的透射光线方向上设有探测器P3。
沿z方向,半透半反镜O1的反射光方向上设有可变密度滤光片F1和探测器P1,沿x方向的半透半反镜O2的反射光方向上设有可变密度滤光片F2和探测器P2。可变密度滤光片和探测器紧贴设置。
上述的探测器P1、P2、P3为高速InGaAs探测器,可变密度滤光片F1、F2采用中性渐变密度片。探测器P1、P2、P3距入射光的光程相等,并且距凸透镜L1的光程为凸透镜L1的焦点距离。
实施例2
如图5所示的探测入射激光方向的信号探测装置,该装置包括激光波长探测系统,波长探测系统包括在透过半透半反镜O2后的透射光线方向上设置的半反半透镜O3,半反半透镜O3的反射光方向设有探测器P4。探测器P4选用Si探测器。
本实施例的其他技术特征如实施例1所述。
实施例3
如图6所示的探测入射激光方向的信号探测装置,该装置包括2片依入射光线方向依次设置的半透半反镜O1、O2。2片半透半反镜O1、O2的设置可以将其反射的光分别沿z方向和沿x方向反射。半透半反镜O1、O2之间设有凸透镜L1。透半反镜O2的透射光方向设有探测器P3。
沿z方向,在半透半反镜O1的反射光方向设有凸透镜L2,在凸透镜L2后方设有半透半反镜O3,半透半反镜O3的透射光方向设有可变密度滤光片F1和探测器P1,半透半反镜O3的反射光方向设有探测器P4。
沿x方向,在半透半反镜O2的反射光方向设有可变密度滤光片F2和探测器P2。
实施例4
如图4所示,入射激光经过半透半反镜O1,反射光线经过放置在像面(或焦平面上)沿z方向透过透过率渐变的可变密度滤光片F1后,入射到紧贴可变密度滤光片F1放置的探测器P1上;透过半透半反镜O1的透射光线入射到半透半反镜O2;从半透半反镜O2上反射的光线经过沿x方向透过透过率渐变的可变密度滤光片F2后,被探测器P2接收;从半透半反镜O2透射的光线入射到探测器P3上。
光线经过光学系统到达传感器P1、P2和P3的光程相等,都为距离L,则对应相应的入射空间角度为θ的光线,汇聚在传感器P1、P2和P3上时,和图像中心(或平行光轴的入射光线在传感器上的汇聚点)的偏移为ΔX、ΔZ,传感器P1、P2和P3上信号(分别对应信号输出S1、S2和S3)的比例关系和以下条件相关:
(1)半透半反镜O1、O2的反射、透射特性;
(2)ΔX、ΔZ位置上,可变密度滤光片F1、F2的透过率,滤光片F1的透过率是Z的函数,滤光片F2的透过率是X的函数。
现在假设:
(1)半透半反镜O1的透过率为T1,反射率为R1;
(2)半透半反镜O2的透过率为T2,反射率为R2;
(3)入射信号的大小为S,三个传感器的灵敏度分别为M1、M2和M3;
(4)可变密度滤光片的透过率为透过位置的函数,沿x和z方向的滤光片的透过率分别为x和z方向上位置的函数T(x)和T(z)。
可以得到:
S1=S·R1·T(Z)·M1
S2=S·T1·R2·T(X)·M2
S3=S·T1·T2·M3
E 13 = S 1 / S 3 = S · R 1 · T ( Z ) · M 1 S · T 1 · T 2 · M 3 = R 1 · T ( Z ) · M 1 T 1 · T 2 · M 3
E 23 = S 2 / S 3 = S · T 1 · R 2 · T ( X ) · M 2 S · T 1 · T 2 · M 3 = T 1 · R 2 · T ( X ) · M 2 T 1 · T 2 · M 3
E13和E23表征了探测器P1、P2的输出信号分别和探测P3的输出相比的结果。然后通过以下公式可以求出T(X)和T(Z)的取值:
T ( Z ) = E 13 · T 1 · T 2 · M 3 R 1 · M 1
T ( X ) = E 13 · T 1 · T 2 · M 3 T 1 · R 2 · M 2
而T(X)和T(Z)的值和位置坐标X、Z是线性关系,可以得到X、Z坐标的取值,并计算得到对应的空间入射角度。
判断原理如图7所示,入射激光通过凸透镜后在像面上的位置和入射角成比例关系,此时在像面上放置透过率线性变化的可变密度滤光片,则输出信号大小和像点的位置相关。通过比较输出信号比,既可以判断入射角的角度。对于任意光只需要判断三维空间的2个方向既可以确定入射激光的方向。因此,上述的x方向和z方向可以任意选择,不限于垂直的状态。
实施例5
如图5所示,探测器P3、P4具有两个不同光谱响应曲线,对不同波长的入射光,当入射光的能量相同时,两个探测器对应的响应度不同,而且比例是已知的;因此在光路中放置半透半反镜后,只需要确定两个探测器的短路电流比,即可确定入射波长。判断曲线如图9、图10所示。

