CH629299A5 - DEVICE FOR DETERMINING THE QUALITY OF THE POLISH OF OPTICAL SURFACES. - Google Patents
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Description
La présente invention concerne un dispositif pour déterminer la qualité du poli des surfaces d'un élément optique. 10 On sait qu'il est possible par des méthodes interférométri-ques de déterminer la forme géométrique des surfaces polies des éléments optiques tels que les lentilles, les miroirs ou les lames à faces parallèles. Mais ces méthodes ne permettent pas de caractériser la qualité du poli ou la finesse de grain de ces surfaces. 15 On connaît aussi des rugosimètres mécaniques fonctionnant à l'aide de palpeurs. Mais ces appareils ne sont pas assez sensibles pour être appliqués à la détermination du poli des surfaces optiques. The present invention relates to a device for determining the quality of the polish of the surfaces of an optical element. 10 It is known that it is possible by interferometric methods to determine the geometric shape of the polished surfaces of optical elements such as lenses, mirrors or blades with parallel faces. However, these methods do not make it possible to characterize the quality of the polish or the fineness of the grain of these surfaces. Mechanical roughness meters operating with the aid of probes are also known. However, these devices are not sensitive enough to be applied to determining the polish of optical surfaces.
On connaît aussi un dispositif pour déterminer la rugosité 20 d'une surface. Ce dispositif comporte un générateur d'un faisceau laser éclairant la surface à essayer et une lentille capable de concentrer suivant une tache lumineuse le faisceau renvoyé par cette surface. Le rapport entre le diamètre de cette tache et le diamètre de la tache qui serait obtenu si la surface était parfaite-25 ment lisse est une mesure de la rugosité de la surface. Ce dispositif présente l'inconvénient d'être relativement imprécis. A device is also known for determining the roughness of a surface. This device comprises a generator of a laser beam illuminating the surface to be tested and a lens capable of concentrating in a light spot the beam returned by this surface. The ratio of the diameter of this stain to the diameter of the stain which would be obtained if the surface were perfectly smooth is a measure of the roughness of the surface. This device has the drawback of being relatively imprecise.
La présente invention a pour but de réaliser un dispositif optique précis capable d'effectuer une mesure comparative de la qualité du poli des surfaces optiques. The present invention aims to achieve a precise optical device capable of performing a comparative measurement of the quality of the polish of the optical surfaces.
30 La présente invention a pour objet un dispositif pour déterminer la qualité du poli des surfaces optiques comportant 30 The present invention relates to a device for determining the quality of the polish of optical surfaces comprising
—un générateur d'un faisceau laser, ce faisceau étant reçu sur au moins une surface polie d'un élément optique qui transmet ou réfléchit un faisceau lumineux, A generator of a laser beam, this beam being received on at least one polished surface of an optical element which transmits or reflects a light beam,
35 - un système optique convergent capable de concentrer dans son plan focal l'énergie dudit faisceau laser suivant une tache lumineuse circulaire de diamètre d, ce système optique étant disposé sur le trajet du faisceau lumineux sortant de l'élément optique, une partie du faisceau lumineux étant alors concentrée 40 dans un cercle de diamètre d situé dans le plan focal du système optique, l'autre partie du faisceau lumineux étant diffusée par des irrégularités de la surface polie dans le plan focal à l'extérieur de ce cercle, 35 - a converging optical system capable of concentrating in its focal plane the energy of said laser beam in a circular light spot of diameter d, this optical system being disposed on the path of the light beam leaving the optical element, part of the beam the light then being concentrated 40 in a circle of diameter d located in the focal plane of the optical system, the other part of the light beam being scattered by irregularities of the polished surface in the focal plane outside this circle,
—et des moyens d'analyse de l'énergie lumineuse reçue dans 45 le plan focal du système optique, caractérisé en ce que lesdits moyens d'analyse comportent —And means for analyzing the light energy received in the focal plane of the optical system, characterized in that said analysis means comprise
- un premier récepteur photoélectrique disposé pour recevoir ladite partie du faisceau d'énergie I4 concentrée dans le cercle de diamètre d et capable d'émettre en retour un signal Sj so représentatif de Il5 a first photoelectric receiver arranged to receive said part of the energy beam I4 concentrated in the circle of diameter d and capable of transmitting in return a signal Sj so representative of Il5
—un deuxième récepteur photoélectrique disposé à côté dudit cercle pour recevoir au moins une portion de l'autre partie diffusée d'énergie I2 et capable d'émettre en retour un signal S2 représentatif de I2 55 — et un circuit de traitement recevant les signaux Sx et S2 et g A second photoelectric receiver arranged next to said circle to receive at least a portion of the other diffused part of energy I2 and capable of transmitting in return a signal S2 representative of I2 55 - and a processing circuit receiving the signals Sx and S2 and g
capable de déterminer le rapport —- , ce rapport étant repré- capable of determining the ratio —-, this ratio being represented
S2 S2
sentatif de la qualité du poli de la surface polie de l'élément optique. sensitive to the quality of the polish of the polished surface of the optical element.
