CH422166A - Verfahren zur Erhöhung der Sperrspannung thermisch oxydierter Siliziumkörper mit mindestens einer Sperrschicht - Google Patents

Verfahren zur Erhöhung der Sperrspannung thermisch oxydierter Siliziumkörper mit mindestens einer Sperrschicht

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CH422166A
CH422166A CH586765A CH586765A CH422166A CH 422166 A CH422166 A CH 422166A CH 586765 A CH586765 A CH 586765A CH 586765 A CH586765 A CH 586765A CH 422166 A CH422166 A CH 422166A
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barrier layer
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thermally oxidized
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