CN100350293C - 光学器件 - Google Patents

Abstract

形成在基底上的光学器件包括：多个形成在基底顶面的光纤通道；反射镜，在配置在光纤通道中的光纤之间的光路中推进和拉出；可移动杆，一端支撑反射镜；梳形静电激励器，在可移动杆的中间部分的位置，在可移动杆长度方向上移动可移动杆；多个支撑梁，在可移动杆的驱动力施加点的两侧上的两端附近，可移动支承可移动杆，驱动力由梳形静电激励器产生。支撑梁在关于平行于可移动杆长度方向的中心线成线对称的位置上支持可移动杆，由多个支撑梁支承可移动杆的点关于由梳形静电激励器产生的驱动力的施加点对称。即使由梳形静电激励器产生的驱动力包括不同的矢量分量，可抑制可移动杆在驱动可移动杆的所需方向外的方向上的移动。

Description

光学器件

技术领域

本发明涉及一种光学器件，其包括反射镜，支撑梁，激励器以及通过基底上的半导体各向异性蚀刻等形成的光波导，并且在该器件中，反射镜在波导之间的光路中推进和拉出，以切换光路或控制耦合到各入射端口的光量。

背景技术

图1示出了MEMS(微机电系统)常规光开关的结构，其作为这种光学器件的现有技术的一个例子，在国际公开号WO 01/11411 A1(2001年2月15日公开，下文称作文件1)中有所描述。

在板状平面基底100(为了容易说明，示出的基底分成了两部分，但实际上它们是一个整体结构)的顶面100u上，形成了交叉且在一个端部耦合的四个波导(光纤)通道105A至105D。由相互垂直的光纤通道105A与105B所限定的区域用作激励器形成区域101。

在激励器形成区域101中，形成在基底表面100u中切割的沟或槽112，其与每个光纤通道105A和105B成45°角。在槽112中配置可移动杆116。可移动杆116在其两侧分别与支承框架134A和134B的一端相连接，支承框架134A和134B的另一端分别通过片簧状支撑梁124A和124B固定到固定的支承结构130A和130B上。这样，可移动杆116以沿平行于基底表面100u的长度方向可移动的方式被支承。

四根光纤106A至106D分别配置在光纤通道105A至105D中。可移动杆116在其一端支承反射镜102，使其最初保持在光纤106A至106D的光轴的交叉点105c的位置，所述光纤从该点径向延伸，同时可移动杆116的另一端连接梳形静电激励器122。

梳形静电激励器122由互相交错的可移动梳状电极110和固定梳状电极108构成，它们沿可移动杆116的轴向配置但沿与上述方向垂直的方向延伸。可移动梳状电极110固定在可移动杆116上，同时固定梳状电极108固定在凹槽115的底部，其形成在激励器形成区域101的表面100u中。

凹槽115与槽112连通，并且可移动杆116延伸到凹槽115中。在凹槽115中，配置了梳形静电激励器122，支撑梁124A，124B，支承框架134A，134B，以及固定的支承结构130A，130B。在具有固定梳状电极108情况下，固定的支承结构130A和130B固定到凹槽115的底部，但是，除固定梳状电极108和固定支承结构130A，130B外的其它结构保持在凹槽115底部的上方。

横跨可移动和固定梳状电极110和108施加电压产生静电吸引力，其使可移动杆116向固定梳状电极108移动，将反射镜102拉出交叉点105c。停止施加电压时，可移动杆116通过支撑梁124A和124B的弹性恢复力向交叉点105c移动返回，使反射镜102返回到其在交叉点105c中的延伸位置。

随着反射镜102被推进交叉点105c，从光纤106A发出的光例如反射远离反射镜102，入射到光纤106C上，并且从光纤106B发出的光反射远离反射镜102后入射到光纤106D上。随着反射镜102被拉出交叉点105c，从光纤106A发出的光入射到光纤106D上，并且从光纤106B发出的光入射到光纤106C上。

