CH411481A - Guide device - Google Patents

Guide device

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CH411481A
CH411481A CH372063A CH372063A CH411481A CH 411481 A CH411481 A CH 411481A CH 372063 A CH372063 A CH 372063A CH 372063 A CH372063 A CH 372063A CH 411481 A CH411481 A CH 411481A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
guide
magnets
gas cushion
guide device
guide surfaces
Prior art date
Application number
CH372063A
Other languages
German (de)
Inventor
Koorneef Jacob
Ludwig Walther George
Duinker Simon
Original Assignee
Philips Nv
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Publication date
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    • F16F15/02Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/03Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means
    • F16F15/035Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means by use of eddy or induced-current damping
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description

       

      Führungsvorrichtung       Die Erfindung betrifft eine Führungsvorrichtung  mit einer Führung und einem dieser gegenüber be  weglichen, zu führenden Körper und Mitteln, durch  welche ein Gaskissen zwischen den einander zuge  kehrten zusammenwirkenden Führungsflächen auf  rechterhalten wird.  



  Solche Führungsvorrichtungen sind an sich be  kannt. Sie haben den Vorteil, dass die auftretenden  Reibkräfte zwischen den Führungsflächen praktisch       vernachlässigbar    sind, so dass die Teile der Vorrich  tung sich leicht gegeneinander bewegen lassen. Das  Gaskissen, dessen Stärke den praktisch geeigneten  Wert von etwa     10,u.    haben kann, hat den weiteren  Vorteil, dass die Führungsflächen praktisch nicht  verschmutzt werden.  



  Insbesondere bei Präzisionswerkzeugen, z. B.  Werkzeuggeräten, soll die Stärke des Gaskissens  möglichst konstant gehalten werden. Zu diesem  Zweck kann z. B. bei waagrecht angeordneter Füh  rung der über die Führung bewegliche, z. B. auf einer  Luftschicht gelagerte Körper mit einem bestimmten  Gewicht belastet werden, so dass das Gaskissen  gleichsam vorgespannt wird. Indem im Betrieb der  Führungsvorrichtung das Gesamtgewicht des auf das  Gaskissen drückenden Körpers in bezug auf den  jeweiligen Belastungsunterschied z. B. von einem mit  dem zu führenden Körper verbundenen Meissel,  gross gewählt wird, ist dies ziemlich gut erzielbar. In  der Praxis erfordert dies allerdings verhältnismässig  schwere Gewichtsbelastungen.

   Als praktisches Bei  spiel sei erwähnt, dass das Gaskissen mit einem Ge  wicht von etwa 100 kg vorgespannt werden muss, um  bei einer Änderung von 1 kg der Belastung die Stärke  des Gaskissens auf einem praktisch akzeptablen Wert  konstant zu halten.  



  Ein Nachteil der     Vorspannung    des Gaskissens    durch ein Gewicht besteht darin, dass die in be  stimmten Fällen erforderlichen Gewichtsbelastungen  eine     Durchbiegung    der Führung z. B.     einer    an einigen  Punkten abgestützten Führungsbahn veranlassen  können. Es ist weiter ein     Nachteil,    dass ein Gaskissen  durch Gewichtsbelastung nur bei annähernd waag  recht angeordneten Führungsvorrichtungen vorge  spannt werden kann.

   Wenn die Führungsflächen eine  erheblich von der Horizontallage abweichende Lage  einnehmen, ist diese Lösung somit weniger     zweck-          mässig.    Ein weiterer Nachteil besteht noch darin,  dass grosse Gewichtsbelastungen zum Vorspannen  des Gaskissens zu verhältnismässig hohen Massen  trägheitskräften z. B. bei sich schnell hin- und herbe  wegenden Teilen führen.  



  Die     Erfindung    bezweckt eine Führungsvorrich  tung zu schaffen, welche die erwähnten Nachteile  nicht aufweist.  



