CA2338157A1 - Method for brazing by solder reflow electronic components and brazing device therefor - Google Patents

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Gilles Conor
Thierry Sindzingre
Denis Verbockhaven
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LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
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Abstract

The invention concerns a method for brazing by solder reflow electronic components (22) on a support, for example a printed circuit wafer (20) which consists in: arranging a solder alloy on the support (20) in sites for connecting the components (22); placing the components on the connection sites and brazing the components (22) properly speaking by a thermal treatment of the support, by contacting it, at a pressure close to atmospheric pressure, with a treating atmosphere comprising excited or unstable species substantially free from electrically charged species, the atmosphere being obtained by passing an initial treating gas in an electrical discharge, and the thermal treatment of the support being obtained by using the species thus heated by the action of the discharge.

Description

PROCEDE DE BRASAGE PAR REF'QSION
DE COMPOSANTS EI~ECTRONIQUES ET DISPOSITIF
DE BRASAGE POUR IDA MISE EN OE~VRE D'üN TEI~ PROCEDE
La présente invention est relative à un procédé de brasage par refusion de composants électroniques sur un support tel qu'une plaquette de circuit imprimé, et se rapporte également à un dispositif de brasage pour la mise en oeuvre d'un tel procédé.
Les deux méthodes les plus couramment utilisées pour effectuer une opération de brasage, sont le "brasage à la vague" (wave soldering an anglais) et le "brasage par refusion" (reflow soldering en anglais).
Dans le premier cas, c'est-à-dire le brasage à la vague, le brasage consiste à amener les plaquettes portant les composants électroniques à braser en contact avec une ou plusieurs vagues d'alliage de soudure liquide obtenues par circulation d'un bain de soudure contenu dans un bac, au moyen d'une buse.
Généralement, les plaquettes sont préalablement fluxées dans une zone amont, à l'aide d'un spray de flux ou d'une mousse de flux, puis préchauffés de manière à activer les flux précédemment déposés, afin de nettoyer les surfaces à braser, pour l'élimination des oxydes, des contaminants organiques, etc...
Dans la seconde technique de brasage "par refusion", on dispose d'une quantité d'alliage de brasure en des emplacements de connexion des composants sur le circuit, par exemple en sérigraphiant une pâte à braser contenant un mélange d'alliage métallique et de flux sur le circuit imprimé avant d'y déposer les composants à braser.
Une autre technologie récente consiste en ce que l'alliage de brasure avait fait l'objet de pré-dépôts) sur le support, sur des emplacements de connexion des composants, pré-dépôts) refondus) ("refusion"), ceci étant en général suivi d'une opération d'aplanissement de la surface des pré-dépôts précédemment refondus (formation de "bumps" en anglais, on se reportera aux procédés SIPADT" ou
REF'QSION BRAZING PROCESS
OF EI ~ ECTRONIC COMPONENTS AND DEVICE
OF BRAZING FOR IDA IMPLEMENTING ~ TIRE OF A TEI ~ PROCESS
The present invention relates to a method of reflow soldering of electronic components on a support such as a printed circuit board, and also relates to a soldering device for placing using such a method.
The two most commonly used methods for perform a brazing operation, are the "brazing to the wave "(wave soldering an English) and" soldering by refusion "(reflow soldering in English).
In the first case, i.e. brazing with wave, soldering consists in bringing the plates carrying electronic components to be brazed in contact with one or more several waves of liquid solder alloy obtained by circulation of a solder bath contained in a tank, at by means of a nozzle.
Generally, the platelets are previously streamed in an upstream area, using a stream spray or flow foam, then preheated to activate previously deposited fluxes, in order to clean surfaces brazing, for the removal of oxides, contaminants organic, etc ...
In the second "reflow" brazing technique, a quantity of brazing alloy is available in component connection locations on the circuit, for example by screen printing a solder paste containing a mixture of metallic alloy and flux on the circuit printed before depositing the components to be soldered on.
Another recent technology is that the brazing alloy was pre-deposited) on the support, on connection locations of components, pre-deposits) recast) ("reflow"), this being usually followed by a planarization operation surface of previously remelted pre-deposits (formation of "bumps" in English, we will refer to the SIPADT processes "or

2 encore OPTIPADT"' industriellement disponibles), voire par le fait que l'alliage de brasure à fait l'objet pour certains composants d'un pré-dépôt sur des terminaisons des composants proprement dits.
Ce n'est qu'ensuite que l'on procède au positionnement des composants sur le support.
Le support muni des composants est ensuite inséré
dans un four à refusion de manière à apporter la quantité de chaleur nécessaire pour permettre d'obtenir la fusion de l'alliage métallique, ainsi que l'activation de l'élément fluxant contenu dans la pâte ou le pré-dépôt.
Comme dans le cas du brasage à la vague, cette technique nécessite l'utilisation de flux afin de nettoyer les surfaces à braser. (,'utilisation de ces flux présente un certain nombre d'inconvénients, notamment en raison de leur coût, et des résidus qu'ils laissent sur les cartes, ce qui tend à générer des problèmes de fiabilité des cartes électroniques ainsi conçues. I1 est donc nécessaire, avec ces techniques, de prévoir une étape supplémentaire de nettoyage des cartes après brasage, qui utilise le plus souvent des solvants chlorés, dont l'utilisation tend à être fortement limitée par les réglementations en vigueur. En outre, cette étape de nettoyage supplémentaire tend à
augmenter de façon sensible le coût de fabrication des circuits.
Par ailleurs, on constate une forte tendance de l'industrie de la microélectronique à aller vers une miniaturisation et un taux d'intégration sur les circuits extrêmement élevés (nombre d'entrées/sorties des composants), avec en particulier l'apparition de nouveaux types de composants à nombre de connexions très élevé et à
géométries de liaisons sur le circuit complexes, tels les composants appelés dans ce métier BGA, ou encore Flip Chip.
On sait par exemple que les composants BGA
présentent des performances extrêmement attractives pour l'industrie, mais également un certain nombre d'inconvénients, liés notamment au fait que les connexions WO 00/0633
2 still OPTIPADT "'industrially available), or even by the fact that the brazing alloy has been the subject for some components of a pre-deposit on terminations of components themselves.
It is only then that we proceed to the positioning of the components on the support.
The support provided with the components is then inserted in a reflow oven so as to bring the amount of heat necessary to allow the fusion of the metal alloy, as well as the activation of the element fluxing agent contained in the paste or the pre-deposit.
As in the case of wave soldering, this technique requires the use of flux in order to clean the surfaces to be brazed. (, 'the use of these flows presents a a number of drawbacks, notably due to their cost, and the residue they leave on the cards, which tends to generate reliability issues for cards electronics thus designed. I1 is therefore necessary, with these techniques, to provide an additional step of card cleaning after soldering, which uses the most often chlorinated solvents, the use of which tends to be strongly limited by the regulations in force. In in addition, this additional cleaning step tends to significantly increase the cost of manufacturing circuits.
In addition, there is a strong trend of the microelectronics industry to move towards a miniaturization and integration rate on circuits extremely high (number of inputs / outputs of components), with in particular the appearance of new types of components with very high number of connections and complex connection geometries on the circuit, such as components called in this business BGA, or Flip Chip.
We know for example that the BGA components present extremely attractive performances for industry but also a number disadvantages, particularly related to the fact that the connections WO 00/0633

