CA2595360A1 - Multi-shaft vacuum pump with circular translation cycle - Google Patents

Multi-shaft vacuum pump with circular translation cycle Download PDF

Info

Publication number
CA2595360A1
CA2595360A1 CA002595360A CA2595360A CA2595360A1 CA 2595360 A1 CA2595360 A1 CA 2595360A1 CA 002595360 A CA002595360 A CA 002595360A CA 2595360 A CA2595360 A CA 2595360A CA 2595360 A1 CA2595360 A1 CA 2595360A1
Authority
CA
Canada
Prior art keywords
vacuum pump
spiral
disk
fixed
pump according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Abandoned
Application number
CA002595360A
Other languages
French (fr)
Inventor
Maurice Helies
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Vgb (vulliez Gestion Brevets)
Original Assignee
V.G.B. (Vulliez Gestion Brevets)
Maurice Helies
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by V.G.B. (Vulliez Gestion Brevets), Maurice Helies filed Critical V.G.B. (Vulliez Gestion Brevets)
Publication of CA2595360A1 publication Critical patent/CA2595360A1/en
Abandoned legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/02Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/02Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
    • F04C18/0207Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form
    • F04C18/0215Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form where only one member is moving
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/008Hermetic pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C27/00Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C27/008Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids for other than working fluid, i.e. the sealing arrangements are not between working chambers of the machine
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0042Driving elements, brakes, couplings, transmissions specially adapted for pumps
    • F04C29/005Means for transmitting movement from the prime mover to driven parts of the pump, e.g. clutches, couplings, transmissions
    • F04C29/0057Means for transmitting movement from the prime mover to driven parts of the pump, e.g. clutches, couplings, transmissions for eccentric movement
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/04Heating; Cooling; Heat insulation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
  • Surgical Instruments (AREA)
  • Electrophonic Musical Instruments (AREA)
  • Valves And Accessory Devices For Braking Systems (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

Cette pompe à vide comporte : - un disque fixe (8) solidaire d'un corps fixe (2) et présentant une spirale (14), - un disque mobile (4) faisant face au disque fixe (8) et présentant une spirale (16) intercalée avec la spirale (14) du disque fixe (8), - une liaison entre le corps fixe (2) et le disque mobile (4), cette liaison présentant au moins deux manivelles (18) comportant chacune deux arbres (26, 28) décalés d'une même excentricité, - des moyens moteur (6) pour entraîner le disque mobile (4) dans un mouvement de translation circulaire, ces moyens moteur comportant un moteur (6) présentant un arbre de sortie (30) parallèle aux axes des disques, et l'arbre de sortie (30) du moteur (6) étant centré sur l'axe du disque mobile (4) et entraînant celui-ci à l'aide d'une pièce d'accouplement (32) présentant la même excentricité que les manivelles (18). This vacuum pump comprises: - a fixed disc (8) integral with a fixed body (2) and having a spiral (14), - a movable disk (4) facing the fixed disc (8) and having a spiral (16) interposed with the spiral (14) of the fixed disk (8), - a connection between the fixed body (2) and the mobile disk (4), this link having at least two cranks (18) each comprising two shafts (26, 28) offset by the same eccentricity, - motor means (6) for driving the mobile disk (4) in a translation movement circular, these motor means comprising a motor (6) having a shaft of output (30) parallel to the axes of the disks, and the output shaft (30) of the motor (6) being centered on the axis of the movable disk (4) and driving it by means of a coupling piece (32) having the same eccentricity as the cranks (18).

Description

Pompe à vide à cycle de translation circulaire à plusieurs arbres La présente invention concerne une pompe à vide à cycle de translation circulaire à plusieurs arbres.
Une pompe de ce type comporte généralement un corps fixe avec un disque fixe présentant sur l'une de ses faces une saillie en forme de spirale ainsi qu'un disque mobile, faisant face au disque fixe et présentant du côté du disque fixe une saillie correspondante en forme de spirale. Les deux spirales, une fixe et une mobile, sont de même amplitude angulaire et intercalées l'une dans l'autre.
Un mécanisme permet d'entraîner le disque mobile dans un mouvement de translation circulaire par rapport au disque fixe. La liaison entre le disque mobile et le corps fixe de la pompe est assurée par plusieurs arbres, le plus souvent trois.
Une telle pompe est par exemple décrite dans le document FR-A-2 141 402. Comme indiqué dans ce document, une telle pompe peut être une pompe intégralement sèche et étanche. Elle donne d'excellents résultats mais présente l'inconvénient de comporter de nombreuses pièces et d'être encombrante. On remarque également que la pompe décrite dans ce document utilise un liquide de refroidissement pour refroidir les pièces.
La présente invention a alors pour but de fournir une nouvelle pompe à
vide, sèche, étanche et propre (c'est-à-dire sans risque de pollution du fluide pompé), de structure simple et qui soit également compacte. De préférence, cette pompe permettra de rejeter à la pression atmosphérique le fluide gazeux aspiré
pour créer le vide à la pression atmosphérique. En outre, la maintenance de cette nouvelle pompe sera facilitée par rapport aux pompes de l'art antérieur connues.
A cet effet, l'invention propose une pompe à vide à cycle de translation circulaire comportant :
- un disque fixe solidaire d'un corps fixe et présentant sur l'une de ses faces une saillie en forme de spirale, - un disque mobile faisant face au disque fixe et présentant du côté du disque fixe une saillie en forme de spirale intercalée avec la saillie en forme de spirale du disque fixe, - une liaison entre le corps fixe et le disque mobile, cette liaison présentant au moins deux manivelles, chaque manivelle comportant deux arbres parallèles mais décalés d'une même excentricité,
Vacuum pump with circular cycle with several shafts The present invention relates to a vacuum pump with a translation cycle circular with several trees.
A pump of this type generally comprises a fixed body with a fixed disc having on one of its faces a projection in the form of a spiral so mobile disk, facing the fixed disk and presenting on the side of the disk fixes a corresponding projection in the form of a spiral. The two spirals, one fixed and a mobile, are of the same angular amplitude and intercalated one in the other.
A mechanism for driving the moving disk in a movement of circular translation with respect to the fixed disk. The connection between the disk mobile and the fixed body of the pump is provided by several trees, most often three.
Such a pump is for example described in the document FR-A-2 141 402. As indicated in this document, such a pump can be an entirely dry and waterproof pump. It gives excellent results But has the disadvantage of having many parts and being cumbersome. It is also noted that the pump described in this document uses a coolant to cool the parts.
The present invention therefore aims to provide a new pump to empty, dry, watertight and clean (that is, without the risk of pollution fluid pumped), of simple structure and which is also compact. Preferably, this pump will discharge at atmospheric pressure the aspirated gaseous fluid to create vacuum at atmospheric pressure. In addition, the maintenance of this new pump will be facilitated compared to the pumps of the prior art known.
For this purpose, the invention proposes a translational cycle vacuum pump.
circular comprising:
- a fixed disc fixed to a fixed body and having on one of its faces a projection in the form of a spiral, a mobile disk facing the fixed disk and presenting on the disc fixes a spiral-shaped projection interposed with the projection in made of spiral of the fixed disk, a link between the fixed body and the mobile disk, this connection having at least two cranks, each crank having two shafts parallel but offset from the same eccentricity,