  Die Führungsvorrichtung nach der Erfindung ist  dadurch gekennzeichnet, dass mindestens einer der  gegeneinander beweglichen Teile dieser Führungs  vorrichtung mit einem oder mehreren Magneten ver  sehen ist, die     diesen        Teil    und den wenigstens teilweise       ferromagnetischen    anderen Teil der Führungsvor  richtung unter Einschluss des Gaskissens magnetisch  aneinander ziehen.  



  Die Erfindung wird nachstehend anhand der  Zeichnung näher erläutert, die in     Fig.2-11    einige       Ausführungsbeispiele    zeigt.  



  In der Zeichnung zeigt     Fig.    1 schematisch die  wichtigsten Teile einer bekannten Führungsvorrich  tung, bei der zwischen den Führungsflächen ein Gas  kissen erzeugt wird.  



       Fig.    2 zeigt eine ähnliche Anordnung wie     Fig.    1,  die jedoch erfindungsgemäss mit Magneten versehen  ist.           Fig.    3 und     Fig.    4 zeigen eine Draufsicht und einen  Schnitt längs der Linie     IV-IV    in     Fig.    3 einer Grad  führung nach der Erfindung.  



       Fig.    5 zeigt eine     Abart    der Anordnung nach       Fig.    5, die eine     Führungsvorrichtung    mit einer ge  krümmten Führungsbahn besitzt.  



  Die     Fig.    6 und 7 zeigen einige Stufen der Her  stellung der Gradführung nach den     Fig.    3 und 4.  



  Die     Fig.    8 und 9 zeigen eine Gradführung, bei der  ein langer Schlitten über zwei getrennte     Führungs-          bahnteile    verschiebbar ist.     Fig.8    zeigt schematisch  eine Draufsicht und     Fig.    9 zeigt einen Schnitt längs  der Linie     IV-IV    in     Fig.    B.  



       Fig.    10 zeigt einen Schnitt gemäss     Fig.    4, aber  über 180  in der Zeichnungsebene gedreht.  



       Fig.ll    zeigt eine Ausführungsform mit einem  Elektromagneten, dessen Erregerstrom regelbar ist.  



  In     Fig.    1     sind    von der Führungsvorrichtung die  stillstehende     Führung    mit 1 und ein dieser gegenüber  beweglicher Körper mit 3 bezeichnet. Die gegen  einander beweglichen Teile haben einander zuge  kehrte     Führungsflächen    5 und 7. Der Körper 3, der  z. B. durch eine     Meisselfassung    eines Werkzeuggerä  tes gebildet wird, ist mit einer Anzahl an die Zufuhr  eines Überdruckgases, z. B. Druckluft, (Pfeil 9) ange  schlossener Kanäle 11 versehen. Durch diese Kanäle  11, die in der Führungsfläche 7 ausmünden, kann  eine Gasströmung zwischen den Führungsflächen 5  und 7 beibehalten werden. Die Gasströmung kann in  Richtung der     Pfeile    15 und 17 entweichen.

   Die An  ordnung ist     derart,    dass die     Führungsflächen    durch  das Gaskissen getrennt werden, während der Körper  3 auf dem Gaskissen zur Anlage kommt. Diese Lage  rung auf einem Gaskissen mit einer praktisch  brauchbaren Stärke von z. B.     10,u    kann benutzt  werden, wenn die Führungsflächen 5 und 7 gegen  einander zu verschieben oder zu drehen sind, wobei  dann die bei der gegenseitigen Bewegung auftreten  den Reibkräfte minimal sind.  



  Bei dieser     Art    von     Führungsvorrichtung    wird  durch passende Wahl des auf das Gaskissen drücken  den Gewichtes des Körpers 3, der gegebenenfalls mit  einem     zusätzlichen    Gewicht versehen werden kann,  dieses Gaskissen     derart    vorgespannt, dass bei einer  Änderung der Grösse der     Meisselkraft    (P) die Stärke  des Gaskissens praktisch konstant bleibt. Es gilt da  bei, dass je höher die     Vorspannkraft    in bezug auf die  Änderung     (LP)    der     Meisselkraft    (P) ist, umso kon  stanter ist die Stärke des Gaskissens. In der Praxis  wird das Gaskissen z.

