CH504780A - Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Oberflächenschichten durch Bestrahlen mit Ladungsträgerstrahlen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Oberflächenschichten durch Bestrahlen mit Ladungsträgerstrahlen

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CH504780A
CH504780A CH1637769A CH1637769A CH504780A CH 504780 A CH504780 A CH 504780A CH 1637769 A CH1637769 A CH 1637769A CH 1637769 A CH1637769 A CH 1637769A CH 504780 A CH504780 A CH 504780A
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CH
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irradiating
charge carrier
surface layers
treating surface
carrier beams
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CH1637769A
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Steigerwald Karl-Heinz
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Steigerwald Karl Heinz
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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/147Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path

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CH1637769A 1968-11-13 1969-11-04 Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Oberflächenschichten durch Bestrahlen mit Ladungsträgerstrahlen CH504780A (de)

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