在上述结构的常规光学器件中，由激励器对可移动部分的驱动力施加点与支撑梁对该部分的支承点之间的位置关系在可移动部分的动态特性方面不是最佳的。

因此，当激励器的驱动力在与驱动可移动部分的所需方向不同的方向上包括矢量分量时，可移动部分存在倾斜、旋转或偏转的危险。

在图1的常规光开关中，梳形静电激励器122相对于包括反射镜102和可移动杆116的可移动部分配置在可移动杆116的与反射镜102相对的另一端，支撑梁124A和124B设置在它们之间。现在，假定梳形静电激励器122虽然刚好完整但结构上不均匀或不对称，即可移动和固定梳状电极110和108互相交错的相邻梳齿的侧壁之间的间隙g在相邻梳齿的任意一个的左和右侧不同，但其应该是均匀的。三个正交轴X，Y和Z如图1所确定，梳齿的排列方向和可移动杆116的长度方向分别由X和Y表示，梳形静电激励器122的驱动力包括X方向的矢量分量。产生这个现象的原因在于，在不同电势的梳齿之间作用的静电吸引力与相邻梳齿之间的间隙g的宽度成反比，在以小间隙紧密分隔布置的梳齿之间产生较大的吸引力。

在这种情况下，由于驱动力的施加点布置在可移动杆116的与支撑反射镜102的一端相对的另一端上，如上所述，因此力矩施加到支撑梁124A和124B的支承点上，引起包括可移动梳状电极110的可移动部分关于Z轴偏转。如果这个现象过多，可移动和固定梳状电极110和108相互接触，引起短路。因此，从可移动部分在开关操作期间的稳定性来看，图1的光开关是不适当的。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种光学器件，其能够制止可移动部分在所需方向外的其它方向上移动，因此在操作中高度稳定。

根据本发明，提供一种形成在基底上的光学器件，其包括：至少两个形成在基底顶面上的光纤通道；反射镜，在配置在所述光纤通道中的光纤之间的光路中推进和拉出；在一端支撑反射镜的可移动杆；布置成与可移动杆的中间部分关联的梳形静电激励器，用于长度方向移动可移动杆；以及多个支撑梁，设置在可移动杆的梳形静电激励器的驱动力的施加点两侧上的一端和另一端附近，用于可移动地支承可移动杆；其中支撑梁在关于平行于可移动杆长度方向的中心线成线对称的位置处支承可移动杆，并且由多个支撑梁支承可移动杆的点关于梳形静电激励器的驱动力的施加点对称。

根据本发明，因为由多个支撑梁支承可移动杆的点关于梳形静电激励器的驱动力的施加点对称，因此即使梳形静电激励器的驱动力包括不同于驱动可移动杆所需方向上的矢量分量，然而多个支撑梁的反作用力相同地作用在驱动力的不期望的矢量分量上，有效地防止了可移动杆在驱动可移动杆所需方向外的其它方向上移动。

附图说明

图1为说明常规光开关结构的平面图；

图2为说明根据本发明第一实施例的光学器件的平面图；

图3为图2的光学器件在交叉形成的光纤通道的交叉点周围的结构放大平面图；

图4为详细示出了图2的光学器件中梳形静电激励器和支撑梁的放大平面图；

图5为示出了图2的光学器件中作为例子的支撑梁的力-位移特性曲线的图表；

图6为示出了支撑梁的宽度和自己保持力之间关系的图表，用于解释在支撑梁的第一和第二稳定状态的保持力不同的情况下梁宽的容差；

图7为解释根据本发明第二实施例的光学器件的平面图；

图8为详细示出图7的光学器件中梳形静电激励器的放大平面图；以及

图9为示出了支撑梁的宽度和自己保持力之间关系的图表，用于解释图7的光学器件中梁宽的容差。

具体实施方式

首先参考图2至4描述本发明的实施例。

如图2所示，在板状基底20的顶面20u上形成交叉的光纤通道1A至1D。如图3所示，光纤21A至21D配置在光纤通道1A至1D中，这些通道从其交叉点1c径向延伸。将光纤21A至21D从上方用力推入光纤通道1A至1D中，因此它们稳固地保持在通道1A至1D的侧壁之间，将这些通道的内端面推动紧靠通道1A至1D的交叉点1c的四个转角处的邻接台肩3，以便光纤21A至21D关于基底20定位。光纤21A至21D各自都是准直光纤；在假定准直光纤具有160μm的工作距离(WD)，15μm的束腰直径(BWD)以及6°端面倾角的基础上设计该实施例的光学器件。

