CH712650A2 - A method of manufacturing a watch, jewelery or jewelery piece with a multi-level trim element. - Google Patents
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Abstract
L’invention concerne un procédé (Pr1) de fabrication d’une pièce, comportant les étapes suivantes: Superposer (Pr1_sup) une couche électriquement isolante (CL) comportant un premier orifice (OL1), une couche supplémentaire (CS) comportant une première ouverture (OS1), une couche intermédiaire (CT) comprenant un premier trou (OT1), et une couche de base (CB) surmontée d’un motif de base (MB1) Déposer une couche métallique, de sorte qu’à l’issue de cette étape, la couche métallique forme une coque recouvrant des parois électriquement conductrices du motif de base (MB1), du premier orifice (OL1), de la première ouverture (OS1) et du premier trou (OT1), et comporte une zone latérale reposant sur la couche isolante (CL) Dissoudre la couche isolante (CL) Recouvrir la couche métallique ou d’alliage d’un volume constitué par un matériau de base de la pièce, de sorte que le volume épouse les formes de la couche métallique. L’invention concerne le domaine de l’horlogerie, de la joaillerie et de la bijouterie.The invention relates to a method (Pr1) for manufacturing a part, comprising the following steps: Superposer (Pr1_sup) an electrically insulating layer (CL) comprising a first orifice (OL1), an additional layer (CS) having a first opening (OS1), an intermediate layer (CT) comprising a first hole (OT1), and a base layer (CB) surmounted by a base pattern (MB1) depositing a metal layer, so that after the this step, the metal layer forms a shell covering the electrically conductive walls of the base pattern (MB1), the first orifice (OL1), the first opening (OS1) and the first hole (OT1), and comprises a lateral zone resting on the insulating layer (CL) Dissolve the insulating layer (CL) Cover the metal or alloy layer with a volume made up of a base material of the part, so that the volume matches the shapes of the metal layer. The invention relates to the field of watchmaking, jewelery and jewelery.
Description
DescriptionDescription
Domaine de l’invention [0001] L’invention se rapporte à un procédé de fabrication d’une pièce telle qu’une pièce d’horlogerie, de joaillerie ou de bijouterie, par exemple un cadran de montre, une lunette, une couronne, un maillon de bracelet, un fermoir, etc., ou encore une pièce d’outillage telle qu’un outil de frappe, un moule, etc. Le procédé permet plus particulièrement de réaliser une pièce comprenant un corps de pièce et un élément d’habillage multi-niveaux en relief sur le corps de la pièce, l’élément d’habillage étant tel qu’un indicateur des heures, un élément décoratif, une lettre, etc. Par multi-niveaux, on entend que l’élément comporte au moins deux faces planes visibles qui s’étendent parallèlement l’une à l’autre et parallèlement au corps de la pièce.FIELD OF THE INVENTION [0001] The invention relates to a method for manufacturing a part such as a timepiece, jewelery or jewelery piece, for example a watch face, a bezel, a crown, a bracelet link, a clasp, etc., or a piece of tooling such as a striking tool, a mold, etc. The method more particularly makes it possible to produce a part comprising a workpiece body and a multi-level dressing element embossed on the body of the workpiece, the cladding element being such that an hour indicator, a decorative element , a letter, etc. Multilevel means that the element comprises at least two visible planar faces which extend parallel to each other and parallel to the body of the part.
Arrière-plan de l’invention [0002] Dans le domaine de l’horlogerie, la joaillerie ou la bijouterie, il est classique de réaliser des éléments d’habillage multi-niveaux par des techniques de photolithographie et de dépôt galvanique. Le document EP 2316 056 B1 décrit notamment un procédé de fabrication d’un élément métallique ou en alliage métallique multi-niveaux, utilisant la technique LIGA-UV. Ce procédé comprend les étapes suivantes: - se munir d’un substrat comportant une surface conductrice - recouvrir la surface conductrice du substrat d’une première couche de résine photosensible - irradier la première couche de résine photosensible à travers un masque correspondant à une empreinte désirée - développer la première couche de résine photosensible de manière à creuser dans celle-ci des ouvertures et à obtenir ainsi un premier niveau d’un moule en résine, les ouvertures dans la première couche de résine laissant apparaître la surface conductrice du substrat - déposer une nouvelle couche de résine photosensible sur la couche de résine développée, de manière à recouvrir cette dernière et, de préférence, à remplir les ouvertures dans celle-ci - irradier la nouvelle couche de résine photosensible à travers un masque correspondant à l’empreinte désirée - développer la nouvelle couche de résine photosensible de manière à creuser dans celle-ci des ouvertures et à obtenir un moule en résine multi-niveaux, les ouvertures dans le moule multi-niveaux laissant apparaître la surface conductrice du substrat - remplir les ouvertures du moule en résine multi-niveaux d’un métal ou d’un alliage, par dépôt galvanique - éliminer les couches de résine de manière à faire apparaître un élément métallique ou d’alliage multi-niveaux constitué par ledit métal ou alliage déposé dans les ouvertures.BACKGROUND OF THE INVENTION [0002] In the field of watchmaking, jewelery or jewelery, it is conventional to produce multi-level trim elements by photolithography and galvanic deposition techniques. EP 2316 056 B1 describes in particular a method of manufacturing a metal element or multi-level metal alloy, using the LIGA-UV technique. This method comprises the following steps: - providing a substrate comprising a conductive surface - covering the conductive surface of the substrate with a first layer of photoresist - irradiating the first photoresist layer through a mask corresponding to a desired imprint developing the first layer of photosensitive resin so as to dig openings therein and thereby obtain a first level of a resin mold, the openings in the first resin layer revealing the conductive surface of the substrate; a new layer of photoresist on the developed resin layer, so as to cover the latter and, preferably, to fill the openings therein - to irradiate the new layer of photoresist through a mask corresponding to the desired imprint - develop the new layer of photosensitive resin so as to dig into ns it openings and to obtain a multi-level resin mold, the openings in the multi-level mold revealing the conductive surface of the substrate - filling the openings of the multi-level resin mold of a metal or of an alloy, by galvanic deposition - remove the resin layers so as to reveal a metal element or multi-level alloy consisting of said metal or alloy deposited in the openings.
