CN100464392C - 带有屏蔽电极结构的场致发射平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种带有屏蔽电极结构的场致发射平板显示器及其制作工艺，包括由阴极面板、阳极面板和四周玻璃围框构成的密封真空腔，在阴极面板上有印刷的碳纳米管阴极，用于控制碳纳米管阴极电子发射的控制栅极，支撑墙结构，在阳极面板上有光刻的锡铟氧化物薄膜层以及制备在锡铟氧化物薄膜层上面的荧光粉层，在显示器内部真空腔中设置有用于屏蔽二次电子发射的屏蔽电极结构，具有可进一步提高器件制作的成功率，提高器件的显示寿命和显示质量，制作过程稳定可靠，结构简单，制作成功率高的优点。

Description

带有屏蔽电极结构的场致发射平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于真空科学与技术领域、纳米科学技术领域以及平面显示技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及到带有屏蔽电极结构的、碳纳米管阴极的场致发射平面显示器件的制作工艺。

背景技术

平板显示器件已经渗透到当今民用和军用的各个领域。随着信息技术的发展，对显示技术和显示器件提出了越来越高的要求。碳纳米管具有小的尖端曲率半径，以及高的纵横比率，是一种较为理想的阴极制作材料。在利用碳纳米管作为阴极材料的场致发射平板显示器件当中，由于支撑墙结构的存在，不可避免的影响着显示器件的电势分布和电场强度分布。由于从碳纳米管阴极发射的电子并不都是垂直于阳极面板方向的，而是存在着各个方向的发射角度，这样就有一部分的电子要飞向支撑墙结构，并打在支撑墙结构，引起二次电子发射，这对于进一步提高平板器件的显示质量是非常不利的。在严重的情况下，还容易引起整体器件的烧毁现象的出现。因此，在平板碳纳米管场致发射显示器件当中，如何控制二次电子发射是必须解决的一个现实问题。

在阳极面板的制作过程中，由于并不是在阳极面板的所有面积上都制备了荧光粉层，而从碳纳米管阴极发射的电子，以极高的能量向阳极面板高速运动，轰击荧光粉层而发出可见光。但是，如果该电子轰击在荧光粉层以外的区域，就会被阳极面板迅速的反弹回来，散射在真空腔当中，或者反弹在控制栅极上面的绝缘层上，引起该处的二次电子发射。这也是研究人员需要解决的一个现实问题。

此外，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点而提供一种成本低廉的、制作过程稳定可靠的、结构简单的、制作成功率高的、带有屏蔽电极结构的平板显示器件及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的：包括由阴极面板、阳极面板和四周玻璃围框构成的密封真空腔，在阴极面板上有印刷的碳纳米管阴极，用于控制碳纳米管阴极电子发射的控制栅极，支撑墙结构，在阳极面板上有光刻的锡铟氧化物薄膜层以及制备在锡铟氧化物薄膜层上面的荧光粉层，在显示器内部真空腔中设置有用于屏蔽二次电子发射的屏蔽电极结构，进一步提高器件制作的成功率，提高了器件的显示寿命和显示质量。所述屏蔽电极结构包括基底材料、设置在基底材料上的阴极导电条、设置在阴极导电条上的绝缘隔离层、设置在绝缘隔离层上的控制栅极导电条、设置在控制栅极导电条和绝缘隔离层上的绝缘覆盖层、设置在绝缘覆盖层上的屏蔽电极，在绝缘隔离层上预留有电子通道孔，在控制栅极导电条上也预留有相应的电子通道孔，并且该电子通道孔和绝缘隔离层上的电子通道孔是一致的，在显示区域的边缘处，制作出控制栅极导电条的外接引线，绝缘覆盖层覆盖住显示区域的整体控制栅极导电条和绝缘隔离层，设置在绝缘覆盖层上的屏蔽电极分为两部分，其中一部分位于相邻控制栅极条之间的位置，另一部分位于控制栅极结构和支撑墙结构相连接的位置。

本发明中的屏蔽电极结构的固定位置为安装固定在栅极结构上；本发明中的屏蔽电极结构位于阳极面板和控制栅极结构之间的位置；本发明中的屏蔽电极结构的基底材料为大型、具有相当良好的耐热性和可操作性，能够独立制作的、成本低廉的高性能绝缘材料；本发明中的屏蔽电极结构的基底材料为玻璃，如纳钙玻璃，硼硅玻璃；本发明中的屏蔽电极结构中的电极是采用导电条来制作的；本发明中的屏蔽电极结构中的电极既可以采用银浆条来制作，也可以采用蒸镀铜、铝、金、镍、铬导电物质来制作；本发明中的屏蔽电极结构中的银浆条可以采用丝网印刷工艺来完成；本发明中的屏蔽电极结构的屏蔽电极和控制栅极条之间需要用绝缘物质隔离开来；本发明中的屏蔽电极结构中的屏蔽电极和控制栅极条之间的绝缘物质可以为绝缘浆料层、聚酰亚胺绝缘层；本发明中的屏蔽电极结构的电极是浮空的，即不施加任何电压；本发明中的屏蔽电极结构中的电极分为两部分，一部分位于相邻控制栅极之间的位置，另一部分位于控制栅极结构和支撑墙结构相连接的位置.

