Claims (1)
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Die Erfindung betrifft eine Luftverteilvorrichtung eines reinen Raumes, der durch wandartige Begrenzungen von seiner Umgebung abgetrennt ist, welche Vorrichtung eine Luftverteilkammer aufweist, von der eine Wand mindestens teilweise durch Filterplatten gebildet ist, die unter Verwendung einer ersten Dichtung in einen Rahmen eingesetzt sind, der durch lösbare Mittel mit der Luftverteilkammer verbunden ist.
The invention relates to an air distribution device in a clean room, which is separated from its surroundings by wall-like boundaries, which device has an air distribution chamber, one wall of which is formed at least partially by filter plates which are inserted into a frame using a first seal, which is through releasable means is connected to the air distribution chamber.
Unter einem reinen Raum sollen solche mit festen oder mobilen Trennwänden sowie auch reine Werkbänke verstanden werden.
A clean room should be understood to mean those with fixed or mobile partition walls as well as pure workbenches.
Bei einer bekannten Reinraumeinheit weist die Verteilkammer eine fachwerkähnliche Tragkonstruktion aus schweren Winkelprofilen auf, welche mit Blechen verkleidet ist. An der Unterseite der Verteilkammer ist ein schwerer und stabiler Rahmen befestigt. Die Schraubenverbindung zwischen Kammerwandung und Rahmen ist besonders abgedichtet, damit keine Partikel und keine Gasteilchen durchtreten können.
In a known clean room unit, the distribution chamber has a framework-like support structure made of heavy angle profiles, which is covered with metal sheets. A heavy and stable frame is attached to the underside of the distribution chamber. The screw connection between the chamber wall and the frame is specially sealed so that no particles and no gas particles can pass through.
Die Filter bzw. Filterplatten werden unter Zuhilfenahme eines Hilfsrahmens gegen den Rahmen gepresst. Zwischen Filterplatten und Rahmen ist eine Gummidichtung eingesetzt.
The filters or filter plates are pressed against the frame with the aid of an auxiliary frame. A rubber seal is inserted between the filter plates and the frame.
Die Filterplatten werden über Laschen, Muttern und in den Rahmen eingeschraubte, abgedichtete Gewindebolzen angepresst. Diese Konstruktion erfordert einen stabilen und daher schweren Rahmen, der eine hohe Oberflächengüte aufweisen und in sehr engen Toleranzen gefertigt sein muss, damit die Dichtung überall gleichmässig aufliegt. Für den schweren Rahmen ist eine entsprechend kräftige Verteilkammerkonstruktion notwendig, an der der Rahmen aufgehängt wird.
The filter plates are pressed on via brackets, nuts and sealed threaded bolts screwed into the frame. This construction requires a stable and therefore heavy frame, which has a high surface quality and must be manufactured with very tight tolerances so that the seal rests evenly everywhere. A correspondingly strong distribution chamber construction on which the frame is suspended is necessary for the heavy frame.
Dadurch sind die Herstellkosten einer solchen Reinraumeinheit, die ein beachtliches Gewicht aufweist, relativ hoch.
As a result, the manufacturing costs of such a clean room unit, which has a considerable weight, are relatively high.
Die durch die Erfindung gelöste Aufgabe bestand darin, eine preiswerte Luftverteilvorrichtung eines reinen Raumes, insbesondere solche der Klasse 100, zu finden. Die Lösung der Aufgabe wurde dadurch gefunden, dass zu den lösbaren Mitteln eine zweite Dichtung gehört, die zwischen Rahmen und Luftverteilkammer bzw. einem mit ihr fest verbundenen Teil angeordnet ist und sich ausserhalb der Begrenzung des reinen Raumes befindet.
The object achieved by the invention was to find an inexpensive air distribution device for a clean room, in particular that of class 100. The solution to the problem was found in that the detachable means include a second seal which is arranged between the frame and the air distribution chamber or a part firmly connected to it and is located outside the boundaries of the clean space.
Die Vorteile der Erfindung bestehen in einem geringen Gewicht der Luftverteilvorrichtung bei sehr hoher Qualität des reinen Raumes, in der Vereinfachung der Montage, der Erhöhung der Sicherheit und den günstigen Herstellkosten.
The advantages of the invention consist in the low weight of the air distribution device with a very high quality of the clean room, in the simplification of the assembly, the increase in safety and the favorable manufacturing costs.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Die Zeichnung stellt einen Schnitt durch eine Luftverteilvorrichtung dar, die ein nach unten offenes Gehäuse 1 aufweist, das zur Erzielung eines geringen Gewichtes aus geschäumtem Material besteht. Am unteren Ende der Wandung des Gehäuses 1 ist eine nach innen gerichtete Anschlagleiste 5 befestigt.