2 - des moyens moteur pour entraîner le disque mobile dans un mouvement de translation circulaire par rapport au disque fixe.
Selon l'invention, les moyens moteur comportent un moteur présentant un arbre de sortie parallèle aux axes.des disques fixe et mobile ; l'arbre de sortie du moteur est sensiblement centré sur l'axe du disque mobile et entraîne celui-ci à
l'aide d'une pièce d'accouplement présentant une excentricité correspondant à
l'excentricité des manivelles ; les deux saillies en forme de spirale sont sans contact l'une avec l'autre et présentent un jeu axial maîtrisé par le montage des manivelles, et les efforts axiaux exercés sur la pompe sont repris essentiellement au niveau des manivelles.
Cette nouvelle structure d'une pompe à vide à plusieurs arbres est très intéressante car elle permet d'avoir une meilleure répartition des efforts au sein de la pompe, notamment au niveau des divers paliers de roulement. Une telle pompe est propre car un fluide gazeux pompé traversant la pompe ne vient au contact d'aucune pièce d'usure telle un joint ou similaire.
Dans une forme de réalisation préférée d'une pompe à vide selon l'invention, le moteur est fixé sur une platine parallèle au disque mobile, et cette platine présente des logements pour un arbre de chaque manivelle. De cette manière, la platine est disposée au c ur de la pompe et porte à la fois le moteur et le disque mobile. Ceci permet d'une part de simplifier la structure de la pompe et d'autre part de la rendre plus compacte. Dans cette forme de réalisation, la platine forme par exemple le fond d'un tube cylindrique dans lequel est logé
le moteur. Le corps fixe comporte alors par exemple un carter extérieur reliant le tube cylindrique au disque fixe.
Dans u-ne pompe à vide selon l'invention, un soufflet métallique peut être utilisé pour relier de manière étanche la périphérie du disque mobile au corps fixe de la pompe à vide. Un tel soufflet permet d'assurer une étanchéité entre une pièce mobile en translation (circulaire) et un corps fixe. Dans le cas où la pompe à
vide comporte un tube cylindrique, le soufflet métallique entoure alors de préférence le tube cylindrique. De cette manière, le soufflet peut être de relativement grande taille et les contraintes exercées sur celui-ci sont de ce fait moindres que pour un soufflet de taille réduite.
De manière avantageuse, l'invention prévoit qu'un deuxième soufflet métallique, monté également de manière étanche entre la périphérie du disque
two - motor means for driving the mobile disk in a translational movement circular relative to the fixed disk.
According to the invention, the motor means comprise an engine having an output shaft parallel to the axes of the fixed and mobile disks; the tree of exit the engine is substantially centered on the axis of the movable disk and drives the ci to by means of a coupling piece having an eccentricity corresponding to the eccentricity of the cranks; the two spiral-shaped projections are without contact with each other and have an axial clearance controlled by the assembly of the cranks, and the axial forces exerted on the pump are resumed essentially at the cranks.
This new structure of a multi-shaft vacuum pump is very interesting because it allows for a better distribution of efforts at within the pump, especially at the level of the various rolling bearings. Such a pump is clean because a gaseous fluid pumped through the pump does not come into contact no wear parts such as a seal or the like.
In a preferred embodiment of a vacuum pump according to the invention, the motor is fixed on a plate parallel to the mobile disk, and this platinum has housing for a shaft of each crank. Of this platinum is placed at the heart of the pump and carries both the engine and the mobile disk. This allows on the one hand to simplify the structure of the pump and on the other hand to make it more compact. In this embodiment, the platinum form for example the bottom of a cylindrical tube in which is housed the engine. The fixed body then comprises for example an outer casing connecting the cylindrical tube to the fixed disc.
In a vacuum pump according to the invention, a metal bellows can be used to tightly connect the periphery of the moving disk to body fixed vacuum pump. Such a bellows makes it possible to ensure a seal between a mobile part in translation (circular) and a fixed body. In case the pump to vacuum comprises a cylindrical tube, the metallic bellows then surrounds preferably the cylindrical tube. In this way, the bellows can be relatively large size and the stresses exerted on it are of this made less than for a small bellows.
Advantageously, the invention provides that a second bellows metal, also sealingly mounted between the periphery of the disk

3 mobile et le corps fixe, vient entourer le premier soufflet métallique. On obtient de la sorte un espace entre les deux soufflets métalliques. En surveillant la pression régnant dans cet espace, il est possible de détecter immédiatement une défaillance de l'un des soufflets. De la sorte, il est possible d'assurer une parfaite maîtrise de l'étanchéité de la pompe.
Dans la forme de réalisation dans laquelle la pompe à vide comporte un tube cylindrique, on peut prévoir que du côté opposé à la platine, le tube cylindrique reçoit un ventilateur, et que des orifices sont prévus dans la platine pour permettre la ventilation du logement du moteur.
La pompe à vide peut également comporter des moyens de ventilation pour refroidir la face du disque fixe opposée au disque mobile.
Lorsque la pompe est équipée de tels moyens de ventilation, il n'est pas nécessaire de prévoir un circuit de liquide de refroidissement pour éviter une surchauffe de la pompe en fonctionnement. Ceci permet d'éviter une source de pollution éventuelle du fluide gazeux pompé par la pompe selon l'invention.
Pour un meilleur refroidissement encore des disques de la pompe, on peut prévoir qu'au moins une saillie formant spirale sur un disque est évidée à
proximité du coeur de la spirale.
Pour le refoulement du fluide gazeux pompé à la pression atmosphérique, le disque fixe présente par exemple, sensiblement au centre de la spirale, un orifice de refoulement débouchant sur la face opposée à la spirale, et cet orifice de refoulement est éventuellement muni d'une soupape de refoulement.
Pour favoriser le rejet à la pression atmosphérique du fluide pompé, l'épaisseur des saillies formant spirale présente au niveau du coeur de la spirale une épaisseur croissante de manière à former une extrémité de spirale en forme de bulbe.
Des détails et avantages de la présente invention ressortiront mieux de la description qui suit, faite en référence aux dessins schématiques annexés sur lesquels :
La figure 1 est une vue en coupe longitudinale d'une pompe à vide selon l'invention, La figure 2 est une vue en coupe selon la ligne de coupe II-II de la figure 1, et La figure 3 est une vue en coupe selon la ligne de coupe III-III de la
3 mobile and the fixed body, surrounds the first metal bellows. We gets from so a space between the two metal bellows. By monitoring the pressure within this space, it is possible to immediately detect a failure of one of the bellows. In this way, it is possible to ensure perfect control of the pump seal.
In the embodiment in which the vacuum pump comprises a cylindrical tube, it can be provided that the opposite side to the plate, the tube cylinder receives a fan, and that orifices are provided in the platinum to allow ventilation of the motor housing.
The vacuum pump may also comprise ventilation means to cool the face of the fixed disk opposite the moving disk.
When the pump is equipped with such ventilation means, it is not necessary to provide a coolant circuit to avoid a overheating of the pump during operation. This avoids a source of possible pollution of the gaseous fluid pumped by the pump according to the invention.
For even better cooling of the pump discs, can provide that at least one projection forming a spiral on a disc is hollowed out at near the heart of the spiral.
For the delivery of gaseous fluid pumped under pressure atmospheric, the fixed disk presents, for example, substantially in the center of the spiral, a discharge orifice opening on the face opposite to the spiral, and this discharge orifice is optionally provided with a valve of discharge.
To promote the discharge at atmospheric pressure of the pumped fluid, the thickness of the spiral projections present at the heart of the spiral an increasing thickness so as to form a shaped spiral end of bulb.
Details and advantages of the present invention will emerge more clearly from the description which follows, made with reference to the attached schematic drawings sure which :
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a vacuum pump according to the invention, FIG. 2 is a sectional view along section line II-II of FIG.
figure 1, and FIG. 3 is a sectional view along section line III-III of FIG.

