CH509411A - Verfahren zur Erhitzung von Gegenständen und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur Erhitzung von Gegenständen und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens

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CH509411A
CH509411A CH923470A CH923470A CH509411A CH 509411 A CH509411 A CH 509411A CH 923470 A CH923470 A CH 923470A CH 923470 A CH923470 A CH 923470A CH 509411 A CH509411 A CH 509411A
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heating
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Rordorf Horst
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Berghaus Elektrophysik Anst
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018—Glow discharge
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/74—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material
    • C21D1/773—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material under reduced pressure or vacuum

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DE3029339A1 (de) * 1979-09-14 1981-03-26 Hitachi, Ltd., Tokio/Tokyo Verfahren und vorrichtung zur behandlung elektrisch leitenden materials durch glimmentladung

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