CH639697A5 - METHOD AND DEVICE FOR REGULATING THE CARBONING EFFECT OF AN OVEN ATMOSPHERE. - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 title claims description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 title claims 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 17
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 15
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims description 11
- 238000005255 carburizing Methods 0.000 claims description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- -1 oxygen ions Chemical class 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/416—Systems
- G01N27/417—Systems using cells, i.e. more than one cell and probes with solid electrolytes
- G01N27/4175—Calibrating or checking the analyser
-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0026—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment using an alternating circulation of another gas
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren gemäss dem Oberbegriff des Patentanspruches 1 und eine Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens. The invention relates to a method according to the preamble of claim 1 and an apparatus for performing the method.
Bekannte Regeleinrichtungen vorgenannter Art sind entweder in den Ofenraum eingebaut oder die Ofenatmosphäre wird in einen beheizten Messraum eingeführt. In beiden Fällen besteht der Festkörper-Elektrolyt aus einer Wand aus stabilisiertem Zirkondioxid. Eine Seite dieser Wand steht mit einem Referenzgas mit bekanntem Sauerstoffgehalt (meist Luft) in Berührung und ist mit einer Elektrode leitend verbunden (nachfolgend Innenelektrode genannt). Die andere Seite dieser Wand steht mit der Ofenatmosphäre in Berührung und ist mit einer anderen Elektrode leitend verbunden (nachfolgend Aussenelektrode genannt). Die Elektroden bestehen meist aus Platin. Als Messstelle gilt die gemeinsame Berührungsstelle zwischen Elektrode, Zirkondioxid und Ofenatmosphäre bzw. Referenzluft. Known control devices of the aforementioned type are either built into the furnace space or the furnace atmosphere is introduced into a heated measurement space. In both cases, the solid electrolyte consists of a wall made of stabilized zirconium dioxide. One side of this wall is in contact with a reference gas with a known oxygen content (usually air) and is conductively connected to an electrode (hereinafter referred to as the inner electrode). The other side of this wall is in contact with the furnace atmosphere and is conductively connected to another electrode (hereinafter referred to as the outer electrode). The electrodes are usually made of platinum. The common point of contact between the electrode, zirconium dioxide and the furnace atmosphere or reference air is the measuring point.
Die Auswertung der Messwerte erfolgt nach empirisch ermittelten oder berechneten Tabellen oder Kurven, die den Zusammenhang zwischen der Spannung am Festkörper-Elektrolyt, der Ofenraumtemperatur und dem Kohlenstoffpegel der Ofenatmosphäre beinhalten. The measurement values are evaluated according to empirically determined or calculated tables or curves, which contain the relationship between the voltage at the solid electrolyte, the furnace chamber temperature and the carbon level of the furnace atmosphere.
Diese Kurven gelten für gewisse Ausgangsbrennstoffe, deren Zusammensetzung bekannt ist. Die Aufkohlungswirkung ergibt sich unter Einbeziehung der Behandlungszeit. These curves apply to certain starting fuels, the composition of which is known. The carburizing effect results from the treatment time.
Eine nachteilige Eigenschaft dieses Mess- und Regelprinzips sind unerwünschte örtliche Gasreaktionen an den Elektroden, die durch deren katalytische Wirkung ausgelöst werden. Weiterhin kann der keramische Werkstoff des Fest-körper-Elektrolyten keinen Kohlenstoff lösen, wie dies bei den Werkstücken aus Stahl der Fall ist. Bei längerer Verweilzeit in einer Ofenatmosphäre mit hohem Kohlenstoffpegel scheidet sich an der Messstelle des Elektrolyten allmählich A disadvantageous property of this measuring and control principle is undesired local gas reactions on the electrodes, which are triggered by their catalytic effect. Furthermore, the ceramic material of the solid electrolyte cannot dissolve carbon, as is the case with steel workpieces. With a longer residence time in a furnace atmosphere with a high carbon level, the measuring point of the electrolyte gradually separates
Russ ab. Der abgeschiedene Russ wiederum übt eine katalytische Wirkung auf die weitere Kohlenstoffabscheidung aus. Dieser sehr langsam ablaufende und später sich durch auto-katalytische Wirkung rasch beschleunigende Vorgang stört die Messgenauigkeit. Soot. The deposited soot in turn exerts a catalytic effect on the further carbon separation. This very slow process, which later accelerates due to the auto-catalytic effect, interferes with the measuring accuracy.