本发明中的屏蔽电极结构包括基底材料玻璃、阴极导电条、绝缘隔离层、控制栅极导电条、绝缘覆盖层、电子通道孔、屏蔽电极，并采用如下的工艺进行制作：

1)基底材料玻璃的制作：

对整体玻璃进行裁剪，制作出基底材料玻璃；

2)阴极导电条的制作：

在基底材料玻璃上蒸镀上一层锡铟氧化物层；利用常规的光刻工艺对锡铟氧化物层进行刻蚀，制作出阴极导电条；

3)绝缘隔离层的制作：

结合丝网印刷工艺，在基底材料玻璃上印刷绝缘浆料，形成绝缘隔离层；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：590℃，保持时间：10分钟)；绝缘隔离层要覆盖住基底材料玻璃和阴极导电条；绝缘隔离层上要预留出电子通道孔；

4)控制栅极导电条的制作：

利用镀膜机，在绝缘隔离层上进行蒸镀金属镍；结合常规的光刻工艺，对蒸镀的镍膜进行刻蚀，制作出控制栅极导电条；在控制栅极导电条上也要预留出相应的电子通道孔，并且该电子通道孔和绝缘隔离层上的电子通道孔是一致的；在显示区域的边缘处，制作出控制栅极导电条的外接引线；

5)绝缘覆盖层的制作：

结合丝网印刷工艺，在控制栅极导电条和绝缘隔离层上印刷绝缘浆料，形成绝缘覆盖层；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：590℃，保持时间：10分钟)；要求绝缘覆盖层要覆盖住显示区域的整体控制栅极导电条和绝缘隔离层；

6)屏蔽电极的制作：

利用镀膜机，在绝缘覆盖层上进行蒸镀镍金属层，用来制作屏蔽电极；结合常规的光刻工艺，对蒸镀的镍金属层进行刻蚀，形成屏蔽电极；要求屏蔽电极分为两部分，其中一部分位于相邻控制栅极条之间的位置，另一部分位于控制栅极结构和支撑墙结构相连接的位置；屏蔽电极是浮空的，不施加任何电压；

7)屏蔽电极结构表面的清洁处理：需要对屏蔽电极结构的表面进行清洁处理，除掉灰尘和杂质。

本发明中的带有屏蔽电极结构的碳纳米管阴极场致发射平板显示器主要由阳极面板结构、阴极面板结构、屏蔽电极结构、控制栅极及其附属消气剂元件构成。

本发明中的带有屏蔽电极结构的碳纳米管阴极场致发射平板显示器的制作工艺如下：

1、阴极板的制作：

1)碳纳米管阴极的印刷

结合丝网印刷工艺，将碳纳米管印刷在衬底材料玻璃的屏蔽电极结构中的电子通道孔中的阴极导电条上，形成用于发射电子的碳纳米管阴极；

2)碳纳米管阴极的后处理

对印刷后的碳纳米管阴极进行后处理，以改善碳纳米管的场致发射特性。

2、阳极面板的制作：

1)清洁阳极平板玻璃，除掉表面杂质；

2)在阳极平板玻璃上蒸镀一层锡铟氧化物薄膜；

3)对锡铟氧化物薄膜进行光刻，形成阳极导电条；

4)结合丝网印刷工艺，在导电条的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)；

5)结合丝网印刷工艺，在导电条上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)；

3、器件装配：将阴极面板、阳极面板、控制栅极以及玻璃围框、支撑墙结构装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定。

4、成品制作：对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行高温烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下积极效果：