[0003] Les éléments multi-niveaux ainsi fabriqués sont ensuite séparés du substrat et implantés sur un corps de pièce d’horlogerie, de joaillerie ou de bijouterie.The multi-level elements thus manufactured are then separated from the substrate and implanted on a timepiece, jewelery or jewelery body.
[0004] Ce procédé de fabrication de pièces dotées d’éléments d’habillage multi-niveaux présente l’inconvénient d’être long à mettre en oeuvre, notamment à cause de la nécessité de remplir intégralement les ouvertures du moule lors du dépôt galvanique. Un deuxième inconvénient est la nécessité d’un assemblage des éléments d’habillage sur le corps de pièce, d’où des risques de désolidarisation en cas de chocs, par exemple. Résumé de l’invention [0005] La présente invention vise à pallier en tout ou en partie les inconvénients évoqués précédemment.This method of manufacturing parts with multi-level trim elements has the disadvantage of being long to implement, especially because of the need to completely fill the openings of the mold during the galvanic deposition. A second disadvantage is the need for an assembly of the cladding elements on the body of the room, hence the risk of disengagement in case of shocks, for example. SUMMARY OF THE INVENTION [0005] The present invention aims to overcome all or part of the disadvantages mentioned above.
[0006] A cet effet, selon un premier mode de réalisation, l’invention se rapporte à un procédé de fabrication d’une pièce dotée d’un élément d’habillage, comportant les étapes suivantes: - Superposer une couche électriquement isolante comportant un premier orifice traversant, une couche supplémentaire comportant une première ouverture traversante de dimensions similaires au premier orifice, une couche intermédiaire comprenant un premier trou traversant, et une couche de base surmontée d’un motif de base, de sorte à placer le motif de base dans le premier trou, recouvrir le premier trou par la première ouverture, et superposer la première ouverture et le premier orifice. - Déposer galvaniquement une couche métallique ou d’alliage métallique, de sorte qu’à l’issue de cette étape, la couche métallique ou d’alliage métallique forme une coque recouvrant des parois électriquement conductrices du motif de base, du premier orifice, de la première ouverture et du premier trou, et comporte une zone latérale reposant sur la couche isolante. - Dissoudre la couche isolante. - Recouvrir la couche métallique ou d’alliage métallique d’un volume constitué au moins en partie par un matériau de base de la pièce, de sorte que le volume épouse les formes de la couche métallique ou d’alliage métallique. - Extraire le volume et la couche métallique ou d’alliage métallique.For this purpose, according to a first embodiment, the invention relates to a method of manufacturing a part provided with a cladding element, comprising the following steps: - Superimpose an electrically insulating layer comprising a first through hole, an additional layer having a first through opening of dimensions similar to the first port, an intermediate layer comprising a first through hole, and a base layer surmounted by a base pattern, so as to place the base pattern in the first hole, cover the first hole by the first opening, and superimpose the first opening and the first hole. - Galvanically deposit a metal or metal alloy layer, so that at the end of this step, the metal or metal alloy layer forms a shell covering electrically conductive walls of the base pattern, the first orifice, the first opening and the first hole, and has a lateral zone resting on the insulating layer. - Dissolve the insulating layer. - Cover the metal or metal alloy layer of a volume consisting at least in part of a base material of the part, so that the volume matches the shapes of the metal layer or metal alloy. - Extract the volume and the metal layer or metal alloy.
[0007] Selon un deuxième mode de réalisation, l’invention se rapporte à un procédé de fabrication d’une pièce dotée d’un élément d’habillage, comportant les étapes suivantes: - Superposer une couche électriquement isolante comportant un deuxième orifice traversant, une couche supplémentaire comportant une deuxième ouverture traversante de dimensions similaires au deuxième orifice, et une couche intermédiaire surmontée d’un motif intermédiaire, de sorte à placer le motif intermédiaire dans la deuxième ouverture, et superposer la deuxième ouverture et le deuxième orifice. - Déposer galvaniquement une couche métallique ou d’alliage métallique, de sorte qu’à l’issue de cette étape, la couche métallique ou d’alliage métallique forme une coque recouvrant des parois électriquement conductrices du motif intermédiaire, du deuxième orifice et de la deuxième ouverture, et comporte une zone latérale reposant sur la couche isolante. - Dissoudre la couche isolante. - Recouvrir la couche métallique ou d’alliage métallique d’un volume constitué au moins en partie par un matériau de base de la pièce, de sorte que le volume épouse les formes de la couche métallique ou d’alliage métallique. - Extraire le volume et la couche métallique ou d’alliage métallique.According to a second embodiment, the invention relates to a method for manufacturing a part provided with a covering element, comprising the following steps: - superimposing an electrically insulating layer comprising a second through hole, an additional layer having a second through opening of similar dimensions to the second port, and an intermediate layer surmounted by an intermediate pattern, so as to place the intermediate pattern in the second opening, and superimpose the second opening and the second port. - Galvanically deposit a metal or metal alloy layer, so that at the end of this step, the metal or metal alloy layer forms a shell covering electrically conductive walls of the intermediate pattern, the second orifice and the second opening, and has a lateral zone resting on the insulating layer. - Dissolve the insulating layer. - Cover the metal or metal alloy layer of a volume consisting at least in part of a base material of the part, so that the volume matches the shapes of the metal layer or metal alloy. - Extract the volume and the metal layer or metal alloy.
[0008] Le procédé selon le premier et le deuxième mode de réalisation permet de fabriquer simultanément le corps de la pièce (constitué par le volume de matériau de base de la pièce) et l’élément d’habillage (constitué par la couche métallique ou d’alliage). L’élément d’habillage est directement fixé au corps de pièce, sans qu’il y ait besoin d’une étape d’assemblage. En effet, la zone latérale de la couche métallique ou d’alliage reposant sur la couche isolante à l’issue de la phase de dépôt, se retrouve scellée dans le volume à l’issue de la phase de recouvrement.The method according to the first and the second embodiment makes it possible simultaneously to manufacture the body of the part (constituted by the volume of base material of the part) and the covering element (constituted by the metal layer or alloy). The cladding element is directly attached to the workpiece body, without the need for an assembly step. Indeed, the lateral zone of the metal layer or alloy resting on the insulating layer at the end of the deposition phase, is found sealed in the volume at the end of the recovery phase.