Aufgabe der Erfindung ist es, die unerwünschte Beeinflussung der Messgenauigkeit durch Gasreaktionen an den Elektroden des Festkörper-Elektrolyten zu verhindern. The object of the invention is to prevent the undesirable influencing of the measurement accuracy by gas reactions at the electrodes of the solid electrolyte.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäss gelöst, indem die Aussenelektrode des Festkörper-Elektrolyten in wechselnder Folge einerseits mit der Ofenatmosphäre und andererseits mit einem nicht aufkohlend wirkenden Spülgas in Berührung gebracht wird. The object is achieved according to the invention in that the outer electrode of the solid-state electrolyte is brought into alternating contact with the furnace atmosphere on the one hand and with a non-carburizing purge gas on the other hand.
Es hat sich gezeigt, dass eine sehr genaue Aufkohlungswirkung einer Ofenatmosphäre zu erzielen ist, wenn diese nur in gewissen Zeitabständen - dafür aber mit einer exakten Regelgrösse - überwacht bzw. korrigiert wird. It has been shown that a very precise carburizing effect of a furnace atmosphere can be achieved if it is only monitored or corrected at certain time intervals - but with an exact control variable.
Bei einem im Ofenraum angeordneten Festkörper-Elek-trolyt strömt das Spülgas in den Ofenraum. Es muss daher die Art des verwendeten Spülgases den Qualitätsanforderungen der zu behandelnden Werkstücke angepasst werden. Bei der Wahl von Stickstoff als nicht aufkohlend wirkendes Spülgas tritt keinerlei Beeinflussung auf. In the case of a solid-state electrolyte arranged in the furnace chamber, the purge gas flows into the furnace chamber. The type of purge gas used must therefore be adapted to the quality requirements of the workpieces to be treated. When nitrogen is selected as the non-carburizing purge gas, there is no influence whatsoever.
In den meisten Fällen kann ein entkohlend wirkendes Spülgas - z.B. Luft - angewandt werden. In most cases, a decarburizing purge gas - e.g. Air - can be applied.
Die erfindungsgemässe Vorrichtung ist durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruches 3 angeführten Merkmale gekennzeichnet. The device according to the invention is characterized by the features stated in the characterizing part of patent claim 3.
Um möglichst schnell den augenblicklichen Zustand der Ofenatmosphäre oder des Spülgases zu erfassen, kann die Aussenelektrode so gestaltet sein, dass die Berührungsstellen von Aussenelektrode und Festkörper-Elektrolyt ohne Strömungsschatten vom Gas frei umströmt werden können. Dies ist beispielsweise gewährleistet, wenn die Aussenelektrode und der Festkörper-Elektrolyt sich an einer oder mehreren Stellen punktförmig berühren. In order to record the current state of the furnace atmosphere or the purge gas as quickly as possible, the outer electrode can be designed in such a way that the contact points of the outer electrode and solid electrolyte can be freely flowed around by the gas without flow shadows. This is ensured, for example, if the outer electrode and the solid electrolyte touch at one or more points.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der zugehörigen Zeichnung, in der schematisch eine Ausführungsform der Erfindung dargestellt ist. In der Zeichnung zeigt die einzige Figur 1 eine in eine Ofenwandung eingesetzte Spülsonde im Schnitt. Further details and advantages of the invention will become apparent from the following description of the accompanying drawing, in which an embodiment of the invention is shown schematically. In the drawing, the only FIG. 1 shows in section a flushing probe inserted into a furnace wall.