本发明中的屏蔽电极结构制作结构简单，制作工艺可靠稳定，具有诸多优越之处。一、本发明中的屏蔽电极结构和控制栅极结构集成化到一起，这有利于器件的高度集成化发展，也有利于进行大规模的商业化生产；二、本发明中的屏蔽电极结构中的一部分电极位于相邻控制栅极之间的位置，这对于器件制作方面而言，极大地提升了器件制作的成功率。众所周知，由于控制栅极和屏蔽电极之间需要用绝缘材料相互隔离开来，而控制栅极上又要施加很高的工作电压，这就要求控制栅极和屏蔽电极之间的绝缘材料的绝缘程度要很高，对绝缘材料的质量提出了更高的要求，无形中也增加了总体器件的制作成本。在本发明中的屏蔽电极结构中，其中一部分电极位于相邻控制栅极之间的位置，有利的增加了控制栅极和屏蔽电极之间的距离，也就增加了器件制作的成功率；三、此外，由于该部分屏蔽电极位于控制栅极和阳极之间的位置，并且该部分屏蔽电极上没有施加任何的工作电压，这在防止整体器件出现栅极失控现象出现方面有预防作用；四、该屏蔽电极的另一部分位于支撑墙结构和控制栅极结构相连接的位置，这对于防止支撑墙结构的二次电子发射起着不可替代的作用。从碳纳米管阴极发射的多余电子，在向支撑墙结构运动的过程中，由于屏蔽电极的存在，就被该部分电极所吸收，减少了多余电子轰击支撑墙结构的可能性；即使有部分电子越过屏蔽电极而轰击到支撑墙结构上，那么反弹回来的电子也会被该部分屏蔽电极吸收，而不会对整体显示器件造成不利影响；五、本发明中的屏蔽电极结构对于阳极面板的二次电子发射也有一定的阻滞作用。在阳极面板的制作过程中，由于并不是在阳极面板的所有面积上都制备了荧光粉层，而从碳纳米管阴极发射的电子，以极高的能量向阳极面板高速运动，轰击荧光粉层而发出可见光。但是，如果该电子轰击在荧光粉层以外的区域，就会被阳极面板迅速的反弹回来，散射在真空腔当中。由于有屏蔽电极的存在，该部分散设电子会迅速的被屏蔽电极所吸收，减少了器件损坏的可能性。

另一方面，在屏蔽电极结构的制作过程中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了屏蔽电极结构的纵向结构示意图。

图2给出了屏蔽电极结构的横向结构示意图。

图3中给出了一个带有屏蔽电极结构的的碳纳米管阴极场致发射平面显示器的实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于这些实施例。

本发明包括由阴极面板1、阳极面板9和四周玻璃围框13构成的密封真空腔、在阴极面板1上有印刷的碳纳米管阴极8、用于控制碳纳米管阴极8电子发射的控制栅极4、支撑墙结构15、在阳极面板9上有光刻的锡铟氧化物薄膜层10以及制备在锡铟氧化物薄膜层10上面的荧光粉12层，其特征在于：在显示器内部真空腔中设置有用于屏蔽二次电子发射的屏蔽电极结构7。

所述屏蔽电极结构7包括基底材料1、设置在基底材料上的阴极导电条2、设置在阴极导电条2上的绝缘隔离层3、设置在绝缘隔离层上的控制栅极导电条4、设置在控制栅极导电条和绝缘隔离层上的绝缘覆盖层5、设置在绝缘覆盖层上的屏蔽电极7，在绝缘隔离层3上预留有电子通道孔6，在控制栅极导电条4上也预留有相应的电子通道孔，并且该电子通道孔6和绝缘隔离层上的电子通道孔6是一致的，在显示区域的边缘处，制作出控制栅极导电条的外接引线，绝缘覆盖层5覆盖住显示区域的整体控制栅极导电条4和绝缘隔离层3，设置在绝缘覆盖层上的屏蔽电极7分为两部分，其中一部分位于相邻控制栅极条之间的位置，另一部分位于控制栅极结构和支撑墙结构相连接的位置。

所述屏蔽电极结构的固定位置为安装固定在栅极结构上，屏蔽电极结构位于阳极面板和控制栅极结构之间的位置。

所述屏蔽电极结构的基底材料为玻璃，如纳钙玻璃，硼硅玻璃；屏蔽电极结构中的电极是采用导电条来制作的；屏蔽电极结构中的电极既可以采用银浆条来制作，也可以采用蒸镀铜、铝、金、镍、铬导电物质来制作；屏蔽电极结构的屏蔽电极和控制栅极条之间需要用绝缘物质隔离开来；屏蔽电极和控制栅极条之间的绝缘物质可以为绝缘浆料层、聚酰亚胺绝缘层。