[0009] De plus, le procédé selon le premier ou le deuxième mode de réalisation est plus rapide à mettre en œuvre que le procédé de l’art antérieur précédemment décrit. En effet, la durée du dépôt galvanique est plus courte, car la couche métallique ou d’alliage n’a pas à remplir les orifices, ouvertures et trous (formant un moule), mais doit simplement recouvrir leurs parois ainsi que le motif. En d’autres termes, la structure métallique ou en alliage métallique n’est pas massive, elle forme au contraire une coque creuse. L’épaisseur à déposer par galvanoplastie est donc plus faible.In addition, the method according to the first or second embodiment is faster to implement than the method of the prior art described above. Indeed, the duration of the galvanic deposition is shorter, because the metal or alloy layer does not have to fill the holes, openings and holes (forming a mold), but must simply cover their walls and the pattern. In other words, the metal structure or metal alloy is not massive, it instead forms a hollow shell. The thickness to be deposited by electroplating is therefore lower.
[0010] Les interfaces entre le corps de pièce et l’élément d’habillage sont nettes, sans bavure. De plus, en choisissant des formes et dimensions appropriées pour les différents motifs, ouvertures, orifices ou trous intervenant dans les procédés de fabrication, il est possible de réaliser des éléments d’habillage de formes et de dimensions variées. En outre, une texture se trouvant sur la couche supplémentaire se retrouve gravée par effet d’empreinte sur le corps de pièce (le volume de matériau de base de la pièce).The interfaces between the workpiece body and the trim element are sharp, without burrs. Moreover, by choosing appropriate shapes and dimensions for the various patterns, openings, or holes or holes involved in the manufacturing processes, it is possible to produce trim elements of various shapes and sizes. In addition, a texture on the additional layer is imprinted on the workpiece (the volume of base material of the workpiece).
[0011] En outre, le procédé de fabrication selon le premier mode de réalisation (premier procédé) peut comprendre une ou plusieurs des caractéristiques ci-dessous, prises indépendamment ou selon toutes les combinaisons techniquement possibles.In addition, the manufacturing method according to the first embodiment (first method) may comprise one or more of the characteristics below, taken independently or in any technically possible combination.
[0012] Selon un mode de réalisation non limitatif, le premier procédé comporte une étape de formation de surfaces électriquement conductrices sur les parois du motif de base, du premier orifice, de la première ouverture et/ou du premier trou, par exemple par une technique de dépôt physique par phase vapeur.According to a non-limiting embodiment, the first method comprises a step of forming electrically conductive surfaces on the walls of the base pattern, the first orifice, the first opening and / or the first hole, for example by a physical vapor deposition technique.
[0013] Selon un mode de réalisation non limitatif, le premier procédé comporte une étape de formation d’une surface électriquement conductrice sur une portion d’une face supérieure de la couche isolante située en périphérie du premier orifice.According to a non-limiting embodiment, the first method comprises a step of forming an electrically conductive surface on a portion of an upper face of the insulating layer located at the periphery of the first orifice.
[0014] Selon un mode de réalisation non limitatif, le premier procédé comprend une étape de formation du motif de base sur la couche de base, comportant une application, une irradiation et un développement d’une résine photosensible, par exemple une résine SU8.According to a non-limiting embodiment, the first method comprises a step of forming the base pattern on the base layer, comprising an application, an irradiation and a development of a photosensitive resin, for example an SU8 resin.
[0015] Selon un mode de réalisation non limitatif, le premier procédé comprend une étape de formation de la couche de base à partir d’un wafer en silicium, comportant un revêtement dudit wafer par un film conducteur.According to a non-limiting embodiment, the first method comprises a step of forming the base layer from a silicon wafer, comprising a coating of said wafer with a conductive film.
[0016] En outre, le procédé selon le premier mode de réalisation et/ou le deuxième mode de réalisation peut/peuvent comprendre une ou plusieurs des caractéristiques ci-dessous, selon toutes les combinaisons techniquement possibles.In addition, the method according to the first embodiment and / or the second embodiment may / may comprise one or more of the characteristics below, according to all the technically possible combinations.
[0017] Selon un mode de réalisation non limitatif, le procédé comporte une étape de formation de surfaces électriquement conductrices sur les parois du motif intermédiaire, du deuxième orifice et/ou de la deuxième ouverture.According to a non-limiting embodiment, the method comprises a step of forming electrically conductive surfaces on the walls of the intermediate pattern, the second orifice and / or the second opening.
[0018] Selon un mode de réalisation non limitatif, le procédé comporte une étape de formation d’une surface électriquement conductrice sur une portion d’une face supérieure de la couche isolante située en périphérie du deuxième orifice.According to a non-limiting embodiment, the method comprises a step of forming an electrically conductive surface on a portion of an upper face of the insulating layer located at the periphery of the second orifice.
[0019] Selon un mode de réalisation non limitatif, le procédé comporte une étape de formation du motif intermédiaire sur la couche intermédiaire, comportant une application, une irradiation et un développement d’une résine photosensible, par exemple une résine SU8.According to a non-limiting embodiment, the method comprises a step of forming the intermediate pattern on the intermediate layer, comprising an application, an irradiation and a development of a photosensitive resin, for example an SU8 resin.
[0020] Selon un mode de réalisation non limitatif, le procédé comporte une étape deformation de la couche intermédiaire comportant une découpe, par exemple au laser, d’une plaque, par exemple en laiton.According to a non-limiting embodiment, the method comprises a step of deformation of the intermediate layer comprising a cut, for example by laser, a plate, for example brass.
[0021] Selon un mode de réalisation non limitatif, le procédé comporte une étape de formation de la couche supplémentaire comportant une découpe, par exemple au laser, d’une plaque, par exemple en laiton.According to a non-limiting embodiment, the method comprises a step of forming the additional layer comprising a cut, for example by laser, a plate, for example brass.
