BG111066A - Двуосен магнитометър - Google Patents

Abstract

Двуосният магнитометър съдържа полупроводникова подложка с р-тип проводимост (1), върху едната страна на която е образувана дълбока n-тип област (2) с формата на кръг. Върху горната страна на област (2) по периферията й са разположени на равни разстояния един от друг 2к на брой омични n+-контакта, където k е цяло число, а в центъра й има още един омичен n+-контакт (З), свързан е единия извод па токоизточник (4). Всеки от периферните контакти може да бъде в едно от двете положения - да е включен към интерфейсна схема, или да е висящ. Във всеки момент само контактът (3) и двата диаметрално срещуположни периферни контакти (5) и (6) са активни, докато останалите 2к - 2 контакти са висящи. Така обособената триконтактна конфигурация (3), (5) и (6) формира микросензор на Хол с паралелна ос на чувствителност, измерващ магнитното поле (7), лежащо в равнината на подложката (1). Двата срещуположни контакта (5) и (6) са едновременно захранващи и изходни, като през еднакви по стойност резистори (8) и (9) те са свързани с другия извод на токоизточника (4). Интерфейсната схема съдържа два мултиплексора (10) и (11), всеки от които е с 2к на брой входове тактов генератор (12) с фиксирана работна честота, управляващ мултиплексорите (10) и (11) брояч (13), свързан с мултиплексорите (10) и (11), като стъпката на завъртане на триконтактния микросензор на Хол около оста, перпендикулярна на областта (2) и преминаваща през контакта (3), съответства на ъгъла между два съседни пе