An exemplary embodiment of the invention is shown in the drawing. The drawing shows a section through an air distribution device which has a housing 1 which is open at the bottom and which consists of foamed material in order to achieve a low weight. At the lower end of the wall of the housing 1, an inwardly directed stop bar 5 is attached.
In die nach unten offene Seite des Gehäuses 1 ist ein Rahmen 7 mit Filterplatten 11 eingesetzt. Die Breite des Rahmens 7 wird dabei vorzugsweise durch eine einzige Filterplatte 11 überdeckt. Es ist jedoch auch möglich, die Breite des Rahmens z. B. durch ein I-Profil zu unterteilen. Zwischen Filterplatte 11 und Rahmen 7 ist eine luftdichte Vergussmasse als Dichtung 13 eingesetzt. Vorzugsweise ist diese Dichtung 13 auf Siliconbasis hergestellt und dauerelastisch und dauerplastisch und kann ohne besondere Behandlung nicht wieder verwendet werden. Die Qualität der Dichtung 13 sollte den Anforderungen an einen reinen Raum der Klasse 100 oder besser entsprechen.
A frame 7 with filter plates 11 is inserted into the downwardly open side of the housing 1. The width of the frame 7 is preferably covered by a single filter plate 11. However, it is also possible to change the width of the frame z. B. to be divided by an I-profile. An airtight potting compound is used as a seal 13 between the filter plate 11 and the frame 7. This seal 13 is preferably made on a silicone basis and is permanently elastic and permanently plastic and cannot be used again without special treatment. The quality of the seal 13 should meet the requirements of a clean room of class 100 or better.
Der Rahmen 7 wird durch Laschen 9, welche mit der Wandung des Gehäuses 1 verschraubt werden, gegen die Anschlagleiste 5 gepresst.
The frame 7 is pressed against the stop bar 5 by tabs 9 which are screwed to the wall of the housing 1.
Zwischen Rahmen 7 und Anschlagleiste 5 und an diese anliegend ist eine Dichtung 8 vorzugsweise auf Neopren Basis angeordnet. Diese Dichtung ist daher grundsätzlich wieder verwendbar. Die Dichtung 8 befindet sich ausserhalb der Mittel zur Begrenzung des reinen Raumes bzw. deren Verlängerung nach oben. Die Dichtung 8 versperrt den Querschnitt eines Leckage-Kanales 23, welcher die Luftverteilkammer 3 unter Umgehung der Filterplatten 11 mit der äusseren Umgebung des reinen Raumes verbindet. Es ist von besonderer Bedeutung, dass die Qualität der Dichtung 8 derart auf die Qualität der Dichtung 13 abgestimmt ist, dass ein unfiltrierter Leckluft-Strom aus der Luftverteilkammer 3 nicht in den reinen Raum 15 gelangen kann, sondern in dessen Umgebung, wie durch die gestrichelten Pfeile 21 angedeutet.
A seal 8, preferably based on neoprene, is arranged between the frame 7 and the stop bar 5 and resting against them. This seal is therefore basically reusable. The seal 8 is located outside the means for delimiting the clean space or extending it upwards. The seal 8 blocks the cross section of a leakage channel 23 which connects the air distribution chamber 3, bypassing the filter plates 11, with the outside environment of the clean room. It is of particular importance that the quality of the seal 8 is matched to the quality of the seal 13 in such a way that an unfiltered leakage air flow from the air distribution chamber 3 cannot get into the clean room 15, but rather in its surroundings, as indicated by the dashed lines Arrows 21 indicated.
Dies wird dadurch erreicht, dass die Qualität der Dichtung 8 von geringerer, höchstens gleicher Güte ist wie die Dichtung 13.
This is achieved in that the quality of the seal 8 is of a lower, at most the same quality as the seal 13.
Eine Tragvorrichtung 17 für Mittel 19 zur Begrenzung des reinen Arbeitsbereiches ist an der Unterseite des Rahmens 7 befestigt. Die Tragvorrichtung 17 sollte möglichst nahe am inneren Rande des Rahmens 7 angebracht sein. Die Mittel zur Begrenzung des reinen Raumes können aus einer Wand oder aus einem Vorhang gebildet sein.
A support device 17 for means 19 for delimiting the pure work area is attached to the underside of the frame 7. The support device 17 should be attached as close as possible to the inner edge of the frame 7. The means for delimiting the clean room can be formed from a wall or from a curtain.
