CH441532A - Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung der Oberfläche und des Volumens eines aus elektrisch leitendem Material, insbesondere Halbleitermaterial bestehenden Körpers - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung der Oberfläche und des Volumens eines aus elektrisch leitendem Material, insbesondere Halbleitermaterial bestehenden KörpersInfo
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Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD11011165 | 1965-04-02 | ||
| DEV0028595 | 1965-06-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CH441532A true CH441532A (de) | 1967-08-15 |
Family
ID=25747076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CH117866A CH441532A (de) | 1965-04-02 | 1966-01-28 | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung der Oberfläche und des Volumens eines aus elektrisch leitendem Material, insbesondere Halbleitermaterial bestehenden Körpers |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CH (1) | CH441532A (de) |
| DE (1) | DE1565173A1 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0021140A1 (de) * | 1979-06-29 | 1981-01-07 | International Business Machines Corporation | Ionenquelle in einer Vakuumkammer und Verfahren zum Betrieb derselben |
-
1965
- 1965-06-01 DE DE19651565173 patent/DE1565173A1/de active Pending
-
1966
- 1966-01-28 CH CH117866A patent/CH441532A/de unknown
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0021140A1 (de) * | 1979-06-29 | 1981-01-07 | International Business Machines Corporation | Ionenquelle in einer Vakuumkammer und Verfahren zum Betrieb derselben |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE1565173A1 (de) | 1970-03-19 |
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