如图2所示，基底表面20u被通道1A至1D分成四个区域，其中之一用作激励器形成区域22。在激励器形成区域22中，形成槽23，其与通道1A至1D的交叉点1c连通并将激励器形成区域22分为两部分。布置在槽23中的为可移动杆7，其在靠近交叉点1c的一端支撑反射镜4。可移动杆7由形成在激励器形成区域22中的锚10A和10B支承，在可移动杆7中间部分的两个位置处的两侧上片簧状支撑梁6A至6D分别连接到可移动杆的一端，以便可移动杆7的长度方向移动平行于基底表面20u。支撑梁6A至6D适合在两个偏转稳定状态之间转换，如稍后详述。支撑梁6A和6B放置在形成在锚10A上的凹槽24中，支撑梁6C和6D放置在形成在锚10B上的凹槽25中。

在支撑梁6A，6B和6C，6D之间配置了梳形静电激励器，其具有固定在可移动杆7横向两侧的可移动梳状电极5。可移动梳状电极5具有向支撑梁6A，6B和6C，6D延伸的梳齿，并且它们与第一和第二固定梳状电极8和9交错。第一和第二固定梳状电极8和9固定到形成在激励器形成区域22中的电极部分11和12上。

可移动梳状电极5与第一和第二固定梳状电极8和9配置在形成在电极部分11和12之间的凹槽26中。如图2所示，电极部分11和12之间形成从凹槽26的两端延伸到激励器形成区域22的一个边界的凹槽27a和27b。类似的，凹槽28a，28b和29a，29b也分别形成在锚10A和电极部分12之间以及锚10B和电极部分11之间。

激励器形成区域22中的锚10A，10B和电极部分11，12与单晶硅基底为一体，它们之间设置有绝缘层，如稍后所述，但其它元件稍微支承在单晶硅基底的上方。如图2所示，与图1一样限定了三个正交轴X，Y和Z。

如上所述的这种结构的光学器件利用三层SOI晶片形成，该晶片具有沉积在单晶硅基底上的单晶硅层，它们之间插入二氧化硅绝缘层。例如，单晶硅基底的厚度为350μm，绝缘层的厚度为3μm，以及单晶硅层(硅器件层)的厚度为100μm。利用SOI晶片的光学器件的制造通常包括下述步骤。

(1)二氧化硅薄膜形成在硅器件层的整个表面上。

(2)二氧化硅薄膜通过光刻和蚀刻形成图案。

(3)通过DRIE(深反应离子蚀刻)或类似技术，利用图案化的二氧化硅薄膜作为掩模进行硅器件层的各向异性蚀刻。

(4)使用合适的蚀刻剂对单晶硅基底和硅器件层之间的绝缘层进行选择性地蚀刻，从而形成可移动部件或元件。在这种情况下，蚀刻时间的适当选择使固定部件或元件下的绝缘层不被去除，从而一方面形成狭窄或薄的可移动结构，另一方面形成宽的固定结构，

(5)反射镜表面和电极部分的所需区域利用高反射率的金属如金(Au)对其金属化。

由于反射镜4在交叉点1c中反射光时需要最高的可能精确度使其在光轴上保持光学对准，因此该实施例的光学器件利用反射镜4最初保持在交叉点1c中来制造。

接下来，将对该实施例的光学器件的基本操作进行描述。在刚完成的光学器件的初始状态(第一稳定态)中，反射镜4位于交叉点1c中。在这种情况下，从光纤21A发出的光镜4，入射到光纤21C上。从光纤21B发出的光反射远离反射镜4，入射到光纤21D上。

对第一固定梳状电极8施加电压同时第二固定电极9接地，锚10A，10B通过可移动杆7和支撑梁6A至6D与可移动梳状电极5电连接，静电吸引力在第一固定梳状电极8和可移动梳状电极5之间产生，并且当吸引力大于第一稳定态时保持支撑梁6A至6D的力时，支撑梁6A至6D反转到第二稳定态，甚至在电压的施加中断后仍保持自己保持的状态。这时，反射镜4被拉出交叉点1c，在该情况下从光纤21A和21B发出的光分别原样地入射到光纤21D和21C上，而不是反射远离反射镜4。对第二固定梳状电极9施加电压同时锚10A，10B和第一固定梳状电极8接地，静电吸引力在第二固定梳状电极9和可移动梳状电极5之间产生，并且如果吸引力大于第二稳定态时保持支撑梁6A至6D的力，它们将回到第一稳定态。

横跨第一或第二固定梳状电极8或9和可移动梳状电极5的电压施加可以横跨电极部分11或12和锚10A和10B的电压施加来实现。

下面将给出该实施例的光学器件的各个元件功能的详细说明。该实施例使用准直光纤作为光纤21A至21D，将其端面倾斜研磨以抑制各个光纤端面中的菲涅尔反射引起的反射波损耗。当光波在反射镜4上的入射和反射之间的角为90°时，四个光纤通道1A至1D形成使得光耦合效率变得最大。原因如下所述。