3 P'C1'/FR99/01657 et joints de soudure ne sont pas latérales au composant mais situés sous le composant, rendant très difficiles tant le nettoyage que les réparations éventuelles.
On se reportera, sur ces questions de nouveaux composants, et de nouvelles technologies de dépôt de brasure, aux différents articles de la revue "Advanced Packaging", July/August 1997.
Les documents EP-658391 et EP-747159 au nom de la Demanderesse avaient proposé des procédés et installations de fluxage par voie sèche, avant brasage ou étamage, à
l'aide de mélanges gazeux comportant des espèces chimiques excitées ou instables et substantiellement dépourvus d'espèces électriquement chargées.
Les travaux menés à bien par la Demanderesse ont montré que ces procédés devaient encore être améliorés dans le cas du brasage par refusion, non seulement pour améliorer les conditions de brasage des composants spéciaux mais également de façon générale les conditions de fluxage permettant d'éviter l'opération de nettoyage des supports en aval.
Le but de l'invention est d'apporter une réponse technique aux problèmes ci-dessus mentionnés.
Elle a donc pour objet un procédé de brasage par refusion de composants électroniques sur un support, au cours duquel .
- on dispose d'une quantité d'alliage de brasure, - on place les composants sur des emplacements de connexion du support, et - on effectue une opération de brasage proprement dite des composants à l'aide du dit alliage de brasure, par traitement thermique du support, et se caractérise en ce qu'on procède audit traitement thermique du support pour réaliser le brasage des composants à l'aide de l'alliage de brasure, par mise en contact du support, à une pression voisine de la pression atmosphérique, avec une atmosphère de traitement comportant des espèces chimiques excitées ou instables et
3 P'C1 '/ FR99 / 01657 and solder joints are not lateral to the component but located under the component, making it very difficult both cleaning than any repairs.
We will refer to these questions new components, and new deposition technologies solder, to the various articles of the journal "Advanced Packaging ", July / August 1997.
Documents EP-658391 and EP-747159 in the name of the Applicant had proposed processes and installations dry fluxing, before soldering or tinning, at using gas mixtures containing chemical species excited or unstable and substantially lacking electrically charged cash.
The work carried out by the Applicant has showed that these processes still needed to be improved in the case of reflow soldering, not only to improve the soldering conditions of the special components but also generally the flow conditions avoiding the cleaning operation of the supports by downstream.
The object of the invention is to provide an answer technical to the above mentioned problems.
It therefore relates to a brazing process by reflow of electronic components on a support, during which.
- there is a quantity of brazing alloy, - the components are placed on locations of support connection, and - a brazing operation is carried out properly said components using said brazing alloy, by support heat treatment, and is characterized in that we carry out this audit heat treatment of the support to perform the brazing of components using the brazing alloy, by setting support contact, at a pressure close to the pressure atmospheric, with a treatment atmosphere comprising excited or unstable chemicals and

4 substantiellement dépourvue d'espèces électriquement chargées, l'atmosphère étant obtenue par passage d'un gaz initial de traitement dans une décharge électrique, et le traitement thermique du support étant obtenu au moyen des espèces chimiques ainsi chauffées sous l'action de la décharge.
Le procédé suivant l'invention peut en outre comporter une ou plusieurs des étapes suivantes .
- préalablement à l'étape de dépôt des composants, on dépose de la colle polymérisable sur des emplacements de collage du support, et l'on procède à la polymérisation de ladite colle afin de coller les composants sur le support au niveau des emplacements de collage ;
- on dispose de l'alliage de brasure en procédant à
une sérigraphie de pâte à braser sur le support en des emplacements de connexion des composants ;
- on dispose de l'alliage de brasure par le fait que l'alliage de brasure avait fait l'objet sur le support de pré-dépôt(s), sur. les ou des emplacements de connexion des composants, pré-dépôts) ayant ensuite subi une opération de refusion , puis ayant ensuite avantageusement fait l'objet d'une opération d'aplanissement de leur surface ;
- on dispose de l'alliage de brasure par le fait que l'alliage de brasure avait fait l'objet de pré-dépôts) sur des emplacements/terminaisons des composants proprement dits, pré-dépôts) ayant ensuite subi une opération de refusion ;
- préalablement ou postérieurement à l'étape de dépôt de colle sur les emplacements de collage du support, ou encore après dépôt des composants sur le support, on procède à une opération de fluxage préalable du support par traitement de ce dernier, à une pression voisine de la pression atmosphérique, au moyen d'une atmosphère de fluxage comportant des espèces chimiques excitées ou instables et substantiellement dépourvue d'espèces électriquement chargées ;