4 figure 1.
On reconnaît sur la figure 1 une pompe à vide à cycle de translation circulaire. Cette pompe comprend notamment un corps fixe 2, un disque mobile 4 et un moteur 6.
Dans la forme de réalisation préférentielle représentée sur la figure 1, le corps fixe 2 est constitué essentiellement de trois éléments : un disque fixe 8, un carter 10 et un tube cylindrique 12.
Le disque fixe 8 présente sur sa face intérieure une saillie en forme de spirale 14. La forme de cette dernière est visible sur la figure 2. Le disque mobile 4 fait face au disque fixe 8. Sur sa face orientée vers le disque fixe 8, le disque mobile présente lui aussi une saillie en forme de spirale 16. La spirale 16 du disque mobile 4 est imbriquée avec la spirale 14 du disque fixe 8, comme on peut le voir également sur la figure 2 (pour simplifier la vue, la figure 3 ne représente pas la spirale 14 fixe, ni le carter 10). Les spirales 14 et 16 sont séparées l'une de l'autre par un jeu axial constant, quelle que soit la position du disque mobile 4 par rapport au disque fixe 8. Ce jeu est par exemple de l'ordre de 5/1 00ème de mm. On retrouve également un jeu radial entre les spirales. Ce jeu radial est du même ordre de grandeur que le jeu axial (environ 0,05 mm).
Le disque mobile 4 est supporté par le corps fixe 2 par l'intermédiaire de trois manivelles 18 d'égale excentricité E et accouplées et agissant de manière synchronisée les unes avec les autres pour obtenir un mouvement de translation circulaire du disque mobile 4 par rapport au corps fixe 2, et plus particulièrement son disque fixe 8, lors du fonctionnement de la pompe.
Les manivelles 18 relient le disque mobile 4 au disque fixe 8 de telle sorte d'une part que le disque mobile 4 soit parfaitement guidé pour obtenir une maîtrise quasi parfaite du jeu axial au niveau des saillies en forme de spirale 14, 16 et d'autre part que les efforts axiaux entre ces deux disques soient repris au niveau de ces manivelles. Le jeu axial dont il est question ici au niveau des saillies en forme de spirale 14, 16 indique qu'entre le sommet d'une spirale 14, 16 et le disque 4, 8 qui lui fait face se trouve un jeu 19 sensiblement constant (de l'ordre de 0,05 mm).
Le tube cylindrique 12 présente un fût d'axe longitudinal parallèle à
l'axe des disques fixe 8 et mobile 4 ainsi qu'un fond 20 transversal -et donc situé
dans un plan parallèle à ceux des disques-. Ce fond 20 présente trois alésages 22, chacun de ceux-ci recevant une manivelle 18. Chaque manivelle 18 comporte un tourillon 24, un arbre inférieur 26 et un arbre supérieur 28. Le tourillon 24 est à
chaque fois disposé au niveau de l'interface entre le fond 20 et le disque mobile 4.
L'arbre inférieur 26 de chaque manivelle 18 est logé avec des roulements
4 figure 1.
FIG. 1 shows a vacuum pump with a translation cycle circular. This pump comprises in particular a fixed body 2, a mobile disc 4 and a motor 6.
In the preferred embodiment shown in FIG.
fixed body 2 consists essentially of three elements: a fixed disk 8, a casing 10 and a cylindrical tube 12.
The fixed disk 8 has on its inner face a projection in the form of 14. The shape of the latter is visible in FIG.
mobile 4 facing the fixed disk 8. On its face facing the fixed disk 8, the disk mobile also has a spiral-shaped protrusion 16. The spiral 16 of the mobile disk 4 is nested with the spiral 14 of the fixed disk 8, as can see also in Figure 2 (to simplify the view, Figure 3 does not represent not the spiral 14 fixed, or the housing 10). The spirals 14 and 16 are separated one of the other by a constant axial play, whatever the position of the disc mobile 4 by relative to the fixed disk 8. This game is for example of the order of 5/1 00th of mm. We also finds a radial play between the spirals. This radial game is the same order of magnitude than the axial clearance (about 0.05 mm).
The movable disc 4 is supported by the fixed body 2 via of three cranks 18 of equal eccentricity E and coupled and acting of way synchronized with each other to obtain a translation movement circular of the mobile disc 4 relative to the fixed body 2, and more particularly its fixed disk 8, during operation of the pump.
The cranks 18 connect the mobile disc 4 to the fixed disc 8 of such so on the one hand that the mobile disk 4 is perfectly guided to get a almost perfect control of the axial play at the level of the projections in the form of spiral 14, 16 and on the other hand that the axial forces between these two disks are resumed at level of these cranks. The axial play in question here at the level of projections spiral-shaped 14, 16 indicates that between the top of a spiral 14, 16 and the disc 4, 8 which faces him is a game 19 substantially constant (of order 0.05 mm).
The cylindrical tube 12 has a shaft of longitudinal axis parallel to the axis of the fixed discs 8 and mobile 4 as well as a transverse bottom 20 and therefore situated in a plane parallel to those of the disks. This bottom 20 has three bores 22, each of which receives a crank 18. Each crank 18 comprises a trunnion 24, a lower shaft 26 and an upper shaft 28. The trunnion 24 is at each time disposed at the interface between the bottom 20 and the disk mobile 4.
The lower shaft 26 of each crank 18 is housed with bearings