在该实施例的光学器件的封装期间，如果将光纤重定向以其端面成方形相对的关系，那么光纤需要相应转动——这不可避免地使得部件笨重。因此，从小型化部件的观点来看，使光波在反射镜4上入射和反射间的角为锐角或钝角是有利的。然而，光波在反射镜4上入射和反射间的锐角将导致光工作距离(WD)的增加。

通常，增加光的工作距离需要透镜设计成允许束腰直径(BWD)的加宽，这也导致反射镜工作冲程相应增加的必要性。反射镜4移动距离的增加将降低可移动部件的稳定性，例如器件的机械可靠性在抗冲击性能方面产生问题。

即使透镜系统可以设计成增加工作距离而不加宽束腰直径，光学系统中所需的对准精确度也相应变得更高。

另一方面，当光波在反射镜4上入射和反射间的角为钝角时，在反射镜4上入射光的聚束光点在反射镜4的移动方向上变得更加椭圆，这使得增加反射镜4的移动距离成为必要。

考虑到所有因素，在该实施例的光学器件中，光纤通道1A至1D形成以当光波在反射镜4上入射和反射间的角成90°时，如上所述，提供最大光耦合效率。在使用端面倾斜研磨的光纤来达到上述目的的情况中，发出入射到反射镜4上的光的光纤与接收反射远离反射镜4的光的光纤间的角在某种程度上为锐角；以部件小型化的观点而言，这是稍微优于光纤通道以90°间隔布置的方案。

利用光纤倾斜研磨的端面，发出入射到反射镜4上的光的光纤与接收反射远离反射镜4的光的光纤间的角可以通过下述等式给出。

θ＝π/2-2{sin^-1(nsinθ′)-θ′}

其中θ′为光纤研磨端面(ground end)的倾角，n为纤芯的折射率。下面是光纤布置的两种情况。

(1)发出光和接收光的光纤以端面彼此相邻的转角为锐角的方式配置，如图3所示。

(2)光波在反射镜4上入射和反射间的角成90°，如图3所示。

在图所示的例子中，例如设定为θ′＝6°和n＝1.46，光纤21A，21C和21B，21D的光轴间的角度θ为84.44°，这样它们略微成锐角。

在该实施例的光学器件中，支撑梁6A至6D关于平行于可移动杆7长度方向的中心线成线对称，由四根支撑梁6A，6B，6C和6D支承可移动杆7的点A，B，C和D(支承点A至D为支撑梁反作用力的施加点)配置在关于可移动梳状电极5与可移动杆7的耦合部分对称的位置上(即，用于驱动可移动杆7的力的施加点S)。

此外，该实施例的光学器件设计成杆驱动力的施加点S实际上与反射镜4，可移动杆7以及可移动梳状电极5组成的可移动部分的重心一致。利用这种结构，即使梳形静电激励器的驱动力包括不同于驱动可移动部分的方向上的矢量分量，四根支撑梁的反作用力相同地作用在杆驱动力的不必要的矢量分量上，有效地防止了可移动部分在所需方向以外的其它方向上移动。因此，该实施例的光学器件避免了倾斜，滚动和偏转或类似的旋转运动，因此在操作中高度稳定。

此外，即使光学器件受到震动或类似的扰动，有效地抑制下述结构特征的可移动部分的不必要移动是可能的。

(1)四根支撑梁6A，6B，6C和6D配置在关于可移动部分的重心对称的位置上。

(2)结构重的可移动梳状电极5由四根支撑梁6A，6B，6C和6D平稳地支承。

此外，该实施例的光学器件采用一种“双稳态”结构，其使得该器件能够通过四根支撑梁6A至6D的弯曲以两个稳定态保持自己保持状态。该“双稳态”结构能够在力-位移特性(图5)方面理解。当初始位置的支撑梁6A至6D沿使反射镜4从交叉点1c退回的方向移动时，支撑梁6A至6D的反作用力在位移量小的初期单调增加，但达到压弯临界载时达到最大值，其后反作用力随着位移的增加单调减小直到最小值，此后再次增加。这样，力-位移特性在最大值和最小值之间变化，并且仅当最小值为负时支撑梁允许以两个稳定态的任一个保持自己保持状态。