- l'atmosphère de fluxage du support est obtenue par passage d'un gaz initial de fluxage dans une décharge électrique, le gaz initial de fluxage comportant avantageusement un mélange gazeux réducteur comportant de
4 substantially free of cash electrically charged, the atmosphere being obtained by passing a gas initial treatment in an electric shock, and the heat treatment of the support being obtained by means of chemical species thus heated under the action of dump.
The process according to the invention can also include one or more of the following steps.
- prior to the component deposition step, polymerizable glue is deposited on locations of bonding of the support, and we proceed to the polymerization of said glue in order to stick the components on the support to level of bonding locations;
- the brazing alloy is available by proceeding a screen print of solder paste on the support in component connection locations;
- the brazing alloy is available by the fact that the brazing alloy had been the object on the support of pre-deposit (s), on. the connection location (s) components, pre-deposits) having then undergone an operation of reflow, then having then advantageously been the subject an operation to flatten their surface;
- the brazing alloy is available by the fact that the brazing alloy was pre-deposited) on locations / terminations of the components properly said, pre-deposits) having then undergone an operation of reflow;
- before or after the stage of deposit of glue on the bonding locations of the support, or after depositing the components on the support, performs a prior fluxing operation of the support by treatment of the latter, at a pressure close to the atmospheric pressure, by means of a fluxing atmosphere containing excited or unstable chemical species and substantially free of cash electrically loaded;

- the fluxing atmosphere of the support is obtained by passing an initial fluxing gas through a landfill electric, the initial fluxing gas comprising advantageously a reducing gas mixture comprising

5 l'hydrogène ;
- le gaz initial de traitement comporte un mélange gazeux réducteur comportant de l'hydrogène ;
- l'atmosphère de traitement est obtenue à une sortie de gaz d'un appareil de formation d'espèces excitées ou instables, dans lequel a été transformé le gaz initial de traitement ;
- l'atmosphère de fluxage est obtenue à une sortie de gaz d'un appareil de formation d'espèces excitées ou instables, dans lequel a été transformé le gaz initial de fluxage ;
- les étapes de placement des composants et de brasage sont effectuées sur les deux grandes faces du support, ladite opération de traitement étant effectuée au moyen de deux appareils de formation d'espèces chimiques excitées ou instables, disposés chacun en regard de l'une des faces du support ;
- le procédé comporte en outre une étape de refroidissement du support, postérieure au dit traitement, par passage de cette dernière dans une atmosphère de refroidissement comportant un gaz neutre.
L'invention a également pour objet un dispositif de brasage par refusion de composants électroniques sur un support, par exemple une plaquette de circuit imprimé, pour la mise en oeuvre d'un procédé tel que défini ci-dessus, caractérisé en ce qu'il comporte un organe de convoyage des supports portant, sur au moins une de leur face les composants à braser sur des emplacements de connexion, emplacements sur lesquels on dispose d'un alliage de brasure, l'organe de convoyage assurant le transfert des supports en regard de premiers moyens permettant la polymérisation de points de colle présents sur des emplacements de collage du support, et en regard de seconds
5 hydrogen;
- the initial treatment gas comprises a mixture reducing gas comprising hydrogen;
- the treatment atmosphere is obtained at a gas outlet from an excited species forming apparatus or unstable, in which the initial gas of treatment ;
- the flux atmosphere is obtained at an outlet gas from an excited species forming apparatus or unstable, in which the initial gas of fluxing;
- the steps for placing the components and brazing are performed on the two large faces of the support, said processing operation being carried out using two chemical species forming devices excited or unstable, each arranged opposite one faces of the support;
- The method further includes a step of cooling of the support, after said treatment, by passing the latter in an atmosphere of cooling with neutral gas.
The invention also relates to a device for reflow soldering of electronic components on a support, for example a printed circuit board, for the implementation of a process as defined above, characterized in that it comprises a device for conveying supports carrying, on at least one of their faces the components to be soldered on connection locations, locations where an alloy of soldering, the conveying member ensuring the transfer of supports next to first means allowing the polymerization of glue points present on locations for gluing the support, and next to seconds

6 moyens comportant au moins un appareil de formation d'une atmosphère de traitement comportant des espèces chimiques excitées ou instables et étant substantiellement dépourvue d'espèces électriquement chargées, atmosphère de traitement dont la température la rend utilisable pour réaliser, à une pression voisine de la pression atmosphérique, un traitement thermique du support, en vue du brasage proprement dit des composants.
Le dispositif comporte avantageusement, intercalé le long du convoyeur en amont des premiers moyens ou entre les premiers moyens et les seconds moyens, au moins un appareil de formation d'une atmosphère de fluxage comportant des espèces chimiques excitées ou instables et étant substantiellement dépourvue d'espèces électriquement chargées, atmosphère de fluxage utilisable pour réaliser un fluxage en phase gazeuse du support.
On entend par l'expression "pression voisine de la pression atmosphérique" selon l'invention, une pression se situant avantageusement dans l'intervalle X0,1 x 105 Pa, 3 x 105 PaJ .
Comme on l'aura compris à la lecture de ce qui précède, le "support" sur lequel sont brasés les composants selon l'invention peut étre de nature très variée, suivant en cela les différents supports utilisés dans l'industrie, tout comme bien sur les composants électroniques à braser. A
titre illustratif, il pourra s'agir de supports du type circuits imprimés (quel que soit leur état de surface ou finition), ou encore par exemple de supports céramiques métallisés tels les circuits hybrides, voire de fonds de boîtiers sur lesquels doivent être brasés des circuits dans un procédé global d'encapsulation.
De même les composants concernés pourront être extrêmement variés, depuis les composants électroniques traditionnels passifs ou actifs jusque des composants plus complexes et délicats de manipulation, qu'ils soient encapsulés ou puces nues (BGA, MCM, Flip Chips etc..). Les
6 means comprising at least one apparatus for forming a treatment atmosphere with chemical species excited or unstable and being substantially lacking of electrically charged species, processing atmosphere whose temperature makes it usable to achieve, at a pressure close to atmospheric pressure, a treatment thermal support, for the actual soldering of components.
The device advantageously comprises, interposed with along the conveyor upstream of the first means or between the first means and second means, at least one device for forming a fluxing atmosphere comprising excited or unstable chemical species and being substantially free of cash electrically charged, fluxing atmosphere usable to achieve a fluxing in the gas phase of the support.
The expression "pressure close to the atmospheric pressure "according to the invention, a pressure advantageously situated in the interval X 0.1 x 105 Pa, 3 x 105 PaJ.
As will be understood from reading what precedes the "support" on which the components are soldered according to the invention can be very varied in nature, depending on in this the different supports used in the industry, as well as on the electronic components to be soldered. AT
illustrative title, it could be supports of the type printed circuits (whatever their surface condition or finishing), or for example ceramic supports metallized such as hybrid circuits, or even backgrounds boxes on which circuits must be soldered in a global encapsulation process.
Similarly, the components concerned may be extremely varied, from electronic components traditional passive or active down to more components complex and delicate handling, whether encapsulated or bare chips (BGA, MCM, Flip Chips etc.). The