5 correspondants dans un alésage 22 du fond 20 tandis que les arbres supérieurs 28 sont chacun logés avec des roulements correspondants dans des logements prévus à cet effet dans le disque mobile 4. Les axes des arbres inférieurs 26 et supérieurs 28 sont parallèles et décalés d'une distance correspondant à
l'excentricité E.
Chaque alésage 22 présente un épaulement contre lequel viennent reposer des roulements à billes guidant l'arbre inférieur 26 d'une manivelle 18. Le tourillon 24 vient reposer sur ces roulements à billes du côté opposé à
l'épaulement précité. Un montage similaire est réalisé au niveau des logements prévus dans le disque mobile 4. Chacun de ces logements présente un épaulement contre lequel viennent buter des roulements à billes recevant l'arbre supérieur 28 de la manivelle 18 et du côté opposé à cet épaulement, le tourillon 24 vient reposer sur les roulements à billes. Ces roulements sont maintenus dans leur logement, tant au niveau du disque mobile 4 que du fond 20, à l'aide d'une bague maintenue par des vis 29.
Ce type de montage correspond à une pompe à vide dans laquelle le disque mobile 4 tend à se rapprocher axialement du disque fixe 8.
Le mouvement de translation circulaire du disque mobile 4 par rapport au disque fixe 8 est commandé par le moteur 6. Ce dernier est disposé à
l'intérieur du tube cylindrique 12 et est fixé sur le fond 20 de celui-ci. Dans la forme de réalisation préférée de l'invention représentée aux dessins, l'arbre de sortie 30 du moteur 6 est relié au disque mobile 4 par une pièce d'accouplement 32. Cette dernière présente ici la forme d'un manchon comportant deux logements cylindriques circulaires, l'un dans le prolongement de l'autre et décalés d'une valeur correspondant à l'excentricité E. Le logement cylindrique se trouvant du côté du moteur reçoit l'arbre de sortie 30 du moteur tandis que le logement cylindrique se trouvant du côté du disque mobile 4 reçoit un maneton 34 faisant saillie de la face du disque mobile 4 opposée à la spirale 16 ainsi qu'un roulement à aiguilles. Dans cette forme de réalisation représentée sur les figures, le maneton 34 est centré par rapport au disque mobile 4. Le roulement à aiguilles reprend
5 corresponding in a bore 22 of the bottom 20 while the trees higher 28 are each housed with corresponding bearings in housing provided for this purpose in the movable disk 4. The axes of the lower shafts 26 and upper 28 are parallel and offset by a distance corresponding to Eccentricity E.
Each bore 22 has a shoulder against which come releasing ball bearings guiding the lower shaft 26 of a crank 18. The trunnion 24 comes to rest on these ball bearings on the opposite side to the aforementioned shoulder. A similar arrangement is made at the housing level provided in the mobile disk 4. Each of these dwellings has a shoulder against which abut ball bearings receiving the tree upper 28 of the crank 18 and the opposite side to this shoulder, the trunnion 24 comes to rest on the ball bearings. These bearings are maintained in their housing, both at the mobile disk 4 and the bottom 20, using a ring held by screws 29.
This type of assembly corresponds to a vacuum pump in which the mobile disk 4 tends to approach axially fixed disk 8.
The translational movement of the mobile disk 4 relative to fixed disk 8 is controlled by the motor 6. The latter is disposed to interior of the cylindrical tube 12 and is fixed on the bottom 20 thereof. In the form of preferred embodiment of the invention shown in the drawings, the output shaft 30 of motor 6 is connected to the movable disc 4 by a coupling piece 32. This last presents here the shape of a sleeve with two dwellings cylindrical circular, one in the extension of the other and staggered a value corresponding to the eccentricity E. The cylindrical housing being of motor side receives the output shaft 30 of the motor while the housing cylindrical located on the side of the movable disc 4 receives a crank pin 34 making protrusion of the face of the movable disc 4 opposite the spiral 16 and a rolling with needles. In this embodiment shown in the figures, the pin 34 is centered with respect to the movable disc 4. The needle bearing resumes

6 essentiellement des efforts radiaux au niveau de l'arbre moteur. On remarque sur la figure un roulement à billes à proximité de l'arbre de sortie 30. Ce roulement a uniquement pour but de retenir l'arbre moteur lorsque le moteur est démonté
pour être entretenu, réparé, ou changé.
On remarque sur les figures 1 et 3 la présence d'une masse d'équilibrage 36 autour de la pièce d'accouplement 32 au niveau du maneton 34.
Cette masse est calculée et positionnée de manière à réaliser un équilibrage dynamique de la pompe lors du fonctionnement de celle-ci.
Le carter 10 du corps fixe relie, dans la forme de réalisation visible sur la figure 1, la périphérie du disque fixe 8 avec le bord libre du tube cylindrique 12, bord libre qui est opposé au fond 20.
On remarque aussi la présence de deux soufflets 38, 38' métalliques sur la figure 1. Chacun de ces soufflets 38, 38' est monté de manière étanche d'une part sur un bord périphérique du disque mobile 4 et d'autre part sur le carter 10. La fixation des soufflets 38, 38' est par exemple réalisée par soudure.
Les deux soufflets 38, 38' entourent ainsi le tube cylindriquel2 (fixe) à
l'intérieur duquel se trouve le motéur 6, le soufflet 38' entourant le soufflet 38. La présence d'un seul soufflet est suffisante pour permettre un bon_fonctionnement de la pompe à vide selon l'invention. Le deuxième soufflet est prévu ici pour des raisons de sécurité. Un capteur de pression relié à l'espace libre entre les deux soufflets permet de détecter immédiatement la moindre fuite au niveau de l'un des soufflets, l'autre soufflet assurant encore l'étanchéité de la pompe.
Les soufflets 38, 38' métalliques sont utilisés pour réaliser une étanchéité intégrale de la pompe. Ils sont protégés contre tout effet de torsion du fait de la cinématique du système d'entraînement. Pour limiter les contraintes exercés sur ces soufflets, ceux-ci s'étendent sur quasiment toute la hauteur de la pompe, comme on peut le voir sur la figure 1. Des soufflets (ou un seul soufflet) de longueur moindre, pourraient également convenir.
Le carter 10 comporte une ouverture d'admission 42 qui permet de réaliser, dans l'exemple représenté, une admission radiale de fluide gazeux, à
proximité des disques fixe 8 et mobile 4. Une enceinte à vider (non représentée sur les dessins) est raccordée à la pompe (par des moyens non représentés) à
l'ouverture d'admission 42. Dès la mise en service de la pompe, le fluide gazeux à
pomper est soumis à l'effet continu et progressif de compression obtenu grâce au
6 essentially radial forces at the motor shaft. We notice sure the figure a ball bearing near the output shaft 30. This rolling only for the purpose of holding the motor shaft when the motor is disassembled for to be maintained, repaired, or changed.
We note in Figures 1 and 3 the presence of a mass balancing device 36 around the coupling piece 32 at the crankpin 34.
This mass is calculated and positioned to perform a balancing dynamics of the pump during operation thereof.
The housing 10 of the fixed body connects, in the embodiment visible on FIG. 1, the periphery of the fixed disc 8 with the free edge of the tube cylindrical 12, free edge which is opposite the bottom 20.
We also note the presence of two bellows 38, 38 'metal in Figure 1. Each of these bellows 38, 38 'is mounted in a sealed manner on the one hand on a peripheral edge of the mobile disc 4 and on the other hand on the box 10. The fastening bellows 38, 38 'is for example made by welding.
The two bellows 38, 38 'thus surround the cylindrical tube 2 (fixed) to inside which is the word 6, the bellows 38 'surrounding the bellows 38. The presence of a single bellows is sufficient to allow a bon_fonctionnement of the vacuum pump according to the invention. The second bellows is planned here for of the security reasons. A pressure sensor connected to the free space between two bellows can immediately detect any leakage at the level of one of the bellows, the other bellows still sealing the pump.
The bellows 38, 38 'are used to make a metal complete sealing of the pump. They are protected against any effect of twist of the makes the kinematics of the drive system. To limit the constraints exercised on these bellows, they extend over almost the entire height of the pump, as can be seen in Figure 1. Bellows (or only one bellows) less length, could also be suitable.
The housing 10 has an inlet opening 42 which allows realize, in the example shown, a radial admission of gaseous fluid, proximity of the fixed discs 8 and mobile 4. An enclosure to empty (no represented in the drawings) is connected to the pump (by means not shown) to the inlet opening 42. As soon as the pump is put into operation, the fluid gaseous to pumping is subjected to the continuous and progressive effect of compression obtained through at

