FR2513371A1 - Procede de determination des parametres geometriques de la surface d'un objet et son dispositif de mise en oeuvre - Google Patents

Abstract

LE DISPOSITIF COMPREND UN SYSTEME OPTIQUE 1 POUR LA CREATION DE L'IMAGE D'INTERFERENCE, UN PHOTO-ENREGISTREUR 3 POUR SON ENREGISTREMENT, UN MODULE 5 DE CONSIGNE DES COORDONNEES ET UN MODULE 6 POUR LA MESURE DU NUMERO DES FRANGES SUR L'IMAGE D'INTERFERENCE ENREGISTREE. IL EST PREVU DANS LE DISPOSITIF UN MARQUEUR 4 DE FRANGE ZERO, UN SOUS-ENSEMBLE 7 POUR LA MESURE DE LA POSITION DES EXTREMUMS DANS L'ESPACE ET DE LA PERIODE ENTRE EUX, UN MODULE 10 POUR LA DETERMINATION DE LA TROISIEME COORDONNEE, AVEC UN PROCESSEUR 11 AYANT UNE MEMOIRE 12.

Description

PROCEDE DE DETERMINATION DES PARAMETRES GEOMETRIQUES DE LA SURFACE D'UN

OBJET ET SON DISPOSITIF DE MISE EN OEUVRE. La présente invention concerne la métrologie, et no- 5 tamment les procédés de détermination des paramètres géo- metriques de la surface d'objets et les dispositifs pour les mettre en oeuvre. Elle peut être appliquée à la détermi- nation de la forme et des déformations d'objets, ainsi 10 qu'à la mesure des trajectoires d'un objet mobile Elle peut, par exemple, être utilisée pour déterminer les dé- formations et la trajectoire des pales du rotor de sustentation d'un hélicoptère pendant sa rotation. En outre, l'invention peut trouver des applications 15 étendues là o il est nécessaire de déterminer avec pré- cision la troisième coordonnée d'une surface dont les deux autres coordonnées sont connues, ce qui est fréquent en construction mécanique, en métrologie, surtout pour les mesures sans contact. 20 La détermination sans contact des paramètres géo- metriques des surfaces d'objets tels que la surface des éléments des appareils volants, des navires, des struc- tures de construction mécanique, les surfaces d'eau (dér termination de leur forme, de leur position, de leurs déplacements et de leurs déformations), est un problème te- chnique compliqué d'actualité On connaît un grand nombre. de.méthodes et dispositifs optiques sans contact (exploi- tant l'holographie, le principe de la moire, l'interfé- rence de la lumière) destinés à la résolution de cas par- 30 ticuliers de ce problème. On connatt un procédé de détermination des para- mètres géométriques de la surface d'un objet (voir par exemple le brevet US n 3 619 064) consistant à créer sur la

2 surface à étudier de l'objet une image d'interférence, en projetant sur elle deux faisceaux de lumière cohérente faisant un certain angle entre eux, à enregistrer cette image d'interférence,puis à recréer cette même image d'in- 5 terférence sur la surface de l'objet à un autre instant, ou bien sur la surface d'un autre objet, à mettre en coïncidence la seconde image avec celle enregistrée aupa- ravant, puis, d'après l'image de franges moirées se formant lors de la mise en coïncidence, à juger des changements 10 de la forme de la surface de l'objet ou des différences de forme des surfaces de deux objets à comparer. Toutefois, la "méthode de la moire" ne permet de dé- terminer que les différences de forme de la surface de l'objet à différents instants, ou bien les différences de 15 forme des surfaces de deux objets, ce qui peut être uti- lisé pour déterminer la déformation de l'objet ou pour comparer des objets à un étalon, mais ne permet pas de déterminer la forme réelle ou vraie et la position de la surface de l'objet. 20 En outre, là méthode de la moire, appliquée à la détermination de la valeur de la déformation ou à la comparaison avec un étalon, donne une grande erreur (s'éle- vant à près de la moitié de la période des franges d'in- terférence) pour une plage relativement faible de varia- 25 tion des paramètres géométriques ; ceci résulte du prin- cipe de cette méthode, voulant que la période des franges moirées soit de quelques fois plus grande que celle des franges de l'image d'interférence sur la surface à étu- dier. 30 On connaît aussi un procédé de détermination des paramètres géométriques de la surface d'un objet (voir par exemple le brevet US N O 3 907 438) dans lequel une image d'interférence est

3- créée sur la surface de l'objet à étudier et enregistrée, puis la valeur cherchée des paramètres géométriques est déterminée d'après le numéro et la forme des franges d'in- terférence sur l'image enregistrée. 5 Quand deux faisceaux concourants de lumière cohérente sont projetés sur une surface avec des angles d'incidence non nuls, il se forme sur cette surface des franges d'in- terférence, qui sont les lignes d'intersection de la sur- face à étudier avec les surfaces des extrémums d'interférence dans l'espace. De la sorte, les franges d'interférence représentent sur la surface à étudier les contours topographiques de niyeau définis par les surfaces des extrémums d'interféren- ce Connaissant l'angle v entre les faisceaux, on peut 15 déterminer la période des extrémums S par la formule S_ ~~~A, ( 1) étant la longueur d'onde de la lumière. En déterminant en chaque point de la surface défini par deux coordonnées X et Y, le changement du numéro de la frange d'interférence an par rapport à un point de réfé- 20 rence, pour une période connus S des extrémums d'inter- férence et un angle connu l O d'incidence des faisceaux à la surface, on peut déterminer l'écart relatif a Z de la troisième coordonnée au point donné de la sur- face: -i=g à ne = A ar ( 2) 25 Par mesure du changement du numéro de la frange, on peut déterminer non seulement la valeur entière, mais aussi la valeur fractionnaire de l'intervalle entre les franges. C'est pourquoi la précision de mesure par ce procédé est plus grande que celle du procédé de la moire.