所述屏蔽电极结构的电极是浮空的，即不施加任何电压。

屏蔽电极结构包括基底材料玻璃1、阴极导电条2、绝缘隔离层3、控制栅极导电条4、绝缘覆盖层5、电子通道孔6、屏蔽电极7，并采用如下的工艺进行制作：

1)基底材料玻璃1的制作：

对整体玻璃进行裁剪，制作出基底材料玻璃1；

2)阴极导电条2的制作：

在基底材料玻璃1上蒸镀上一层锡铟氧化物层；利用常规的光刻工艺对锡铟氧化物层进行刻蚀，制作出阴极导电条2；

3)绝缘隔离层3的制作：

结合丝网印刷工艺，在基底材料玻璃1上印刷绝缘浆料，形成绝缘隔离层3；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：590℃，保持时间：10分钟)；绝缘隔离层要覆盖住基底材料玻璃1和阴极导电条2；绝缘隔离层上要预留出电子通道孔6；

4)控制栅极导电条4的制作：

利用镀膜机，在绝缘隔离层3上进行蒸镀金属镍；结合常规的光刻工艺，对蒸镀的镍膜进行刻蚀，制作出控制栅极导电条4；在控制栅极导电条4上也要预留出相应的电子通道孔，并且该电子通道孔和绝缘隔离层上的电子通道孔是一致的；在显示区域的边缘处，制作出控制栅极导电条的外接引线；

5)绝缘覆盖层5的制作：

结合丝网印刷工艺，在控制栅极导电条4和绝缘隔离层3上印刷绝缘浆料，形成绝缘覆盖层5；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：10分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：590℃，保持时间：10分钟)；要求绝缘覆盖层5要覆盖住显示区域的整体控制栅极导电条4和绝缘隔离层3；

6)屏蔽电极[7]的制作：

利用镀膜机，在绝缘覆盖层5上进行蒸镀镍金属层，用来制作屏蔽电极；结合常规的光刻工艺，对蒸镀的镍金属层进行刻蚀，形成屏蔽电极7；要求屏蔽电极分为两部分，其中一部分位于相邻控制栅极条之间的位置，另一部分位于控制栅极结构和支撑墙结构相连接的位置；屏蔽电极是浮空的，不施加任何电压；

7)屏蔽电极结构表面的清洁处理：需要对屏蔽电极结构的表面进行清洁处理，除掉灰尘和杂质。

本发明中的带有屏蔽电极结构的碳纳米管阴极场致发射平板显示器由阳极面板结构、阴极面板结构、屏蔽电极结构、控制栅极及其附属消气剂元件构成。

本发明的带有屏蔽电极结构的场致发射平板显示器的制作工艺如下：

1、阴极板的制作：

1)碳纳米管阴极8的印刷：结合丝网印刷工艺，将碳纳米管8印刷在衬底材料玻璃1的屏蔽电极结构中的电子通道孔6中的阴极导电条2上，形成用于发射电子的碳纳米管8阴极；

2)碳纳米管8阴极的后处理：对印刷后的碳纳米管8阴极进行后处理，以改善碳纳米管的场致发射特性。

2、阳极面板的制作：

1)清洁阳极平板玻璃9，除掉表面杂质；

2)在阳极平板玻璃9上蒸镀一层锡铟氧化物薄膜；

3)对锡铟氧化物薄膜进行光刻，形成阳极导电条10；

4)结合丝网印刷工艺，在导电条的非显示区域印刷绝缘浆料11层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)；

5)结合丝网印刷工艺，在导电条上面的显示区域印刷荧光粉层12；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)；

3、器件装配：将阴极面板、阳极面板、控制栅极以及玻璃围框13装配到一起，并将消气剂14放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定。

4、成品制作

对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行高温烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (4)

1.一种带有屏蔽电极结构的场致发射平板显示器，包括由阴极面板[1]、阳极面板[9]和四周玻璃围框[13]构成的密封真空腔、设置在阴极面板[1]上的印刷的碳纳米管阴极[8]、用于控制碳纳米管阴极[8]电子发射的控制栅极[4]、支撑墙结构[15]、在阳极面板[9]上有光刻的阳极导电条[10]以及制备在阳极导电条[10]上面的荧光粉层[12]，其特征在于：

在显示器内部真空腔中设有用于屏蔽二次电子发射的屏蔽电极结构；

所述屏蔽电极结构包括阴极面板[1]、设置在阴极面板上的阴极导电条[2]、设置在阴极导电条[2]上的绝缘隔离层[3]、设置在绝缘隔离层上的控制栅极[4]、设置在所述控制栅极和绝缘隔离层上的绝缘覆盖层[5]、设置在绝缘覆盖层上的屏蔽电极[7]，在绝缘隔离层[3]上预留有电子通道孔[6]，在所述控制栅极[4]上也预留有相应的电子通道孔，并且该电子通道孔[6]和绝缘隔离层上的电子通道孔[6]是一致的，在显示区域的边缘处，制作出控制栅极的外接引线，绝缘覆盖层[5]覆盖住显示区域的整体所述控制栅极[4]和绝缘隔离层[3]，设置在绝缘覆盖层上的屏蔽电极[7]分为两部分，其中一部分位于相邻所述控制栅极之间的位置，另一部分位于所述控制栅极和支撑墙结构相连接的位置；