[0022] Selon un mode de réalisation non limitatif, l’étape de formation de la couche supplémentaire comprend un estampillage de la couche supplémentaire de sorte à y former un motif supplémentaire, la couche électriquement isolante corn- portant un troisième orifice, le troisième orifice étant placé en regard du motif supplémentaire lorsque le couche isolante et la couche supplémentaire sont superposées.According to a nonlimiting embodiment, the step of forming the additional layer comprises a stamping of the additional layer so as to form an additional pattern, the electrically insulating layer comprising a third orifice, the third orifice. being placed opposite the additional pattern when the insulating layer and the additional layer are superimposed.
[0023] Selon un mode de réalisation non limitatif, l’étape de formation de la couche supplémentaire comprend une gravure de la couche supplémentaire de sorte à diminuer localement son épaisseur, la couche isolante comportant des zones de surépaisseur de sorte que l’ensemble comprenant la couche supplémentaire et la couche isolante superposées soit d’épaisseur constante.According to a non-limiting embodiment, the step of forming the additional layer comprises an etching of the additional layer so as to locally reduce its thickness, the insulating layer having areas of extra thickness so that the assembly comprising the additional layer and the superposed insulating layer are of constant thickness.
[0024] Selon un mode de réalisation non limitatif, le procédé comporte une étape de formation de la couche isolante comportant une application, une irradiation et un développement d’une résine photosensible, par exemple une résine SU8, sur la couche supplémentaire, de sorte à former un troisième orifice, le troisième orifice étant placé en regard du motif supplémentaire lorsque la couche isolante et la couche supplémentaire sont superposées.According to a non-limiting embodiment, the method comprises a step of forming the insulating layer comprising an application, an irradiation and a development of a photosensitive resin, for example an SU8 resin, on the additional layer, so forming a third orifice, the third orifice being placed opposite the additional pattern when the insulating layer and the additional layer are superimposed.
[0025] Selon un mode de réalisation non limitatif, le volume est constitué en partie d’un deuxième matériau, autre que le matériau de base, tel que le deuxième matériau remplit l’espace interne à la coque en métal ou en alliage métallique.According to a non-limiting embodiment, the volume is formed in part of a second material, other than the base material, such that the second material fills the internal space to the shell metal or metal alloy.
[0026] Selon un mode de réalisation non limitatif, le procédé comporte une étape de découpe de la zone latérale, réalisée avant l’étape de recouvrement.According to a non-limiting embodiment, the method comprises a step of cutting the lateral zone, performed before the recovery step.
Description sommaire des dessins [0027] D’autres particularités et avantages ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels: la fig. 1 est une représentation schématique d’une couche de base utilisée au sein d’un procédé selon un mode de réalisation non limitatif de l’invention, le procédé permettant de réaliser une pièce dotée d’au moins un élément d’habillage multi-niveaux la fig. 2 est une représentation schématique d’une couche intermédiaire utilisée au sein du procédé la fig. 3 est une représentation schématique d’une couche supplémentaire et d’une couche électriquement iso lante, lesdites couches étant utilisées au sein du procédé la fig. 4 représente une étape de superposition des couches des fig. 1,2 et 3, selon le procédé la fig. 5 représente une étape de dépôt galvanique d’une couche métallique ou d’alliage selon le procédé la fig. 6 représente une étape de recouvrement ou d’incrustation de la couche métallique ou d’alliage par un vo lume d’un matériau de base de la pièce selon le procédé la fig. 7 représente la pièce finale obtenue par le procédé, la pièce étant dotée de deux éléments d’habillage multi-niveaux.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS [0027] Other particularities and advantages will become clear from the description which is given hereinafter, by way of indication and in no way limitative, with reference to the appended drawings, in which: FIG. 1 is a schematic representation of a base layer used in a method according to a non-limiting embodiment of the invention, the method for producing a part provided with at least one multi-level dressing element fig. 2 is a schematic representation of an intermediate layer used in the process of FIG. 3 is a diagrammatic representation of an additional layer and an electrically insulating layer, said layers being used in the process of FIG. 4 represents a superposition step of the layers of FIGS. 1,2 and 3, according to the method of FIG. 5 represents a step of galvanic deposition of a metal layer or alloy according to the method FIG. 6 represents a step of covering or incrustation of the metal or alloy layer by a volume of a base material of the part according to the method FIG. 7 represents the final piece obtained by the method, the piece being provided with two elements of multi-level dressing.
Description détaillée des modes de réalisation préférés [0028] La présente description porte sur deux procédés de fabrication Pr1, Pr2 dont la mise en œuvre combinée permet de fabriquer une pièce PC d’horlogerie dotée de deux éléments d’habillage EH1, EH2 multi-niveaux telle que celle représentée à la fig. 7. Plus particulièrement, le premier élément d’habillage EH1 est obtenu par le premier procédé Pr1, tandis que le deuxième élément d’habillage EH2 est obtenu par le deuxième procédé Pr2. Les deux procédés Pr1, Pr2 comportant des étapes communes et utilisant des éléments communs, leur mise en œuvre combinée permet de fabriquer une pièce dotée de ces deux éléments d’habillage. Cependant, les procédés Pr1, Pr2 pourraient être réalisés indépendamment l’un de l’autre, pour former non pas une pièce dotée de deux éléments d’habillage, mais deux pièces dotées chacune d’un élément d’habillage. De plus, les procédés Pr1, Pr2 pourraient s’appliquer à toutes sortes de pièces, par exemple une pièce de joaillerie ou de bijouterie, ou une pièce d’outillage, et toutes sortes d’éléments d’habillage multi-niveaux. Enfin, la pièce pourrait naturellement comporter plus d’un élément d’habillage de chaque type.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present description relates to two manufacturing processes Pr1, Pr2, the combined implementation of which makes it possible to manufacture a PC timepiece with two EH1, EH2 multi-level skin elements. such as that shown in FIG. 7. More particularly, the first cladding element EH1 is obtained by the first method Pr1, while the second cladding element EH2 is obtained by the second method Pr2. The two methods Pr1, Pr2 comprising common steps and using common elements, their combined implementation makes it possible to manufacture a part equipped with these two elements of dressing. However, the methods Pr1, Pr2 could be made independently of each other, to form not a room with two trim elements, but two parts each with a trim element. In addition, the methods Pr1, Pr2 could be applied to all kinds of parts, for example a piece of jewelry or jewelery, or a piece of tooling, and all kinds of elements of multi-level clothing. Finally, the piece could naturally have more than one dressing element of each type.