7 mouvement relatif entre les deux spirales 14 et 16. De manière connue (cf. par exemple FR-2 141 402) le fluide gazeux se trouvant dans l'espace entre le soufflet 38' extérieur et le carter 10 est entraîné vers un orifice de refoulement 44 se trouvant au centre de la spirale 14 du disque fixe 8. Cet orifice de refoulement 44 est muni d'une soupape 46 permettant le rejet du fluide gazeux à la pression atmosphérique.
Lors de ce fonctionnement, les spirales ont tendance à s'échauffer. Un premier groupe de ventilation 48, représenté très schématiquement sur la figure 1, est disposé sur la face du disque fixe 8 opposée à la face portant la spirale 14.
Une flèche 50 représente un exemple de mouvement d'air permettant la ventilation du disque fixe 8.
Un second groupe de ventilation 52 est disposé dans le tube cylindrique 12 pour assurer le refroidissement du moteur 6 et du disque mobile 4. Ce second groupe de ventilation 52, très schématiquement représenté, aspire de l'air à
l'extérieur de la pompe pour le faire cheminer à l'intérieur de celle-ci selon un chemin illustré à titre d'exemple par des flèches 54. Pour permettre un tel passage d'air, des orifices sont prévus d'une part dans le fond 20 du tube cylindrique et d'autre part dans le corps fixe 2 de manière à permettre à de l'air extérieur de pénétrer entre la surface extérieure du tube cylindrique 12 et l'intérieur du soufflet intérieur 38.
Pour favoriser encore le refroidissement des disques fixe 8 et mobile 4, un évidement 56 est réalisé dans chacune des spirales 14 et 16, comme on peut le remarquer sur les dessins. Les spirales 14 et 16 présentent chacune à leur extrémité se trouvant sensiblement au centre du disque correspondant la forme d'un bulbe 57 dû à l'élargissement de la saillie formant la spirale correspondante vers le centre du disque. Ainsi, l'air mis en mouvement par les groupes de ventilation peut pénétrer dans les évidements 56 et réaliser de la sorte un meilleur refroidissement des spirales 14 et 16 et donc des disques 8 et 4 correspondants.
La pompe à vide décrite ci-dessus est une pompe à vide intégralement sèche, qui fonctionne sans huile ni liquide de refroidissement. Cette pompe est aussi entièrement étanche avec, grâce notamment aux deux soufflets, une maîtrise parfaite de cette étanchéité.
La pompe décrite ici est une pompe dite propre. Le fluide pompé ne rencontre aucune pièce d'usure Qoints, etc... ) depuis l'ouverture d'admission WO 2006/07732
7 relative movement between the two spirals 14 and 16. In a known manner (cf.
example FR-2 141 402) the gaseous fluid in the space between the bellows 38 'outside and the housing 10 is driven to a discharge port 44 himself located in the center of the spiral 14 of the fixed disk 8. This orifice of repression 44 is provided with a valve 46 allowing the discharge of the gaseous fluid at the pressure atmospheric.
During this operation, the spirals tend to heat up. A
first ventilation group 48, represented very schematically on the figure 1, is disposed on the face of the fixed disk 8 opposite the face carrying the spiral 14.
An arrow 50 represents an example of air movement allowing the ventilation of the fixed disk 8.
A second ventilation group 52 is disposed in the cylindrical tube 12 for cooling the motor 6 and the mobile disk 4. This second ventilation group 52, very schematically represented, draws air to the outside of the pump to make it run inside of it according to a illustrated by way of example by arrows 54. To allow such a passage of air, orifices are provided on the one hand in the bottom 20 of the cylindrical tube and on the other hand in the fixed body 2 so as to allow outside air of penetrate between the outer surface of the cylindrical tube 12 and the interior of the bellows interior 38.
To further promote the cooling of the fixed disk 8 and mobile 4, a recess 56 is formed in each of the spirals 14 and 16, as can be notice it on the drawings. The spirals 14 and 16 each have their own end located substantially in the center of the corresponding disc shape of a bulb 57 due to the widening of the projection forming the spiral corresponding towards the center of the disc. So the air set in motion by the groups of ventilation can enter the recesses 56 and thereby achieve a better cooling the spirals 14 and 16 and thus the disks 8 and 4 correspondents.
The vacuum pump described above is a vacuum pump in its entirety dry, which works without oil or coolant. This pump is also completely sealed with, thanks in particular to the two bellows, a perfect control of this tightness.
The pump described here is a so-called clean pump. The pumped fluid does not no wear parts Qoints, etc ...) from the inlet opening WO 2006/07732