图5中，表示各个支撑梁初始阶段的原点相应于第一稳定态，反作用力达到最小值后减小到零的位置相应于第二稳定态，而最大值表示第一稳定态中保持支撑梁的力，最小值表示第二稳定态中保持支撑梁的力。在该实施例中，支撑梁6A至6D的形状尤其通过下述步骤得到最优化，以在第一和第二稳态中提供基本上相同的保持支撑梁的力，如图5所示。该实施例将各个片簧状支撑梁的弯曲点设定在每个从其任一末端相隔整个长度的1/4(X分量)的点处，同时选择下述条件，即两个稳定态的保持力之间的比率实际上为1，利用弯曲的曲率半径作为参数。支撑梁沿垂直于(X方向)驱动反射镜4的方向延伸。反射镜工作冲程，即反射镜4的移动距离，通过改变支撑梁沿Y方向的两端之间的位置的不同来控制。在该实施例中，反射镜工作冲程大约为60μm。使两个稳定态的保持力相同的重要性的原因如下所述。

支撑梁6A至6D用来支承可移动部分，因此它们需要在可移动杆7的移动方向上易弯曲。为了满足该要求，在该实施例的光学器件中将各支撑梁的宽度最小化。此外，当支撑梁截面为矩形时，其弯曲刚度与梁宽的立方成比例；因此，支撑梁支持力对梁宽非常敏感。因此，梁宽的容许极限极大地影响这类光学器件的制造产量。梁宽的上限由激励器的最大驱动力限制，而下限由支撑梁的抗冲击性能(支撑梁保持稳定的冲击极限)决定。

如图6所示，当第一和第二稳定态的保持力区别较大时，梁宽的上限依照较高保持力和激励器最大驱动力之间的关系来限制，同时下限依照较低支持力和抗冲击性能之间的关系来决定。因此，梁宽的容许极限不可避免地降低。换言之，两个稳定态的保持力的平衡增加了梁宽的容许极限，因此在光学器件的制造中提高了产量。

利用如上所述的设计原理，该实施例的光学器件在通信频带S，C和L上达到如下特性。

(1)介入损耗：0.7dB或更低

(2)偏振相关损耗：0.1dB或更低

(3)反射波损耗：50dB或更高

(4)干扰：70dB或更高

(5)转换时间：1ms或更短

通过四根支撑梁6A至6D有效地抑制激励器驱动力中不期望的矢量分量表现为可移动部分沿图2的Y方向平稳地运动。在重复转换操作的耐久性试验中，在十亿次的转换后，该实施例的光学器件的特性方面没有发现特别的异常现象。为了证明最优化支撑梁6A至6D的形状由此在第一和第二稳定态中提供基本相等的保持力的影响，根据该实施例的光学器件的样品按照如下两条标准进行筛选：

(1)当施加50G的冲击时保持自己保持状态的功能；以及

(2)在75V的驱动电压下稳定操作。

同一批的140个样品都满足该标准。如果没有最优化梁的结构，140个样品中的15个样品不满足两个标准中的任一个；即，筛选通过率为大约90％。这表明第一和第二稳定态的保持力的基本相等增加了梁宽的容许极限。

下面将对第一实施例光学器件的变形形式(第二实施例)进行描述，该变形可以预期显示与第一实施例得到的特性相同的特性。现在，假设：F1表示第一稳定态保持力，F2表示第二稳定保持力；N1表示用于从第一稳定态转换到第二稳定态的梳形静电激励器的梳齿数量(更明确地，第一固定梳状电极8和可移动梳状电极5的梳齿数量)；g1表示第一固定梳状电极8和可移动梳状电极5的相邻梳齿之间的间隔；N2表示用于从第二稳定态转换到第一稳定态的梳形静电激励器的梳齿数量(更明确地，第二固定梳状电极9和可移动梳状电极5的梳齿数量)；以及g2表示第二固定梳状电极9和可移动梳状电极5的相邻梳齿之间的间隔。根据第二实施例，将图7和8所示的这种梳形静电激励器的梳齿参数(梳齿数量和相邻梳齿之间的间隔)最优化，以便F1·g1/N1和F2·g2/N2彼此相等。这意味着从第一向第二稳定态转换的电压与从第二向第一稳定态转换的电压相等。