[0029] Les fig. 1 à 3 montrent quatre couches CB, CT, CS et CL, qui sont ensuite superposées les unes aux autres lors d’une étape de superposition du procédé de fabrication. Chacune des couches CB, CT, CS et CL est métallique, ou en alliage métallique, ou minérale. Cependant, si une couche est minérale, certaines de ses zones doivent être rendues électriquement conductrices, par exemple par une technique de dépôt physique en phase vapeur (ou PVD pour l’anglais «Physical Vapor Déposition»), comme cela est expliqué dans la suite de la description.Figs. 1 to 3 show four layers CB, CT, CS and CL, which are then superimposed on each other during a superposition step of the manufacturing process. Each of the layers CB, CT, CS and CL is metallic, or metal alloy, or mineral. However, if a layer is mineral, some of its zones must be made electrically conductive, for example by a physical vapor deposition technique (or PVD for the English "Physical Vapor Deposition"), as explained in the following of the description.
[0030] La fig. 1 montre une couche de base CB surmontée d’un motif de base MB1. L’ensemble CB/MB1 a été obtenu par une étape de formation Pr1_fCB de la couche de base CB suivie d’une étape de formation Pr1 JMB1 du motif de base MB1 selon le premier procédé Pr1. Dans un mode de réalisation non limitatif de l’étape Pr1_fCB, la couche de base CB est formée d’un substrat, par exemple un wafer en silicium. Dans un mode de réalisation non limitatif, on revêt ledit substrat d’un film électriquement conducteur par PVD. Cette étape n’est pas obligatoire, comme cela est expliqué dans la suite du texte, certaines parties de la couche de base CB peuvent être rendues conductrices dans une étape ultérieure du procédé, par un procédé tel que le PVD ou par contact avec une couche conductrice. Dans un mode de réalisation non limitatif de l’étape Pr1_fMB1, le motif de base MB1 est formé par: - application d’une résine photosensible sur la couche de base CB, par exemple une résine de type SU-8; - irradiation de la résine à travers un photomasque correspondant à la forme souhaitée du motif de base MB1, par rayons ultra-violets dans le cas d’une résine SU-8, pour polymériser une zone de la résine correspondant au motif de base MB1; - développement de la résine, pour dissoudre les zones non polymérisées et faire apparaître le motif de base MB1.FIG. 1 shows a CB base layer surmounted by a basic pattern MB1. The set CB / MB1 was obtained by a formation step Pr1_fCB of the base layer CB followed by a formation step Pr1 JMB1 of the basic pattern MB1 according to the first method Pr1. In a non-limiting embodiment of step Pr1_fCB, the base layer CB is formed of a substrate, for example a silicon wafer. In a non-limiting embodiment, said substrate is coated with an electrically conductive film by PVD. This step is not mandatory, as explained in the following text, some parts of the base layer CB can be made conductive in a subsequent step of the process, by a method such as PVD or by contact with a layer conductive. In a non-limiting embodiment of step Pr1_fMB1, the basic pattern MB1 is formed by: - applying a photoresist to the base layer CB, for example a SU-8 type resin; irradiating the resin through a photomask corresponding to the desired shape of the base unit MB1, by ultraviolet rays in the case of a SU-8 resin, to polymerize a zone of the resin corresponding to the base unit MB1; - Development of the resin, to dissolve the uncured areas and show the basic pattern MB1.
[0031] Dans un autre mode de réalisation non limitatif de l’étape Pr1_fMB1, le motif de base MB1 est formé par dépôt d’une couche uniforme (de vernis ou autre) qui est ensuite sélectivement ablatée par laser [0032] La fig. 2 montre une couche intermédiaire CT comprenant un premier trou OT1 traversant et surmontée d’un motif intermédiaire MT2. L’ensemble CT/MT2 a été obtenu par une étape de formation Pr12_fCT de la couche intermédiaire CT suivie d’une étape de formation Pr12JMT2 du motif intermédiaire MT2 selon le premier et le deuxième procédé Pr1, Pr2. Dans un mode de réalisation non limitatif de l’étape Pr12_fCT, la couche intermédiaire CT est formée d’une plaque en alliage métallique, par exemple en laiton, que l’on découpe, par exemple au laser, pour obtenir le premier trou OT1. On note que le premier trou OT1 est de dimensions inférieures à la première ouverture OS1 de la fig. 3. Dans un mode de réalisation non limitatif de l’étape Pr12_fMT2, le motif intermédiaire MT2 est formé par: - application d’une résine photosensible sur la couche intermédiaire CT, par exemple une résine de type SU-8 - irradiation de la résine à travers un photo-masque correspondant à la forme souhaitée du motif intermédiaire MT2, par rayons ultra-violets dans le cas d’une résine SU-8, pour polymériser une zone de la résine correspondant au motif intermédiaire MT2 - développement de la résine, pour dissoudre les zones non polymérisées et faire apparaître le motif intermédiaire MT2.In another non-limiting embodiment of step Pr1_fMB1, the basic pattern MB1 is formed by depositing a uniform layer (varnish or other) which is then selectively ablated by laser [0032] FIG. 2 shows an intermediate layer CT comprising a first hole OT1 through and surmounted by an intermediate pattern MT2. The CT / MT2 assembly was obtained by a formation step Pr12_fCT of the intermediate layer CT followed by a formation step Pr12JMT2 of the intermediate unit MT2 according to the first and second methods Pr1, Pr2. In a non-limiting embodiment of the Pr12_fCT step, the intermediate layer CT is formed of a metal alloy plate, for example brass, which is cut, for example by laser, to obtain the first hole OT1. Note that the first hole OT1 is smaller than the first opening OS1 of FIG. 3. In a non-limiting embodiment of step Pr12_fMT2, the intermediate unit MT2 is formed by: applying a photosensitive resin to the intermediate layer CT, for example a resin of SU-8 type - irradiation of the resin through a photomask corresponding to the desired shape of the intermediate unit MT2, by ultraviolet rays in the case of a resin SU-8, to polymerize a zone of the resin corresponding to the intermediate unit MT2 - development of the resin, to dissolve the uncured areas and to reveal the MT2 intermediate pattern.