7 "composants" selon l'invention pourront également consister en des circuits qu'il faut braser sur un autre support ou encore sur un fond de bottier avant encapsulation.
D'autres caractéristiques et avantages ressortiront de la description suivante, donnée uniquement à titre d'exemple, et faite en référence aux dessins annexés sur lesquels .
- la figure 1 est une vue schématique d'un dispositif de brasage pour la mise en oeuvre du procédé
selon l'invention ; et - la figure 2 est une vue schématique en coupe d'un exemple de module de formation d'espèces chimiques excitées ou instables entrant dans la constitution du dispositif de la figure 1.
Sur la figure 1 on a représenté une vue générale d'un dispositif de brasage par refusion convenant pour la mise en oeuvre du procédé selon l'invention. Ce dispositif comporte un organe de convoyage 10 comportant un tapis 12, représenté en traits mixtes, disposé dans une enceinte 14 et s'étendant entre deux rouleaux de guidage, 16 et 18, dont au moins l'un est moteur.
Comme on le voit sur cette figure, sur le tapis 12 sont disposées ici un ensemble de plaquettes de circuit imprimé, tel que 20, sur au moins une des grandes faces desquelles sont disposés un ensemble de composants électroniques, tel que 22, qu'il convient de braser.
Les composants électroniques sont disposés au niveau d'emplacements de connexion sur lesquels est appliquée de la pâte à braser, par exemple un alliage d'étain et de plomb.
Par ailleurs des points d'une colle polymérisable appropriée pour l'utilisation envisagée, ont été déposés sur des points de collage adéquats de la plaquette (par exemple sur des surfaces polymères de la plaquette de circuit imprimé, entre deux emplacements de connexion), assurant le maintien des composants en place au cours de leur brasage.
Le tapis 12 assure le transfert des plaquettes de circuit imprimé 20 portant les composants 22 en regard d'un
7 "components" according to the invention may also consist in circuits that must be soldered on another support or still on a bottom of the shoemaker before encapsulation.
Other features and advantages will emerge of the following description, given only as example, and made with reference to the accompanying drawings on which .
- Figure 1 is a schematic view of a brazing device for implementing the method according to the invention; and - Figure 2 is a schematic sectional view of a example of a module for training excited chemical species or unstable entering into the constitution of the Figure 1.
In Figure 1 there is shown a general view a reflow soldering device suitable for implementation of the method according to the invention. These measures comprises a conveying member 10 comprising a belt 12, shown in phantom, arranged in an enclosure 14 and extending between two guide rollers, 16 and 18, of which the less one is driving.
As seen in this figure, on the mat 12 are arranged here a set of circuit boards printed, such as 20, on at least one of the large faces of which are arranged a set of components electronic, such as 22, which should be soldered.
Electronic components are arranged at level of connection locations to which is applied solder paste, for example an alloy of tin and lead.
Furthermore points of a suitable polymerizable glue for the intended use, have been deposited on points adequate bonding of the wafer (for example on polymer surfaces of the printed circuit board, between two connection locations), ensuring that the components in place during soldering.
The mat 12 ensures the transfer of the platelets from printed circuit 20 carrying the components 22 opposite a

8 premier poste 24 permettant par transfert thermique la polymérisation de la colle déposée (par exemple par rayonnement), puis à travers un deuxième poste 28 de traitement thermique, au niveau duquel le brasage proprement dit des composants 22 est effectué.
Enfin, le tapis 12 assure le transfert des plaquettes 20, en aval du deuxième poste 28 de traitement thermique vers un poste 30 de refroidissement au niveau duquel les plaquettes sont disposées dans une atmosphère azotée.
Comme on le voit sur cette figure 1, le deuxième poste de traitement thermique 28, peut être considéré comme confondu avec un poste de fluxage 26, tous deux constitués par un module 32 de formation d' un gaz de traitement et de fluxage comportant des espèces chimiques excitées ou instables et substantiellement dépourvu d'espèces électriquement chargées.
Sur cette figure 1, on a considéré que les composants 22 sont disposés sur l'une des grandes faces de la plaquette 20, le module 32 de formation d'espèces excitées ou instables étant tourné vers cette face. Mais comme il apparaîtra clairement à l'homme du métier, dans le cas où les composants 22 sont disposés sur les deux grandes faces mutuellement opposées de chaque plaquette 20, le dispositif peut comporter deux modules 32 de formation d'espèces chimiques excitées ou instables disposés chacun en regard de l'une des grandes faces de la plaquette 20.
Le module 32 a pour fonction de faire passer un gaz initial de traitement, comportant avantageusement un mélange gazeux réducteur, par exemple à base d'azote et d'hydrogène, complété, le cas échéant de vapeur d'eau, à travers une décharge électrique, à l'intérieur de laquelle le gaz initial est transformé, de manière à générer, en sortie de gaz du module, le gaz de traitement qui comporte les espèces gazeuses excitées ou instables et qui est substantiellement dépourvu d'espèces électriquement chargées (situation de post-décharge).

