CA2062447A1 - Dispositif pour la detection des defauts dans les grains reflectorises - Google Patents
Dispositif pour la detection des defauts dans les grains reflectorisesInfo
- Publication number
- CA2062447A1 CA2062447A1 CA2062447A CA2062447A CA2062447A1 CA 2062447 A1 CA2062447 A1 CA 2062447A1 CA 2062447 A CA2062447 A CA 2062447A CA 2062447 A CA2062447 A CA 2062447A CA 2062447 A1 CA2062447 A1 CA 2062447A1
- Authority
- CA
- Canada
- Prior art keywords
- detector
- specular
- diffuse
- angle
- inspection point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title abstract 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract 5
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US66613391A | 1991-03-07 | 1991-03-07 | |
US07/666,133 | 1991-03-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CA2062447A1 true CA2062447A1 (fr) | 1992-09-08 |
CA2062447C CA2062447C (fr) | 1998-10-13 |
Family
ID=24672959
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CA 2062447 Expired - Fee Related CA2062447C (fr) | 1991-03-07 | 1992-03-06 | Dispositif pour la detection des defauts dans les grains reflectorises |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CA (1) | CA2062447C (fr) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0580909A2 (fr) * | 1992-06-30 | 1994-02-02 | U.S. Natural Resources, Inc. | Caractérisation des défauts de fil de bois par réflexion |
CZ296823B6 (cs) * | 1995-07-14 | 2006-06-14 | Casco Products Ab | Zpusob kvalitativního nebo kvantitativního zjistování parametru panelu na bázi dreva a zpusob rízení procesních promenných |
CN113325004A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-08-31 | 上海超硅半导体股份有限公司 | 一种半导体晶片表面缺陷检测方法以及检测装置 |
-
1992
- 1992-03-06 CA CA 2062447 patent/CA2062447C/fr not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0580909A2 (fr) * | 1992-06-30 | 1994-02-02 | U.S. Natural Resources, Inc. | Caractérisation des défauts de fil de bois par réflexion |
CZ296823B6 (cs) * | 1995-07-14 | 2006-06-14 | Casco Products Ab | Zpusob kvalitativního nebo kvantitativního zjistování parametru panelu na bázi dreva a zpusob rízení procesních promenných |
CN113325004A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-08-31 | 上海超硅半导体股份有限公司 | 一种半导体晶片表面缺陷检测方法以及检测装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2062447C (fr) | 1998-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0001178B1 (fr) | Senseur optique | |
AU616731B2 (en) | Method and apparatus for monitoring the surface profile of a moving workpiece | |
EP0360484A3 (fr) | Densitomètre pour mesurer la réflectance spéculaire | |
US4785336A (en) | Device for monitoring characteristics of a film on a substrate | |
EP0867775A3 (fr) | Dispositif d'exposition à proximité avec dispositif de règlage de distance | |
EP1650548A3 (fr) | Capteur de plasmons de surface | |
EP0774657A3 (fr) | Appareil et procédé pour la détection d'un liquide | |
EP0360126A3 (fr) | Méthode d'opération d'un détecteur optique de fumée et détecteur de fumée pour la mise en oeuvre de la méthode | |
ES8500445A1 (es) | Procedimiento y aparato para la deteccion optica de defectos radiales reflectantes en recipientes traslucidos | |
BG103823A (en) | Instrument for monitoring the qualities of sheet materials | |
AU2976589A (en) | Method and apparatus for the optical detection of the roughness profile of a material surface | |
WO1986004676A3 (fr) | Dispositifs pour la determination optique d'erreurs de forme de faible importance | |
EP0953836A3 (fr) | Capteur de plasmons de surface | |
AU2003285457A1 (en) | Method and device for the detection of surface defects on the finish of a transparent or translucent rotating container | |
DE3373212D1 (en) | Detector system for measuring the intensity of a radiation scattered at a predetermined angle from a sample irradiated at a specified angle of incidence | |
EP0328374A3 (fr) | Appareil pour l'inspection de récipients | |
CA2062447A1 (fr) | Dispositif pour la detection des defauts dans les grains reflectorises | |
CA1271822A (fr) | Appareil optique, et methode d'examen d'un objet | |
JPS57178134A (en) | Specular surface defect observing device | |
GB9423186D0 (en) | Optical relay | |
EP0352797A3 (fr) | Procédé et appareil pour détecteur de défauts sur des surfaces spéculaires | |
US5118188A (en) | Illuminating arrangement for illuminating a photomultiplier in a double-beam photometer | |
GB1599926A (en) | Apparatus for optically scanning a surface | |
SU1330463A1 (ru) | Бесконтактный оптический способ определени высоты шероховатости поверхности | |
JPS5759153A (en) | Detector for surface characteristic |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EEER | Examination request | ||
MKLA | Lapsed |