CA2468132C - Configuration des electrodes de micromiroirs mem de style piano - Google Patents
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Abstract
Ci-après un miroir MEMS (systèmes mécaniques microélectriques) à utiliser dans un commutateur optique. Un dispositif de type « piano » MEMS comprend une plate-forme allongée installée près du milieu avec une charnière de torsion de façon à tourner près du milieu. La partie moyenne de la plate-forme et la charnière de torsion ont une largeur combinée inférieure à celle du reste de la plate-forme, sachant que plusieurs de ces dispositifs « piano » MEMS peuvent être positionnés les uns à côté des autres en étant montés sur le même axe avec un espacement relativement petit. Le mode de réalisation de la présente invention est spécialement conçu pour les applications de commutation de longueurs d'onde. Il offre une plus grande gamme d'articulations précises pour un miroir monté à l'intérieur; et ce, grâce à l'activation de la plate-forme pour pivoter autour de deux axes perpendiculaires. Le dispositif de miroir MEMS (dans sa forme préférée dans la présente invention) permet au miroir d'être incliné sur deux axes perpendiculaires grâce à l'utilisation d'un cercle de suspension qui garantit que la pluralité de dispositifs de miroir adjacent possède un grand facteur de remplissage, sans avoir à dépendre de procédés de fabrication compliqués et coûteux.
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2004
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Also Published As
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Legal Events
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