Claims (12)

1.一种探测入射激光方向的方法,其特征在于通过成像透镜汇聚入射激光,并通过半透半反镜(O1、O2)反射,沿z方向和x方向分别汇聚在可变密度滤光片(F1、F2)上,光线透过可变密度滤光片(F1、F2)后,落在探测器(P1、P2)上,分别测定对应的2个信号输出S1和S2;再测定透过半透半反镜(O2)后的入射光线在探测器(P3)上的引起的信号输出S3;然后通过以下公式可以求出T(X)和T(Z)的取值,而T(X)和T(Z)的值和位置坐标X、Z是线性关系,可以得到X、Z坐标的取值,并计算得到对应的空间入射角度:
S1=S·R1·T(Z)·M1
S2=S·T1·R2·T(X)·M2
S3=S·T1·T2·M3
E 13 = S 1 / S 3 = S · R 1 · T ( Z ) · M 1 S · T 1 · T 2 · M 3 = R 1 · T ( Z ) · M 1 T 1 · T 2 · M 3
E 23 = S 2 / S 3 = S · T 1 · R 2 · T ( X ) · M 2 S · T 1 · T 2 · M 3 = T 1 · R 2 · T ( Z ) · M 2 T 1 · T 2 · M 3
T ( Z ) = E 13 · T 1 · T 2 · M 3 R 1 · M 1
T ( X ) = E 13 · T 1 · T 2 · M 3 T 1 · R 2 · M 2
其中:半透半反镜(O1)的透过率为T1,反射率为R1;半透半反镜(O2)的透过率为T2,反射率为R2;入射信号的大小为S,三个探测器(P1、P2、P3)的灵敏度分别为M1、M2和M3;可变密度滤光片(F1、F2)的透过率为透过位置的函数,沿x和z方向的滤光片的透过率分别为x和z方向上位置的函数T(X)和T(Z);E13和E23表征了输出信号S1、S2分别和输出信号S3相比的结果。
2.一种探测入射激光方向的信号探测装置,其特征在于包括至少2片依入射光线方向依次设置的半透半反镜(O1、O2)和至少1片用于汇聚入射激光的成像透镜,2片半透半反镜(O1、O2)分别将入射光反射;在沿z方向和沿x方向分别设有透过率分别沿z方向和沿x方向变化的可变密度滤光片(F1、F2),可变密度滤光片(F1、F2)后部设有探测器(P1、P2),并在半透半反镜(O2)的透射光方向上设有探测器(P3)。
3.根据权利要求2所述的一种探测入射激光方向的信号探测装置,其特征在于所述的成像透镜设置在入射光的方向。
4.根据权利要求2所述的一种探测入射激光方向的信号探测装置,其特征在于所述的成像透镜设置在半透半反镜(O1)的透射光方向上,并在半透半反镜(O1)的反射光方向上设有成像透镜。
5.根据权利要求2所述的一种探测入射激光方向的信号探测装置,其特征在于在探测器(P1、P2、P3)的入射光方向分别设有成像透镜。
6.根据权利要求2~5任意一项权利要求所述的一种探测入射激光方向的信号探测装置,其特征在于紧贴探测器(P1、P2)的可变密度滤光片(F1、F2)放置在成像透镜的焦点或附近。
7.根据权利要求2~5任意一项权利要求所述的一种探测入射激光方向的信号探测装置,其特征在于探测器(P1、P2、P3)选用响应波长包括0.8微米到1.6微米范围的高速光电探测器。
8.根据权利要求2~5任意一项权利要求所述的一种探测入射激光方向的信号探测装置,其特征在于探测器(P1、P2、P3)为高速InGaAs探测器。
9.根据权利要求2~5任意一项权利要求所述的一种探测入射激光方向的信号探测装置,其特征在于该装置包括激光波长探测系统,波长探测系统包括在半透半反镜(O2)的透射光方向上设置的半反半透镜(O3),半反半透镜(O3)反射光方向设有探测器(P4)。
10.根据权利要求9所述的一种探测入射激光方向的信号探测装置,其特征在于波长探测系统的探测器(P4)选用在0.8微米到1.6微米范围内,响应特性和探测器(P1、P2、P3)有明显差异的光电探测器。
11.根据权利要求9所述的一种探测入射激光方向的信号探测装置,其特征在于波长探测系统的探测器(P4)选用Si光电探测器。
12.根据权利要求2~5任意一项权利要求所述的一种探测入射激光方向的信号探测装置,其特征在于该装置设有姿态感知系统,对探头的倾斜进行修正。
CN200710069982XA 2007-07-11 2007-07-11 一种探测入射激光方向的方法及信号探测装置 Expired - Fee Related CN101086527B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200710069982XA CN101086527B (zh) 2007-07-11 2007-07-11 一种探测入射激光方向的方法及信号探测装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200710069982XA CN101086527B (zh) 2007-07-11 2007-07-11 一种探测入射激光方向的方法及信号探测装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101086527A true CN101086527A (zh) 2007-12-12
CN101086527B CN101086527B (zh) 2010-08-25