-4- En outre, il n'y a pas de limitations pour la plage des écarts de surface à mesurer, limitations qui sont notables dans la méthode la moire. Toutefois, ce procédé, de même que le procédé de la 5 moire, ne permet de déterminer que l'écart relatif de for- me de la surface à étudier par rapport à la surface ini- tiale ou à la surface étalon; i l ne permet pas de déter- miner la forme vraie, la position et le déplacement de la surface dans l'espace. 10 Un autre inconvénient du procédé connu est la néces- sité d'engendrer et de projeter sur la surface à étudier deux faisceaux de lumière collimatés, dans toute la zone d'intersection desquels les valeurs S et et sont cons- tantes Il s'ensuit que la section des faisceaux çollima- 15 tés détermine la dimension des surfaces à étudier Ceci exclut la possibilité de l'étude d'objets réels de grandes dimensions, tels que, par exemple, les surfaces de sus- tentation des appareils volants. Si la surface à étudier est illuminée par deux fais20 ceaux divergents de lumière cohérente, les valeurs des paramètres S et e aux différents points de la zone d'in- tersection des faisceaux seront différentes Dans ce cas, mêmes les problèmes de détermination des changements rela- tifs de forme de la surface sont impossibles à résoudre 25 en l'absence d'une information a priori sur le déplace- ment d'au moins un point de la surface. Encore un autre inconvénient du procédé connu con- siste en ce que le numéro de la frange est déterminé sur l'-image enregistrée soit par comptage visuel, soit par 30 mesure photométrique de l'image et comptage des maximums et des minimums de la densité de noircissement. Dans le premier cas, des erreurs notables de carac- tère subjectif peuvent se produire Dans le second cas, il peut se produire des erreurs de comptage conditionnées 35 par les faux maximums et minimums de densité de noircis- sement, du à l'irrégularité du pouvoir réfléchissant de

5 - la surface à étudier, à la présence sur cette surface de petits éléments, inégalités, défauts, à la structure cel- lulaire ou granulaire du produit photosensible utilisé pour enregistrer l'image, aux défauts de l'image apparus lors 5 de l'enregistrement, etc La conséquence de ce qui vient d'être dit est la précision et la fiabilité insuffisantes des mesures. Ch connait encore un dispositif pour la déternination des paramètres géométriques de la surface d'un objet, compre- 10 nant un système optique pour la production de deux fais- ceaux de lumière cohérente et leur projection sur la sur- face à étudier, un photo-enregistreur pour l'enregistre- ment de l'image d'interférence créée sur la surface et un sous-ensemble de mesure des coordonnées et du numéro des 15 franges-de l'image d'interférence enregistrée (voir, par exemple, le brevet us no 3 907 438 déjà cité). Pour illuminer les surfaces de gros objets, le système optique peut être réalisé de façon qu'il puisse engendrer deux faisceaux divergents de lumière cohérente (voir par 20 exemple, le brevet US N O 3 619 064 déjà cité). Toutefois, le dispositif connu ne permet de déter- miner que l'accroissement relatif de la coordonnée au point donné, par rapport à la coordonnée aux autres points de la surface C'est pourquoi le dispositif est in- 25 sensible aux déplacements communs de la surface de l'ob- jet et à sa forme, et, dans le cas d'étude d'objets de grandes dimensions, le dispositif connu ne permet de dé- terminer les déplacements relatifs que si l'on dispose d'une information complémentaire, fournie par une autre 30 source, sur le déplacement d'au moins un point de la sur- face Dans les autres cas, le dispositif ne permet d'ob- tenir que des données qualitatives sur les paramètres gé- ométriques de la surface à étudier. Un autre inconvénient du dispositif consiste en ce 35 que les modules de conceptions connues pour la mesure

(comptage) du numéro des franges sur l'image d'inter- férence enregistrée n'assurent pas une précision et une fiabilité suffisante des mesures,par suite de la présen- ce d'un facteur subjectif dans le processus de mesure 5 et par suite de la grande sensibilité de principe aux défauts et aux éléments secondaires de l'image enregis- trée et du Produit d'enregistrement photographique. En outre, les modules de telles conceptions ne per- mettent pas d'automatiser le processus d'analyse de l'i- 10 mage enregistrée, principalement à cause de la forte é- ventualité de faux comptages et de la faible immunité au bruit C'est pourquoi l'analyse des images dans le but d'obtenir des données numériques sur les paramètres géo- métriques est'un processus compliqué, long et lourd de 15 main-d'oeuvre. On s'est proposé d'élaborer un procédé de détermi- nation des paramètres géométriques de la surface d'un objet, qui rendrait possible la détermination de la valeur absolue de la troisième coordonnées, les deux 20 autres coordonnées étant connues, par mise en oeuvre du matériel interférentiel, ainsi que de créér un disposi- tif de grande précision pour la détermination des coordon- nées du point considéré par exploitation de l'image d'in- terférence. 25 L'l % 7 ention consiste donc en un procédé de détermination des paramètres géométriques de la surface d'un objet, suivant lequel une image d'interférence est créée sur la surface à étudier, en projetant sur cette surface deux faisceaux de lumière cohérente faisant un certain 30 angle entre eux, l'image d'interférence est enregistrée, puis l'accroissement de la troisième coordonnée est déterminé d'après le numéro de la frange de l'image en- registrée en chaque point de la surface défini par deux coordonnées, ce procédé étant caractérisé en ce que, 35 avant l'enregistrement de l'image d'interférence, on marque l'une des franges d'interférence pour créer une

frange zéro de référence, on mesure la possition dans l'espace de la surface d'extrémum interférentiel cor- respondant à la frange zéro marquée et la distribution des périodes des surfaces de tous les extrémums inter, 5 férentiels dans l'espace, le long de l'axe de la troi- sième coordonnée, puis on détermine l'accroissement de la troisième coordonnées par rapport à la surface de , la frange-zéro, aux points voulus définis par deux coordonnées, par addition des valeurs des périodes-des 10 surfaces des extrémums correspondant aux franges sur l'image enregistré situées entre la frange zéro et les points voulus. Un tel procédé permet de déterminer, d'après l'ima- ge d'interférence enregistrée et la distribution connue. 15 des périodes des extrémums interférentiels, l'accroisse- ment de la troisième coordonnées cherchée par rapport à la surface de l'extrémum zéro Comme la position de la surface de l'extrémum zéro dans l'espace est elle aussi déterminée, on trouve la position absolue de chaque 20 point de la surface dans l'espace. Ce procédé convient à l'étude des surfaces d'objets de grandes dimensions, car la distribution mesurée des périodes des surfaces des extrémums interférentiels ut , le long de l'axe de la troisième coordonnée cher- 25 chée Z , tient compte des variations des deux paramèt- res S et 2) dans la zone d'intersection, vu que Cas V Pour le marquage de la frange zéro d'interférence, il est avantageux de créer deux images d'interférence, mutuellement semblables ayant la même forme de distri- 30 bution des extrémums interférentiels dans l'espace, mais avec des valeurs des périodes telles que leur rap- port soit un nombre-constant non entier, d'enregistrer les deux images, et de choisir en tant que frange zéro la frange en coïncidence sur les deux images.