WO 00/06333 PC'T/FR99/01657
8 first station 24 allowing by thermal transfer the polymerization of the glue deposited (for example by radiation), then through a second station 28 heat treatment, at which the soldering properly said components 22 is performed.
Finally, the mat 12 ensures the transfer of platelets 20, downstream of the second treatment station 28 thermal to a level 30 cooling station from which the wafers are arranged in an atmosphere nitrogen.
As seen in this figure 1, the second heat treatment station 28, can be considered as combined with a fluxing station 26, both made up by a module 32 for forming a treatment gas and fluxing with excited chemical species or unstable and substantially free of species electrically charged.
In this figure 1, it has been considered that the components 22 are arranged on one of the large faces of the wafer 20, the species training module 32 excited or unstable being turned towards this face. But as will be apparent to those skilled in the art, in the components 22 are arranged on the two large mutually opposite sides of each wafer 20, the device can include two training modules 32 of excited or unstable chemical species each arranged in look of one of the large faces of the plate 20.
The function of module 32 is to pass a gas initial treatment, advantageously comprising a mixture reducing gas, for example based on nitrogen and hydrogen, supplemented, if necessary with water vapor, through a electric discharge, inside which the gas initial is transformed, so as to generate, at the output of module gas, the process gas that contains the species gaseous excited or unstable and which is substantially free of electrically charged cash (situation of post-discharge).

WO 00/06333 PC'T / FR99 / 01657

9 Comme on l'aura compris à la lecture de ce qui précède, selon les circuits à braser, et selon l'alliage de brasure considéré, la température des espèces en sortie de décharge sera en général directement suffisante (> 190°C).
Cependant dans certains cas particuliers (certains eutectiques métalliques par exemple), on pourra envisager de préchauffer quelque peu le gaz initial avant son entrée dans la décharge.
On a représenté sur la figure 2 une vue en coupe d'un exemple de module 32 capable de générer de telles espèces chimiques.
On voit sur cette figure que le module 32 comprend une première électrode tubulaire 34, formée par exemple par une face interne d'un bloc métallique 36, et dans laquelle est disposé concentriquement un ensemble formé d'un tube en matériau diélectrique 38, par exemple en céramique, sur la face interne duquel est déposée, par métallisation, une deuxième électrode 40, exagérément épaissie sur la figure 2, afin d'améliorer la clarté.
Le tube diélectrique 38 et la deuxième électrode 40 définissent, avec la première électrode 34, un passage tubulaire de gaz 42, et, intérieurement, un volume interne 44 dans lequel on fait circuler un fluide réfrigérant.
Le bloc 36 comporte, diamétralement opposées, deux fentes longitudinales 46 et 48, formant respectivement l'entrée du gaz initial de traitement à transformer (exciter) dans le passage 42 et la sortie de flux d'atmosphère de traitement comportant les espèces gazeuses excitées ou instables mais substantiellement dépourvue d'espèces électriquement chargées.
Les fentes 46 et 48 s'étendent sur toute la longueur axiale de la cavité 42.
Par ailleurs, le bloc 36 comporte en outre, avantageusement, à la périphérie de la première électrode 34, une pluralité de conduits, tels que 50, pour le passage d'un fluide réfrigérant, par exemple de l'eau.

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On voit par ailleurs sur la figure 2 que la fente 46 d'entrée de gaz communique avec une chambre d'homogénéisation 52 ,formée dans un bottier 54 accolée au bloc 36 et comportant une tubulure 56 d'amenée de gaz initial.
Le module est complété par un générateur électrique 58 à haute tension et haute fréquence destiné à engendrer une décharge dans le mélange gazeux circulant dans le passage de gaz 42 de manière à provoquer, par ionisation, une excitation des molécules gazeuses entrant dans sa constitution et à générer ainsi des espèces chimiques excitées ou instables, en particulier des radicaux H~ ou Hz~, qui viennent désoxyder et décontaminer la surface externe des plaquettes de circùit imprimé 20 (figure 1).
Le procédé de brasage de composants électroniques sur une plaquette de circuit imprimé s'effectue ici de la façon suivante.
On considérera par la suite que l'on utilise des plaquettes 20 sur lesquelles de la pâte à braser a été
sérigraphiée, en des emplacements de connexion des composants. On aurait également pu utiliser un alliage de brasure ayant fait l'objet de pré-dépôts sur la plaquette sur des emplacements de connexion des composants, et d'une pré-refusion, en général suivie d'une opération d'aplanissement de la surface des pré-dépôts ainsi obtenus (procédés industriellement disponibles bien connus de l'homme du métier de la microélectronique). I1 pourrait également s'agir de composants possédant eux mëme des emplacements/terminaisons sur lesquels un pré-dépôt d'alliage de brasure a été effectué.
On dépose selon l'invention comme décrit plus haut, sur des emplacements de collage, des points de colle de manière à assurer un maintien- des composants au cours du brasage.
On place ensuite les composants sur les emplacements de connexion puis l'on dispose les plaquettes ainsi préparées sur l'organe de convoyage, en particulier sur le tapis 12.
Celui-ci procède au transfert des plaquettes du poste de chargement vers le premier poste 24 de polymérisation de la colle, et le circuit est ainsi préchauffé.
Au cours de la phase suivante, les plaquettes sont transférées jusqu'au module 32 de formation d'espèces chimiques excitées ou instables, décrit précédemment en référence à la figure 3, au niveau duquel les plaquettes, d'une part, subissent une opération de fluxage, sous l'action des espèces chimiques délivrées par le module 32 et, d'autre part et en méme temps, sous l'action de la chaleur transmise à ces espèces excitées sous l'effet de la décharge, les composants sont brasés sur la plaquette.
Le procédé se poursuit ici par une étape de refroidissement des plaquettes, sous l'action d'un flux d'azote fourni au niveau du poste 30 de refroidissement.
Dans l'exemple de réalisation décrit en référence à
la figure 1, on a considéré que la première étape de traitement thermique de polymérisation et de préchauffage de la plaquette est effectuée au moyen d'un poste 24 spécifique.
I1 serait toutefois possible, en variante, d'effectuer ce chauffage préalable au moyen du gaz chauffé
délivré en sortie d'un module 32 de production d'espèces chimiques excitées.
I1 serait par ailleurs possible de prévoir une étape de fluxage préalable des plaquettes 20 au moyen d'espèces chimiques excitées ou instables délivrées par un module identique au module 32, avant l'enduction des emplacements de collage au moyen de colle.
Enfin, et selon un mode de réalisation non représenté, il serait également possible de réaliser le fluxage des supports et le traitement thermique de brasage non pas au moyen d'un seul et unique module mais au moyen de deux modules 32 distincts.