   B. durch eine Masse von  100 kg vorgespannt, um bei einer Änderung von 1 kg  die Stärke des Gaskissens praktisch konstant zu hal  ten. Bei diesen Konstruktionen ist es im allgemeinen  notwendig, den Körper 3 mit einem grossen Gewicht  zu belasten. Diese Konstruktionen haben verschie  dene Nachteile, da solche grossen Gewichte auch die  unterhalb des Gaskissens liegende     Führungsfläche     beeinflussen; dies ist somit weniger gut geeignet zur  Verwendung     als        Führungsfläche    für Führungsbahn  anlagen, die eine verhältnismässig lange Führung    haben, die nur an einigen Stellen abgestützt wird. In  diesem Falle kann die Führung sich erheblich durch  biegen.

   Ein weiterer Nachteil besteht darin, dass  diese schweren Körper während der Bewegung be  schleunigt oder verzögert werden müssen, so dass  erhebliche     Massenträgheitskräfte    zu berücksichtigen  sind.  



  Indem die erforderliche     Vorspannkraft    gemäss       Fig.    2 mindestens einem im einen der gegen einander  beweglichen Teile untergebrachten Magneten 25 ent  nommen wird, ergibt sich die Möglichkeit, eine Vor  spannkraft der erforderlichen Grösse zu erzielen,  trotz des geringen Eigengewichtes der Magnete. Der  mit Gaskanälen versehene Körper 23 nach     Fig.    2 aus  nicht magnetischem Material besitzt eine Anzahl von  Magneten 25. Die Führung besteht aus     ferromagneti-          schem    Material. Die Magnete ziehen die einander  zugekehrten Führungsflächen aneinander.

   Durch  passende Wahl der Art und der Anzahl der Magnete,  die selbstverständlich auch in der Führung 27 unter  gebracht werden können, ergibt sich die Möglichkeit,  das zwischen den Führungsflächen vorhandene Gas  kissen nach Wunsch vorzuspannen. Die Magnete,  welche Dauermagnete oder Elektromagnete sein kön  nen, erzeugen eine grosse Klebekraft zwischen den  Führungsflächen. Da die zu diesem Zweck übliche  bekannte Bauart solcher Magnete keinen besonderen  Gegenstand der Erfindung bildet, wird diese Bauart  hier nicht weiter erläutert.  



  Es hat sich gezeigt, dass auf den Körper aus  geübte, schnelle, äussere Schwingungen praktisch  vollständig gedämpft werden können durch die von  den Magneten induzierten Wirbelströme.  



  Da die     Vorspannkraft    den Magneten entnommen  wird, lässt sich die Erfindung vorteilhaft bei Füh  rungsflächen durchführen, die nicht waagerecht lie  gen. Der Lage der     Führungsflächen    ungeachtet, üben  die Magnete die erforderliche     Vorspannkraft    auf das  Gaskissen aus.  



  Die Erfindung eignet sich insbesondere zur Ver  wendung bei Führungsvorrichtungen, bei denen der  zu führende Körper längs einer genau bestimmten  Bahn beweglich sein muss. Die     Fig.    3 und 4 zeigen  ein Beispiel einer solchen     Führung.    Sie enthält eine  Führungsbahn 31 aus     ferromagnetischem    Material  und einen über diese Führungsbahn hin- und her ver  schiebbaren Körper 33.