-8 - Un tel marquage de la frange zéro permet la mise en évidence d'une même surface d'extrémum interférentiel dans toute la zone d'intersection Cette surface est d'ordi- naire le plan de symétrie des faisceaux. 5 En outre, un tel procédé de marquage convient aux images d'interférence comportant un nombre pratiquement quelconque d'extrémums interférentiels. Pour déterminer les paramètres géométriques d'un objet en mouvement, i/est avantageux de créer l'image 1 O d'interférence sur la surface de l'objet par une série d'impulsions courtes. Dans ce cas, on obtient une série d'images d'inter- férence portant une information sur la forme et la posi-. tion de la surface à étudier à des instants connus, d'ap- 15 rès laquelle on peut déterminer la trajectoire de tout point de la surface de l'objet et la dépendance des pro- cessus de déformation de l'objet vis-à-vis du temps. Le procédé de détermination des paramètres géométriques de la surface d'un objet peut être mis en oeuvre à l'aide 20 d'un dispositif comprenant un système optique pour la pro- duction de deux faisceaux de lumière cohérente et la pro- jection de ces faisceaux sur la surface à étudier de fa- çon qu'ils fassent un certain angle entre eux, un photo- -enregistreur pour l'enregistrement de l'image d'inter- 25 férence créée sur la surface, un module de consigne pour deux coordonnées et un module de mesure (comptage du nu- méro des franges de l'image d'interférence enregistrée, ce dispositif étant caractérisé en ce qu'il est prévu un marqueur pour mettre en évidence une frange zéro de 30 référence sur la surface de l'objet, un sous-ensemble pour la mesure de la position dans l'espace des surfaces des extrémums interférentiels et de la période entre eux, comprenant un support avec un élément photosensible, pouvant se déplacer avec détermination des coordonnées 35 suivant trois axes, le long et en travers des faisceaux dans la zone de leur intersection, et en ce qu'il est prévu un mdule de détermination de la troisième coordonnée des points

-9- de la surface, comprenant un processeur avec une mémoire, raccordé au module de consigne pour deux coordonnées, au module de mesure du numéro des franges par rapport à la frange zéro sur l'image enregistrée et au sous-ensemble 5 pour la mesure de la position dans l'espace des surfaces des extrémums interférentiels et de leur période, ce mo- dule étant réalisé de façon qu'il fasse la somme des pé- riodes en fonction du numéro de la frange correspondant au point voulu (nombre de franges situées entre la frange 10 zéro et le point voulue), constitué par une partie entière et une partie fractionnaire, en tenant compte de la va- leur des périodes dans la section correspondant aux deux coordonnées trouvées du point voulu, et qu'il l'ajoute à la valeur de la troisième coordonnée de la surface de 15 l'extrémum de la frange zéro dans cette même section, en obtenant ainsi la valeur absolue de la troisième coor- donnée du point de la surface. La grande précision des mesures et la fiabilité des résultats sont assurées grâce au fait que, dans le pro- 20 cédé conforme à l'invention, le numéro de la frange est déterminé sur l'image enregistrée à l'aide d'une image complémentaire de franges d'interférence progressives, de dimensions plus petites que celles de l'image enregistrée et à période des franges d'interférence égale à 25 la période des franges sur l'image enregistrée ou mul- tiple de cette période, par balayage continu avec l'image complémentaire aux points prédéterminés sur la surface par deux coordonnées, conversion de la lumière résultant de 1 la composition de l'image complémentaire avec l'image 30 enregistrée en signal électrique, le numéro de la frange, constitué par une partie entière et une partie fraction- naire, étant déterminé d'après le changement de la phase de la composante alternative du signal obtenu, par rapport à la phase du signal aux points de l'image enregistrée, 35 situés sur la frange zéro. *~ ~ 2513371 -10- Les changements de la phase de la composante alterna- tive du signal photoélectrique obtenu caractérisent le nombre de franges de l'image enregistrée, coupées lors du balayage par le centre de l'image complémentaire, le nom- 5 bre entier de cycles de changement de la phase correspon- dant au nombre de franges coupées pendant le balayage, et les changements de la phase dans les limites de 2 i 9 correspondant à la partie de l'intervalle qui est située entre la frange précédente et le point actue a Uquel 10 s'effectue la détermination de la phase. Les phasemètres électroniques modernes ont une er- reur de mesure de la phase d'environ 0,1 , ce qui cor- respond à environ 3 10-4 de la période Par conséquent, la mesure de la partie de frange de l'image enregistrée par 15 le procédé proposé peut s'effectuer avec une erreur de A/10 000 à /1000 et même plus petite. L'obtention d'une grande précision de mesure est aussi favorisée par le fait que le signal photoélectrique est un signal à bande étroite dans la gamme des fréquences 20 radioélectriques, qui peut être débarrassé des perturba- tions,bruits parasites induits, par filtrage et amplifié, à l'aide de moyens connus de la radioélectricité. Les mesures de phase permettent de moyenner la valeur à mesurer durant un temps aussi long qu'on le désire, ce 25 qui permet de supprimer l'influence des vibrations et des fluctuations dans les voies dessignaux optiques et électriques. Les mesures des coordonnées de balayage et du numéro dé la frange sont exemptes des éléments subjectifs, tels 30 que la lecture visuelle et l'enregistrement manuel des données, aussi les erreurs qui leur sont liées sont-elles supprimées. Tout cela contribue à l'élévation de la précision et de la fiabilité des résultats. 55 Cet objectif est aussi atteint grâce au fait que, dans le dispositif mettant en oeuvre le procédé,et selon l'inven-

tion, le module pour la mesure du numéro des franges comprend une table de mesure à deux coordonnées, avec des capteurs de coordonnées et des actionneurs électriques,. sur laquelle se place l'image enregistrée, un système op- 5 tique pour la création d'une image de franges d'inter-. férence progressives avec une source de rayonnement co- hérent continu, un sous-ensemble de réglage de l'image d'interférence avec des capteurs et des actionneurs élec- triques, un récepteur photoélectrique d'une partie du 10 rayonnement séparée dans la partie centrale de l'image des franges progressives avant sa composition avec l'image enregistrée, et un récepteur photoélectrique de rayonne- ment résultant de la composition avec l'image enregistrée, un convertisseur numérique de phase, dont les entrées sont 15 raccordées aux sorties des récepteurs photoélectriques via des filtres de fréquence radioélectriques, et un micropro- cesseur de commande, dont les entrées sont raccordées à la sortie du convertisseur numérique de phase, aux capteurs de la table à coordonnées et aux capteurs du sous-ensemble 20 de réglage de l'image d'interférence, et dont les sorties sont raccordées aux actionneurs électriques de la table a coordonnées et du sous-ensemble de réglage de l'image d'interférence. De pair avec la haute précision des mesures et la 35 grande fiabilité des résultats, le dispositif faisant l'objet de l'invention assure l'exécution du cycle comp- let des mesures sans participation humaine, ce qui simplifie, accélère et allège notablement le processus de mesure, permet d'automatiser complètement l'étude des 30 caractéristiques géométriques de la surface des objets. Dans ce qui suit, l'invention est expliquée par la description d'un exemple concret de réalisation, donné ici à titre de variante illustrative nullement limitative et accompagné par des dessins annexés, dans lesquels:

12 - la figure 1 représente le schéma synoptique d'un dis- positif pour réaliser le procédé de détermination des pa- ramètres géométriques de la surface d'un objet; la figure 2 a représente schématiquement la zone d'in5 tersection de faisceaux parallèles de lumière cohérente au- -dessus de la surface à étudier, avec indication des plans des extrémums interférentiels, dont le plan zéro, dans le plan des coordonnées OXZ; la figure 2 b représente schématiquement les franges 10 d'interférence sur la surface, dans le plan OXY; la figure 3 représente schématiquement les surfaces des extrémums interférentiels dans la zone d'intersection de faisceaux divergents de lumière cohérente; la figure 4 représente schématiquement une variante 15 de système optique pour la production de deux paires de faisceaux de rayonnement cohérent différant par leur angle d'intersection; -la figure 5 représente une autre variante de système optique, utilisant un rayonnement à deux longueurs d'on- 20 des; la figure 6 représente schématiquement la zone d'in- tersection de deux paires de faisceaux et les deux sys- t&mes de surfaces des extrémums interférentiels qui apparaissent; 25 la figure 7 a représente schématiquement la distribution de l'intensité de lumière pour l'image des franges d'interférence progressives et de la densité de noircis- sement du produit photographique pour l'image enregistrée; la figure 7 b représente les mêmes distributions après 30 déplacement de l'image enregistrée à une distance t X; la figure 7 c représente le diagramme des variations dans le temps de l'intensité de la lumière résultant de la composition avec l'image enregistrée pour le cas représenté par la figure 7 a; 35 la figure 7 d représente le même diagramme pour le cas représenté par la figure 7 b;

13 - la figure 8 représente le schéma synoptique du mo- dule (figure 1) pour la mesure de grande précision du numéro de la frange. Le dispositif, dont le schéma synoptique est repré- 5 senté par la figure 1, comprend un système optique 1 pour la production de deux faisceaux de lumière cohérente et la projection de ces faisceaux sur la surface 2 à étudier, de façon qu'ils fassent un certain angle entre eux, un photo-enregistreur 3 pour l'enregistrement de l'image 10 d'interférence qui se forme sur la surface 2, un marqueur 4 pour la mise en évidence de la frange zéro sur l'image enregistrée, un module 5 de consigne pour deux coordonnés, un module 6 pour la mesur Q du numéro des franges de l'i- mage enregistrée, un sous-ensemble 7 pour la mesure de la. 15 position dans l'espace des surfaces des extrémums interfé- rentiels dans la zone d'intersection des faisceaux, ce sous-ensemble 7 étant constitué par un support 8 avec un élément photosensible 9 ayant la possibilité de se dé- placer avec détermination des coordonnées suivant les 20 trois axes X, Y et Z, et un module 10 pour la détermina- tion de la troisième coordonnée des points dç la surface, ce module 10 étant constitué par un processeur 11, une mémoire 12 et des périphériques: une console 13 de visuali- sation, une imprimante 14 et un traceur 15 de courbes, le 25 module 6 étant relié aux sorties du photo-enregistreur 3, du module 5 de consigne pour deux coordonnées et du sous-ensemble 7 pour la mesure de la position, et les entrées du processeur 11 étant raccordées aux sorties du module 6 et du sous-ensemble 7. 30 Le dispositif fonctionne de la façon suivante. A l'aide du système optique 1, on crée sur la sur- face 2 à étudier une image d'interférence, en projetant sur cette surface 2 deux faisceaux de lumière cohérente faisant un certain angle entre eux les deux faisceaux 35 peuvent être parallèles, convergents ou divergents, selon

14 - les dimensions de la surface à étudier et la plage des caractéristiques géométriques à mesurer. A l'aide du photo-enregistreur 3 on enregistre l'i- mage d'interférence Le photo-enregistreur 3 peut être 5 un appareil photographique, une caméra de cinéma oqu~ne- caméra de télévision avec enregistrement de l'image par un magnétoscope, des matrices d'éléments photosensibles avec introduction subséquente du code numérique de l'i- mage dans la mémoire, ainsi qu'une couche photosensible 10 déposée directement sur la surface à étudier Pour réa- liser le procédé faisant l'objet de l'invention, le plus commode est l'enregistrement à l'aide d'un appareil pho- tographique ou d'une caméra de cinéma. A l'aide du module 5 on impose ou on mesure deux 15 coordonnées du point voulu de la surface sur l'image en- registrée On impose les deux coordonnées X et Y du point voulu dans un plan de coordonnées OXY (figure 2 b), coïncidant à peu près avec la portion de surface à étu- dier de l'objet à l'instant initial, ce plan restant en- 20 suite inchangé pendant toute la durée de l'expérience o effectuant des déplacements déterminés L'affichage des consignes et la mesure des deux coordonnées du point voulu s'effectuent par tout procédé approprié connu, par e- xemple en traçant ou en projetant sur la surface à étudier 25 réseau de coordonnées XY, puis en mesurant le numéro des franges de l'image enregistrée aux noeuds de ce réseau, ou bien en mesurant les coordonnées des points choisis dans le plan de l'image enregistrée et en convertissant ces coordonnées en tenant compte de l'échelle de l'image. 30 le numéro des franges de l'image est compté à l'aide du module 6, par rapport à l'une des franges, la frange de référence, qui, pour être mise en évidence sur l'i- mage enregistrée, est marquée au préalable à l'aide du marqueur 4 avant l'enregistrement de l'image Le marqua- 35 ge de la frange zéro de référence peut s'effectuer, par exemple, à l'aide d'un faisceau lumineux étroit, mis en