On conçoit que l'invention qui vient d'être décrite, utilisant une étape de refusion/traitement thermique utilisant les espèces chimiques excitées ou instables et substantiellement dépourvue d'espèces électriquement chargées, chauffées sous l'action d'une décharge permet d'améliorer considérablement la qualité des brasures ainsi obtenues, tout en évitant un décapage ultérieur par solvant chloré
- le traitement thermique proprement dit de refusion est réalisé avec des espèces actives (nettoyage, désoxydation..) permettant d'éviter tout phénomène d'oxydation et donc d'améliorer substantiellement les performances de mouillage ;
- on conçoit d'autre part qu'en utilisation avec des pâtes à braser faiblement fluxées (faible activité/faible taux de résidus sur le support après brasage) ou mieux encore en utilisant des systèmes de pré-dépôt d'alliage de brasure sans flux sur des emplacements adéquats du support ou des terminaisons de composants, le procédé selon l'invention permet d'allier des performances de brasage tout à fait satisfaisantes, tout en permettant d'éviter l'opération de nettoyage ultérieure des supports.
Quoique la présente invention ait été décrite en relation avec des modes de réalisation particuliers, elle ne s'en trouve pas limitée pour autant mais est au contraire susceptible de modifications et de variantes qui apparaîtront à l'homme de l'art dans le cadre des revendications ci-après.
Ainsi, si l'invention a été tout particulièrement exemplifiée dans ce qui précède en positionnant sur le trajet des supports un module de formation de l'atmosphère de traitement ou de fluxage (voire un module par face) , on peut bien entendu envisager la présence de plusieurs modules en série et /ou en parallèle permettant d'obtenir l'effet requis, mais on peut également envisager (selon le cas de chaque site utilisateur) le fait de ne mettre en place, en regard d'une ou de chaque face du support, qu'un module (qu'il soit de traitement ou de fluxage), en effectuant des repassages successifs en regard du module pour obtenir l'effet voulu.
9 As will be understood from reading what precedes, according to the circuits to be brazed, and according to the alloy of solder considered, the temperature of the species leaving discharge will generally be directly sufficient (> 190 ° C).
However in some special cases (some metallic eutectics for example), we could consider somewhat preheat the initial gas before entering discharge.
There is shown in Figure 2 a sectional view of an example of module 32 capable of generating such chemical species.
We see in this figure that the module 32 includes a first tubular electrode 34, formed for example by an internal face of a metal block 36, and in which is concentrically arranged an assembly formed of a tube in dielectric material 38, for example ceramic, on the internal face of which is deposited, by metallization, a second electrode 40, excessively thickened in FIG. 2, in order to improve clarity.
The dielectric tube 38 and the second electrode 40 define, with the first electrode 34, a passage gas tubular 42, and internally an internal volume 44 in which a coolant is circulated.
The block 36 comprises, diametrically opposite, two longitudinal slots 46 and 48, respectively forming the entry of the initial treatment gas to be transformed (excite) in passage 42 and the flow exit treatment atmosphere including gaseous species excited or unstable but substantially devoid electrically charged cash.
Slots 46 and 48 extend the full length axial of the cavity 42.
Furthermore, block 36 further comprises, advantageously, at the periphery of the first electrode 34, a plurality of conduits, such as 50, for the passage a refrigerant, for example water.

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It can also be seen in FIG. 2 that the slot 46 gas inlet communicates with a room homogenization 52, formed in a case 54 attached to the block 36 and comprising a gas supply pipe 56 initial.
The module is completed by an electric generator 58 high voltage and high frequency intended to generate a discharge in the gas mixture circulating in the gas passage 42 so as to cause, by ionization, an excitation of the gas molecules entering its constitution and thus generate chemical species excited or unstable, in particular H ~ or Hz ~ radicals, which come to deoxidize and decontaminate the external surface printed circuit boards 20 (Figure 1).
The soldering process for electronic components on a printed circuit board is carried out here from the next way.
We will consider later that we use pads 20 on which solder paste has been screen printed, at connection locations components. We could also have used an alloy of solder having been pre-deposited on the wafer on component connection locations, and a pre-reflow, usually followed by an operation for leveling the surface of the pre-deposits thus obtained (industrially available processes well known from a person skilled in the art of microelectronics). He could also be components that themselves have locations / terminations on which a pre-deposit of brazing alloy was made.
The invention is deposited as described above, glue dots on so as to maintain the components during the soldering.
Then place the components on the slots of connection then we have the pads as well prepared on the conveyor, in particular on the carpet 12.
The latter transfers the platelets from loading station to the first station 24 of polymerization of the glue, and the circuit is thus preheated.
During the next phase, the platelets are transferred to module 32 of cash training excited or unstable chemicals, previously described in reference to FIG. 3, at which the plates, on the one hand, undergo a fluxing operation, under the action of the chemical species delivered by module 32 and, on the other hand and at the same time, under the action of heat transmitted to these excited species under the effect of discharge, the components are soldered to the wafer.
The process continues here with a step of platelet cooling, under the action of a flow of nitrogen supplied to the cooling station 30.
In the embodiment described with reference to Figure 1, we considered that the first step of polymerization and preheating heat treatment of the brochure is made by means of a station 24 specific.
It would however be possible, as a variant, to carry out this preliminary heating by means of the heated gas issued as output from a module 32 for cash production excited chemicals.
It would also be possible to plan a step prior fluxing of platelets 20 using cash excited or unstable chemicals delivered by a module identical to module 32, before coating the slots bonding with glue.
Finally, and according to an embodiment not shown, it would also be possible to carry out the fluxing of supports and brazing heat treatment not by means of a single module but by means of two separate modules 32.