Im Betrieb strömt Luft in die Luftverteilkammer 3 ein, durchdringt die Filterplatten 11 und verteilt sich gleichmässig auf die Fläche des reinen Raumes 15. Die Qualität des reinen Raumes hängt von der Qualität der Dichtung 13 und jener der Filterplatten 11 ab. Eventuelle unfiltrierte Leckluft aus der Luftverteilkammer 3 gelangt durch die Dichtung 8 entlang den gestrichelten Pfeilen 21 in die Umgebung 16 des reinen Raumes 15. Die Dichtung 8 hat die Aufgabe diese Leckluftmenge möglichst klein zu halten.
During operation, air flows into the air distribution chamber 3, penetrates the filter plates 11 and is evenly distributed over the surface of the clean room 15. The quality of the clean room depends on the quality of the seal 13 and that of the filter plates 11. Any unfiltered leakage air from the air distribution chamber 3 passes through the seal 8 along the dashed arrows 21 into the surroundings 16 of the clean room 15. The seal 8 has the task of keeping this amount of leakage air as small as possible.
PATENTANSPRUCH
PATENT CLAIM
Luftverteilvorrichtung eines reinen Raumes, der durch wandartige Begrenzungen von seiner Umgebung abgetrennt ist, welche Vorrichtung eine Luftverteilkammer aufweist, von der eine Wand mindestens teilweise durch Filterplatten gebildet ist, die unter Verwendung einer ersten Dichtung (13) in einen Rahmen eingesetzt sind, der durch lösbare Mittel mit der Luftverteilkammer verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass zu den lösbaren Mitteln eine zweite Dichtung (8) gehört, die zwischen Rahmen (7) und Luftverteilkammer (3) bzw. einem mit ihr fest verbundenen Teil (5) angeordnet ist und sich ausserhalb der Begrenzung des reinen Raumes (15) befindet.
Air distribution device of a clean room, which is separated from its surroundings by wall-like boundaries, which device has an air distribution chamber, one wall of which is at least partially formed by filter plates which are inserted into a frame using a first seal (13), which is detachable Means is connected to the air distribution chamber, characterized in that the detachable means include a second seal (8) which is arranged between the frame (7) and the air distribution chamber (3) or a part (5) firmly connected to it and is located outside the limit of the clean space (15) is located.
UNTERANSPRÜCHE
1. Vorrichtung nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass zu den lösbaren Mitteln Laschen (9) gehören, welche an der Reinluftseite des Rahmens (7) anliegen und in der Wand der Luftverteilkammer (3) lösbar befestigt sind.
SUBCLAIMS
1. Device according to claim, characterized in that the releasable means include tabs (9) which rest on the clean air side of the frame (7) and are releasably fastened in the wall of the air distribution chamber (3).
2. Vorrichtung nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass an der Innenwand der Luftverteilkammer (3) eine Anschlagleiste (5) befestigt ist, und die zweite Dichtung (g) zwischen Rahmen (7) und Anschlagleiste (5) angeordnet ist.
2. Device according to claim, characterized in that a stop strip (5) is attached to the inner wall of the air distribution chamber (3), and the second seal (g) is arranged between the frame (7) and the stop strip (5).
3. Vorrichtung nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Durchlässigkeit der zweiten Dichtung (8) für Gase und Partikel höchstens gleich gut ist wie jene der ersten Dichtung (13).
3. Device according to claim, characterized in that the permeability of the second seal (8) for gases and particles is at most as good as that of the first seal (13).
4. Vorrichtung nach Patentanspruch, unter der der reine Raum (15) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine Trageinrichtung (17) für die wandartigen Begrenzungen (19) am Rahmen (7) befestigt ist.
4. Device according to claim, under which the pure space (15) is arranged, characterized in that a support device (17) for the wall-like boundaries (19) is attached to the frame (7).
5. Vorrichtung nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Dichtung (13) zwischen Filterplatte (11) und Rahmen (7) eine dauerplastische und dauerelastische Masse ist.
5. Device according to claim, characterized in that the first seal (13) between the filter plate (11) and frame (7) is a permanently plastic and permanently elastic mass.
6. Vorrichtung nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Luftverteilkammer (3) und Rahmen (7) für allfällige Leckluft ein Leckluftkanal (23) vorgesehen ist, welcher die Luftverteilkammer (3) unter Umgehung der Filterplatten (11) mit der Umgebung des reinen Raumes (15) verbindet und durch die zweite Dichtung (8) weitgehend abgesperrt ist.
6. Device according to claim, characterized in that a leakage air duct (23) is provided between the air distribution chamber (3) and frame (7) for any leakage air, which the air distribution chamber (3) bypassing the filter plates (11) with the environment of the clean room (15) connects and is largely shut off by the second seal (8).