60 Des formes particulières d'exécution de l'objet de la présente invention sont décrites ci-dessous, à titre d'exemple, en référence aux dessins annexés dans lesquels la figure 1 représente schématiquement un mode de réalisation du dispositif selon l'invention, 60 Particular embodiments of the object of the present invention are described below, by way of example, with reference to the appended drawings in which FIG. 1 schematically represents an embodiment of the device according to the invention,
65 la figure 2 est une vue en plan d'un organe du dispositif illustré par la figure 1 Figure 2 is a plan view of a member of the device illustrated in Figure 1
et la figure 3 représente schématiquement un autre mode de réalisation du dispositif selon l'invention. and FIG. 3 schematically represents another embodiment of the device according to the invention.
3 3
629 299 629,299
Sur la figure 1 un émetteur laser 1, qui peut être par exemple un émetteur continu du type hélium-néon d'une puissance de quelques milliwatts, délivre un faisceau cylindrique 2 suivant un axe 3. Le faisceau 2 traverse d'abord un système optique afocal, constitué de deux lentilles 4 et 5 centrées sur l'axe 3, afin ■ d'augmenter la section du faisceau. Sur le trajet du faisceau élargi 6 et perpendiculairement à ce faisceau est disposé une lame optique 7 comportant deux faces parallèles polies 8 et 9 dont on se propose de déterminer la qualité moyenne du poli. Après traversée de la lame 7 le faisceau arrive sur un système optique convergent formé d'une lentille 10 centrée sur l'axe 3. Dans le plan focal 11 de la lentille 10, est disposé un diaphragme 12 dont le diamètre d de l'ouverture 13 sera précisé ci-dessous. L'énergie lumineuse venant de la lentille 10 et ayant traversé l'ouverture 13 du diaphragme 12 est reçue sur la surface sensible d'un récepteur photoélectrique 14. Une partie de l'énergie lumineuse venant de la lentille 10 et n'ayant pas traversé l'ouverture 13 arrive sur un autre récepteur photoélectrique 15 disposé dans le plan focal 11 à côté de l'ouverture 13. Ce récepteur peut être, comme représenté, fixé sur la face du diaphragme 13 en regard de la lentille 10. Les sorties électriques des récepteurs 14 et 15 sont respectivement connectées à deux appareils 16 et 17 de mesure de tension électrique ; les sorties de ces appareils sont reliées respectivement aux deux entrées d'un circuit 18 diviseur de tension, dont la sortie est connectée à un dispositif d'affichage 19. In FIG. 1, a laser transmitter 1, which may for example be a continuous transmitter of the helium-neon type with a power of a few milliwatts, delivers a cylindrical beam 2 along an axis 3. The beam 2 first passes through an optical system afocal, consisting of two lenses 4 and 5 centered on the axis 3, in order to ■ increase the cross section of the beam. On the path of the widened beam 6 and perpendicular to this beam is disposed an optical plate 7 comprising two polished parallel faces 8 and 9 which it is proposed to determine the average quality of the polish. After crossing the blade 7 the beam arrives on a converging optical system formed by a lens 10 centered on the axis 3. In the focal plane 11 of the lens 10, is arranged a diaphragm 12 whose diameter d of the opening 13 will be explained below. The light energy coming from the lens 10 and having passed through the opening 13 of the diaphragm 12 is received on the sensitive surface of a photoelectric receiver 14. Part of the light energy coming from the lens 10 and having not passed through the opening 13 arrives on another photoelectric receiver 15 disposed in the focal plane 11 next to the opening 13. This receiver can be, as shown, fixed on the face of the diaphragm 13 opposite the lens 10. The electrical outputs receivers 14 and 15 are respectively connected to two devices 16 and 17 for measuring electrical voltage; the outputs of these devices are respectively connected to the two inputs of a voltage divider circuit 18, the output of which is connected to a display device 19.
