BR7200610D0 - Aperfeicoamentos em processo para a cobertura de corpos com materiais isolantes - Google Patents

Aperfeicoamentos em processo para a cobertura de corpos com materiais isolantes

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M Kobale
H Pachonik
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Siemens Ag
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DE2907775C2 (de) * 1979-02-28 1983-03-10 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur Herstellung von Dielektrikumsschichten durch Polymerisation von Gasen mittels Glimmentladung auf einem Substrat und deren Verwendung
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