   Der Körper 33, dessen  Länge in der     Vorschubrichtung    gesehen in bezug auf  die Länge der Führungsbahn 31 gering ist, ist aus  nicht magnetischem Material und enthält Magnete 35  und 37 und ist weiter mit einer Anzahl von Kanälen  versehen, welche der     Führungsbahn    31     zugekehrt     und auf die dargestellte Weise an eine Pressluftzufuhr  angeschlossen sind. Der Körper 33 enthält zwei einen  bestimmten Winkel miteinander einschliessende Füh  rungsflächen 41 und 43, die mit einen gleichen Win  kel miteinander einschliessenden Führungsflächen 45  und 47 zusammenwirken. Sowohl zwischen den Flä  chen 41 und 45 als auch zwischen den Flächen 43  und 47 befindet sich ein vorgespanntes Luftkissen.

      
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     Die     Fig.    8 und 9 zeigen eine Gradführung, bei der       iie    Führungsbahn durch zwei stillstehende, winklige  Teile 63 und 65 gebildet wird, die gemeinsam einen       '.angen    Schlitten 67 führen. Die Teile 63 und 65 sind       mit    Magneten 68 und 69 und mit Kanälen versehen,       3urch    welche in Richtung der gestrichelt angedeute  ten Pfeile 71 Pressluft zugeführt wird, wobei der  Schlitten 67 aus     ferromagnetischem    Material besteht.  Der Schlitten 67 ist also nicht mit Magneten verse  hen.  



  Bei der Führungsvorrichtung nach den     Fig.    3 und  4 bildet die winklige Führungsbahn 31 wenigstens  teilweise den     untenliegenden,    stillstehenden Teil der  Führungsvorrichtung. Diese Vorrichtung kann auch       umgekehrt    werden, so dass die Lage nach     Fig.    10 er  halten wird. Der Körper 33 könnte infolge seines  Eigengewichtes in dieser Lage aus der Führungsbahn  31 fallen, aber die Magnete im Körper 33 verhüten  dies und liefern ausserdem die     Vorspannkraft    für das  Gas- bzw. Luftkissen zwischen den Führungsflächen.  



  Bei der Bauart nach den     Fig.    2, 3, 4, 5, 8, 9 und  10 sollen die Magnete ähnlich wie die den Führungs  flächen zugewendeten Kanäle vorzugsweise in der       kleineren    der zusammenwirkenden     Führungsflächen     untergebracht werden. Es hat sich ergeben, dass dies  eine sehr stabile Führung ergibt. Wenn die Magnete  hingegen in der grösseren der miteinander zusam  menwirkenden Führungsflächen angebracht werden,       könnte    eine zufriedenstellende Stabilität nur dadurch  erzielt werden, indem die Führungsbahn mit einer       grossen    Anzahl regelmässig über die ganze Füh  rungsbahn verteilter Magnete von vollkommen glei  chen magnetischen Eigenschaften versehen wird.  



  Um eine konstante Stärke des Gaskissens zu  sichern, können, wie gesagt, Magnete benutzt werden,  die eine     Vorspannkraft    liefern, welche im Verhältnis  zu der Änderung der äusseren Belastungskraft P    gross ist. Durch Verwendung von Elektromagneten  ist es möglich, bei dem gleichen Unterschied in der  äusseren Belastung eine verhältnismässig geringere       Vorspannkraft        anzuwenden.    Beim Eintreten einer  Änderung     p    P in der Belastungskraft z. B. eines     Meis-          sels    nimmt z. B. die Stärke d des Gaskissens ab.

   In  dem nun diese Stärke gemessen und bei Änderung  des Messergebnisses die Elektromagnete derart ge  steuert werden, dass die Klebekraft abnimmt, lässt  sich die Stärke des Gaskissens konstant halten. Eine  schematisch in     Fig.    11 dargestellte Anordnung hat  einen     beweglichen,    mit einem Elektromagneten 75  versehenen Körper 77 und eine Führung 79. Es sind  weiter auf übliche Weise Mittel vorhanden, durch  welche die momentane Stärke d des Gaskissens ge  messen werden kann, wobei ein Teil der Führungs  flächen als Teile eines     veränderlichen    Kondensators  wirksam ist. Mittels eines Regelgliedes 81 wird ein  gemessener Unterschied in der Stärke des Gaskissens  in eine Änderung des Erregerstromes des Elektroma  gneten 75 umgewandelt.



