BG111693A - Сензор на хол с равнинна магниточувствителност - Google Patents

Abstract

Сензорът на Хол с равнинна магниточувствителност съдържа полупроводникови подложки с n-тип примесна проводимост (1 и 2), като върху едната страна на всяка от тях са формирани последователно и на разстояния един от друг омични контакти, разположени успоредно на дългите си страни, както и токоизточник. Измерваното магнитно поле е успоредно на равнините на подложките и на дългите страни на контактите (3, 4, 5, 6, 7, 8, 9 и 10). Сензорът на Хол е в четири конфигурации - първа, втора, трета и четвърта. Първата конфигурация включва двойка еднакви полупроводникови подложки (1 и 2), като върху едната страна на всяка от тях са формирани последователно и на равни разстояния един от друг по четирите правоъгълни омични контакти - първият (3 и 4), вторият (5 и 6), третият (7 и 8) и четвъртият (9 и 10). Двата втори контакта (5 и 6) са свързани през токоизточника (11), четвъртите контакти (9 и 10) са съединени помежду си, а първият (3) и третият (7) контакт от първата подложка (1) са свързани с входа на първи измервателен усилвател (12) и съответно първият (4) и третият (8) контакт от втората подложка (2) - с входа на втори измервателен усилвател (13). Изходите на усилвателите (12 и 13) са свързани с входа на диференциален усилвател (14), чийто изход е изход (15) на сензора на Хол. С четирите конфигурации се постига повишена магниточувствителност и редуциран офсет. 4 претенции, 4 фигури