[0033] La fig. 3 montre une couche supplémentaire CS comprenant une première ouverture OS1 traversante, une deuxième ouverture OS2 traversante, un motif supplémentaire MS3, et des zones d’épaisseur réduite ZS. La couche supplémentaire CS est superposée à une couche électriquement isolante CL comprenant un premier orifice OL1, un deuxième orifice OL2, un troisième orifice OL3 et des zones de surépaisseur ZL. On note que les zones d’épaisseur réduite ZS de la couche supplémentaire CS pourraient alternativement être des zones de surépaisseur. Dans ce cas, les zones de surépaisseur ZL seraient des zones d’épaisseur réduite.FIG. 3 shows an additional layer CS comprising a first through aperture OS1, a second aperture OS2 through, an additional pattern MS3, and areas of reduced thickness ZS. The additional layer CS is superimposed on an electrically insulating layer CL comprising a first orifice OL1, a second orifice OL2, a third orifice OL3 and zones of excess thickness ZL. It is noted that the areas of reduced thickness ZS of the additional layer CS could alternatively be zones of excess thickness. In this case, the areas of extra thickness ZL would be areas of reduced thickness.
[0034] La couche supplémentaire CS a été obtenue par une étape deformation Pr12_fCS de ladite couche selon le premier et le deuxième procédé Pr1, Pr2. Dans un mode de réalisation non limitatif de l’étape Pr12_fCS, la couche supplémentaire CS est formée d’une plaque en alliage métallique, par exemple en laiton, que l’on découpe, par exemple au laser, pour obtenir la première ouverture OS1 et la deuxième ouverture OS2. On note que dans un mode de réalisation non limitatif de l’étape PM2JCS, la plaque est préalablement texturée, par exemple guillochée ou brossée. En outre, dans un mode de réalisation non limitatif de l’étape Pr12_fCS, la couche supplémentaire CS est estampillée de sorte à créer une empreinte formant un troisième motif MS3 tel que celui visible à la fig. 3. Par ailleurs, dans un mode de réalisation non limitatif de l’étape PM2JCS, des zones ZS de la couche supplémentaire CS sont gravées, de manière à diminuer leur épaisseur, comme cela est représenté à la fig. 3. Naturellement, toutes ces sous-étapes de l’étape Pr12_fCS ne sont pas obligatoires, seules certaines d’entre elles peuvent être réalisées.The additional layer CS was obtained by a deformation step Pr12_fCS of said layer according to the first and the second method Pr1, Pr2. In a non-limiting embodiment of step Pr12_fCS, the additional layer CS is formed of a metal alloy plate, for example brass, which is cut, for example by laser, to obtain the first opening OS1 and the second opening OS2. Note that in a non-limiting embodiment of step PM2JCS, the plate is previously textured, for example guilloche or brushed. In addition, in a non-limiting embodiment of step Pr12_fCS, the additional layer CS is stamped so as to create a footprint forming a third pattern MS3 such as that shown in FIG. 3. Furthermore, in a non-limiting embodiment of step PM2JCS, ZS zones of the additional layer CS are etched, so as to reduce their thickness, as shown in FIG. 3. Naturally, all these substeps of step Pr12_fCS are not mandatory, only some of them can be realized.
[0035] La couche isolante CL a été obtenue par une étape de formation Pr12_fCL de ladite couche selon le premier et le deuxième procédé Pr1, Pr2. Dans un mode de réalisation non limitatif de l’étape Pr12_fCL, la couche isolante CL est obtenue par: - application d’une résine photosensible sur la couche supplémentaire CS, par exemple une résine de type SU-8. On note que la résine présente alors des zones de surépaisseur ZL au niveau des zones d’épaisseur réduite de la couche supplémentaire CS, ou inversement si la couche supplémentaire CS comporte des zones de surépaisseur; - irradiation de la résine à travers un photomasque, par rayons ultraviolets dans le cas d’une résine SU-8, pour polymériser la résine à l’exception des zones en regard de la première ouverture OS1, de la deuxième ouverture OS2 et du motif supplémentaire MS3; - développement de la résine, pour dissoudre les zones non polymérisées et faire apparaître un premier orifice OL1 superposé à la première ouverture OS1, un deuxième orifice OL2 superposé à la deuxième ouverture OS2, et un troisième orifice OL3 en regard du motif supplémentaire MS3.The insulating layer CL was obtained by a Pr12_fCL forming step of said layer according to the first and the second method Pr1, Pr2. In a non-limiting embodiment of step Pr12_fCL, the insulating layer CL is obtained by: - applying a photoresist to the additional layer CS, for example a resin of SU-8 type. It is noted that the resin then has areas of excess thickness ZL at the reduced thickness areas of the additional layer CS, or conversely if the additional layer CS has areas of extra thickness; irradiation of the resin through a photomask, by ultraviolet rays in the case of a resin SU-8, to polymerize the resin with the exception of the zones opposite the first opening OS1, the second opening OS2 and the pattern additional MS3; - Development of the resin, to dissolve the uncured areas and reveal a first port OL1 superimposed on the first opening OS1, a second port OL2 superimposed on the second opening OS2, and a third port OL3 next to the additional pattern MS3.