      Guide device The invention relates to a guide device with a guide and one of these with respect to be movable, to be guided body and means by which a gas cushion between the mutually facing cooperating guide surfaces is maintained on the right.



  Such guide devices are known per se. They have the advantage that the frictional forces that occur between the guide surfaces are practically negligible, so that the parts of the device can easily be moved against one another. The gas cushion, the strength of which has the practical value of about 10, u. can have, has the further advantage that the guide surfaces are practically not soiled.



  Especially with precision tools, e.g. B. tool devices, the strength of the gas cushion should be kept as constant as possible. For this purpose z. B. with horizontally arranged Füh tion of the movable via the guide, z. B. bodies placed on a layer of air are loaded with a certain weight, so that the gas cushion is pretensioned as it were. By in the operation of the guide device the total weight of the body pressing on the gas cushion in relation to the respective load difference z. B. is chosen large by a chisel connected to the body to be guided, this can be achieved fairly well. In practice, however, this requires relatively heavy weight loads.

   As a practical example, it should be mentioned that the gas cushion must be pretensioned with a weight of around 100 kg in order to keep the strength of the gas cushion constant at a practically acceptable value when the load changes by 1 kg.



  A disadvantage of the bias of the gas cushion by a weight is that the weight loads required in certain cases a deflection of the guide z. B. can cause a guideway supported at some points. It is also a disadvantage that a gas cushion can only be prestressed due to the weight load when guide devices are arranged approximately horizontally.

   If the guide surfaces assume a position that deviates significantly from the horizontal position, this solution is therefore less useful. Another disadvantage is that large weight loads for biasing the gas cushion to relatively high masses inertia forces z. B. lead to quickly back and forth moving parts.



  The aim of the invention is to provide a guide device which does not have the disadvantages mentioned.



  The guide device according to the invention is characterized in that at least one of the mutually movable parts of this guide device is provided with one or more magnets that magnetically pull this part and the at least partially ferromagnetic other part of the guide device together, including the gas cushion.



  The invention is explained in more detail below with reference to the drawing, which shows some exemplary embodiments in FIGS. 2-11.



  In the drawing, Fig. 1 shows schematically the most important parts of a known Führungsvorrich device in which a gas cushion is generated between the guide surfaces.



       FIG. 2 shows an arrangement similar to FIG. 1, but which is provided with magnets according to the invention. Fig. 3 and Fig. 4 show a plan view and a section along the line IV-IV in Fig. 3 of a degree guide according to the invention.



       Fig. 5 shows a variant of the arrangement of FIG. 5, which has a guide device with a ge curved guide track.



  FIGS. 6 and 7 show some stages of the manufacture of the degree guide according to FIGS. 3 and 4.



  8 and 9 show a straight-line guide in which a long slide can be displaced over two separate guide track parts. FIG. 8 schematically shows a top view and FIG. 9 shows a section along the line IV-IV in FIG.



       FIG. 10 shows a section according to FIG. 4, but rotated over 180 in the plane of the drawing.



       Fig.ll shows an embodiment with an electromagnet whose excitation current can be regulated.



  In FIG. 1, the stationary guide of the guide device is denoted by 1 and a body movable relative to it is denoted by 3. The mutually movable parts have mutually facing guide surfaces 5 and 7. The body 3, the z. B. is formed by a chisel socket of a Werkzeuggerä tes, is with a number of the supply of a positive pressure gas, z. B. compressed air, (arrow 9) closed channels 11 are provided. A gas flow between the guide surfaces 5 and 7 can be maintained through these channels 11, which open into the guide surface 7. The gas flow can escape in the direction of arrows 15 and 17.