所述屏蔽电极结构的电极是浮空的，即不施加任何电压。

2.如权利要求1所述的带有屏蔽电极结构的场致发射平板显示器，其特征在于：所述屏蔽电极结构中的屏蔽电极的固定位置为安装固定在绝缘覆盖层上。

3.如权利要求1所述的带有屏蔽电极结构的场致发射平板显示器，其特征在于：所述屏蔽电极结构的阴极面板为钠钙玻璃或硼硅玻璃；屏蔽电极结构中的电极是采用导电条来制作的，为银浆条制作或采用蒸镀铜、铝、金、镍、铬导电物质之一制作；屏蔽电极结构的屏蔽电极和控制栅极之间用绝缘覆盖层隔离开来，绝缘覆盖层为绝缘浆料制作或采用聚酰亚胺制作。

4.一种带有屏蔽电极结构的场致发射平板显示器的制作工艺，其特征在于：其制作工艺如下：

a、屏蔽电极结构采用如下的工艺进行制作：

1)阴极面板[1]的制作：对整体玻璃进行裁剪，制作出阴极面板[1]；

2)阴极导电条[2]的制作：在阴极面板[1]上蒸镀上一层锡铟氧化物层；利用常规的光刻工艺对锡铟氧化物层进行刻蚀，制作出阴极导电条[2]；

3)绝缘隔离层[3]的制作：结合丝网印刷工艺，在阴极面板[1]上印刷绝缘浆料，形成绝缘隔离层[3]；经过烘烤，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结；绝缘隔离层要覆盖住阴极面板[1]和阴极导电条[2]；绝缘隔离层上要预留出电子通道孔[6]；

4)控制栅极[4]的制作：利用镀膜机，在绝缘隔离层[3]上进行蒸镀金属镍；结合常规的光刻工艺，对蒸镀的镍膜进行刻蚀，制作出控制栅极[4]；在控制栅极[4]上也要预留出相应的电子通道孔，并且该电子通道孔和绝缘隔离层上的电子通道孔是一致的；在显示区域的边缘处，制作出控制栅极的外接引线；

5)绝缘覆盖层[5]的制作：结合丝网印刷工艺，在控制栅极[4]和绝缘隔离层[3]上印刷绝缘浆料，形成绝缘覆盖层[5]；经过烘烤，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结；要求绝缘覆盖层[5]要覆盖住显示区域的整体控制栅极[4]和绝缘隔离层[3]；

6)屏蔽电极[7]的制作：利用镀膜机，在绝缘覆盖层[5]上进行蒸镀镍金属层，用来制作屏蔽电极；结合常规的光刻工艺，对蒸镀的镍金属层进行刻蚀，形成屏蔽电极[7]；要求屏蔽电极分为两部分，其中一部分位于控制栅极之间的位置，另一部分位于控制栅极和支撑墙结构相连接的位置；屏蔽电极是浮空的，不施加任何电压；

7)屏蔽电极结构表面的清洁处理：需要对屏蔽电极结构的表面进行清洁处理，除掉灰尘和杂质。

8)碳纳米管[8]阴极的印刷：结合丝网印刷工艺，将碳纳米管[8]印刷在阴极面板[1]的屏蔽电极结构中的电子通道孔[6]中的阴极导电条[2]上，形成用于发射电子的碳纳米管[8]阴极；

9)碳纳米管[8]阴极的后处理：对印刷后碳纳米管[8]阴极进行后处理，以改善碳纳米管场致发射特性；

b、阳极面板的制作：

1)清洁阳极面板[9]，除掉表面杂质；

2)在阳极面板[9]上蒸镀一层锡铟氧化物薄膜；

3)对锡铟氧化物薄膜进行光刻，形成阳极导电条[10]；

4)结合丝网印刷工艺，在导电条的非显示区域印刷绝缘浆料[11]层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结；

5)结合丝网印刷工艺，在导电条上面的显示区域印刷荧光粉[12]层；在烘箱当中进行烘烤；

c、器件装配：将阴极面板、阳极面板以及玻璃围框[13]装配到一起，并将消气剂[14]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定，在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定，

d、成品制作：对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行高温烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Images