La valeur d du diamètre de l'ouverture 13 du diaphragme 12 est égale à celle du diamètre de la tache lumineuse qui serait formée par la lentille 10 dans son plan focal, dans le cas où la lentille 10 recevrait directement le faisceau 6, en l'absence de la lame 7. On sait que le diamètre de cette tache est proportionnel à la distance focale de la lentille 10 et à l'angle de divergence du faisceau 6 délivré par le générateur laser constitué par l'émetteur 1 associé au système optique afocal 4-5. The value d of the diameter of the opening 13 of the diaphragm 12 is equal to that of the diameter of the light spot which would be formed by the lens 10 in its focal plane, in the case where the lens 10 receives the beam 6 directly, in l absence of the blade 7. It is known that the diameter of this spot is proportional to the focal distance of the lens 10 and to the angle of divergence of the beam 6 delivered by the laser generator constituted by the emitter 1 associated with the optical system afocal 4-5.
Le dispositif représenté sur la figure 1 fonctionne de la manière suivante. The device shown in Figure 1 operates as follows.
Si les faces 8 et 9 de la lame 7 étaient parfaitement polies et parallèles entre elles toute l'énergie lumineuse du faisceau 6 serait (aux absorptions près) concentrée dans l'ouverture 13 du diaphrame 12, supposée centrée sur l'axe 3. If the faces 8 and 9 of the strip 7 were perfectly polished and parallel to each other, all the light energy of the beam 6 would (apart from absorption) be concentrated in the opening 13 of the diaphragm 12, assumed to be centered on the axis 3.
Comme en pratique la qualité optique des faces 8 et 9 n'est jamais parfaite, une fraction de l'énergie du faisceau 6 est diffusée par la lame 7 et cette fraction d'énergie lumineuse arrive dans le plan focal 11 en dehors de l'ouverture 13 où elle est reçue au moins en partie par le récepteur 15. On a représenté sur la figure 1 un rayon lumineux 20 diffusé à partir d'un point e la face 9 de la lame 7 et arrivant en un point 22 du récepteur 15 après passage dans la lentille 10. La fraction d'énergie diffusée forme, avec l'énergie lumineuse sortant de la lentille 9 et arrivant dans l'ouverture du diaphragme, une tache de diffraction située dans le plan focal 11. As in practice the optical quality of the faces 8 and 9 is never perfect, a fraction of the energy of the beam 6 is diffused by the blade 7 and this fraction of light energy arrives in the focal plane 11 outside of the opening 13 where it is received at least in part by the receiver 15. There is shown in Figure 1 a light ray 20 scattered from a point e the face 9 of the blade 7 and arriving at a point 22 of the receiver 15 after passing through the lens 10. The fraction of scattered energy forms, with the light energy leaving the lens 9 and arriving in the opening of the diaphragm, a diffraction spot located in the focal plane 11.
Dans le cas particulier représenté sur la figure 1, où les faces 8 et 9 de la lame 7 sont rigoureusement parallèles et perpendiculaires à l'axe 3 du faisceau 6, le centre de la tache de diffraction est disposé sur l'axe 3 du dispositif et l'ouverture 13 du diaphragme 12 est alors centrée sur cet axe 3. L'intensité Ii de la lumière reçue sur le récepteur 14 et mesurée par l'appareil 16 correspond à l'énergie lumineuse du faisceau 6 non diffusée par les faces de la lame 7, de laquelle il convient de retrancher évidemment l'énergie lumineuse absorbée par la lame 7 et la lentille 10. L'intensité I2 de la lumière reçue sur le récepteur 15 et mesurée par l'appareil 17 est représentative de la lumière du faisceau 6 diffusée par les irrégularités des faces polies 8 et 9. Le diviseur 18 effectue le rapport des signaux qu'il reçoit, ce rapport étant représentatif de Ix/I2. Il est clair que ce rapport caractérise la qualité moyenne du poli des surfaces 8 et 9 de la lame 7. On obtient ainsi un coefficient, affiché sur le dispositif 19, dont la valeur est d'autant plus élevée que la qualité moyenne du poli des faces 8 et 9 est meilleure. Bien entendu ce coefficient dépend des caractéristiques dimensionnelles du dispositif illustré sur la figure 1. Mais, de toutes façons, ce dispositif permet d'effectuer des mesures comparatives afin de classer par exemple 5 différentes lames optiques suivant la qualité du poli de leurs faces. In the particular case shown in Figure 1, where the faces 8 and 9 of the blade 7 are strictly parallel and perpendicular to the axis 3 of the beam 6, the center of the diffraction spot is disposed on the axis 3 of the device and the aperture 13 of the diaphragm 12 is then centered on this axis 3. The intensity Ii of the light received on the receiver 14 and measured by the apparatus 16 corresponds to the light energy of the beam 6 not diffused by the faces of the blade 7, from which it is obviously necessary to subtract the light energy absorbed by the blade 7 and the lens 10. The intensity I2 of the light received on the receiver 15 and measured by the device 17 is representative of the light of the beam 6 diffused by the irregularities of the polished faces 8 and 9. The divider 18 performs the ratio of the signals it receives, this ratio being representative of Ix / I2. It is clear that this ratio characterizes the average quality of the polish of the surfaces 8 and 9 of the blade 7. This gives a coefficient, displayed on the device 19, the value of which is all the higher as the average quality of the polish of the sides 8 and 9 is better. Of course, this coefficient depends on the dimensional characteristics of the device illustrated in FIG. 1. But, in any case, this device makes it possible to carry out comparative measurements in order to classify for example 5 different optical blades according to the quality of the polish of their faces.