Family

ID=38937588

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200710069982XA Expired - Fee Related CN101086527B (zh) 2007-07-11 2007-07-11 一种探测入射激光方向的方法及信号探测装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101086527B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105004322A (zh) * 2015-08-28 2015-10-28 江苏北方湖光光电有限公司 一种单摄像机获取空间姿态的光路
CN109374552A (zh) * 2018-11-23 2019-02-22 国家海洋局第二海洋研究所 一种基于分段光路的水体吸收系数测量装置
CN114365019A (zh) * 2020-07-22 2022-04-15 深圳市汇顶科技股份有限公司 深度信息图像采集装置和电子设备

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5604695A (en) * 1995-06-05 1997-02-18 Her Majesty The Queen, As Represented By The Minister Of National Defence Of Her Majesty's Canadian Government Analog high resolution laser irradiation detector (HARLID)
CN1281972C (zh) * 2004-03-31 2006-10-25 天津大学 同时多点激光多普勒测速方法
KR100605211B1 (ko) * 2004-04-07 2006-07-31 엘지이노텍 주식회사 형광체 및 이를 이용한 백색 발광다이오드
CN100356193C (zh) * 2005-09-22 2007-12-19 哈尔滨工程大学 受激布里渊散射激光雷达水下隐身物体探测系统及方法
CN1967285A (zh) * 2006-09-14 2007-05-23 中国科学院安徽光学精密机械研究所 激光雷达透射式共焦距收发光学系统
CN1967284A (zh) * 2006-09-14 2007-05-23 中国科学院安徽光学精密机械研究所 激光雷达透射式双焦距收发光学系统

