CH254930A - Einrichtung zum Einschleusen von Objekten in den Vakuumraum eines Korpuskularstrahlapparates. - Google Patents

Einrichtung zum Einschleusen von Objekten in den Vakuumraum eines Korpuskularstrahlapparates.

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CH254930A
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vacuum space
corpuscular beam
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introducing
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
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