Lorsque les faces de la lame ne sont pas rigoureusement perpendiculaires à l'axe 3, par suite par exemple d'un défaut de parallélisme, le centre de la tache de diffraction est décalé par io rapport à l'axe du dispositif; il convient alors de disposer le diaphragme 12 dans le plan focal 11 de manière que son ouverture 13 soit centrée, non sur l'axe 3, mais sur le centre de la tache de diffraction. Pour cela il suffit de déplacer dans le plan focal 11 le diaphragme 12 ou la zone circulaire de concentration 15 du faisceau sortant de la lentille 10 pour placer l'ouverture du diaphragme en un point du plan focal choisi de manière que l'intensité de lumière reçue sur le récepteur 14 soit maximale. When the faces of the blade are not strictly perpendicular to the axis 3, owing for example to a lack of parallelism, the center of the diffraction spot is offset by io relative to the axis of the device; it is then necessary to arrange the diaphragm 12 in the focal plane 11 so that its opening 13 is centered, not on the axis 3, but on the center of the diffraction spot. For this, it suffices to move in the focal plane 11 the diaphragm 12 or the circular zone of concentration 15 of the beam leaving the lens 10 to place the aperture of the diaphragm at a point on the focal plane chosen so that the intensity of light received on the receiver 14 is maximum.
C'est ainsi qu'il est montré sur la figure 1 un organe 24 capable de dévier le faisceau 25 sortant de la lentille 10. Cet 2o organe 24 est commandé pair un circuit 26 de manière que le cercle de concentration du faisceau 25 effectue un balayage d'une surface prédéterminée du plan focal 11. De plus, un circuit 27 qui reçoit sur son entrée 28 le signal de sortie de l'appareil de mesure 16 relié au récepteur 14, délivre un signal de com-25 mande vers le circuit 18 au moment où le signal reçu à l'entrée 28 est maximal. Ce signal de commande déclenche l'opération de division effectuée par le circuit 18. Thus, it is shown in FIG. 1 a member 24 capable of deflecting the beam 25 leaving the lens 10. This 2o member 24 is controlled by a circuit 26 so that the beam concentrating circle 25 performs a scanning of a predetermined surface of the focal plane 11. In addition, a circuit 27 which receives on its input 28 the output signal from the measuring device 16 connected to the receiver 14, delivers a control signal to the circuit 18 when the signal received at input 28 is maximum. This control signal triggers the division operation performed by the circuit 18.
L'organe 24 peut être avantageusement un appareil appelé diasporamètre et constitué essentiellement de deux prismes di-30 sposés à proximité l'un de l'autre, un des prismes pouvant tourner par rapport à l'autre autour d'un axe traversant les faces des prismes. The member 24 can advantageously be a device called a diasporameter and essentially consists of two di-30 prisms spaced close to one another, one of the prisms being able to rotate with respect to the other around an axis crossing the faces prisms.
La figure 2 montre une vue en plan du diaphragme 12 et du récepteur 15 représentés de bout sur la figure 1. On voit que, le 35 diaphragme 12 étant circulaire, la surface de réception du récepteur 15 peut avoir la forme d'un secteur circulaire du cercle périphérique du diaphragme. FIG. 2 shows a plan view of the diaphragm 12 and of the receiver 15 shown at the end in FIG. 1. It can be seen that, the diaphragm 12 being circular, the receiving surface of the receiver 15 can have the shape of a circular sector of the peripheral circle of the diaphragm.
Dans une réalisation préférée, le récepterur 15 peut être constitué par un réseau de photodiodes ; les différentes photo-40 diodes du réseau sont connectées entre elles par exemple en série et les extrémités de la branche ainsi formée sont connectées à l'appareil 17. In a preferred embodiment, the receiver 15 may be constituted by an array of photodiodes; the various photo-40 diodes of the network are connected to each other for example in series and the ends of the branch thus formed are connected to the device 17.