It is understood that the invention which has just been described, using a reflow / heat treatment step using excited or unstable chemical species and substantially free of cash electrically charged, heated under the action of a discharge allows significantly improve the quality of the solder as well while avoiding subsequent solvent stripping chlorine - the actual heat treatment of reflow is carried out with active species (cleaning, deoxidation ..) to avoid any phenomenon oxidation and therefore substantially improve the wetting performance;
- it is also understood that in use with low flux solder paste (low activity / low residue level on the support after brazing) or better still using alloy pre-deposition systems from brazing without flux in suitable locations on the support or component terminations, the method according to the invention combines brazing performance while quite satisfactory, while avoiding the subsequent cleaning operation of the supports.
Although the present invention has been described in relationship with particular embodiments, it does not is not limited however, but is on the contrary subject to modifications and variations which will appear to those skilled in the art in the context of claims below.
Thus, if the invention was particularly exemplified in the above by positioning on the path of supports an atmospheric formation module processing or fluxing (or even one module per side), we can of course consider the presence of several modules in series and / or in parallel to obtain the effect required, but we can also consider (depending on the case of each user site) the fact of not setting up, look of one or each side of the support, that a module (whether processing or fluxing), by performing successive ironing next to the module to obtain the desired effect.

Claims (15)

REVENDICATIONS 14 1. Procédé de brasage par refusion de composants électroniques (22) sur un support (20), au cours duquel :
- on dispose d'une quantité d'alliage de brasure, - on place les composants (22) sur des emplacements de connexion du support, et - on effectue une opération de brasage des composants (22) à l'aide dudit alliage de brasure par traitement thermique du support (20), caractérisé en ce que l'on procède audit traitement thermique du support pour réaliser ledit brasage des composants à l'aide dudit alliage de brasure, par mise en contact du support, à une pression voisine de la pression atmosphérique, avec une atmosphère de traitement comportant des espèces chimiques excitées ou instables et substantiellement dépourvue d'espèces électriquement chargées, l'atmosphère étant obtenue par passage d'un gaz initial de traitement dans une décharge électrique, et le traitement thermique du support étant obtenu au moyen des espèces chimiques ainsi chauffées sous l'action de la décharge.
1. Component reflow soldering process electronics (22) on a medium (20), during which:
- we have a quantity of solder alloy, - the components (22) are placed on locations support connection, and - a soldering operation of the components (22) using said solder alloy by heat treatment of the support (20), characterized in that said processing is carried out heat of the support to perform said soldering of the components using said solder alloy, by placing contact with the support, at a pressure close to the pressure atmospheric, with a treatment atmosphere comprising excited or unstable chemical species and substantially devoid of electrically species charged, the atmosphere being obtained by passing a gas initial treatment in an electric discharge, and the heat treatment of the support being obtained by means of chemical species thus heated under the action of dump.
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que préalablement à l'étape de dépôt des composants, on dépose de la colle polymérisable sur des emplacements de collage du support (20) et l'on procède à la polymérisation de ladite colle afin de coller les composants sur le support au niveau des emplacements de collage. 2. Method according to claim 1, characterized in that prior to the stage of deposition of the components, one application of polymerizable glue on locations of bonding of the support (20) and the polymerization is carried out of said glue in order to glue the components on the support at the bonding locations. 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que l'on dispose du dit alliage de brasure par l'une ou plusieurs des méthodes suivantes.
i) en procédant à une sérigraphie de pâte à braser sur le support (20) en des emplacements de connexion des composants ;
j) l'alliage de brasure avait fait l'objet de pré-dépôt(s) sur le support en les ou des emplacements de connexion des composants, pré-dépôt(s) ayant ensuite subi une opération de refusion;

k) l'alliage de brasure avait fait l'objet de pré-dépôt(s) sur des emplacements/terminaisons des composants proprement dits, pré-dépôt(s) ayant ensuite subi une opération de refusion.
3. Method according to claim 1 or 2, characterized in that said solder alloy is available by one or more of the following methods.
i) by screen printing solder paste on the support (20) at connection locations of the components;
j) the solder alloy had been pre-prepared deposit(s) on the support in the location(s) of connection of the components, pre-deposit(s) having then undergone a reflow operation;