Die dargestellte Messonde umfasst ein an einem Ende geschlossenes Röhrchen 1 aus stabilisiertem Zirkondioxid, an welchem innenseitig eine Innenelektrode 2 und aussen-seitig eine Aussenelektrode 3 befestigt sind. Im Bereich der Messstelle, die durch die gemeinsame Berührungsstelle zwischen den Elektroden mit dem Festkörper-Elektrolyten Zirkondioxid gebildet ist, bestehen beide Elektroden 2 und 3 aus Gold. Die Berührungsstelle der Aussenelektrode 3 mit dem Zirlcondioxidröhrchen 1 ist punktförmig ausgebildet, um eine freie Umströmbarkeit der Elektrode, ohne Strömungsschatten, zu gewährleisten. In den Bereich der Messstelle ist eine Leitung 4 zur Zuführung von Spülluft zur Aussenelektrode 3 herangeführt. Zur Förderung der Spülluft ist eine Pumpe P vorgesehen. The measuring probe shown comprises a tube 1 made of stabilized zirconium dioxide which is closed at one end and to which an inner electrode 2 is fastened on the inside and an outer electrode 3 is fastened on the outside. In the area of the measuring point, which is formed by the common point of contact between the electrodes and the solid-state electrolyte zirconium dioxide, both electrodes 2 and 3 consist of gold. The point of contact of the outer electrode 3 with the Zirlcondioxidröhrchen 1 is punctiform to ensure a free flow around the electrode, without flow shadow. A line 4 for supplying purge air to the outer electrode 3 is brought into the area of the measuring point. A pump P is provided to convey the purge air.
Der Festkörper-Elektrolyt 1 ist von einem Schutzrohr 6 umgeben. Das geschlossene Ende des Schutzrohres 6, welches in den Ofenraum 8 hineinragt, ist mit einer Mehrzahl von Öffnungen 7 versehen, die es ermöglichen, dass wechselweise einerseits Spülgas aus einem Messraum 9 im vorderen Bereich der Sonde in den Ofenraum 8 und andererseits die Ofenatmosphäre aus dem Ofenraum 8 in den Messraum 9 strömen kann. Die Zuführung des Spülgases zum Messraum 9 erfolgt über die an die Pumpe P angeschlossene Leitung 4. Um nach dem Spülvorgang die Messelektrode möglichst rasch wieder mit der Ofenatmosphäre in Berührung zu bringen, kann die Pumpe P wechselweise zur Absaugung der The solid electrolyte 1 is surrounded by a protective tube 6. The closed end of the protective tube 6, which projects into the furnace chamber 8, is provided with a plurality of openings 7, which make it possible, on the one hand, for purge gas from a measuring chamber 9 in the front region of the probe to enter the furnace chamber 8 and, on the other hand, the furnace atmosphere from the Oven chamber 8 can flow into the measuring room 9. The purging gas is supplied to the measuring chamber 9 via the line 4 connected to the pump P. In order to bring the measuring electrode back into contact with the furnace atmosphere as quickly as possible after the purging process, the pump P can alternately be used to extract the
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Ofenatmosphäre benutzt werden. Ein Distanzring 10 dient zum koaxialen Halten der geschlossenen Enden des Röhrchens 1 innerhalb des Schutzrohres 6. Oven atmosphere can be used. A spacer ring 10 serves to hold the closed ends of the tube 1 coaxially within the protective tube 6.
Die oben beschriebene Vorrichtung wird zur Regelung der The device described above is used to regulate the
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Schutzgasatmosphäre bei der Wärmebehandlung von Stahl, insbesondere zur Regelung des Kohlenstoffpotentials bei der Einsatzhärtung (Aufkohlung) in Ein-, Mehrkammer- oder Durchlauföfen verwendet. Protective gas atmosphere used in the heat treatment of steel, in particular to regulate the carbon potential in case hardening (carburizing) in single, multi-chamber or continuous furnaces.