8 PCT/FR2006/000132 jusqu'à sa sortie par l'orifice de refoulement 44. La maîtrise du jeu axial entre les saillies en forme de spirale 14, 16 permet de supprimer les joints que l'on trouve habituellement entre chaque spirale et le disque faisant face à ladite spirale.
L'absence de pièces d'usure tout au long du parcours du fluide pompé permet de préserver celui-ci de toute pollution.
Une pompe telle celle décrite ci-dessus peut être utilisée pour des débits relativement faibles. A titre d'exemple non limitatif mais uniquement illustratif, une telle pompe peut présenter par exemple un volume engendré de l'ordre de 30 m3/h.
Une pompe à vide selon l'invention peut trouver des applications par exemple dans le domaine du nucléaire, dans la fabrication de composants électroniques, dans l'industrie pharmaceutique, alimentaire, etc... Cette liste d'applications est bien entendu non exhaustive. Ce type de pompe peut être utilisé
partout où une grande attention est nécessaire pour éviter toute pollution d'un fluide transporté.
Alors que pour les pompes de tailles équivalentes de l'art antérieur il est nécessaire habituellement de prévoir un accouplement à une pompe primaire, la pompe décrite peut refouler directement à la pression atmosphérique. Ce rejet direct à la pression atmosphérique peut être réalisé ici notamment grâce à la présence d'une soupape 46 à la sortie mais aussi à la forme de bulbe 57 aux extrémités des spirales. La bonne ventilation de la pompe favorisée aussi par les évidements 56 réalisés au niveau desdits bulbes, est également un élément important pour permettre un tel rejet. En effet, compte tenu de la variation de pression, l'échauffement dans la pompe est relativement important et un refroidissement adapté doit être prévu.
La structure de la pompe décrite est simple, même si elle comporte quatre arbres. De plus, elle permet d'avoir une pompe compacte. En outre, la maintenance de cette pompe est simplifiée. Le nombre de joints et de pièces d'usure est très limité.
Un avantage important de la structure présentée ci-dessus avec un arbre moteur central et des arbres périphériques est la reprise des efforts radiaux.
Ceux-ci sont encaissés essentiellement par le roulement à aiguilles décrit. La charge des roulements au niveau des arbres périphériques est limitée et permet l'utilisation de roulements à raideur axiale supérieure par rapport aux roulements
8 PCT / FR2006 / 000132 until it exits through the discharge port 44. Control of the axial clearance between the protrusions in the form of a spiral 14, 16 makes it possible to remove the joints that are find usually between each spiral and the disc facing the said spiral.
The absence of wear parts along the path of the pumped fluid makes it possible to preserve it from any pollution.
A pump such as the one described above can be used for relatively low flow rates. As a non-limitative example but only illustrative example, such a pump may have, for example, a generated volume of the order of 30 m3 / h.
A vacuum pump according to the invention can find applications by example in the field of nuclear, in the manufacture of components in the pharmaceutical, food, etc. industry.
listing of applications is of course not exhaustive. This type of pump can be in use wherever great attention is needed to avoid pollution a fluid transported.
While for pumps of equivalent sizes of the prior art it is usually necessary to provide a coupling to a primary pump, the pump described can flow back directly to atmospheric pressure. This rejection direct to the atmospheric pressure can be realized here thanks to the presence of a valve 46 at the outlet but also at the bulb shape 57 to ends of the spirals. The good ventilation of the pump also favored by the recesses 56 made at the level of said bulbs, is also an element important to allow such rejection. Indeed, given the variation of pressure, the heating in the pump is relatively suitable cooling must be provided.
The structure of the pump described is simple, even if it comprises four trees. In addition, it allows to have a compact pump. In addition, the maintenance of this pump is simplified. The number of joints and parts wear is very limited.
An important advantage of the structure presented above with a central motor shaft and peripheral trees is the resumption of efforts radial.
These are essentially cashed by the described needle bearing. The bearing load at the level of the peripheral shafts is limited and allows the use of bearings with higher axial stiffness compared to bearings

9 utilisés avec les pompes comparables de l'art antérieur.
La présente invention ne se limite pas à la forme de réalisation préférentielle décrite ci-dessus à titre d'exemple non limitatif. Elle concerne également toutes les variantes de réalisation à la portée de l'homme du métier dans le cadre des revendications ci-après.
Ainsi par exemple, le nombre d'arbres (manivelles) peut être modifié
sans sortir pour autant du cadre de l'invention. D'autres modifications, concernant par exemple la forme du corps fixe, le refroidissement des pièces (même éventuellement avec un liquide de refroidissement), le montage du moteur, les soufflets, etc. peuvent également être apportées sans sortir du cadre de l'invention.
9 used with comparable pumps of the prior art.
The present invention is not limited to the embodiment preferential described above by way of non-limiting example. She concerned also all embodiments within the reach of the skilled person within the scope of the claims below.
For example, the number of trees (cranks) can be changed without departing from the scope of the invention. Other modifications, concerning for example the shape of the fixed body, the cooling of the parts (even possibly with a coolant), the motor assembly, the bellows, etc. can also be made without departing from the invention.

Claims (12)