k) the solder alloy had been pre-prepared deposit(s) on component locations/terminations themselves, pre-deposit(s) having then undergone reflow operation.
4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que ledit pré-dépôts) avait ensuite fait l'objet d'une opération d'aplanissement de sa surface. 4. Method according to claim 3, characterized in what said pre-deposits) had then been the subject of a flattening of its surface. 5. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que, préalablement ou postérieurement à l'étape de dépôt de colle sur les emplacements de collage du support, on procède à une opération de fluxage du support (20) par traitement de ce dernier, à une pression voisine de la pression atmosphérique, au moyen d'une atmosphère de fluxage comportant des espèces chimiques excitées ou instables et substantiellement dépourvue d'espèces électriquement chargées. 5. Method according to one of the claims preceding, characterized in that, before or after the step of depositing glue on the gluing locations of the support, we proceed to a fluxing operation of the support (20) by treatment of this last, at a pressure close to the pressure atmospheric, by means of a fluxing atmosphere containing excited or unstable chemical species and substantially devoid of electrically species loaded. 6. Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que, après l'étape de dépôt des composants sur le support, on procède à une opération de fluxage du support (20) par traitement de ce dernier, à une pression voisine de la pression atmosphérique, au moyen d'une atmosphère de fluxage comportant des espèces chimiques excitées ou instables et substantiellement dépourvue d'espèces électriquement chargées. 6. Method according to one of claims 1 to 4, characterized in that, after the step of depositing the components on the support, a fluxing operation of the support (20) by treatment of the latter, at a pressure close to atmospheric pressure, by means of a fluxing atmosphere comprising chemical species excited or unstable and substantially devoid electrically charged species. 7. Procédé selon la revendication 5 ou 6, caractérisé en ce que l'atmosphère de fluxage est obtenue par passage d'un gaz initial de fluxage dans une décharge électrique. 7. Method according to claim 5 or 6, characterized in that the fluxing atmosphere is obtained by passing an initial fluxing gas through a landfill electric. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que le gaz initial de fluxage comporte un mélange gazeux réducteur comportant de l'hydrogène. 8. Method according to claim 7, characterized in that the initial fluxing gas comprises a gaseous mixture reducer comprising hydrogen. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le gaz initial de traitement comporte un mélange gazeux réducteur comportant de l'hydrogène. 9. Method according to any one of the claims above, characterized in that the initial gas of treatment comprises a reducing gas mixture comprising hydrogen. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'atmosphère de traitement est obtenue à une sortie de gaz d' un appareil de formation d' espèces excitées ou instables, dans lequel a été transformé le gaz initial de traitement. 10. Process according to any of the preceding claims, characterized in that the treatment atmosphere is obtained at a gas outlet an apparatus for forming excited or unstable species, into which the initial treatment gas was transformed. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 5 à 8, caractérisé en ce que l'atmosphère de fluxage est obtenue à une sortie de gaz d'un appareil de formation d'espèces excitées ou instables, dans lequel a été
transformé le gaz initial de fluxage.
11. Process according to any of the claims 5 to 8, characterized in that the atmosphere of fluxing is obtained at a gas outlet of a formation of excited or unstable species, in which has been transformed the initial fluxing gas.
12. Procédé selon la revendication 10, caractérisé
en ce que les étapes de placement des composants et de brasage sont effectuées sur les deux grandes faces du support (20), ladite opération de traitement thermique étant effectuée au moyen de deux appareils (32) de formation d'espèces chimiques excitées ou instables, disposés chacun en regard de l'une des faces du support.
12. Method according to claim 10, characterized in that the steps of component placement and brazing are carried out on the two large faces of the support (20), said heat treatment operation being performed using two training apparatus (32) of excited or unstable chemical species, each arranged opposite one of the sides of the support.
13. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une étape de refroidissement du support, postérieure au dit traitement thermique, par passage du support dans une atmosphère de refroidissement comportant un gaz neutre. 13. Process according to any of the preceding claims, characterized in that it comprises furthermore a step of cooling the support, subsequent to the said heat treatment, by passing the support in a cooling atmosphere comprising a neutral gas. 14. Dispositif de brasage par refusion de composants électroniques (22) sur un support (20) à l'aide d'un alliage de brasure, pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, caractérisé en ce qu'il comporte un organe (10) de convoyage de supports (20) portant, sur au moins une de leurs faces, les composants (22) à braser sur des emplacements de connexion, l'organe (10) de convoyage assurant le transfert des supports en regard de premiers moyens (24) permettant la polymérisation de points de colle présents sur des emplacements de collage du support (20), et en regard de seconds moyens comportant au moins un appareil (28) de formation d'une atmosphère de traitement comportant des espèces chimiques excitées ou instables et étant substantiellement dépourvue d'espèces électriquement chargées, atmosphère de traitement dont la température la rend utilisable pour réaliser, à pression voisine de la pression atmosphérique, un traitement thermique du support, en vue du brasage proprement dit des composants. 14. Component reflow soldering device electronics (22) on a support (20) using an alloy solder, for carrying out the method according to one any one of claims 1 to 13, characterized in that that it comprises a member (10) for conveying supports (20) carrying, on at least one of their faces, the components (22) to be soldered onto connection locations, the member (10) conveyor ensuring the transfer of supports in view of first means (24) allowing the polymerization glue dots present on glue locations of the support (20), and facing second means comprising at least one apparatus (28) for forming an atmosphere of treatment comprising excited chemical species or unstable and being substantially devoid of species electrically charged, treatment atmosphere whose temperature makes it usable to produce, at pressure close to atmospheric pressure, a treatment heat transfer of the support, with a view to the actual brazing of the components. 15. Dispositif selon la revendication 14, caractérisé en ce qu'il comporte, intercalé le long de l'organe de convoyage, en amont des premiers moyens ou entre les premiers moyens et les seconds moyens, au moins un appareil (28) de formation d'une atmosphère de fluxage comportant des espèces chimiques excitées ou instables et étant substantiellement dépourvue d'espèces électriquement chargées, atmosphère de fluxage utilisable pour réaliser un fluxage en phase gazeuse du support (20). 15. Device according to claim 14, characterized in that it comprises, interposed along the conveying member, upstream of the first means or between the first means and the second means, at least one apparatus (28) for forming a fluxing atmosphere containing excited or unstable chemical species and being substantially devoid of electrically species charged, fluxing atmosphere usable to produce a gas-phase fluxing of the support (20).
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