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105004322A (zh) * 2015-08-28 2015-10-28 江苏北方湖光光电有限公司 一种单摄像机获取空间姿态的光路
CN109374552A (zh) * 2018-11-23 2019-02-22 国家海洋局第二海洋研究所 一种基于分段光路的水体吸收系数测量装置
CN109374552B (zh) * 2018-11-23 2020-06-05 国家海洋局第二海洋研究所 一种基于分段光路的水体吸收系数测量装置
CN114365019A (zh) * 2020-07-22 2022-04-15 深圳市汇顶科技股份有限公司 深度信息图像采集装置和电子设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN101086527B (zh) 2010-08-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100660952B1 (ko) 레이저 스캐너 측정 시스템
US4218144A (en) Measuring instruments
KR101360252B1 (ko) 반사형 광학센서 및 측정면의 표면조도 검출방법
CN101210806B (zh) 基于辅助光源的激光发射轴与机械基准面法线沿方位轴方向角度偏差及俯仰角度偏差的测量方法
CN111721235B (zh) 一种光电式边缘检测系统及其检测方法
CN101852676B (zh) 多焦全息差动共焦超长焦距测量方法与装置
CN106152951A (zh) 一种测量非透明薄膜厚度分布的双面干涉装置和方法
CN101609250A (zh) 相机摆镜摆角扫描特性测试装置
CN107421966A (zh) 用于检测透明物中的缺陷的方法和设备
CN104764798A (zh) 一种可视化漏磁检测装置
CN109425619A (zh) 光学测量系统及方法
CN101086527B (zh) 一种探测入射激光方向的方法及信号探测装置
CN108594258B (zh) 基于多普勒效应的修正式测速传感器及其标定与测量方法
CN109443219A (zh) 带有折射镜的新型位移传感器及其测量方法
US3688235A (en) Apparatus for detecting the angular deflection imparted to a beam passing through a transparent sheet
CN109343075A (zh) 用于分辨水下目标的激光偏振探测系统
CN100437023C (zh) 测量透明样品厚度的方法和装置
US7880902B2 (en) Contactless optical probe and device and method making use thereof
US9952150B2 (en) Device for measuring the scattering of a sample
KR20210088631A (ko) 적어도 하나의 물체의 포지션을 결정하기 위한 검출기 및 방법
US6404489B1 (en) Inclusion detection
CN112540083B (zh) 检测系统及基于检测系统的检测方法
CN102589685A (zh) 一种光场相位分布检测系统及检测方法
CN105698698B (zh) 一种单透镜型检测晶片基底二维形貌和温度的装置
CN109141257A (zh) 带有折射镜的可提高放大倍数的位移传感器及其测量方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: ZHEJIANG UNIVERSITY

Free format text: FORMER OWNER: XIANG ZHEN

Effective date: 20100330

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
C53 Correction of patent for invention or patent application
CB03 Change of inventor or designer information

Inventor after: Xiang Zhen

Inventor after: Liu Chong

Inventor after: Ge Jianhong

Inventor before: Xiang Zhen

COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 310013 601, BUILDING 46, QIUSHI VILLAGE, HANGZHOU CITY, ZHEJIANG PROVINCE TO: 310027 NO.38, ZHEDA ROAD, HANGZHOU CITY, ZHEJIANG PROVINCE

Free format text: CORRECT: INVENTOR; FROM: XIANG ZHEN TO: XIANG ZHEN LIU CHONG GE JIANJIANG

TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20100330

Address after: 310027 Hangzhou, Zhejiang Province, Zhejiang Road, No. 38

Applicant after: Zhejiang University

Address before: 310013, Qiushi village, Hangzhou, Zhejiang 46, 601

Applicant before: Xiang Zhen

C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20100825

Termination date: 20140711

EXPY Termination of patent right or utility model