1. Pompe à vide à cycle de translation circulaire comportant :
- un disque fixe (8) solidaire d'un corps fixe (2) et présentant sur l'une de ses faces une saillie en forme de spirale (14), - un disque mobile (4) faisant face au disque fixe (8) et présentant du côté du disque fixe (8) une saillie en forme de spirale (16) intercalée avec la saillie en forme de spirale (14) du disque fixe (8), - une liaison entre le corps fixe (2) et le disque mobile (4), cette liaison présentant au moins deux manivelles (18), chaque manivelle (18) comportant deux arbres (26, 28) parallèles mais décalés d'une même excentricité, - des moyens moteur (6) pour entraîner le disque mobile (4) dans un mouvement de translation circulaire par rapport au disque fixe (8), caractérisée en ce que les moyens moteur comportent un moteur (6) présentant un arbre de sortie (30) parallèle aux axes des disques fixe (8) et mobile (4), et en ce que l'arbre de sortie (30) du moteur (6) est sensiblement centré
sur l'axe du disque mobile (4) et entraîne celui-ci à l'aide d'une pièce d'accouplement (32) présentant une excentricité correspondant à l'excentricité
des manivelles (18), en ce que les deux saillies en forme de spirale (14, 16) sont sans contact l'une avec l'autre et présentent un jeu axial maîtrisé par le montage des manivelles (18) et en ce que les efforts axiaux exercés sur la pompe sont repris essentiellement au niveau des manivelles (18).
A circular translation cycle vacuum pump comprising:
- A fixed disk (8) integral with a fixed body (2) and having on one with its faces a spiral projection (14), a mobile disk (4) facing the fixed disk (8) and presenting on the side of the fixed disc (8) a spiral-shaped projection (16) interposed with the protrusion in the form of a spiral (14) of the fixed disc (8), a link between the fixed body (2) and the mobile disk (4), this connection having at least two cranks (18), each crank (18) comprising two shafts (26, 28) parallel but offset by the same eccentricity, - motor means (6) for driving the mobile disk (4) in a translational movement circular with respect to the fixed disc (8), characterized in that the motor means comprise an engine (6) having an output shaft (30) parallel to the axes of the fixed disks (8) and mobile (4), and in that the output shaft (30) of the motor (6) is substantially centered on the axis of the movable disk (4) and drives it with a coin coupling (32) having an eccentricity corresponding to eccentricity of the cranks (18), in that the two spiral projections (14, 16) are without contact with each other and have an axial clearance controlled by the assembly of the cranks (18) and in that the axial forces exerted on the pump are resumed essentially at the cranks (18).
2. Pompe à vide selon la revendication 1, caractérisée en ce que le moteur (6) est fixé sur une platine (20) parallèle au disque mobile (4), et en ce que cette platine (20) présente des logements (22) pour un arbre (26) de chaque manivelle (18). Vacuum pump according to Claim 1, characterized in that the motor (6) is fixed on a plate (20) parallel to the mobile disc (4), and what this plate (20) has housing (22) for a shaft (26) of each crank (18). 3. Pompe à vide selon la revendication 2, caractérisée en ce que la platine forme le fond (20) d'un tube cylindrique (12) dans lequel est logé le moteur (6). Vacuum pump according to Claim 2, characterized in that the platinum forms the bottom (20) of a cylindrical tube (12) in which is housed the engine (6). 4. Pompe à vide selon la revendication 3, caractérisée en ce que le corps fixe (2) comporte un carter (10) extérieur reliant le tube cylindrique (12) au disque fixe (8). Vacuum pump according to Claim 3, characterized in that the fixed body (2) comprises an outer casing (10) connecting the cylindrical tube (12) fixed disk (8). 5. Pompe à vide selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisée en ce qu'un soufflet métallique (38) relie de manière étanche la périphérie du disque mobile (4) au corps fixe (2) de la pompe à vide. Vacuum pump according to one of Claims 1 to 4, characterized in that a metal bellows (38) sealingly connects the periphery of the disk mobile (4) to the fixed body (2) of the vacuum pump. 6. Pompe à vide selon les revendications 3 et 5, caractérisée en ce que le soufflet métallique (38) entoure le tube cylindrique (12). Vacuum pump according to claims 3 and 5, characterized in that the metal bellows (38) surrounds the cylindrical tube (12). 7. Pompe à vide selon l'une des revendications 5 ou 6, caractérisée en ce qu'un deuxième soufflet (38') métallique, monté également de manière étanche entre la périphérie du disque mobile (4) et le corps fixe (2), entoure le premier soufflet (38) métallique. Vacuum pump according to one of Claims 5 or 6, characterized in that what a second bellows (38 ') metal, also mounted so watertight between the periphery of the movable disc (4) and the fixed body (2) surrounds the first bellows (38) metal. 8. Pompe à vide selon la revendication 3, caractérisée en ce que du côté opposé à la platine (20), le tube cylindrique (12) reçoit un groupe de ventilation (52), et en ce que des orifices sont prévus dans la platine (20) pour permettre la ventilation du logement du moteur (6). Vacuum pump according to Claim 3, characterized in that opposite side to the plate (20), the cylindrical tube (12) receives a group of ventilation (52), and in that apertures are provided in the plate (20) for allow ventilation of the motor housing (6). 9. Pompe à vide selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisée en ce que des moyens de ventilation (48) sont prévus pour refroidir la face du disque fixe (8) opposée au disque mobile (4). Vacuum pump according to one of Claims 1 to 8, characterized in that that ventilation means (48) are provided for cooling the face of the disk fixed (8) opposite to the movable disc (4). 10. Pompe à vide selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisée en ce que le disque fixe (8) présente, sensiblement au centre de la spirale (14), un orifice de refoulement (44) débouchant sur la face opposée à la spirale (14), et en ce que cet orifice de refoulement (44) est muni d'une soupape de refoulement (46). Vacuum pump according to one of Claims 1 to 9, characterized in that the fixed disk (8) has substantially in the center of the spiral (14), a discharge orifice (44) opening on the face opposite to the spiral (14), and in this discharge port (44) is provided with a discharge valve (46). 11. Pompe à vide selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisée en ce qu'au moins une saillie formant spirale (14, 16) sur un disque (8, 4) est évidée à
proximité du coeur de la spirale (14, 16).
Vacuum pump according to one of Claims 1 to 10, characterized in that at least one spiral protrusion (14, 16) on a disk (8, 4) is hollowed out near the heart of the spiral (14, 16).
12. Pompe à vide selon l'une des revendications 1 à 11, caractérisée en ce que l'épaisseur des saillies formant spirale (14, 16) présente au niveau du coeur de la spirale (14,16) une épaisseur croissante de manière à former une extrémité
de spirale en forme de bulbe (57).
Vacuum pump according to one of Claims 1 to 11, characterized in that the thickness of the spiral projections (14, 16) at the level of the heart of the spiral (14,16) an increasing thickness so as to form a end spiral shaped bulb (57).
CA002595360A 2005-01-21 2006-01-20 Multi-shaft vacuum pump with circular translation cycle Abandoned CA2595360A1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0500663 2005-01-21
FR0500663A FR2881189A1 (en) 2005-01-21 2005-01-21 VACUUM PUMP CIRCULAR CIRCULAR TRANSLATION CYCLE WITH SEVERAL TREES
PCT/FR2006/000132 WO2006077328A1 (en) 2005-01-21 2006-01-20 Multi-shaft vacuum pump with circular translation cycle

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CA2595360A1 true CA2595360A1 (en) 2006-07-27

Family

ID=34953994

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CA002595360A Abandoned CA2595360A1 (en) 2005-01-21 2006-01-20 Multi-shaft vacuum pump with circular translation cycle

Country Status (12)

Country Link
US (1) US20080193311A1 (en)
EP (1) EP1838965B1 (en)
JP (1) JP2008528853A (en)
KR (1) KR20070103446A (en)
CN (1) CN101124408B (en)
AT (1) ATE417203T1 (en)
CA (1) CA2595360A1 (en)
DE (1) DE602006004165D1 (en)
DK (1) DK1838965T3 (en)
FR (1) FR2881189A1 (en)
RU (1) RU2388938C2 (en)
WO (1) WO2006077328A1 (en)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10221852B2 (en) * 2006-02-14 2019-03-05 Air Squared, Inc. Multi stage scroll vacuum pumps and related scroll devices
US10683865B2 (en) 2006-02-14 2020-06-16 Air Squared, Inc. Scroll type device incorporating spinning or co-rotating scrolls
US8622724B2 (en) * 2009-09-25 2014-01-07 Agilent Technologies, Inc. Scroll pump with isolation barrier
US11047389B2 (en) 2010-04-16 2021-06-29 Air Squared, Inc. Multi-stage scroll vacuum pumps and related scroll devices
US20130232975A1 (en) 2011-08-09 2013-09-12 Robert W. Saffer Compact energy cycle construction utilizing some combination of a scroll type expander, pump, and compressor for operating according to a rankine, an organic rankine, heat pump, or combined organic rankine and heat pump cycle
US9605674B2 (en) * 2013-12-26 2017-03-28 Agilent Technologies, Inc. Vacuum scroll pump having pressure-balanced orbiting plate scroll
US10508543B2 (en) 2015-05-07 2019-12-17 Air Squared, Inc. Scroll device having a pressure plate
CN105604985B (en) * 2016-02-18 2018-07-03 上海交通大学 The method for measuring temperature distribution of protected type core main pump cooling system
US10865793B2 (en) 2016-12-06 2020-12-15 Air Squared, Inc. Scroll type device having liquid cooling through idler shafts
JP7042364B2 (en) 2018-05-04 2022-03-25 エア・スクエアード・インコーポレイテッド Liquid cooling of fixed scroll and swivel scroll compressors, expanders, or vacuum pumps
US11067080B2 (en) 2018-07-17 2021-07-20 Air Squared, Inc. Low cost scroll compressor or vacuum pump
US20200025199A1 (en) 2018-07-17 2020-01-23 Air Squared, Inc. Dual drive co-rotating spinning scroll compressor or expander
US11530703B2 (en) 2018-07-18 2022-12-20 Air Squared, Inc. Orbiting scroll device lubrication
US11473572B2 (en) 2019-06-25 2022-10-18 Air Squared, Inc. Aftercooler for cooling compressed working fluid
US11898557B2 (en) 2020-11-30 2024-02-13 Air Squared, Inc. Liquid cooling of a scroll type compressor with liquid supply through the crankshaft
US11885328B2 (en) 2021-07-19 2024-01-30 Air Squared, Inc. Scroll device with an integrated cooling loop

