BR112015006717A2 - sensor de pressão à base de nanocalibradores acoplados a um ressonador - Google Patents

sensor de pressão à base de nanocalibradores acoplados a um ressonador

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Abstract

1/1 resumo “sensor de pressão à base de nanocalibradores acoplados a um ressonador” sensor de pressão feito de material semicondutor, que compreende uma caixa (1) que define um alojamento (2) sob vácuo secundário, pelo menos um ressonador (3) recebido dentro do alojamento e suspenso por vigas flexíveis (4) a pelo menos uma membrana (3) elasticamente deformável que fecha o alojamento que contém também meios (7, 12) de excitação do ressonador para colocar em vibração o ressonador e meios de detecção de uma freqüência de vibração do ressonador. os meios de detecção compreendem pelo menos um primeiro calibrador piezorresistivo de tensão (9), suspenso que tem para isso uma extremidade solidária de uma das vigas e uma extremidade solidária da membrana. o ressonador e o primeiro calibrador de tensão são dispostos para formar zonas dopadas substancialmente idênticas em natureza e em concentração.
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