CA2482163C - Electrode a deux echelons pour micromiroirs mems - Google Patents

Electrode a deux echelons pour micromiroirs mems Download PDF

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Un dispositif MEM de type « piano » comprend une plateforme allongée montée par pivot à proximité de son centre par une charnière à torsion. La portion centrale de la plateforme et la charnière à torsion ont une largeur combinée inférieure à la largeur du reste de la plateforme, où plusieurs de ces dispositifs MEM « piano » peuvent être positionnés adjacents l'un à l'autre et installés de manière pivotante autour du même axe et séparés par un espace d'air relativement petit. Dans une réalisation préférée, la plage de mouvement angulaire de la plateforme du dispositif MEM est augmentée en réduisant la force du champ, soit la force par unité de surface qui est détectée aux extrémités libres extérieures de la plateforme. Idéalement, des électrodes à deux échelons sont présentes et comportent un échelon inférieur positionné sous l'extrémité libre extérieure de la plateforme.
CA2482163A 2003-09-22 2004-09-21 Electrode a deux echelons pour micromiroirs mems Active CA2482163C (fr)

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