La figure 3 illustre un mode de réalisation du dispositif selon 45 l'invention spécialement adapté au cas où la surface polie dont on désire déterminer la qualité optique est la surface réfléchissante d'un miroir tel qu'un miroir plan 23. Sur cette figure on a désigné par les mêmes références numériques les éléments qui sont identiques à ceux de la figure 1. FIG. 3 illustrates an embodiment of the device according to 45 the invention specially adapted to the case where the polished surface whose optical quality is to be determined is the reflecting surface of a mirror such as a plane mirror 23. In this figure we has designated by the same reference numerals the elements which are identical to those of FIG. 1.
so On voit sur la figure 3 que le faisceau 16 sortant du dispositif afocal 4-5 disposé à la sortie de l'émetteur laser 1 est renvoyé par le miroir 23 vers la lentille 10. La surface de réception du diaphragme 14 est délimitée par l'ouverture circulaire 13 du diaphragme 12. L'énergie lumineuse sortant de la lentille 10 et 55 reçue sur le récepteur 14 à travers l'ouverture 13 correspond aussi, dans ce cas, à la partie du faisceau 16 non diffusée sur les irrégularités de la surface réfléchissante du miroir 23. Par contre l'énergie lumineuse reçue sur le récepteur 15 correspond à la partie du faisceau 16 diffusée par les irrégularités du poli de 6o cette surface réfléchissante. n / a We see in Figure 3 that the beam 16 leaving the afocal device 4-5 disposed at the output of the laser transmitter 1 is returned by the mirror 23 to the lens 10. The receiving surface of the diaphragm 14 is delimited by l circular opening 13 of the diaphragm 12. The light energy exiting from the lens 10 and 55 received on the receiver 14 through the opening 13 also corresponds, in this case, to the part of the beam 16 not scattered on the irregularities of the reflective surface of the mirror 23. On the other hand, the light energy received on the receiver 15 corresponds to the part of the beam 16 scattered by the irregularities of the polish of this reflective surface.
On a aussi représenté sur la figure 3 un système 29 electro mécanique d'un type connu capable de commander un déplacement de l'ensemble 30 constitué par le diaphragme 12 et le récepteur 14. Ce déplacement est tel que l'ouverture 13 du 65 diaphragme 12 effectue un balayage d'une surface prédéterminée dans le plan focal 11. Ce dispositif comporte en outre, comme celui illustré par la figure 1, un circuit 27 recevant le signal de sortie de l'appareil de mesure 16 et capable de déclencher FIG. 3 also shows an electro-mechanical system 29 of a known type capable of controlling a movement of the assembly 30 constituted by the diaphragm 12 and the receiver 14. This movement is such that the opening 13 of the 65 diaphragm 12 performs a scanning of a predetermined surface in the focal plane 11. This device further comprises, like that illustrated in FIG. 1, a circuit 27 receiving the output signal from the measuring device 16 and capable of triggering
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4 4
l'opération de division du circuit 18 au moment où ce signal de sortie est maximal. the operation of dividing the circuit 18 at the moment when this output signal is maximum.
Le système 29 permet donc, comme le dispositif 24-26 illustré par la figure 1, d'effectuer automatiquement le centrage relatif de la tache de diffraction par rapport au diaphragme, et de déclencher la mesure au moment précis où le centrage est réalisé. The system 29 therefore makes it possible, like the device 24-26 illustrated in FIG. 1, to automatically perform the relative centering of the diffraction spot relative to the diaphragm, and to trigger the measurement at the precise moment when the centering is carried out.
Le fonctionnement du dispositif représenté sur la figure 3 est tout à fait analogue à celui du dispositif illustré sur la figure 1. The operation of the device shown in FIG. 3 is entirely similar to that of the device illustrated in FIG. 1.
Le dispositif illustré par la figure 3 permet également de déterminer un coefficient représentatif de la qualité du poli optique de la surface réfléchissante du miroir 23, un tel dispositif permettant aussi des mesures comparatives de la qualité optique s des miroirs. The device illustrated in FIG. 3 also makes it possible to determine a coefficient representative of the quality of the optical polish of the reflecting surface of the mirror 23, such a device also allowing comparative measurements of the optical quality s of the mirrors.
Le dispositif selon la présente invention peut être appliqué à la détermination de la qualité du poli des surfaces d'éléments optiques tels que lames, lentilles, miroirs plans ou sphériques. The device according to the present invention can be applied to determining the quality of the polish of the surfaces of optical elements such as blades, lenses, plane or spherical mirrors.
C VS
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