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2153129B2 (en) * 1971-06-01 1974-01-04 Vulliez Paul
JPS61126390A (en) * 1984-11-22 1986-06-13 Shin Meiwa Ind Co Ltd Oil-free scroll type fluid machinery
JP2753317B2 (en) * 1989-03-20 1998-05-20 株式会社日立製作所 Scroll fluid machine
JPH05126139A (en) * 1991-10-31 1993-05-21 Ntn Corp Thrust supporter of turning member
FR2731051B1 (en) * 1995-02-24 1997-04-30 Mecanique De Normandie Soc VACUUM PUMP WITH CIRCULAR TRANSLATION CYCLE
JP3781460B2 (en) * 1995-03-17 2006-05-31 株式会社デンソー Scroll compressor
JP3158938B2 (en) * 1995-03-20 2001-04-23 株式会社日立製作所 Scroll fluid machine and compressed gas producing apparatus using the same
JPH0953577A (en) * 1995-08-17 1997-02-25 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Scroll type fluid machinery
JPH0953589A (en) * 1995-08-18 1997-02-25 Tokico Ltd Scroll type fluid machinery
JP4365901B2 (en) * 1998-03-03 2009-11-18 株式会社日立製作所 Method for manufacturing scroll fluid machine
JP4026099B2 (en) * 1998-10-15 2007-12-26 アネスト岩田株式会社 Scroll fluid machinery
US6266995B1 (en) * 1999-05-20 2001-07-31 Respiratory Management Services, Inc. Portable medical gas system tester
FR2798093B1 (en) * 1999-09-03 2001-11-30 Sidel Sa ROTARY DRAWING-BLOWING MACHINE WITH MAGNETIC DRAWING ROD CONTROL
US6268995B1 (en) * 2000-06-08 2001-07-31 Jennings Technology Double-bellows vacuum variable capacitor
JP3935006B2 (en) * 2001-12-03 2007-06-20 松下エコシステムズ株式会社 Power generator
JP2003227476A (en) * 2002-02-05 2003-08-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd Air supply device
JP4053416B2 (en) * 2002-12-16 2008-02-27 松下エコシステムズ株式会社 Scroll compressor and manufacturing method thereof
US6764288B1 (en) * 2003-11-06 2004-07-20 Varian, Inc. Two stage scroll vacuum pump

Also Published As

Publication number Publication date
FR2881189A1 (en) 2006-07-28
RU2007131433A (en) 2009-02-27
ATE417203T1 (en) 2008-12-15
DK1838965T3 (en) 2009-04-06
DE602006004165D1 (en) 2009-01-22
WO2006077328A1 (en) 2006-07-27
CN101124408A (en) 2008-02-13
US20080193311A1 (en) 2008-08-14
KR20070103446A (en) 2007-10-23
EP1838965B1 (en) 2008-12-10
JP2008528853A (en) 2008-07-31
WO2006077328A8 (en) 2007-08-30
EP1838965A1 (en) 2007-10-03
RU2388938C2 (en) 2010-05-10
CN101124408B (en) 2011-03-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1838965B1 (en) Multi-shaft vacuum pump with circular transaltion cycle
EP1577495B1 (en) Turbomachine rolling bearing assembly having a reduced space requirement
EP0728948B1 (en) Scroll vacuum pump
EP0388269B1 (en) Cassette for a peristaltic pump with a resilient tube, and peristaltic pump with such a cassette
BE1001192A5 (en) Machine type scroll.
FR2796886A1 (en) Wheel bearing assembly has braking discs fixed to the hub and to an axial wall portion surrounding the hub and integral with shaft
FR2845434A1 (en) TWO-STAGE HERMETIC CARBON DIOXIDE COMPRESSOR
EP3529493B1 (en) Cryogenic pump
WO2004020800A1 (en) Multi-jet nozzle for engine cooling and engines equipped with such nozzles
FR2582727A1 (en) LUBRICATION SYSTEM FOR A TURBOCHARGER
EP0060822A1 (en) Motor with a linear movement, and a swash plate for it
FR2856440A1 (en) TURBOMACHINE COMPRESSOR AND COMPRESSOR WHEEL
FR2538501A1 (en) DEVICE FOR LUBRICATING THE MAIN BEARING OF THE DRIVE SHAFT OF A VOLUME DEVICE
FR2825420A1 (en) VOLUTE COMPRESSOR
EP0026704B1 (en) Peristaltic pump
CA2646976A1 (en) Bearing bracket sealed fitting in a turbine engine
FR2563580A1 (en) ROTARY ELECTRIC PUMP, WITH IMMERSION ENGINE, WITH GEAR, WITH COOLING OF THE BEARING BY THE PUMP FUEL
FR2784143A1 (en) VOLUMETRIC FUEL PUMP WITH CAVITATION NOISE REDUCTION
FR2637660A1 (en) Mechanism with roller elements with radial compensation, particularly for a spiral(screw)-type compressor
FR2608223A1 (en) AXIAL PISTON PUMP
EP0882893B1 (en) Scroll fluid displacement machine
FR2568973A1 (en) EXHAUST VALVE FOR ROTATING PUMP WITH GEAR AND IMMERSION ENGINE FOR FUEL
FR2563868A1 (en) ROTARY ELECTRIC PUMP, WITH IMMERSION ENGINE, WITH GEAR, FOR FUEL, WITH SELF CENTER BEARING.
EP0052387A1 (en) Motor with at least one linear-translationpiston and wobble plate
FR2491171A3 (en) PUMPING ROTATING DEVICE CAPABLE OF SUPPORTING A ROTATING ELEMENT WHILE DEBUTING A LIQUID HAVING LUBRICATING PROPERTIES

Legal Events

Date Code Title Description
EEER Examination request
FZDE Discontinued

Effective date: 20130121