15 - coincidence avec la frange choisie en tant que frange zéro (figure 1) Dans la variante concrète décrite pour- la réalisation du procédé faisant l'objet de l'invention, on applique une autre méthode de mise en évidence de la' 5 frange zéro, dont la substance sera exposée plus bas, lors de la description du système optique 1. Dans la zone d'intersection des deux faisceaux de lumière cohérente se forment les surfaces alternées des extrémums interférentiels minimums et maximums , qui, 10 en coupant la surface de l'objet 2, forment respective- ment les franges d'interférence sombres et claires Si les faisceaux concourants sont parallèles, c'est-à-dire collimatés, les surfaces mentionnées sont des plans équidistants 16 (figure 2 a), parallèles entre eux et au plan 15 de symétrie des faisceaux concourants La période de suc- cession des extrémums 16 de même nom dépend de la lon-. gueur d'onde X de la lumière et de l'angle a entre les faisceaux qoncourants; sa valeur se détermine par la formule ( 1) Pour mettre en évidence la frange zéro 20 à l'aide d'un faisceau de lumière étroit, il faut mettre celui-ci en coïncidence avec tout le plan 17 d'extrémum interférentiel correspondant à la frange 18 (figure 2 b) choisie en tant que frange zéro. Si les faisceaux concourants de lumière cohérente 25 ne sont pas parallèles, les surfaces des extrémums interférentiels ne sont pas des plans, mais des hyper- boloides ou des surfaces encore plus compliquées (fi- gure 3) Dans ce cas, dans les différentes portions de la zone d'intersection des faisceaux,l'orientation 30 et la période de succession des surfaces 16 des extrémums interférentiels sont différentes. D'après l'invention, le dispositif pour la déter- mination des paramètres géométriques de la surface d'un objet comporte un sous-ensemble 7 (figure 1), à l'aide 35 duquel on mesure la position dans l'espace de la sur-

16 - face 17 (figure 3) de l'extrémum interférentiel corres- pondant à la frange zéro 18 (figure 2 b) marquée, dite plus loin surface zéro marquée ou surface d'extrémum zéro, et la distribution des périodes des surfaces de 5 tous les extremums interférentiels dans l'espace, le long de l'axe de la troisième coordonnée OZ, c'est-à- -dire le long de la perpendiculaire au plan de coordon- nées OXY choisi auparavant. Le sous-ensemble 7 (figure l) de mesure de la posi- 10 tion dans l'espace des surfaces des extrémums interfé- rentiels et des périodes entre elles comprend un support 8 avec un élément photosensible 9, lequel a la possibi- lité de se déplacer avec détermination des coordonnées suivant trois axes X, Y et Z, dans la zone d'intersec- 15 tion des faisceaux L'élément photosensible 9 peut être une photodiode ou un photomultiplicateur avec une fente ou un diaphragme ponctuel à l'entrée, ou bien un film ou une plaque photographique Dans ce dernier cas, le support 8 vient se placer successivement à une série de 20 sections prédéterminées le long de l'axe de coordonnée OX de direction proche de celle de l'axe de symétrie des faisceaux projetés sur la surface à étudier, et l'é- lément photosensible 9, orienté perpendiculairement audit axe OX à chacune des sections choisies, enregistre 25 au moment de l'exposition la situation de toutes les surfaces des extrémums, dont l'extrémum zéro, par rap- port aux deux autres axes L'information sur la coord- donnée X de la section choisie est introduite dans la mémoire 12 du module 10 La lecture de l'information 30 sur les coordonnées Y et Z sur les images qui sont alors obtenues peut s'effectuer à l'aide du module 6 et être aussi introduite dans la mémoire 12. Dans le cas de faisceaux de lumière cohérente pa- rallèles, l'information sur la position du plan zéro et 35 la distribution de la période, introduite dans la mémoi- re 12, se réduit aux paramètres de l'équation du plan

-17 - zéro dans l'espace, à la valeur de la période S entre les plans des extrémumns et à la valeur de l'angle C (figure 2 a~ entre le plan de coordonnées OXY et le plan des extrémums, La valeurm A =S/cos il est la valeur de la période de suc- 5 cession des extrémums le long de l'axe de la troisième coordonnée OZ. Dans le cas de faisceaux concourants non parallèles, la surface zéro peut être décrite par une équation Z O = F(X,Y) d'un ordre plus élevé, ou bien même par un 10 tableau, et la distribution des périodes At peut être dé- crite par une fonction analytique des coordonnées X, Y, Z, c'est-à-dire A= F(X,Y,Z), ou bien introduite dans la mémoire sous la forme d'un tableau j = (Xj, Yk) dans lequel i = lnl = 0, 1 , + 2, est le numéro de 15 l'extrémum interférentiel; Xj et Yk sont les coordonnées des points nodaux du réseau de coordonnées. A l'aide du module 6 on détermine la valeur du nu- méro N de la frange passant aux points nodaux du réseau de coordonnées, par rapport à la frange zéro, et on int- 20 roduit aussi ces valeurs dans la mémoire 12. Le module 10 pour la détermination de la troisième coordonnée additionne les périodes - A (Xj, Yk ) entre les surfaces des extrémums correspondant aux N franges de l'image enregistrée , situées entre la frange zéro 25 et le point voulu du réseau de coordonnées dont les coordonnées sont Xj, Yk ' avec prise en considération de la partie entière et de la partie fractionnaire: a Zig YO<z ( 8 ) E(n) A l y ( 3) lnl étant la partie entière du numéro N de la frange; 8 (n) la partie fractionnaire de la frange correspon- 30 dant au point voulu. L'accroissement obtenu A Zjk de la coordonnée est ajouté à la valeur de la coordonnée de la surface zéro

18 - à ce même noeud du réseau de coordonnées et l'on obtient ainsi la valeur absolue de la troisième coordonnée Zjk du point voulu de la surface à étudier: Zjk = Zjk + F(X;, Yk) * ( 4) 5 Dans la variante concrète décrite, pour le marquage de la frange d'interférence zéro, d'après l'invention,. on crée sur la surface deux images d'interférence mutuellement semblables à même forme de distribution des sur- faces des extrémums interférentiels dans l'espace, mais de 10 périodes différentes,prises dans un rapport constant non entier, on enregistre les deux images et l'on choisit en tant que frange zéro la frange en coïncidence sur les deux images. Les deux images d'interférence peuvent être créées 15 en projetant sur la surface deux paires de faisceaux ayant un plan de symétrie commun et, ou bien des angles d'intersection af et a 2 différents, de valeurs telles que les sin 2 ', et sin 5 ne soient pas multiples l'un de l'autre, ou bien des longueurs d'onde 1 et A_, différentes, non multiples l'une de l'autre elles aussi. Dans le premier cas, pour séparer les images obtenues on peut les créer successivement dans le temps, si la surface à étudier ne subit pas de changements visibles pendant cet intervalle de temps, ou bien on peut pro- 25 duire les paires de faisceaux de lumière avec une po- larisation réciproquement orthogonale et enregistrer les images simultanément en utilisant des polariseurs Dans ce second cas, il est avantageux d'enregistrer les images simultanément à travers des filtres optiques à 30 bande étroite, laissant passer la lumière de longueurs d'onde ÀA 1 et À 2- Les figures 4 et 5 représentent deux variantes du système optique 1 (figure 1) pour la production de deux