[0036] La fig. 4 montre les quatre couches superposées à l’issue d’une étape de superposition Pr1_sup, Pr2_sup du premier procédé Pr1 et du deuxième procédé Pr2. Plus précisément, la couche isolante CL est superposée à la couche supplémentaire CS, elle-même superposée à la couche intermédiaire CT, elle-même superposée à la couche de base CB. Les différents orifices, ouvertures, trous et motifs sont tels que: - le motif de base MB1 est positionné dans le premier trou OT1, le premier trou OT1 est recouvert par la première ouverture OS1, et le premier orifice OL1 est superposé à la première ouverture OS1 - le motif intermédiaire MT2 est positionné dans la deuxième ouverture OS2, et le deuxième orifice OL2 est superposé à la deuxième ouverture OS2 - le motif supplémentaire MS3 est positionné en regard du troisième orifice OL3.FIG. 4 shows the four superimposed layers at the end of an overlay step Pr1_sup, Pr2_sup of the first method Pr1 and the second method Pr2. More specifically, the insulating layer CL is superimposed on the additional layer CS, itself superimposed on the intermediate layer CT, itself superimposed on the base layer CB. The various orifices, openings, holes and patterns are such that: the basic pattern MB1 is positioned in the first hole OT1, the first hole OT1 is covered by the first opening OS1, and the first hole OL1 is superimposed on the first opening OS1 - the intermediate pattern MT2 is positioned in the second opening OS2, and the second port OL2 is superimposed on the second opening OS2 - the additional pattern MS3 is positioned opposite the third port OL3.
[0037] Puis, dans une étape non représentée, des parois SC (visibles à la fig. 5) du motif de base MB1, du premier orifice OL1, de la première ouverture OS1, du premier trou OT1, et des parois exposées de la couche de base CB sont rendues conductrices, par exemple par dépôt PVD d’un film conducteur. Naturellement, le dépôt PVD du film conducteur n’est nécessaire que sur les faces non initialement conductrices. Ainsi, dans un mode de réalisation alternatif, seules certaines des parois précitées subissent un dépôt PVD ou tout autre traitement équivalent dans le but de les rendre conductrices. Lors de cette étape, une portion SCL de la face supérieure de la couche isolante CL (c’est-à-dire la face non en contact avec la couche supérieure CS) en périphérie du premier orifice OL1 peut également être rendue conductrice.Then, in a step not shown, SC walls (visible in Figure 5) of the base pattern MB1, the first orifice OL1, the first opening OS1, the first hole OT1, and the walls exposed of the base layer CB are made conductive, for example by PVD deposition of a conductive film. Naturally, the PVD deposition of the conductive film is only necessary on non-initially conducting faces. Thus, in an alternative embodiment, only some of the aforementioned walls undergo PVD deposition or any other equivalent treatment in order to make them conductive. During this step, an SCL portion of the upper face of the insulating layer CL (that is to say the non-contacting surface with the upper layer CS) at the periphery of the first orifice OL1 can also be made conductive.
[0038] De manière similaire, des parois du motif intermédiaire MT2, du deuxième orifice OL2, de la deuxième ouverture OS2, et des parois exposées de la couche intermédiaire CT sont éventuellement rendues conductrices. Il en est de même pour des parois du motif supplémentaire MS3, du troisième orifice OL3, et des parois exposées de la couche supplémentaire CS. De même, une portion de la face supérieure de la couche isolante CL en périphérie du deuxième orifice OL2 et/ou du troisième orifice OL3 peut également être rendue conductrice.Similarly, walls of the intermediate pattern MT2, the second orifice OL2, the second opening OS2, and exposed walls of the intermediate layer CT are optionally made conductive. It is the same for walls of the additional pattern MS3, the third orifice OL3, and exposed walls of the additional layer CS. Similarly, a portion of the upper face of the insulating layer CL at the periphery of the second orifice OL2 and / or the third orifice OL3 can also be made conductive.
[0039] La fig. 5 représente schématiquement une étape de dépôt galvanique Pr1_gal d’une couche métallique ou d’alliage CM sur les faces internes du premier orifice OL1, de la première ouverture OS1, du premier trou OT1, sur les faces du motif de base MB et sur les faces exposées de la couche de base CB, selon le premier procédé Pr1. Ainsi, les quatre couches CB, CT, CS et CL superposées sont plongées dans un bain galvanique adapté à la déposition d’un métal tel que l’or, l’argent, le nickel, ou tout autre métal ou alliage métallique pouvant se déposer en couche relativement épaisse, pour y subir un électroformage. L’électroformage s’achève lorsque les parois précitées sont complètement recouvertes de la couche métallique ou d’alliage CM et que l’épaisseur de la coque obtenue est jugée suffisante. La couche métallique ou d’alliage CM comporte alors une zone latérale EL qui repose sur la couche isolante CL. Dans le cas où la portion SCL de la face supérieure de la couche isolante CL en périphérie du premier orifice OL1 a été rendue conductrice, la zone latérale EL s’étend au moins en partie sur ladite portion SCL.FIG. 5 schematically represents a step of galvanic deposition PR1_gal of a metal layer or CM alloy on the internal faces of the first orifice OL1, the first opening OS1, the first hole OT1, on the faces of the base pattern MB and on the exposed faces of the base layer CB, according to the first method Pr1. Thus, the four layers CB, CT, CS and CL superimposed are immersed in a galvanic bath suitable for the deposition of a metal such as gold, silver, nickel, or any other metal or metal alloy that can be deposited in relatively thick layer, to undergo electroforming. The electroforming is completed when the aforementioned walls are completely covered with the metal layer or alloy CM and that the thickness of the shell obtained is considered sufficient. The metal or alloy layer CM then comprises a lateral zone EL which rests on the insulating layer CL. In the case where the portion SCL of the upper face of the insulating layer CL at the periphery of the first orifice OL1 has been made conductive, the lateral zone EL extends at least in part on said portion SCL.
[0040] Bien que cela ne soit pas représenté, une couche métallique ou d’alliage est déposée de manière similaire sur les parois du deuxième orifice OL2, de la deuxième ouverture OS2, du motif intermédiaire MT2 et sur les parois exposées de la couche intermédiaire CT. De même, une couche métallique ou d’alliage est déposée de manière similaire sur les parois du troisième orifice OL3, du motif supplémentaire MS3 et sur les parois exposées de la couche supplémentaire CS. Dans le cas où une portion de la face supérieure de la couche isolante CL en périphérie du deuxième orifice OL2 et/ou du troisième orifice OL3 a été rendue conductrice, la zone latérale EL s’étend au moins en partie sur ladite portion.Although this is not shown, a metal or alloy layer is deposited in a similar way on the walls of the second orifice OL2, the second opening OS2, the intermediate unit MT2 and on the exposed walls of the intermediate layer. CT. Similarly, a metal or alloy layer is similarly deposited on the walls of the third orifice OL3, the additional pattern MS3 and on the exposed walls of the additional layer CS. In the case where a portion of the upper face of the insulating layer CL at the periphery of the second orifice OL2 and / or the third orifice OL3 has been made conductive, the lateral zone EL extends at least in part over said portion.
