CH543598A - Verfahren zur Herstellung von mehrschichtigen Gebilden unter Ablagerung von Stoffen aus ihren Dämpfen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von mehrschichtigen Gebilden unter Ablagerung von Stoffen aus ihren Dämpfen

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CH543598A
CH543598A CH1148669A CH1148669A CH543598A CH 543598 A CH543598 A CH 543598A CH 1148669 A CH1148669 A CH 1148669A CH 1148669 A CH1148669 A CH 1148669A CH 543598 A CH543598 A CH 543598A
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Lewis Bickerdike Robert
Norman Mair William
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating

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