CH394423A - Verfahren und Anordnung zur Impulssteuerung des Strahlstromes eines Ladungsträgerstrahlgerätes - Google Patents

Verfahren und Anordnung zur Impulssteuerung des Strahlstromes eines Ladungsträgerstrahlgerätes

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CH394423A
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CH
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arrangement
charge carrier
pulse control
beam current
beam device
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CH426361A
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Wolfgang Dr Opitz
Original Assignee
United Aircraft Corp
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for

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CH426361A 1960-04-14 1961-04-11 Verfahren und Anordnung zur Impulssteuerung des Strahlstromes eines Ladungsträgerstrahlgerätes CH394423A (de)

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US3193722A (en) 1965-07-06

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