[0041] La couche métallique ou d’alliage CM forme une coque d’une certaine épaisseur. Puis, dans une étape non représentée, on dissout la couche isolante CL par passage dans des bains adaptés. La zone latérale EL est alors éventuellement découpée, en fonction du type de pièce à réaliser. Découper la zone latérale EL est intéressant si la pièce à fabriquer est un outillage de type poinçon par exemple.The metal layer or alloy CM forms a shell of a certain thickness. Then, in a step not shown, the insulating layer CL is dissolved by passing through suitable baths. The lateral zone EL is then optionally cut, depending on the type of part to be produced. Cutting the lateral zone EL is interesting if the part to be manufactured is a punch-type tool, for example.
[0042] La fig. 6 représente schématiquement une étape de recouvrement ou d’incrustation Pr1_rec de la couche supplémentaire CS et de la couche métallique ou d’alliage CM, par un volume VL d’un matériau de base de la pièce à fabriquer, selon le premier procédé Pr1. Dans un mode de réalisation, le matériau de base est du métal amorphe ou partiellement amorphe, intéressant pour ses propriétés mécaniques. Dans un autre mode de réalisation, le matériau de base est un polymère ou un composite (céramique polymère, composite fibre de carbone, etc.). Dans ces deux cas, un bloc de métal ou d’alliage métallique ou d’alliage amorphe ou partiellement amorphe, ou de polymère ou composite, est pressé sur la couche supplémentaire CS et contre la couche métallique ou d’alliage CM à une température à laquelle il a une consistance pâteuse. Ceci lui permet de se déformer pour épouser les formes de la couche métallique ou d’alliage CM, et notamment les formes de la zone latérale EL de la couche métallique ou d’alliage CM si celles-ci n’ont pas été préalablement découpées. Alternativement, le matériau de base peut être coulé. Dans un autre mode de réalisation, le matériau de base est tout autre métal ou alliage métallique, par exemple du nickel, de l’or, etc., et le recouvrement est réalisé par croissance galvanique dudit métal. On remarque, dans le cas où la zone latérale EL n’a pas été préalablement découpée, qu’à l’issue de l’étape Pr1_rec, la couche métallique ou d’alliage CM est solidarisée avec le volume VL de matériau de base, car la zone latérale EL est scellée dans le volume VL de matériau de base. Bien que cela ne soit pas représenté, les couches métalliques ou d’alliages (au niveau du motif intermédiaire MT2 et du motif supplémentaire MS3) sont recouvertes et scellées dans le volume VL de manière similaire.FIG. 6 schematically represents a step of recovery or incrustation Pr1_rec of the additional layer CS and the metal layer or alloy CM, by a volume VL of a base material of the part to be manufactured, according to the first method Pr1. In one embodiment, the base material is amorphous or partially amorphous metal, interesting for its mechanical properties. In another embodiment, the base material is a polymer or a composite (polymer ceramic, carbon fiber composite, etc.). In these two cases, a block of metal or metal alloy or of amorphous or partially amorphous alloy, or of polymer or composite, is pressed on the additional layer CS and against the metal or alloy layer CM at a temperature of which has a pasty consistency. This allows it to deform to marry the shapes of the metal layer or alloy CM, and in particular the shapes of the lateral zone EL of the metal layer or alloy CM if they have not been previously cut. Alternatively, the base material can be cast. In another embodiment, the base material is any other metal or metal alloy, for example nickel, gold, etc., and the coating is made by galvanic growth of said metal. It should be noted, in the case where the lateral zone EL has not been cut beforehand, that at the end of the step Pr1_rec, the metal or alloy CM layer is secured to the volume VL of the base material, because the lateral zone EL is sealed in the volume VL of base material. Although not shown, the metal or alloy layers (at intermediate pattern MT2 and additional pattern MS3) are covered and sealed in volume VL in a similar manner.
[0043] Dans un mode de réalisation alternatif de l’étape de recouvrement/d’incrustation Pr1_rec, le volume VL n’est pas intégralement constitué du matériau de base de la pièce. Dans ce cas, une partie seulement du volume est constituée du matériau de base de la pièce, tandis que l’autre partie est constituée d’un deuxième matériau, avantageusement moins cher que le matériau de base. La partie du volume VL constituée du deuxième matériau remplit ainsi avantageusement l’espace interne à ta coque en métal en alliage, tandis que les parties du volume VL constituées du matériau de base sont situées aux endroits visibles, externes, de la pièce.In an alternative embodiment of the recovery step / incrustation Pr1_rec, the volume VL is not entirely made of the base material of the part. In this case, only part of the volume is made of the base material of the part, while the other part is made of a second material, advantageously less expensive than the base material. The part of the volume VL made of the second material thus advantageously fills the space inside the alloy metal shell, while the volume parts VL made of the base material are located at the visible, external locations of the part.
[0044] La fig. 7 représente schématiquement une étape d’extraction Pr1_ext, Pr2_ext du volume VL et des couches métalliques ou d’alliages CM, selon le premier procédé Pr1 et le deuxième procédé Pr2. En d’autres termes, le volume VL et les couches métalliques ou d’alliages CM sont séparées de la couche supplémentaire CS, de la couche intermédiaire CT et de la couche de base CB. Pour ce faire, l’ensemble est par exemple plongé dans un bain acide sélectif au sein duquel la couche supplémentaire CS, la couche intermédiaire CT et la couche de base CB sont dissoutes. Alternativement, laFIG. 7 schematically represents an extraction step Pr1_ext, Pr2_ext volume VL and metal layers or alloys CM, according to the first method Pr1 and the second method Pr2. In other words, the volume VL and the metal or alloy layers CM are separated from the additional layer CS, the intermediate layer CT and the base layer CB. To do this, the assembly is for example immersed in a selective acid bath in which the additional layer CS, the intermediate layer CT and the base layer CB are dissolved. Alternatively, the
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