CH413802A - Verfahren zur Herstellung von Halbleiteranordnungen durch Aufwachsen von einkristallinen Schichten - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Halbleiteranordnungen durch Aufwachsen von einkristallinen Schichten

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CH413802A
CH413802A CH196364A CH196364A CH413802A CH 413802 A CH413802 A CH 413802A CH 196364 A CH196364 A CH 196364A CH 196364 A CH196364 A CH 196364A CH 413802 A CH413802 A CH 413802A
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CH
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semiconductor arrangements
monocrystalline layers
growing monocrystalline
growing
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Application number
CH196364A
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Inventor
Heinz Dr Henker
Sussmann Erhard
Kappelmeyer Rudolf
Original Assignee
Siemens Ag
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/12Production of screen printing forms or similar printing forms, e.g. stencils
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B25/00Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
    • C30B25/02Epitaxial-layer growth
    • C30B25/04Pattern deposit, e.g. by using masks
    • H10P10/12
    • H10P14/60
    • H10P76/40
    • H10P95/00

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