CH626992A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
CH626992A5
CH626992A5 CH707379A CH707379A CH626992A5 CH 626992 A5 CH626992 A5 CH 626992A5 CH 707379 A CH707379 A CH 707379A CH 707379 A CH707379 A CH 707379A CH 626992 A5 CH626992 A5 CH 626992A5
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
beams
combined
plane
pairs
pattern
Prior art date
Application number
CH707379A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
James Mckelvie
Colin Alexander Walker
Original Assignee
Nat Res Dev
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nat Res Dev filed Critical Nat Res Dev
Publication of CH626992A5 publication Critical patent/CH626992A5/fr

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • G01B11/165—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by means of a grating deformed by the object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
    • G01B2290/30—Grating as beam-splitter

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
CH707379A 1977-11-25 1978-11-24 CH626992A5 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB4917077 1977-11-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH626992A5 true CH626992A5 (de) 1981-12-15

Family

ID=10451426

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH707379A CH626992A5 (de) 1977-11-25 1978-11-24

Country Status (6)

Country Link
EP (1) EP0006945A1 (de)
JP (1) JPS54500096A (de)
CH (1) CH626992A5 (de)
FR (1) FR2454602A1 (de)
GB (1) GB2008791B (de)
WO (1) WO1979000320A1 (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8005258A (nl) * 1980-09-22 1982-04-16 Philips Nv Interferometer.
US4474466A (en) * 1981-03-11 1984-10-02 National Research Development Corporation Measurement of deformation
FR2504256A1 (fr) * 1981-04-16 1982-10-22 Euromask Procede et dispositif de mesure optique de deplacement et application aux photorepeteurs sur tranche
GB2242518B (en) * 1990-03-12 1994-03-30 Univ Southampton Strain gauge
NL1011035C2 (nl) * 1999-01-15 2000-07-18 Kema Nv Werkwijze en inrichting voor het meten van in-vlak verplaatsingen.
CN103278268A (zh) * 2013-05-31 2013-09-04 哈尔滨工业大学 基于散斑干涉原理的应力测试装置及应力集中测试方法
US9459093B2 (en) * 2014-02-20 2016-10-04 Kabushiki Kaisha Toshiba Deflection measuring device and deflection measuring method

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2127483A1 (de) * 1971-06-03 1972-12-14 Leitz Ernst Gmbh Verfahren zur interferentiellen Messung von Langen, Winkeln, Gangunter schieden oder Geschwindigkeiten

Also Published As

Publication number Publication date
EP0006945A1 (de) 1980-01-23
FR2454602B1 (de) 1983-01-28
WO1979000320A1 (en) 1979-06-14
GB2008791A (en) 1979-06-06
GB2008791B (en) 1982-04-28
FR2454602A1 (fr) 1980-11-14
JPS54500096A (de) 1979-12-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2493541A1 (fr) Procede et equipement pour analyser une deviation de rayonnement
EP3765835B1 (de) Momentanellipsometer oder streumessgerät und zugehöriges messverfahren
FR2541447A1 (fr) Procede de mesure de chemin optique et interferometre laser pour sa realisation
CH423278A (fr) Dispositif pour déterminer les coordonnées relatives de deux ou plusieurs points sur un objet par rapport à deux axes qui se coupent
FR2647913A1 (fr) Dispositif optique a reseau et element separateur pour le controle, par detection de phase, d'un quelconque systeme optique, en particulier d'une lentille ophtalmique
EP3069185A1 (de) Dreidimensionale fokussierungsvorrichtung und verfahren für ein mikroskop
FR2513371A1 (fr) Procede de determination des parametres geometriques de la surface d'un objet et son dispositif de mise en oeuvre
EP0053052B1 (de) Interferometrische Einrichtung zur Echtzeit-Sichtbarmachung der Verformungen von schwingenden Gegenständen
EP0028548A1 (de) Optisches Realzeit-Korrelationssystem
FR2490808A1 (fr) Interferometre et dispositif comportant cet interferometre
CH626992A5 (de)
EP0383832B1 (de) Messverfahren zum bestimmen von durchmessern von drähten oder profilen oder rundkörpern durch beugung von lichtstrahlen und einrichtung zur durchführung des verfahrens
EP0458752B1 (de) Messverfahren des Einfallwinkels eines Lichtstrahls, Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens sowie deren Verwendung zur Entfernungsmessung
EP0402191A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Linienbreite mit optischem Abtasten
EP1682879B1 (de) Verwendung einer optischen fourier-transformation zur einhaltung der grössentoleranz in der mikroelektronik
EP0065429A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Wegmessung und Verwendung zur schrittweisen Photoreproduktion
EP0673500B1 (de) Interferometrische messvorrichtung
FR2542878A1 (fr) Dispositif de balayage
FR2612628A1 (fr) Dispositif de mesure par interferometrie laser
FR2684202A1 (fr) Procede et dispositif holographiques perfectionnes en lumiere incoherente.
EP0069071A2 (de) Identifikationsverfahren eines Objekts und Messung seiner Rotation und seiner Orientation und Vorrichtung zur Ausführung dieses Verfahrens
EP0591912B1 (de) Interferometer, bestehend aus einer integrierten Anordnung und einem Spiegel, die durch eine Messzone voneinander getrennt sind
WO2023156519A1 (fr) Systèmes et procédés d'analyse de la qualité de surface d'une lame à faces parallèles
FR2530018A1 (fr) Dispositif permettant de determiner le comportement dans le temps d'impulsions optiques ultra-courtes
EP0591911A2 (de) Interferometer bestehend aus einer integrierten Anordnung und einem reflektierenden Teil, die durch eine Messzone voneinander getrennt sind

Legal Events

Date Code Title Description
PL Patent ceased