   The arrangement is such that the guide surfaces are separated by the gas cushion, while the body 3 comes to rest on the gas cushion. This storage tion on a gas cushion with a practically useful strength of z. B. 10, u can be used when the guide surfaces 5 and 7 are to be moved or rotated against each other, in which case the friction forces occur in the mutual movement are minimal.



  With this type of guide device, the weight of the body 3, which can optionally be provided with an additional weight, is pretensioned by a suitable choice of the weight of the body 3 pressing on the gas cushion so that when the magnitude of the chisel force (P) changes, the strength of the gas cushion remains practically constant. It applies here that the higher the pre-tensioning force in relation to the change (LP) of the chisel force (P), the more constant the strength of the gas cushion. In practice, the gas cushion is z.

   B. biased by a mass of 100 kg in order to keep the strength of the gas cushion practically constant with a change of 1 kg. In these constructions, it is generally necessary to load the body 3 with a large weight. These constructions have various disadvantages, since such large weights also affect the guide surface located below the gas cushion; this is therefore less suitable for use as a guide surface for guideway systems that have a relatively long guide that is only supported in a few places. In this case the guide can bend considerably.

   Another disadvantage is that these heavy bodies have to be accelerated or decelerated during movement, so that considerable inertia forces have to be taken into account.



  By the required biasing force according to FIG. 2 at least one magnet 25 housed in one of the mutually movable parts is taken, there is the possibility of achieving a pre-tensioning force of the required size, despite the low weight of the magnets. The body 23 provided with gas channels according to FIG. 2 made of non-magnetic material has a number of magnets 25. The guide consists of ferromagnetic material. The magnets pull the mutually facing guide surfaces together.

   By appropriate choice of the type and number of magnets, which can of course also be placed in the guide 27, there is the possibility of biasing the existing gas cushion between the guide surfaces as desired. The magnets, which can be permanent magnets or electromagnets, generate a strong adhesive force between the guide surfaces. Since the known type of magnet of this type which is customary for this purpose does not constitute a special subject matter of the invention, this type of construction is not explained further here.



  It has been shown that fast, external vibrations practiced on the body can be almost completely dampened by the eddy currents induced by the magnets.



  Since the pre-tensioning force is taken from the magnets, the invention can be carried out advantageously on guide surfaces that are not horizontal. Regardless of the position of the guide surfaces, the magnets exert the required pre-tensioning force on the gas cushion.



  The invention is particularly suitable for use in guiding devices in which the body to be guided must be movable along a precisely defined path. FIGS. 3 and 4 show an example of such a guide. It contains a guide track 31 made of ferromagnetic material and a body 33 that can be moved back and forth over this guide track.

   The body 33, the length of which in the feed direction is small in relation to the length of the guide track 31, is made of non-magnetic material and contains magnets 35 and 37 and is further provided with a number of channels facing the guide track 31 and on the manner shown are connected to a compressed air supply. The body 33 contains two guiding surfaces 41 and 43 which enclose a certain angle with each other and which interact with guide surfaces 45 and 47 with the same angle. Both between the surfaces 41 and 45 and between the surfaces 43 and 47 there is a prestressed air cushion.

      
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     8 and 9 show a straight line guide in which the guide track is formed by two stationary, angled parts 63 and 65 which together guide a long slide 67. The parts 63 and 65 are provided with magnets 68 and 69 and with channels, 3 through which compressed air is supplied in the direction of the arrows indicated by dashed lines 71, the slide 67 being made of ferromagnetic material. The carriage 67 is not hen verse with magnets.



  In the guide device according to FIGS. 3 and 4, the angled guide track 31 at least partially forms the stationary part of the guide device located below. This device can also be reversed so that the position according to FIG. 10 will be maintained. The body 33 could fall out of the guide track 31 due to its own weight in this position, but the magnets in the body 33 prevent this and also provide the pretensioning force for the gas or air cushion between the guide surfaces.