1 Blatt Zeichnungen 1 sheet of drawings
Claims (5)
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH311578A CH639697A5 (en) | 1978-03-21 | 1978-03-21 | METHOD AND DEVICE FOR REGULATING THE CARBONING EFFECT OF AN OVEN ATMOSPHERE. |
DE19797907031U DE7907031U1 (en) | 1978-03-21 | 1979-03-14 | MEASURING PROBE FOR THE ELECTROCHEMICAL DETERMINATION OF THE OXYGEN POTENTIAL OF A FURNACE ATMOSPHERE |
DE19792909924 DE2909924A1 (en) | 1978-03-21 | 1979-03-14 | MEASURING PROBE FOR THE ELECTROCHEMICAL DETERMINATION OF THE OXYGEN POTENTIAL OF A FURNACE ATMOSPHERE |
JP54031204A JPS594660B2 (en) | 1978-03-21 | 1979-03-19 | A measuring device that electrochemically detects the oxygen potential in the furnace atmosphere. |
IT21144/79A IT1112977B (en) | 1978-03-21 | 1979-03-20 | PROBE FOR THE ELECTROCHEMICAL DETERMINATION OF THE OXYGEN POTENTIAL IN THE OVEN ATMOSPHERE |
ES478841A ES478841A1 (en) | 1978-03-21 | 1979-03-21 | Measuring probe for the determination of oxygen potentials |
FR7907144A FR2420757A1 (en) | 1978-03-21 | 1979-03-21 | MEASUREMENT PROBE FOR THE ELECTROCHEMICAL DETERMINATION OF THE OXYGEN POTENTIAL OF THE ATMOSPHERE OF AN OVEN |
GB7910000A GB2017314B (en) | 1978-03-21 | 1979-03-21 | Measuring probe for the determination of oxygen potentials |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH311578A CH639697A5 (en) | 1978-03-21 | 1978-03-21 | METHOD AND DEVICE FOR REGULATING THE CARBONING EFFECT OF AN OVEN ATMOSPHERE. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CH639697A5 true CH639697A5 (en) | 1983-11-30 |
Family
ID=4248935
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CH311578A CH639697A5 (en) | 1978-03-21 | 1978-03-21 | METHOD AND DEVICE FOR REGULATING THE CARBONING EFFECT OF AN OVEN ATMOSPHERE. |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS594660B2 (en) |
CH (1) | CH639697A5 (en) |
DE (2) | DE2909924A1 (en) |
ES (1) | ES478841A1 (en) |
FR (1) | FR2420757A1 (en) |
GB (1) | GB2017314B (en) |
IT (1) | IT1112977B (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3118447C2 (en) * | 1981-05-09 | 1983-02-24 | Process-Electronic Analyse- Und Regelgeraete Gmbh, 7321 Wangen | Oxygen measuring probe, especially for measuring the oxygen content of a carbon-containing atmosphere |
DE3209438C1 (en) * | 1982-03-16 | 1983-07-28 | Joachim Dr-Ing Wuenning | Method and measuring device for determining the activity of carbon in furnace atmospheres |
JPS60233542A (en) * | 1984-05-03 | 1985-11-20 | Ngk Insulators Ltd | Instrument for measuring oxygen partial pressure |
JPH09138216A (en) * | 1995-11-15 | 1997-05-27 | Oriental Eng Kk | O2 sensor |
-
1978
- 1978-03-21 CH CH311578A patent/CH639697A5/en not_active IP Right Cessation
-
1979
- 1979-03-14 DE DE19792909924 patent/DE2909924A1/en active Pending
- 1979-03-14 DE DE19797907031U patent/DE7907031U1/en not_active Expired
- 1979-03-19 JP JP54031204A patent/JPS594660B2/en not_active Expired
- 1979-03-20 IT IT21144/79A patent/IT1112977B/en active
- 1979-03-21 ES ES478841A patent/ES478841A1/en not_active Expired
- 1979-03-21 GB GB7910000A patent/GB2017314B/en not_active Expired
- 1979-03-21 FR FR7907144A patent/FR2420757A1/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2017314A (en) | 1979-10-03 |
JPS54130191A (en) | 1979-10-09 |
IT7921144A0 (en) | 1979-03-20 |
DE2909924A1 (en) | 1979-10-04 |
ES478841A1 (en) | 1979-07-16 |
IT1112977B (en) | 1986-01-20 |
FR2420757A1 (en) | 1979-10-19 |
DE7907031U1 (en) | 1979-09-06 |
GB2017314B (en) | 1982-07-07 |
JPS594660B2 (en) | 1984-01-31 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PL | Patent ceased |