19 - paires de faisceaux de rayonnement cohérent, faisant si- multanément office de marqueur pour la frange zéro Les systèmes comprennent un laser 19, un système collimateur 20, un diviseur 21 de faisceau à miroir ou à prisme et un 5 système 22 de lentilles. Dans la première variante (figure 4), le laser 19 émet un faisceau d'une seule longueur d'onde A , qui est élargi par le collimateur 20 jusqu'à la dimension néces- saire. 10 Le diviseur 21 comprend une surface 23 scindant le faisceau, des surfaces réfléchissante opaques 24, des. surfaces 25 de division polarisantes, renvoyant la lu- mière avec une polarisation perpendiculaire au plan d'incidence et laissant passer la lumière avec une polarisa- 15 tion parallèle au plan d'incidence de la lumière sut la surface 25 En outre, devant l'entrée du diviseur 21 lest monté un élément 26 réglant la polarisation de la lu- mière de telle façon que les composantes indiquées plus haut soit égales Cet élément peut être une lame JA/4. 20 Ies quatre faisceaux sont réunis dans un plan commun 27. Le système 22 de lentilles donne l'image du plan 27 au plan 28, oû se trouve l'objet à étudier. Dans le second cas (figure 5), le laser 19 doit 6- mettre deux longueurs d'onde de lumière A et Y 12 non 25 multiples l'une de l'autre De telles longueurs d'onde, par exemple f = 0,48805 m et 2 = O,514511 m, sont don- nées par le laser ionique à l'argon. la figure 6 représente la zone d'intersection des faisceaux auprès de la surface à étudier Less traits 30 continus et interrompus représentent respectivement les surfaces des extrémums interférentiels formant des images d'interférence différentes. Comme dans chaque paire les faisceaux sont symé- triques entre eux par rapport à un plan de symétrie com- 35 mun, les extrémums des deux images d'interférence seront en coïncidence dans ce plan, c'est-à-dire que le plan de symétrie constituera la surface zéro.

20 - Si le rapport K entre les périodes des images d'in- terférence, dont la valeur est v 4 - dans le premier cas, et ')'tf dans le second cas, est connu, les numéros ni et N 2 des 5 franges sur la paire d'images enregistrées peuvent être trouvés même si la surface de l'exteémum zéro ne coupe pas la portion de surface à étudier Il faut, pour cela, mesurer la différence des numéros de franges An 1 et n 2 entre deux mêmes points sur les deux images On 10 obtient alors le système d'équations: n 1 = Kn 2 n 1 + nn = K(n 2 +àn 2), d'o l'on tire les valeurs inconnues N 1 et N 2. Dans le cas général, les valeurs de N 1, N 2 ,)n 1 15 eton 2 ne sont pas entières et peuvent être soit posi- tives, soit négatives. le procédé faisant l'objet de l'invention permet de déterminer les paramètres géométriques de la surface d'un objet animé d'un mouvement Pour cela, l'image 20 d'interférence est créée sur la surface de l'objet par. une série d'impulsions courtes Zes instants de ces im- pulsions sont choisis de façon qu'ils coïncident soit avec des instants prédéterminés du processus, soit avec des positions attendus de l'objet La source de rayonne- 25 ment cohérent doit, dans ce cas, être une source pulsée ou avoir un obturateur commandé.

21 - Pour assurer une précision et une fiabilité élevées des mesures, le numéro de la frange sur l'image d'inter- férence enregistrée est déterminé à l'aide d'une image complémentaire de franges d'interférence progressives, 5 de dimensions plus petites que celles de l'image enregistrée et de période égale à la période des franges sur l'image enregistrée ou multiple de cette période, par balayage continu avec l'image complémentaire aux points. prédéterminés par deux coordonnées, conversion de la lu- 10 mière résultant de la composition de l'image complémen- taire avec l'image enregistrée en signal électrique, le numéro de la frange, constitué par une partie entière et une partie fractionnaire, étant déterminé d'après le chan- gement de la phase de la composante alternative du signal 15 obtenu. La substance du procédé de mesure du numéro pour la détermination de l'accroissement des franges est expli- quée à l'aide des figures 7 a à 7 d. Admettons qu'à l'instant initial t = O les franges 20 d'interférence progressives (maximums d'éclairement) coïncident avec les franges d'interférence de l'image enregistrée (minimums de-densité de noircissement de la couche photographique, figure 7 a) Dans ce cas, l'image enregistrée laisse passer une quantité de lumière 25 maximale et l'intensité du courant photoélectriquei à la sortie du photorécepteur 44 est maximale Lors du déplacement des franges d'interférence progressives à la vitesse V, l'intensité du courant photoélectrique i varie périodiquement avec une fréquence f = V/L, 30 L étant la valeur moyenne de l'intervalle entre les franges progressives (figure 7 c). la période des oscillations du courant photoélectri- que est donc T K ( 5)

22 - Les maximums du courant photoélectrique seront ob- servés aux instants tm = m T. Déplaçons l'image enregistrée à une distance z X (figure 7 b) Il est aisé de voir que les instants o 5 les franges progressives coïncident avec les franges de l'image d'interférence enregistrée changent de la valeur (figure 7 d) t v et que, par conséquent, la phase des oscillations change: b y =làa _ yX ~( 6) 2 y 7 ' ; 2 z,7 TD 10 Si le déplacement de l'image enregistrée a eu lieu à une distance plus grande que le pas, c'est-à-dire que A X = +Xln , X ~~~~~~~od o A X O =E(n) L 4 , 15 on a Alà = 26 gînj JQ 25 î e(n) v ( 7) c'est-à-dire que le nombre entier de périodes de va- riation de la phase indique le nombre entier de franges d'interférence balayées, et la fraction de la periode 20 du changement de la phase inférieure à 25 f exprime fraction de frange d'interférence dans le déplacement. Le module 6 (figure 1) pour la mesure du numéro de la frange, dont le schéma synoptique est représenté par la figure 8, d'après l'invention, comprend une 25 table 29 de mesure à deux coordonnées avec des capteurs 30 de coordonnées et des actionneurs électriques 31 l'image enregistrée 32 se plaçant sur cette table 29, un système optique pour la création de l'image de