  In the design according to FIGS. 2, 3, 4, 5, 8, 9 and 10, the magnets should be housed similar to the guide surfaces facing channels preferably in the smaller of the cooperating guide surfaces. It has been found that this gives very stable guidance. If, on the other hand, the magnets are placed in the larger of the mutually interacting guide surfaces, satisfactory stability could only be achieved by providing the guide track with a large number of magnets with completely identical magnetic properties, which are regularly distributed over the entire guide track.



  In order to ensure a constant strength of the gas cushion, as mentioned, magnets can be used which supply a pretensioning force which is large in relation to the change in the external loading force P. By using electromagnets, it is possible to apply a relatively lower pre-tensioning force with the same difference in the external load. When a change p P occurs in the loading force z. B. a chisel takes z. B. the strength d of the gas cushion.

   By measuring this strength and, if the measurement result changes, the electromagnets are controlled in such a way that the adhesive force decreases, the strength of the gas cushion can be kept constant. An arrangement shown schematically in FIG. 11 has a movable body 77 provided with an electromagnet 75 and a guide 79. Means are also present in the usual manner by which the instantaneous thickness d of the gas cushion can be measured, with part of the Guide surfaces is effective as parts of a variable capacitor. By means of a control element 81, a measured difference in the strength of the gas cushion is converted into a change in the excitation current of the electromagnet 75.


    

Claims (1)

PATENTANSPRUCH Führungsvorrichtung mit einer Führung und einem dieser gegenüber beweglichen, zu führenden Körper und Mitteln, durch welche ein Gaskissen zwi schen den einander zugekehrten zusammenwirkenden Führungsflächen aufrechterhalten wird, dadurch ge kennzeichnet, dass mindestens einer der gegeneinan der beweglichen Teile dieser Führungsvorrichtung mit einem oder mehreren Magneten (25, 35, 37, 68, 69) versehen ist, die diesen Teil und den wenigstens teilweise ferromagnetischen anderen Teil der Füh rungsvorrichtung unter Einschluss des Gaskissens magnetisch aneinander ziehen. UNTERANSPRÜCHE 1. PATENT CLAIM Guide device with a guide and one of these opposite movable body to be guided and means by which a gas cushion between the mutually facing cooperating guide surfaces is maintained, characterized in that at least one of the mutually movable parts of this guide device with one or more magnets (25, 35, 37, 68, 69) is provided, which magnetically pull this part and the at least partially ferromagnetic other part of the guide device, including the gas cushion, together. SUBCLAIMS 1. Führungsvorrichtung nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Führung durch eine Führungsbahn gebildet wird, die zwei einen Winkel miteinander einschliessende Führungsflächen (45, 47) enthält, die mit zwei entsprechenden, einen gleichen Winkel miteinander einschliessenden Führungsflä chen (41, 43) des gegenüber der Führung bewegli chen Körpers zusammenwirken. 2. Führungsvorrichtung nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnete Elektro magnete (75) sind und dass Mittel vorgesehen sind, durch welche die Stärke des Gaskissens zwischen zu sammenwirkenden Führungsflächen gemessen wer den kann, und dass ein Regelmechanismus (81) vor handen ist, der bei Änderung der gemessenen Stärke den Erregerstrom der Elektromagnete regelt. 3. Guide device according to patent claim, characterized in that the guide is formed by a guide track which contains two guide surfaces (45, 47) enclosing an angle with each other, which are opposite to the opposite with two corresponding guide surfaces (41, 43) enclosing an equal angle with each other Leading movable body interact. 2. Guide device according to claim, characterized in that the magnets are electric magnets (75) and that means are provided by which the strength of the gas cushion can be measured between interacting guide surfaces, and that a control mechanism (81) is available, which regulates the excitation current of the electromagnets when the measured strength changes. 3. Führungsvorrichtung nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnete in der kleineren der miteinander zusammenwirkenden Füh rungsflächen untergebracht sind. Guide device according to claim, characterized in that the magnets are housed in the smaller of the interacting guide surfaces.
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