除了支撑梁6A至6D和梳齿参数，该实施例的光学器件在结构上与第一实施例完全一致。梳齿参数的最优化将在下面详细描述。

在该实施例中，由于第一稳定态的保持力大约为第二稳定态的保持力的两倍(F1/F2＝2)，因此有助于从第一向第二稳定态转换的梳的梳齿数量相应地以反向增加大约1.2倍(N1/N2＝1.2)，相邻梳齿之间的间隔以反向减小大约0.6倍(g1/g2＝0.6)，以便从第一向第二稳定态转换的力大约为沿反方向转换的力的两倍。这是为了获得与第一实施例所得效果相同的效果，第一实施例中最优化支撑梁的结构从而提供保持第一和第二稳定态的相等的力。利用上述器件结构，有可能提高梁宽的上限，其由较大保持力和激励器最大驱动力(允许的驱动电压)之间的关系限制，如图9所示。

在梳形静电激励器中，相邻梳齿之间的间隔越小，静电吸引力越大；因此，在设计这种激励器的情况中，通过光学器件制造方法将相邻梳齿之间的间隔减小到可行的最小槽宽。即，不夸张的说，相邻梳齿之间的间隔为通过生产方法的工作能力来限制的参数。在该实施例中，因为第一稳定态的保持力比第二稳定态的保持力大，有助于从第一向第二稳定态转换的相邻梳齿之间的间隔减小。这是可以实现的，因为在反射镜位于交叉点1c的初始状态时，相对的梳并没有很深地彼此交错。在这种情况下，第一固定梳状电极8具有两个不同的宽度(W1，W2)，这样相邻梳齿之间的间隔减小而不会受到生产方法的工作能力限制的影响是有可能的。同时，因为支撑梁6A至6D通常或在初始条件下产生保持第一稳定态的较大的力，因此可以说上述设计方案在许多场合中都是有效的。

在该实施例中，有助于从第二向第一稳定态转换的(第二固定梳状电极9的)梳齿数量与有助于从第一向第二稳定态转换的(第一固定梳电极8的)梳齿数量不一样多。这是因为第二固定梳状电极8的梳齿数量的杂乱增加增加了可移动部分的等效质量，因此减少了机械可靠性如抗冲击性能。

根据本发明的光学器件可以用在例如与光通信相关的领域中。

Claims (3)

1.一种形成在一基底上的光学器件，所述光学器件包括：

至少两个形成在所述基底顶面的光纤通道；

一反射镜，在配置在所述光纤通道中的光纤之间的光路中推进和拉出；

可移动杆，在一端支撑所述反射镜；

梳形静电激励器，配置在所述可移动杆的中间部分的位置，用于在所述可移动杆长度方向上移动所述可移动杆；以及

多个支撑梁，配置在所述可移动杆的驱动力施加点的两侧上的一端和另一端附近，用于可移动地支承所述可移动杆，所述驱动力由所述梳形静电激励器产生；

其中所述多个支撑梁在关于平行于所述可移动杆长度方向的中心线成线对称的位置上支持所述可移动杆，并且由所述多个支撑梁支承所述可移动杆的点关于由所述梳形静电激励器产生的驱动力的所述施加点对称；

其中配置在所述光纤通道中的各所述光纤的纤芯端面具有折射率n，所述端面关于垂直于所述各光纤轴的平面具有倾角θ′，所述光纤通道形成以便发射光的所述光纤之一和接收反射远离所述反射镜的光的其它光纤之间的角θ满足下述条件，以在入射到所述反射镜的光和反射远离所述反射镜的光之间提供90°的角：

θ＝π/2-2{sin^-1(n sin θ′)-θ′}

2.根据权利要求1的光学器件，其中由所述梳形静电激励器产生的驱动力的所述施加点与可移动部分的重心重合，所述可移动部分包括支撑所述反射镜的所述可移动杆和固定到所述可移动杆的所述梳形静电激励器的可移动梳状电极。

3.根据权利要求1或者2的光学器件，其中所述多个支撑梁通过反向在弯曲部分的两个稳定态之间转换，并且其中所述第一稳定态的自己保持力用F1表示，所述第二稳定态的自己保持力用F2表示，将所述多个支撑梁从所述第一稳定态转换到所述第二稳定态的所述梳形静电激励器的梳齿数量和相邻梳齿之间的间隔分别用N1和g1表示，将所述多个支撑梁从所述第二稳定态转换到所述第一稳定态的所述梳形静电激励器的梳齿数量和相邻梳齿之间的间隔分别用N2和g2表示，F1·g1/N1和F2·g2/N2几乎相等。

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