franges d'interférence progressives avec une source de rayonnement cohérent continu un laser 33 , un in- terféromètre 34 à deux branches, un dispositif 35 pour le décalage de la fréquence de la lumière dans l'une des 5 branches de l'interféromètre et un objectif 36, un sous- ensemble 37 de réglage de l'image d'intekférence avec un lame transparente 38 à faces planes parallèles, par exem- ple en verre, montée dans le second bras de l'interféro- mètre à l'aide d'un articulation à deux axes orthogonaux 10 perpendiculaires à l'axe du faisceau de lumière, cette articulation étant dotée de capteurs 39 d'angle de rota- tion et d'actionneurs électriques 40 En outre, le dis- positif pour la mesure du numéro des franges comprend un récepteur photoélectrique 41, captant le rayonnement qu' 15 un diviseur 42 de faisceau et un diaphragme ponctuel 43 séparent de la partie centrale de l'image des franges progressives avant sa composition avec l'image enregistrée 32, et un récepteur photoélectrique 44 recevant le rayonnement après sa composition avec l'image enregistrée. 20 Le dispositif comprend aussi un convertisseur numé- rique 45 de phase, dont les entrées sont raccordées aux sorties des récepteurs photoélectriques 41 et 44 , via des filtres 46 de fréquences radioélectriques, et un micro-. processeur 47 de commande, dont les entrées sont raccor- 25 dées aux sorties du convertisseur numérique 45 de phase, aux capteurs 30 de coordonnées et au capteurs 39 d'angle de rotation du sous-ensemble de réglage de l'image d'in- terférence, et dont les sorties sont raccordées aux ac- tionneurs électriques de la table 31 à coordonnées et du 30 sous-ensemble 40 de réglage de l'image d'interférence Le dispositif de la figure 8 pour la mesure du nu- méro des franges fonctionne de la façon suivante. Le faisceau de lumière du laser 33 est scindé dans l'interféromètre 34 en deux faisceaux La lumière de 35 l'une des branches de l'interféromètre, en passant à travers le dispositif 35 de décalage de la fréquence de

la lumière, change sa fréquence d'une valeur Q , impo- sée par un générateur 48 et se situant dans la gamme des fréquences radioélectriques de 10 k Hz à 10 M Ez La lu- mière de l'autre branche de l'interféromètre, après avoir 5 passé à travers la lame 38 à faces planes aparallèles du sous-ensemble 37, mise sous un angle déterminé par. rapport à l'axe du faisceau de lumière, subit un déca- lage parallèle qui est déterminé par la valeur dudit angle L'interféromètre délivre deux faisceaux de lumière parallèle l'un à l'autre, de fréquences diffé- rentes Les deux faisceaux sont focalisés et réunis dans le plan de l'image enregistrée 32, se trouvant sur la table 29 à coordonnées A l'intersection de ces faisceaux, il se forme une image de franges d'interfé- 15 rence progressives. Un objectif 49 d'entrée et un=diaphragme 50 assu- rent le filtrage optique que de la lumière diffusée et diaphragmée par les franges de l'image enregistrée, en ne laissant passer vers le photorécepteur 44 que 20 la portion du spectre se trouvant dans le voisinage de la fréquence spatiale fondamentale de l'image enregis-. trée, correspondant à la fréquence moyenne des franges. Le photorécepteur 44 délivre à sa sortie un signal éle- ctrique de fréquence 52 L'élément 42 diviseur de faisceau et le diaphragme ponctuel 34 séparent et trans- mettent au photorécepteur 41 dune partie du rayonne- ment à partir du centre de l'image des franges d'inter- férence progressives Le photorécepteur 41 délivre lui aussi un signal électrique de fréquence Q la diffé- 30 rence de phase des signaux issus des récepteurs 41 et 42 est égale à une constante près à la phase des franges d'interférence de l'image enregistrée, au cent- re de la plage de mesure formée par l'image complémen- taire des franges d'interférence progressives le déplacement de l'image enregistrée d'une valeur égale à une frange provoque un changement de la différence .

25 - de phase des signaux égal à un cycle 29 JI Le conver- tisseur numérique 45 de phase convertit le nombre entier de cycles et la partie fractionnaire du changement de la phase dû au déplacement de la table à coordonnées en 5 code numérique qu'il transmet à la mémoire du microprocesseur 47 La lecture de la valeur de la phase s'effec- tue alors aux points de balayage imposé par le micro- processeur, ou bien la valeur de la phase est lue simul- tanément avec les valeurs des coordonnées à des instants 10 prédéterminés. Comme les franges de l'image enregistrée ont des périodes et des directions différentes, lors du balayage il peut se produire un désaccord des fréquences spa- tiales de l'image et de l'image projetée, pouvant troub- 15 ler le processus de mesure des changements de la phase et provoquer une défaillance. Pour que cela ne se produise pas,la fréquence spatiale de l'image projetée des franges progressives est ajustée en continu à la fréquence des franges de 20 l'image A cet effet, le microprocesseur 47 calcule les composantes de la fréquence spatiale de l'image a X et S'y, d'après les résultats de la mesure des coordonnées X et Y et du numéro N des bandes, compare le résultat aux données fournies par les capteurs du sous- 25 -ensemble 39 de réglage de l'image d'interférence et, en cas de non concordance, il élabore des signaux de com- m.ande pour les actionneurs électriques 40, qui modifient l'angle d'inclinaison de la lame 37 à faces parallèles. Il s'ensuit la modification de l'angle entre les fais- 30 ceaux concourants et de la position de leur plan de propagation En définitive, la fréquence des franges d'interférence progressives et leur orientation changent jusqu'à obtention de la coïncidence. Il est à noter que le dispositif décrit pour la me- 35 ure du numéro des franges peut être appliqué avec c

26 _ succès à l'analyse de toute image à structure périodique, telle que, par exemple, les interférogrammes, les bolo- grammes, les trames, les réseaux de diffraction, etc. Le microprocesseur 47 de commande utilisé dans le 5 dispositif pour la mesure du numéro des franges peut être indépendant Sa sortie doit alors être raccordée à l'entrée du professeur 11 (figure 1) principal mentionné, pour lui transmettre les données sur le numéro des bandes de l'image enregistrée dans les coordonnées prescrites Mais, les fonctions du microprocesseur de commande peuvent aussi être remplies par le processeur principal. Dans ce cas, les sorties du convertisseur numérique de pbase, des capteurs de la table à coordonnées et des cap- teurs du sous-ensemble de réglage de l'image d'intezférence doivent être raccordées aux entrées de ce pro- cesseur, et les sorties du processeur doivent être rac- cordées aux mécanismes d'exécution de la table à coor-. données et du sous-ensemble de réglage de l'image d'in- terférence.

Claims (6)

1. REVENDICATIONS .CLMF: 1 Procédé de détermination des paramètres géométri-

   ques de la surface d'un objet, consistant à créer une image d'interférence sur la surface à étudier, en proje- 5 tant sur cette surface deux faisceaux de lumière cohé- rente faisant un certain angle entre eux, à enregistrer l'image d'interférence, A déterminer l'accroissement de la troisième coordonnée d'après le numéro de la frange de l'image enregistrée en chaque point de la surface dé- 10 fini par deux coordonnées, c a r a c t é r i S é en ce que, avant l'enregistrement de l'image d'interférence, on marque l'une des franges d'interférence pour l'créer une frange zéro de référence, on mesure la position dans- l'espace de la surface d'extrémum interférentiel corres- 15 pondant à la frange zéro marquée et la distribution des périodes des surfaces de tous les extrémums interférentiels dans l'espace, le long de l'axe de la troisième coordonnée, puis on détermine l'accroissement de la troisième coordonnée par rapport à la surface de la frange 20 zéro, aux points voulus définis par deux coordonnées, par addition des valeurs des périodes des surfaces des extremums correspondant aux franges sur l'image enre- gistré situées entre la frange zéro et les points voulus,
2. 2 Procédé selon la revendication 1, c a r a c t é - 25 r i S é en ce que, pour le marquage de la frange zéro. d'interférence, on crée sur la surface deux images d'in- terférence mutuellement semblables ayant la même forme de distribution des extrémums interférentiels dans l'es- pace, mais avec des valeurs des périodes telles que leur 30 rapport soit un nombre constant non entier, on enregistre les deux images, et l'on choisit en tant que frange zéro la frange en coïncidence sur les deux images.
3. 3 Procédé selon la revendication 1, c a r a c - t i r i S é en ce que l'image d'interférence est créée 251337 i 28 - sur la surface de l'objet par une série d'impulsions courtes.
4. 4 Procédé selon la revendication 1, c a r a c t é - r i S 6 en ce que le numéro de la frange est déterminé 5 sur l'image enregistrée à l'aide d'une image complémen- taire de franges d'interférence progressives, de dimensions plus petites que celles de l'image enregistrée et à période des franges d'interférence égale à la période des franges sur l'image enregistrée ou multiple de cette 10 période, par balayage continu avec l'image complémentaire aux points prédéterminés sur la surface par deux coor- données, conversion de la lumière résultant de la com- position de l'image complémentaire avec l'image enregis- trée en signal électrique, le numéro de la frange, cons- 15 titué par une partie entière et une partie fractionnaire, étant déterminé d'après le changement de la phase de la composante alternative du signal obtenu par rapport à la phase du signal aux points de l'image enregistrée, situés sur la frange zéro. 20
5. 5 Dispositif pour mettre en oeuvre le procédé faisant l'ob-. jet de la revendication 1, comprenant un système optique ( 1) pour la production de deux faisceaux de lumière co- hérente et la projection de ces faisceaux sur la surface ( 2) à étudier de façon qu'ils fassent un certain 25 angle entre eux, un photo-enregistreur ( 3) pour l'enre- gistrement de l'image d'interférence créée sur la sur- face, un module ( 5) de consigne pour deux coordonnées et un module ( 6) de mesure (comptage) du numéro des franges de l'image d'interférence enregistrée, c a - 30 r a c t é r i S é en ce qu'il est prévu un marqueur ( 4) pour mettre en évidence une frange zéro ( 18) de référence sur la surface de l'objet et un sous-ensemble ( 7) pour la mesure de la position dans l'espace des surfaces ( 16, 17) des extrémums interférentiels et de la 35 période entre eux, comprenant un support ( 8) avec un élément photosensible ( 9), pouvant se déplacer avec détermination des coordonnées suivant trois axes, le long et en travers des faisceaux dans la zone de leur in- tersection,et en oe qu'il est prévu un module ( 10) de déter- mination de la troisième coordonnée des points de la 5 surface, comprenant un processeur ( 11) avec une mémoire ( 12), raccordé au module ( 5) de consigne pour deux coor- données, au module ( 6) de mesure du numéro des franges par rapport à la frange zéro ( 18) sur l'image enregis- trée et au sous-ensemble ( 7) pour la mesure de la posi10 tion dans l'espace des surfaces des extrémums interfé- rentiels et de leur période, ce module ( 10) étant réa- lisé de façon qu'il fasse la somme des périodes en fonc- tion du numéro de la frange correspondant au point voulu (nombre) de franges situées entre la frange zéro ( 18) 15 et le point voulu), constitué par une partie entière et une partie fractionnaire, en tenant compte de la va- leur des périodes dans la section correspondant aux deux coordonnées trouvées du point voulu, et qu'il l'ajoute à la valeur de la troisième coordonnée de la surface 20 ( 17) de l'extrémum de la frange zéro dans cette même section , en obtenant ainsi la valeur absolue de 'la troisième coordonnée du point de la surface -
6. 6 Dispositif selon la revendication 5, c a - r a c t é r i S é en ce que le module ( 6) pour la 25 mesure du numéro des franges comprend une table ( 29) de mesure à deux coordonnées, avec des capteurs ( 30) de coordonnées et des actionneurs électriques ( 31) sur laquelle se place l'image enregistrée ( 32), un système optique pour la création d'une image de franges d'in-. 30 terférence progressives avec une source ( 33) de rayonnement cohérent continu, un sous-ensemble ( 57) de ré- glage de l'image d'interférence avec des capteurs ( 39) et des actionneurs électriques ( 40), un récepteur pho- toélectrique ( 41) d'une partie du rayonnement séparée 35 dans la partie centrale de l'image des franges prog- ressives avant sa composition avec l'image enregistrée, et un récepteur photoélectrique ( 44) de rayonnement résultant de la composition avec l'image enregistrée, un convertisseur numérique ( 45) de phase, dont les entrées sont raccordées aux sorties des récepteurs 5 photoélectriques via des filtres ( 46) de fréquence rar dioélectriques , et un microprocesseur ( 47) de comman- de, dont les entrées sont raccordées à la sortie du convertisseur numérique de phase, aux capteurs ( 30) de la table à coordonnées et aux capteurs ( 39) du 10 sous-ensemble de réglage de l'image d'interférence, et dont les sorties sont raccordées aux actionneurs électriques de la table à coordonnées et du sous-en- semble de réglage de l'image d'interférence.